JP2011141267A - 高感度の高解像度x線回折測定 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体エピタキシャル層を高解像度で分析する。
【解決手段】X線26の集束するビーム30を、エピタキシャル層がその上に形成されたサンプル22の表面に配向するステップと、1つの回折ピークとエピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有する回折スペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、からなる分析方法。周辺スペクトルの特性はエピタキシャル層の緩和を測定するために分析される。
【選択図】図1
【解決手段】X線26の集束するビーム30を、エピタキシャル層がその上に形成されたサンプル22の表面に配向するステップと、1つの回折ピークとエピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有する回折スペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、からなる分析方法。周辺スペクトルの特性はエピタキシャル層の緩和を測定するために分析される。
【選択図】図1
Description
本発明は、一般的にX線解析に関し、特に薄膜のX線測定に関するものである。
X線回折技術(XRD)は物質の結晶構造の研究でよく知られた技術である。XRDでは、サンプルに単色X線ビームが照射され、回折ビームのピークの場所と強度が測定される。回折照射ビームの特徴的な回折角度と強度は調査対象のサンプルの格子面とこれらの面を占有する原子に依存する。ある波長λと格子間隔dに対して、X線ビームが格子面にブラッグ条件nλ=2d*sinθを満たす角度θで入射するとき,回折のピークは観測される。ここにnは散乱次元である。ブラッグ条件を満たす角度θはブラッグ角度と呼ばれる。応力、固溶体、または他の影響による格子面のゆがみは、XRDスペクトルに識別可能な変化をもたらす。
XRDは、特に半導体ウェハ上のエピタキシャル薄膜の特性の測定に使用されて来た。Bowen他は、非特許文献1において、高解像度XRDを使用したシリカゲル構造におけるゲルマニウム集積の測定法について記載しており、それはここに参照され、本発明に採り入れられる。
XRDはまた、サンプル表面の構造を観察するため微小角入射でも使用される。例えば特許文献2は、半導体ウェハ上のエピタキシャル層構造を解析するため斜め入射XRDを使用しており、それはここに参照され、本発明に採り入れられる。発明者は、非常に薄い表面と埋め込み半導体層の平面内格子パラメータと格子方向を画定するのにその技術を適用している。
Bowen他著「回折と反射率によるX線度量衡学」ULSIの特徴化と度量衡、国際会議2000、(米国物理学会、2001)
Goorsky他著「面内モザイクの微細焦点X線管による斜入射面内回折測定」結晶研究と技術 37:7(2002),645−653頁
以下に記述される本発明の実施形態は、高解像度XRD測定の感度と精度を向上させる方法とシステムを提供する。これらの方法とシステムは、特にエピタキシャル薄膜層の特性の測定に有用であるが、他のタイプの結晶構造を解析にも使用可能である。
従って本発明によれば、分析の方法であって、
X線の集束ビームをそれぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層からなるサンプルの表面に配向するステップと、
第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを少なくとも有する第1の回折スペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析しステップと、
ビームブロッカを、第1の回折ピークを含む角度範囲をブロックするため、集束ビーム内に配置するステップと、
第1の回折ピークが少なくとも部分的にブロックされている時に、少なくとも第2の回折ピークを有する第2の回折スペクトルを生成するため、ビームブロッカが集束ビーム内に配置されている時に、サンプルから回折されたX線を検知するステップと、
少なくとも第2の結晶層の特性を識別するため、少なくとも第2の回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
従って本発明によれば、分析の方法であって、
X線の集束ビームをそれぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層からなるサンプルの表面に配向するステップと、
第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを少なくとも有する第1の回折スペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析しステップと、
ビームブロッカを、第1の回折ピークを含む角度範囲をブロックするため、集束ビーム内に配置するステップと、
