JP2014041852A - パワーモジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】IGBTとMOSFETの損失分担を調整しコストパフォーマンスを高めることができるパワーモジュールを提供することを目的とする。
【解決手段】パワーモジュール1は、IGBT2と、IGBT2と並列に接続されたMOSFET3と、IGBT2が搭載された第1フレーム部11と、MOSFET3が搭載された第2フレーム部12とを有し、かつ、第1フレーム部11が第1高さに位置し第2フレーム部12が第1高さよりも高い第2高さに位置する段差13が形成されたリードフレーム10と、リードフレーム10において第1フレーム部11の裏面のみに配置された放熱体の絶縁シート30とを備えている。
【選択図】図1

Description

本発明は、トランスファーモールドタイプのIPM(Intelligent Power Module)などのパワーモジュールに関するものである。
インバータ用途のパワーモジュールにおいて、従来のIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)とFWD(Free Wheeling Diode)とを並列接続した構成ではIGBTの特性上低電流域の損失を低減することが困難である。
低電流域の損失を改善するためにIGBTの代わりにMOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)を使用することが考えられるが、MOSFETでは高温・高電流域のオン電圧が高くなるため許容電流が低くなるという問題があった。
このような問題を解決するために、大電流領域における飽和電圧が低いIGBTと小電流領域における飽和電圧が低いMOSFETとを並列接続した構成が検討されている(例えば特許文献1参照)。
特開平4−354156号公報
しかしながら、特許文献1に記載の構成では、IGBTとMOSFETの損失分担を調整するという観点が欠けている。このため、前記調整によりパワーモジュールのコストパフォーマンスを最適化することができないという問題があった。
そこで、本発明は、IGBTとMOSFETの損失分担を調整しコストパフォーマンスを高めることができるパワーモジュールを提供することを目的とする。
本発明に係るパワーモジュールは、IGBTと、前記IGBTと並列に接続されたMOSFETと、前記IGBTが搭載された第1フレーム部と、前記MOSFETが搭載された第2フレーム部とを有し、かつ、前記第1フレーム部が第1高さに位置し前記第2フレーム部が前記第1高さよりも高い第2高さに位置する段差が形成されたリードフレームと、前記リードフレームにおいて前記第1フレーム部裏面のみに配置された放熱体の絶縁シートとを備えたものである。
本発明によれば、高電流通電時においてMOSFETの通電能力はIGBTの通電能力よりも小さいため、IGBT側の損失負担を大きくし、MOSFET側の損失分担を小さくすることによりMOSFETには高い放熱性が不要となる。したがって高い放熱性を必要とするIGBTの搭載箇所である第1フレーム部裏面のみに絶縁シートが配置され、リードフレームにおけるMOSFETの搭載箇所には絶縁シートが配置不要となり絶縁シートのシートサイズを小さくすることができる。以上よりパワーモジュールの製造コストの低減が可能となる。
リードフレームにおいて、第1フレーム部が第1高さに位置し第2フレーム部が第1高さよりも高い第2高さに位置する段差が形成されたため、IGBTが載置される側である放熱面からMOSFETまでの距離を長くすることができ、MOSFETにおける所定の絶縁性能を確保できる。また、高電流通電時においてMOSFETの通電能力はIGBTの通電能力よりも小さいため、MOSFETのチップサイズを縮小することができる。これにより、パワーモジュールの製造コストのさらなる低減が可能となる。
実施の形態1に係るパワーモジュールの断面図である。 パワーモジュールの回路図である。 実施の形態2に係るパワーモジュールの断面図である。 実施の形態3に係るパワーモジュールの断面図である。 比較例に係るパワーモジュールの断面図である。
<実施の形態1>
本発明の実施の形態1について、図面を用いて以下に説明する。図1は、本発明の実施の形態1に係るパワーモジュール1の断面図であり、図2は、パワーモジュール1の回路図である。図1に示すように、パワーモジュール1は、IGBT2と、MOSFET3と、駆動回路5と、リードフレーム10,20と、放熱体に対する絶縁シート30と、モールド樹脂6とを備えている。
リードフレーム10は、IGBT2およびMOSFET3と電気的に接続されるインナーリード15と、インナーリード15と繋がるアウターリード16とを有する。インナーリード15は、所定の高さ位置(第1高さ)に位置する第1フレーム部11と、第1フレーム部11の高さ位置よりも高い高さ位置(第2高さ)に位置する第2フレーム部12とを有し、アウターリード16側から第2フレーム部12、第1フレーム部11の順に形成されている。第1フレーム部11と第2フレーム部12との間には段差13が形成されている。IGBT2は第1フレーム部11に搭載され、MOSFET3は第2フレーム部12に搭載されている。