第1の回折ピークが少なくとも部分的にブロックされている時に、少なくとも第2の回折ピークを有する第2の回折スペクトルを生成するため、ビームブロッカが集束ビーム内に配置されている時に、サンプルから回折されたX線を検知するステップと、
少なくとも第2の結晶層の特性を識別するため、少なくとも第2の回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
ある実施形態では、X線を検知するステップは、仰角の範囲に亘り同時にX線を捕捉し解析するように構成された、要素を持つ検知器アレイを配置するステップを有し、ここに、仰角の範囲は少なくとも2°である。
典型的には、第2の結晶層は第1の結晶層の上にエピタキシャルに積層される。ある実施形態では、第1の結晶層は半導体基板からなり、第2の結晶層はドープされた半導体からなり、半導体基板はシリコンウェハからなり、第2の結晶層はSiGeエピタキシャル層からなる。
ある実施形態では、少なくとも第2の回折スペクトルを分析するステップは、前記第2の回折スペクトル内の前記第1の回折ピークの近傍に現れる周辺パターンを分析するステップを有する。
典型的には、第2の結晶層は第1の結晶層の上にエピタキシャルに積層される。ある実施形態では、第1の結晶層は半導体基板からなり、第2の結晶層はドープされた半導体からなり、半導体基板はシリコンウェハからなり、第2の結晶層はSiGeエピタキシャル層からなる。
ある実施形態では、少なくとも第2の回折スペクトルを分析するステップは、前記第2の回折スペクトル内の前記第1の回折ピークの近傍に現れる周辺パターンを分析するステップを有する。
ビームブロッカを配置するステップは、第1の回折ピークの角度範囲を同定するため、自動的に第1の回折スペクトルを分析するステップと、同定された範囲をカバーするため前記ビームブロッカを移動するステップと、を有する。
ある実施形態では、X線の集束ビームは焦点を持ち、
X線を検知し第1の回折スペクトルを生成するステップは、第1と第2の回折ピークの分離を増大させるため、サンプルを焦点外に移動させるステップを有し、
ビームブロッカを配置するステップは、サンプルが焦点外にある時にビームブロッカの位置を調整し、その後第2の回折スペクトルを生成するためサンプルを焦点内に移動させるステップを有する。X線を検知し第1の回折スペクトルを生成するステップは、サンプルを焦点外に移動させるステップと、少なくとも第1の回折スペクトルを非対称回折モードで捕獲するステップと、を有する。
ある実施形態では、X線の集束ビームは焦点を持ち、
X線を検知し第1の回折スペクトルを生成するステップは、第1と第2の回折ピークの分離を増大させるため、サンプルを焦点外に移動させるステップを有し、
ビームブロッカを配置するステップは、サンプルが焦点外にある時にビームブロッカの位置を調整し、その後第2の回折スペクトルを生成するためサンプルを焦点内に移動させるステップを有する。X線を検知し第1の回折スペクトルを生成するステップは、サンプルを焦点外に移動させるステップと、少なくとも第1の回折スペクトルを非対称回折モードで捕獲するステップと、を有する。
本発明の1実施形態によれば、分析の方法であって、
焦点を有するX線の集束ビームをそれぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層からなるサンプルの表面に配向するステップと、
第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを少なくとも有する第1の回折スペクトルを生成するため、前記サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
第1と記第2の回折ピークの分離を増大させるため、サンプルを前記焦点外に移動するステップと、
少なくとも第2の結晶層の特性を識別するため回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
焦点を有するX線の集束ビームをそれぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層からなるサンプルの表面に配向するステップと、
第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを少なくとも有する第1の回折スペクトルを生成するため、前記サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
第1と記第2の回折ピークの分離を増大させるため、サンプルを前記焦点外に移動するステップと、
少なくとも第2の結晶層の特性を識別するため回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
ある実施形態では、集束ビーム内のX線は入射角の範囲に亘ってサンプルに衝突し、ここにおいてX線を検知するステップは、X線を非対称モードで検知するステップを有し、X線は前記サンプルから入射角とは異なる取り出し角で回折される。ある実施形態では、第2の結晶層は第1の結晶層の上にエピタキシャルに積層され、回折スペクトルを分析するステップは、第2の結晶層の第1の結晶層に対する緩和を検知するステップを有する。X線の集束ビームはサンプルの表面のスポットに衝突し、
前記方法は、スポットの寸法を減少させるため、X線の一部をブロックするようにスポットに隣接する位置にビームリミッタを配置するステップを有する。
ある開示された実施形態では、サンプルを移動するステップは、分離をサンプルの焦点からの距離の関数として測定するステップを有する。回折スペクトルを分析するステップは、第2の結晶層内のドーパントの集積を、分離の前記サンプルと焦点との距離に対する関数的依存性に基づいて発見するステップを有する。
前記方法は、スポットの寸法を減少させるため、X線の一部をブロックするようにスポットに隣接する位置にビームリミッタを配置するステップを有する。
ある開示された実施形態では、サンプルを移動するステップは、分離をサンプルの焦点からの距離の関数として測定するステップを有する。回折スペクトルを分析するステップは、第2の結晶層内のドーパントの集積を、分離の前記サンプルと焦点との距離に対する関数的依存性に基づいて発見するステップを有する。
本発明の実施形態によればさらに、分析の方法であって、
X線の集束ビームをエピタキシャル層がその上に形成されたサンプルの表面のスポットに、入射角の範囲に亘って衝突するように配向するステップと、
スポットの寸法を減少させるため、X線の一部をブロックするように前記スポットに隣接する位置にビームリミッタを配置するステップと、
非対称モードでスポットから回折されたX線を検知し、
ここにおいてX線は前記サンプルから入射角とは異なる取り出し角で回折され、
同時に、回折スペクトルを生成するため検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
エピタキシャル層の特性を同定するため回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
X線の集束ビームをエピタキシャル層がその上に形成されたサンプルの表面のスポットに、入射角の範囲に亘って衝突するように配向するステップと、
スポットの寸法を減少させるため、X線の一部をブロックするように前記スポットに隣接する位置にビームリミッタを配置するステップと、
非対称モードでスポットから回折されたX線を検知し、
ここにおいてX線は前記サンプルから入射角とは異なる取り出し角で回折され、
同時に、回折スペクトルを生成するため検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
エピタキシャル層の特性を同定するため回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
ある開示された実施形態では、ビームリミッタは、スポットの上方で表面と平行に配置されるナイフ端を有する。あるいは、ビームリミッタはX線が貫通する通路に構成された穴を有し、スポットの寸法は穴の寸法により決定される。典型的に入射角は微小角度の範囲内である。
本発明のある実施形態によればさらに、分析の方法であって、
X線の集束ビームをエピタキシャル層がその上に形成されたサンプルの表面に配向するステップと、
1つの回折ピークと前記エピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有するスペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
エピタキシャル層の緩和を測定するため周辺スペクトルの特性を分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
ある実施形態では、特性を分析するステップは、周辺スペクトルの振幅を評価するステップを有し、ここにおいて振幅の減少は緩和の増加を示唆する。
別の実施形態では、サンプルは結晶基板からなり、
集束ビームを配向するステップは、
基板回折ピークを含む角度範囲をブロックし、同時に、ブロックされた角度範囲に隣接する角度において周辺スペクトルの検知を促進するため、ビームブロッカを集束ビームの中に配置するステップを有する。
X線の集束ビームをエピタキシャル層がその上に形成されたサンプルの表面に配向するステップと、
1つの回折ピークと前記エピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有するスペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
エピタキシャル層の緩和を測定するため周辺スペクトルの特性を分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
ある実施形態では、特性を分析するステップは、周辺スペクトルの振幅を評価するステップを有し、ここにおいて振幅の減少は緩和の増加を示唆する。
別の実施形態では、サンプルは結晶基板からなり、
集束ビームを配向するステップは、
基板回折ピークを含む角度範囲をブロックし、同時に、ブロックされた角度範囲に隣接する角度において周辺スペクトルの検知を促進するため、ビームブロッカを集束ビームの中に配置するステップを有する。
本発明の実施形態によればさらに、分析の方法であって、
X線の集束する単色の第1の波長の第1のビームを結晶サンプルの表面上の焦点に配向するステップと、
第2の波長の第2のビームを第1のビームに隣接し焦点の手前の位置においてブロックするステップと、