また、絶縁シート30は第1フレーム部11の裏面のみに配置されている。ここで、パワーモジュール1は、導電性のヒートシンク(図示省略)の上に設置された状態で使用されるため、リードフレーム10とヒートシンクとを絶縁する目的で絶縁シート30が配置される。
パワーモジュール1の放熱面、すなわち前記ヒートシンクに接触して載置される面からMOSFET3までの距離を長くすることで、MOSFET3では、放熱面に対する所定の絶縁性能を確保することが可能となっている。このため、第2フレーム部12の裏面に対する絶縁シート30の配置を省略することができる。
駆動回路5は、IGBT2とMOSFET3を駆動するための回路であり、駆動回路5は、リードフレーム20の第3フレーム部21に搭載されている。リードフレーム20は、駆動回路5と電気的に接続されるインナーリード25と、インナーリード25と繋がるアウターリード26とを有する。第3フレーム部21はインナーリード25に形成され、第3フレーム部21は、第1フレーム部11の高さ位置よりも高い高さ位置に形成されている。IGBT2と、MOSFET3と、駆動回路5と、絶縁シート30と、リードフレーム10,20のインナーリード15,25はモールド樹脂6により封止されている。
図2に示すように、IGBT2とMOSFET3は並列に接続されている。より具体的には、IGBT2のコレクタとMOSFET3のドレインが接続され、IGBT2のエミッタとMOSFET3のソースが接続されている。IGBT2のゲートとMOSFET3のゲートは駆動回路5の出力端子に接続されている。なお、MOSFET3には逆並列にダイオード4が接続されているが、これは内部寄生ダイオード4である。
ここで、MOSFET3の通電能力は、例えば重負荷駆動時等、モジュールにおける最大定格電流が流れる場合といった高電流通電時においてIGBT2の通電能力よりも小さいため、MOSFET3側では高電流通電時に流れる電流が抑制され過渡的な損失が小さくなる。
また、MOSFET3の閾値電圧はIGBT2の閾値電圧よりも高く設定され、スイッチング時の過渡状態においてはIGBT2側に全電流が流れる構成としている。
スイッチングデバイスとしてIGBT2とMOSFET3とを並列して用いる構成においては、一般的にMOSFET3の閾値電圧の方を低く設定し、常にIGBT2を先にターンオフさせ、その後にMOSFET3がターンオフするシーケンスを採用している。
この場合の効果としてテール電流を抑制してターンオフ損失を低減することができるが、過渡状態において全電流(IGBT電流+MOSFET電流)が必ずMOSFET3に流れるため、MOSFET3が温度上昇することとなる。
これに対して本実施の形態では、MOSFET3の閾値電圧をIGBT2の閾値電圧よりも高く設定することで、スイッチング時にMOSFET3に流れる電流を抑制し、MOSFET3の温度上昇を抑制している。ここで、IGBT2およびMOSFET3の閾値電圧は製造時のチャネル注入の不純物量により設定される。
次に、パワーモジュール1の回路動作について説明する。駆動回路5の出力端子から出力される制御信号が低電位(「L」)から高電位(「H」)となってターンオンする場合、IGBT2およびMOSFET3にゲート電圧が与えられると、IGBT2の閾値電圧の方が低いので、IGBT2の方が先にターンオンし、IGBT電流が流れ始める。
やがて、ゲート電圧がMOSFET3の閾値電圧に達すると、MOSFET3がターンオンし、MOSFET電流が流れ始める。MOSFET3がターンオンした時点では、IGBT2がターンオンして所定時間が経過しており、IGBT2が定常状態となっているので電流は殆どIGBT2に流れており、MOSFET3には殆ど流れない。
このように、MOSFET3の閾値電圧をIGBT2の閾値電圧よりも高く設定することで、ターンオン時にMOSFET3に流れる電流を抑制することができる。これにより、MOSFET3の温度上昇を抑制できる。
また、制御信号が「H」から「L」となってターンオフする場合、IGBT2およびMOSFET3に与えられていたゲート電圧が下がり始めると、MOSFET3の閾値電圧の方が高いので、MOSFET3の方が先にターンオフし、MOSFET電流が下がり始める。その後、ゲート電圧が低下することでIGBT電流が下がり始め、IGBT2の閾値電圧より低くなることでIGBT2がターンオフして、IGBT電流が流れなくなる。
このように、MOSFET3の閾値電圧をIGBT2の閾値電圧よりも高く設定することで、ターンオフ時にはMOSFET3が先にターンオフするので、その時点でオン状態にあるIGBT2に全電流が流れ、MOSFET3には電流は流れない。これにより、MOSFET3の温度上昇を抑制できる。