サンプルの回折スペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知された前記X線を角度の関数として解析するステップと、
サンプルの特性を同定するため、回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
ある実施形態では、第1のビームを配向するステップは、入射X線ビームを湾曲した結晶モノクロメータを使用して焦点を結ばせるステップを有し、モノクロメータは、第2のビームも生成する。
X線の集束する単色の第1の波長の第1のビームを結晶サンプルの表面上の焦点に配向するステップと、
第2の波長の第2のビームを第1のビームに隣接し焦点の手前の位置においてブロックするステップと、
サンプルの回折スペクトルを生成するため、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知された前記X線を角度の関数として解析するステップと、
サンプルの特性を同定するため、回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
ある実施形態では、第1のビームを配向するステップは、入射X線ビームを湾曲した結晶モノクロメータを使用して焦点を結ばせるステップを有し、モノクロメータは、第2のビームも生成する。
本発明の実施形態によればさらに、分析の方法であって、
X線の集束するビームを結晶サンプルの表面上の焦点に配向するステップと、
ビーム内のX線を前記ビームの角度範囲に亘る連続する入射角度で前記サンプルに入射させるため、集束するビームを横断してスリットをスキャンするステップと、
それぞれの入射角に対して回折データを生成するため、それぞれの入射角において、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を取り出し角の関数として解析するステップと、
サンプルからの逆格子回折空間マップを生成するため、入射角に対する回折データを角度範囲に亘って組み合わせるステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
X線の集束するビームを結晶サンプルの表面上の焦点に配向するステップと、
ビーム内のX線を前記ビームの角度範囲に亘る連続する入射角度で前記サンプルに入射させるため、集束するビームを横断してスリットをスキャンするステップと、
それぞれの入射角に対して回折データを生成するため、それぞれの入射角において、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を取り出し角の関数として解析するステップと、
サンプルからの逆格子回折空間マップを生成するため、入射角に対する回折データを角度範囲に亘って組み合わせるステップと、
を有することを特徴とする方法、が提供される。
本発明の実施形態によればさらに、分析装置であって、
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、それぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それによりX線は前記サンプルから回折され、少なくとも第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
検知器組立体はサンプルから回折されたX線を検知し、一方検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
ビームブロッカと、
ビームブロッカは、第1の回折ピークを含む角度範囲をブロックするため、集束ビーム内に配置されるように構成され、
処理装置と、
処理装置は、回折スペクトルに基づいて少なくとも第2の層の特性を同定するため、第1の回折ピークを含む角度範囲がブロックされている間に、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、それぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それによりX線は前記サンプルから回折され、少なくとも第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
検知器組立体はサンプルから回折されたX線を検知し、一方検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
ビームブロッカと、
ビームブロッカは、第1の回折ピークを含む角度範囲をブロックするため、集束ビーム内に配置されるように構成され、
処理装置と、
処理装置は、回折スペクトルに基づいて少なくとも第2の層の特性を同定するため、第1の回折ピークを含む角度範囲がブロックされている間に、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
またさらに本発明の実施形態によれば、分析装置であって、
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、それぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それによりX線はサンプルから回折され、少なくとも第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
検知器組立体は、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
動作機器と、
動作機器は、第1と第2の回折ピークの分離を増大させるため、サンプルを焦点外に移動するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、サンプルが焦点外に移動されている間、回折スペクトルに基づいて少なくとも第2の層の特性を同定するため、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、それぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それによりX線はサンプルから回折され、少なくとも第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
検知器組立体は、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
動作機器と、
動作機器は、第1と第2の回折ピークの分離を増大させるため、サンプルを焦点外に移動するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、サンプルが焦点外に移動されている間、回折スペクトルに基づいて少なくとも第2の層の特性を同定するため、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
また本発明の実施形態によれば、分析装置であって、
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、エピタキシャル層をその上に有するサンプルの表面のスポットに、入射角の範囲に亘って衝突するように配向するように構成され、それによりX線はサンプルから回折されて回折スペクトルを生成し、
ビームリミッタと、
ビームリミッタは、スポットの寸法を減少させるため、X線の一部をスポットに隣接する位置においてブロックするように構成され、
検知器組立体と、
検知器組立体は、非対称モードにおいて、スポットから回折されたX線を検知するように構成され、
ここにX線は前記サンプルから入射角とは異なる取り出し角で回折され、
同時に、検知されたX線を角度の関数として解析し、
処理装置と、
処理装置は、回折スペクトルに基づいてエピタキシャル層の特性を同定するため、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、エピタキシャル層をその上に有するサンプルの表面のスポットに、入射角の範囲に亘って衝突するように配向するように構成され、それによりX線はサンプルから回折されて回折スペクトルを生成し、
ビームリミッタと、
ビームリミッタは、スポットの寸法を減少させるため、X線の一部をスポットに隣接する位置においてブロックするように構成され、
検知器組立体と、
検知器組立体は、非対称モードにおいて、スポットから回折されたX線を検知するように構成され、
ここにX線は前記サンプルから入射角とは異なる取り出し角で回折され、
同時に、検知されたX線を角度の関数として解析し、
処理装置と、
処理装置は、回折スペクトルに基づいてエピタキシャル層の特性を同定するため、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
さらに本発明の実施形態によれば、分析装置であって、
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、その上に形成されたエピタキシャル層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それによりX線はサンプルから回折され、1つの回折ピークと前記エピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
検知器組立体は、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、周辺スペクトルの特性に基づいてエピタキシャル層の緩和を測定するため、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
X線源と、
X線源は、X線の集束するビームを、その上に形成されたエピタキシャル層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それによりX線はサンプルから回折され、1つの回折ピークと前記エピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
検知器組立体は、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、周辺スペクトルの特性に基づいてエピタキシャル層の緩和を測定するため、検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