次に、実施の形態1に係るパワーモジュール1の効果について、比較例に係るパワーモジュール100と対比しながら説明する。図5は、比較例に係るパワーモジュール100の断面図である。なお、比較例において、パワーモジュール1と同様構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
比較例に係るパワーモジュール100においてリードフレーム10は、第1フレーム部11と第2フレーム部12とを有し、IGBT2およびMOSFET3は第1フレーム部11に搭載されている。そして、IGBT2とMOSFET3とを第1フレーム部11に搭載しているため、放熱面からIGBT2及びMOSFET3までの距離が短くなる。このため、MOSFET3において放熱面に対する所定の絶縁性能を確保するために、IGBT2だけでなくMOSFET3の下側にも絶縁シート30を配置する必要がある。
これに対して、実施の形態1に係るパワーモジュール1では、第2フレーム部12が第1フレーム部11よりも高い高さ位置に形成され、第1フレーム部11にIGBT2が搭載され、第2フレーム部12にMOSFET3が搭載されている。このため、放熱面からMOSFET3までの距離が長くなることで、MOSFET3において放熱面に対する所定の絶縁性能を確保することができる。したがって、絶縁シート30は第1フレーム部11の裏面のみに配置されればよく、第2フレーム部12の裏面に配置される必要がない。
以上のように、実施の形態1に係るパワーモジュール1では、高電流通電時におけるMOSFET3の通電能力はIGBT2の通電能力よりも小さいため、IGBT2側の損失負担を大きくし、MOSFET3側の損失分担を小さくすることができ、MOSFET3には高い放熱性が不要となる。したがって、リードフレーム10におけるMOSFET3の搭載箇所には絶縁シート30が配置されず、高放熱を必要とするIGBT2の搭載箇所である第1フレーム部11の裏面のみに絶縁シート30が配置されるため、MOSFET3のチップサイズを縮小することができる。これに加えて、絶縁シート30のシートサイズも小さくすることができるため、パワーモジュール1の製造コストの低減が可能となる。
また、リードフレーム10において、第1フレーム部11が第1高さに位置し第2フレーム部12が第1高さよりも高い第2高さに位置する段差13が形成されたため、放熱面からMOSFET3までの距離を長くすることができ、MOSFET3における所定の絶縁性能を確保できる。
また、高電流通電時におけるMOSFET3の通電能力はIGBT2の通電能力よりも小さいため、MOSFET3のチップサイズをさらに縮小することができる。これにより、パワーモジュール1の製造コストのさらなる低減が可能となる。
また、MOSFET3のオン閾値電圧は、IGBT2のオン閾値電圧よりも高いため、過負荷時の過渡状態においてもMOSFET3に大電流が流れることを防止できる。これにより、MOSFET3におけるスイッチングの過渡損失を低減し、かつ、MOSFET3の温度上昇を抑制するため、パワーモジュール1の長期信頼性を高めることができる。パワーモジュール1の長期信頼性を高めることで長期使用が可能となりエネルギー消費量の削減にもつながる。
なお、MOSFET3の閾値電圧をIGBT2の閾値電圧よりも高く設定する代わりに、駆動回路5は、IGBT2およびMOSFET3に対して個別に制御信号を出力し、IGBT2およびMOSFET3を個別に駆動してもよい。この場合、駆動回路5が、IGBT2、MOSFET3の順でターンオンさせるとともに、MOSFET3、IGBT2の順でターンオフさせるようにIGBT2とMOSFET3を駆動することにより、MOSFET3の閾値電圧をIGBT2の閾値電圧よりも高く設定する場合と同様の効果が得られる。ここで、MOSFET3の閾値電圧をIGBT2の閾値電圧よりも高く設定する構成と、駆動回路5がIGBT2およびMOSFET3を個別に駆動する構成は、必須ではなく省略することも可能である。
また、MOSFETとして、炭化シリコン(SiC)基板上に形成されるSiC−MOSFETを採用してもよい。SiC−MOSFETは、Si−MOSFETと比較してオン閾値電圧が低いため、特にターンオフする場合にSi−MOSFETを採用した場合よりも低い温度でターンオフすることで低損失となり、MOSFETの温度上昇をより抑えることができ、パワーモジュール1の長期信頼性を一層高めることができる。
<実施の形態2>
次に、実施の形態2に係るパワーモジュール1Aについて説明する。図3は、本発明の実施の形態2に係るパワーモジュール1Aの断面図である。なお、実施の形態2において、実施の形態1で説明したものと同様構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