またさらに本発明の実施形態によれば、分析装置であって、
X線源と、
X線源は、集束する単色の第1の波長の第1のX線ビームを、結晶サンプルの表面上の焦点に配向するように構成され、
ビームブロッカと、
ビームブロッカは、第2の波長の第2のビームを、第1のビームに隣接しかつ焦点の手前でブロックするために位置決めされるように構成され、
検知器組立体と、
検知器組立体は、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、結晶サンプルの回折スペクトルを生成するため、検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、サンプルの特性を同定するため、回折スペクトルを受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
X線源と、
X線源は、集束する単色の第1の波長の第1のX線ビームを、結晶サンプルの表面上の焦点に配向するように構成され、
ビームブロッカと、
ビームブロッカは、第2の波長の第2のビームを、第1のビームに隣接しかつ焦点の手前でブロックするために位置決めされるように構成され、
検知器組立体と、
検知器組立体は、サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、結晶サンプルの回折スペクトルを生成するため、検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、サンプルの特性を同定するため、回折スペクトルを受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
本発明の実施形態によれば、分析装置であって、
X線源と、
前記X線源は、集束するX線ビームを、結晶サンプルの表面上の焦点に配向するように構成され、
スリットと、
スリットは、ビーム内のX線を前記ビームの角度範囲に亘る連続する入射角度で前記サンプルに入射させるため、集束するビームに亘ってスキャンするように構成され、
検知器組立体と、
検知器組立体は、それぞれの入射角に対して回折データを生成するため、それぞれの入射角においてサンプルから回折されたX線を検知し、同時に検知されたX線を取り出し角の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、
サンプルからの逆格子回折空間マップを生成するため、入射角に対する前記回折データを角度範囲に亘って組み合わせるように構成され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
本発明は図面を参照した以下に記載の実施形態の詳細な説明により、より完全に理解される。
X線源と、
前記X線源は、集束するX線ビームを、結晶サンプルの表面上の焦点に配向するように構成され、
スリットと、
スリットは、ビーム内のX線を前記ビームの角度範囲に亘る連続する入射角度で前記サンプルに入射させるため、集束するビームに亘ってスキャンするように構成され、
検知器組立体と、
検知器組立体は、それぞれの入射角に対して回折データを生成するため、それぞれの入射角においてサンプルから回折されたX線を検知し、同時に検知されたX線を取り出し角の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
処理装置は、
サンプルからの逆格子回折空間マップを生成するため、入射角に対する前記回折データを角度範囲に亘って組み合わせるように構成され、
を有することを特徴とする装置、が提供される。
本発明は図面を参照した以下に記載の実施形態の詳細な説明により、より完全に理解される。
以下に記述される本発明の実施形態は、高解像度X線回折(HRXRD)を使用した結晶サンプルの解析に対する改善された方法とシステムを提供する。開示される実施形態はエピタキシャル薄膜層の特性の測定において改善された精度を提供し、特に半導体素子の生産をテストし監視するのに有用である。しかし本発明の概念は、他のタイプのサンプルの特性を解析するのにも同様に適用可能である。
ある実施形態では、X線の集束ビームがサンプルの表面に向けられ、サンプルは典型的に多重の結晶層を有する(例えば、SiGeのようなエピタキシャルなドープ層が表面に形成されたシリコン基板)。検知器組立体は、それは典型的に検知器アレイを有するが、サンプルで回折されたX線を感知し、一方で感知したX線を角度の関数として分析する。検知器組立体はこのように回折スペクトルを獲得し、そのスペクトルは典型的に各層に起因するそれぞれの回折ピークを有し、また、周辺パターンのような、それより弱い特性も有することがある。ピーク間の分離は多くの場合、SiGe層でのゲルマニウムドーパントの集積のような、層の構成を示す。周辺パターンは結晶層構造の物理的寸法に関する情報を提供する。
サンプルの基板から立ち上がるピークのような、1つ又は複数の層に起因する回折ピークは、多くの場合強度が強く、強度の弱い特性を隠し又は流し去ってしまう。したがってある実施形態では、強い強度の回折ピークを含む角度範囲をブロックするため、集束ビームにビームブロッカが導入される。その結果の回折スペクトルは、上記の周辺パターンのような強度の弱い特性がはるかに高い精度で観測される。ビームブロッカの正確な配置を助長する方法を以下にのべる。
薄膜層の結晶構造がその下の基板(又は他の層)との配列から外れるエピタキシャル層の緩和は、これらの層を含む半導体素子において不良の原因となりうる。したがって緩和を検知し、必要な場合工程調整を行い、その後生産されるウェハにおいて緩和を減少させることが重要である。本発明のある実施形態では、斜め入射非対称HRXRDが緩和の測定に使用される。他の実施形態では、回折スペクトルの周辺スペクトルの強度が緩和の測定値を提供する。典型的に、周辺スペクトル強度の減少は緩和の増加を示唆する。
通常は、X線源とサンプルはX線の集束ビームがサンプル上の1点に焦点を結ぶように配置される。しかし出願人らは、非対称モードでの操作においてサンプルを焦点から移動させることは、回折スペクトルのピークの間の分離を増加させることを発見した。(非対称モードでは、X線は入射角とは異なる取り出し角でサンプルから回折され、これは入射角と取り出し角が同一の対称モードとは対照的である。)従ってある実施形態では、第2のピークとスペクトル内の他の強度の弱い特性のより正確な測定ため、サンプルは意図的に焦点から外れて配置される。さらに、サンプルの焦点からの距離の関数としてのピークの間の相対的変位は測定可能で、層内のドーパントの集積のような、サンプル上のエピタキシャル層に関する有用な情報を提供する。
さらにあるいは、サンプルが焦点外にあり、回折ピークが遠く離れている時、ビームブロッカは、基板ピークのような強度の強いピークをブロックするように精度よく位置決めされることが可能であり、そののちサンプルは焦点に戻されうる。
非対称モードでは、X線ビームはサンプルに微小角度で入射され、或いはX線ビームは微小角度で検知されうる。本出願の記載において、「微小角度」とはサンプル表面に近い角度を意味し、典型的には表面から10°以内である。微小角度計測は、サンプル表面に平行でない結晶面からの回折を検知するのに有用であり、また例えばエピタキシャル層の緩和の測定に使用可能である。しかしこの方法は、回折が検知されるスポット領域はビーム軸に沿って横長となり、小さな特性に関する回折測定が結果的に歪められる、という欠点がある。この欠点を克服するため、ある本発明の実施形態では、X線ビームのある部分をブロックするビームリミッタがサンプル上のスポットに隣接して配置される。ビームリミッタは、スポットのビーム軸に沿った寸法を減少させ、それにより測定精度を向上させることができる。
(システムの記述)
図1は、本発明の実施形態に基づくサンプル22の高解像度X線回折(HRXRD)のためのシステム20の概略側面図である。以下に記載される実施形態では、サンプル22はシリコンウェハであり、その上にエピタキシャル層が堆積し、システム20のHRXRD能力はエピタキシャル層の特性を解析するのに適用される。しかし、他の実施形態では、システム20は他のタイプの結晶サンプルの解析に使用されうる。さらにあるいは、システム20は、X線反射測定(XR)やX線蛍光(XRF)、小角度X線散乱(SAXS)のような、他のタイプのX線測定を実行するように構成されうる。これらは特許文献1に開示され、その開示内容はここに参照され本発明に採り入れられる。
図1は、本発明の実施形態に基づくサンプル22の高解像度X線回折(HRXRD)のためのシステム20の概略側面図である。以下に記載される実施形態では、サンプル22はシリコンウェハであり、その上にエピタキシャル層が堆積し、システム20のHRXRD能力はエピタキシャル層の特性を解析するのに適用される。しかし、他の実施形態では、システム20は他のタイプの結晶サンプルの解析に使用されうる。さらにあるいは、システム20は、X線反射測定(XR)やX線蛍光(XRF)、小角度X線散乱(SAXS)のような、他のタイプのX線測定を実行するように構成されうる。これらは特許文献1に開示され、その開示内容はここに参照され本発明に採り入れられる。
システム20において、サンプル22は、サンプルの正確な位置と方向決めを可能にする可動ステージ24のような可動装置に搭載される。あるいはさらに、可動装置は変位しシステム内の他の要素をサンプルに対し調整する。X線源26は集束X線ビームをサンプル22のスポット32上に配向する。一般的にX線源26とステージ24は、ビーム30の焦点がサンプル表面のスポット32に正確に位置するように調整される。しかし、場合によっては、(以下で詳述するように)サンプルの高さ(Z軸)はビーム焦点から外される。検出器組立体36はサンプルから回折されたX線の分散ビーム34を検知する。
典型的にX線源26は、ビーム30の焦点を結びかつ単色化する適切な光学系を有するX線チューブ38からなる。ビーム30は、典型的に少なくとも2°の角度をなし、またサンプルを幅広い角度幅で照射するため、光学系により4°またはそれ以上の角度をなす。光学系40は、例えば、チューブ38からの入力ビームの焦点を結びかつ単色化する、曲面の結晶モノクロメータを有してもよい。本文で使用されるX線チューブと光学系のさらに詳細な説明は上記特許文献1および2に記載され、又さらに、ここに参照され採り入れられる特許文献3に記載されている。