リードフレーム10においてアウターリード16側から第1フレーム部11、第2フレーム部12の順に形成され、駆動回路5が搭載された第3フレーム部21は第2フレーム部12に隣接する位置に位置している。また、第3フレーム部21は第1フレーム部11の高さ位置よりも高い高さ位置(第3高さ)に形成されており、例えば、第3フレーム部21の高さ位置は第2フレーム部12の高さ位置と同じ高さである。このため、図1に示す実施の形態1における駆動回路5とパワーチップ(IGBT2およびMOSFET3)間のワイヤ31の配線長よりも、実施の形態2における駆動回路5とパワーチップ間のワイヤ31の配線長の方が短くなる。
以上のように、実施の形態2に係るパワーモジュール1Aでは、駆動回路5が搭載された第3フレーム部21を有する他のリードフレーム20をさらに備え、第3フレーム部21は第1高さよりも高い第3高さに形成され、かつ、第3フレーム部21は第1フレーム部11および第2フレーム部12のうち第2フレーム部12に隣接するため、駆動回路5とパワーチップ間のワイヤ31の配線長を短くすることができる。これにより、モールド樹脂6によるワイヤ流れを防ぐことができ、製品の品質向上を図ることが可能となる。このように、製品の品質向上を図ることで歩留り向上にもつながる。
<実施の形態3>
次に、実施の形態3に係るパワーモジュール1Bについて説明する。図4は、本発明の実施の形態3に係るパワーモジュール1Bである。なお、実施の形態3において、実施の形態1,2で説明したものと同様構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
リードフレーム10において第1フレーム部11および第2フレーム部12とアウターリード16との間に段差13とは別の段差17がさらに形成されている。具体的には、第2フレーム部12とアウターリード16との間に段差17が形成され、実施の形態1の場合と比較して第2フレーム部12の高さ位置は少し低くなっている。このため、実施の形態1の場合と比較してIGBT2からMOSFET3までの距離が少し短くなっており、実施の形態1の場合と比較して熱抵抗が低減する。
以上のように、実施の形態3に係るパワーモジュール1Bでは、リードフレーム10において第1フレーム部11および第2フレーム部12とアウターリード16との間に段差13とは別の段差17がさらに形成されたため、必要な絶縁性を確保しつつ、段差17を設けない場合と比較してIGBT2からMOSFET3までの距離が少し短くなることでMOSFET3の熱抵抗を低減できる。これにより、MOSFET3の温度上昇を抑制することができ、ひいてはパワーモジュール1Bの長期信頼性を高めることができる。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
1,1A,1B パワーモジュール、2 IGBT、3 MOSFET、5 駆動回路、6 モールド樹脂、10 リードフレーム、11 第1フレーム部、12 第2フレーム部、13 段差、15 インナーリード、16 アウターリード、17 段差、20 リードフレーム、21 第3フレーム部、30 絶縁シート。

Claims (6)

  1. IGBTと、
    前記IGBTと並列に接続されたMOSFETと、
    前記IGBTが搭載された第1フレーム部と、前記MOSFETが搭載された第2フレーム部とを有し、かつ、前記第1フレーム部が第1高さに位置し前記第2フレーム部が前記第1高さよりも高い第2高さに位置する段差が形成されたリードフレームと、
    前記リードフレームにおいて前記第1フレーム部裏面のみに配置された絶縁シートと、
    を備えた、パワーモジュール。
  2. 前記IGBTと前記MOSFETを駆動する駆動回路をさらに備え、
    前記駆動回路は、前記IGBT、前記MOSFETの順でターンオンさせるとともに、前記MOSFET、前記IGBTの順でターンオフさせるように前記IGBTと前記MOSFETを駆動する、請求項1記載のパワーモジュール。
  3. 前記MOSFETのオン閾値電圧は、前記IGBTのオン閾値電圧よりも高い、請求項1記載のパワーモジュール。
  4. 前記MOSFETはSiC−MOSFETである、請求項1〜3いずれか1つに記載のパワーモジュール。
  5. 前記駆動回路が搭載された第3フレーム部を有する他のリードフレームをさらに備え、
    前記第3フレーム部は前記第1高さよりも高い第3高さに形成され、かつ、前記第3フレーム部は前記第1,第2フレーム部のうち前記第2フレーム部に隣接する、請求項2記載のパワーモジュール。
  6. 前記IGBTと前記MOSFETと前記リードフレームのインナーリードとを封止するモールド樹脂をさらに備え、
    前記リードフレームにおいて前記第1,第2フレーム部とアウターリードとの間に前記段差とは別の段差がさらに形成された、請求項1〜4のいずれか1つに記載のパワーモジュール。
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