検出器組立体36は、典型的にCCDアレイのような検出器アレイ42を有し、検出器アレイは、ビーム34を仰角θの関数として分析するように構成された多重検出器要素を有する。このタイプの検出器組立体はまた、上記特許文献1−3に記載されている。典型的にはアレイ42の角度スパンは、ビーム30の角度スパンに類似する、即ち最低でも2°で場合によって4°またはそれ以上の範囲である。ビームブロッカ48及びビームリミッタ50(ナイフの刃のような)及び/又は他の光学要素が、ビーム30及び/又はビーム34を制限し、また望ましくない散乱照射をブロックするため、使用可能である。この散乱照射はブロックされないとアレイ42に当り回折測定に干渉する。ビームブロッカ48に垂直方向に向いたもう1つのビームブロッカ49は、不望の照射波長をブロックするため使用される。HRXRD測定を向上させるためのこれら要素の使用は以下に詳述される。
X線源26と検出器組立体36の位置は動作組立体44,46によりそれぞれ制御される。簡略した図1において、動作組立体は、X線源と検出器組立体を適切な仰角に、典型的には解析される層のブラッグ角度の近傍に、配置する曲線軌道を有する。あるいは当業者にとって明白な他の適合する動作組立体が使用されてもよい。図1の例では、回折パターンを形成する格子面はサンプル22の表面にほぼ平行であり、ビーム30とビーム34により画定される表面に対する入射角と取り出し角は、共にブラッグ角であると仮定する。(この仮定はシリコンウェハのような半導体基板、およびその基板上に成長するエピタキシャル層に対して多くの場合当てはまる。)或いは、X線源26と検出器組立体36は、サンプル22の表面に平行でない格子面からの回折を測定するため、
例えば図2に示されるように異なる入射角と取り出し角となるように配置されてもよい。
例えば図2に示されるように異なる入射角と取り出し角となるように配置されてもよい。
ある典型的な実施形態では、上記のように、ステージ24はサンプル22の高さ(Z軸)及びサンプル上のスポット32の範囲内にあるX−Y位置を移動し、また、サンプルのビーム30に対する方位角Φと入射角を回転するように構成される。(図1に示すように、サンプル表面をX−Y平面とし、Z軸はサンプル表面に垂直である。θはZ軸に対する仰角である。ΦはZ軸周りの回転の方位角である。)さらにあるいは、これらの位置と角度の調整は、X線源や検出器組立体のような、システム20の他の要素を移動または調整しても達成される。
信号処理装置52は、サンプル22で回折されたX線粒子の流束のスペクトル54を、仰角θの関数として、所与のエネルギー又はエネルギー範囲において、測定するため、検出器組立体36の出力を受信し解析する。典型的には、仰角の関数としてのスペクトル54は、表面層及びその下方の層とサンプル基板による回折効果に特徴的な構造を示す。信号処理装置52は、組成、格子ストレイン(或いは、等価的に緩和)及び/又は所与の層の格子傾斜角、のような、1つ以上のサンプルの層の特性を識別するため、以下に記述する解析手法を使用して、角度スペクトルを解析する。
上述したように、システム20の構成要素及びここに記載される技術は、X線反射測定や散乱測定のような、他のタイプの計測機能性を提供するために使用可能である。さらにあるいは、これらの構成要素及び技術は、半導体ウェハ製造システムのような、生産システムにおける工程監視装置として統合されてもよい。例えば本発明の他の実施形態では、(図示されないが)システム20の構成要素は半導体ウェハ製造装置と統合されて、現場での検査を提供する。典型的には、製造装置は、周知のように、ウェハ上に薄膜を形成する成膜装置を含む真空チャンバを有する。チャンバはX線窓を有し、それはここに参照され、採り入れられる特許文献4に記載されている。X線源組立体26は1つの窓経由でウェハ上のスポット32を照射し、そして検出器組立体36は他の1つの窓経由で散乱X線を受け取る。他の実施形態では、システム20は生産の各工程を実施する他の基地に沿った、クラスター装置の中の1つの基地として構成されてもよい。
図2は、本発明の実施形態に基づく他の非対称構成の概略側面図である。この場合、X線源26はサンプル22を微小角度、例えばサンプル表面から8°の中央ビーム軸で、照射するように動作組立体44により位置決めされる。動作組立体46は、サンプル表面に平行でない格子面からのブラッグ回折を捕捉するため、検出器組立体36を大きな角度、例えば79°、に配置する。この構成は、結晶格子のセル間の間隙をサンプル表面に平行な方向に沿って測定するのに有用であり、従ってエピタキシャル層の緩和の評価に使用可能である。(以下の図5A、5Bに示されるように)
他の実施形態では、図示されないが、ビーム30はサンプル表面を大きな角度で照射し、一方検出器組立体36はサンプルから回折されたX線を捕捉するため微小角度に配置されてもよい。
(ビームブロッカの使用による解像度の向上)
図3Aは、本発明の実施形態に基づくHRXRDシステム20の要素の鳥瞰図であり、ビームブロッカ48の使用を示す。デフォルト位置では、ビームブロッカは図1に示すように引っ込んでいて、入射ビーム30に衝突しない。しかし場合によっては、ビーム内のある角度範囲をブロックすることは有利である。ビームブロッカ48は図3Aに示すように範囲の上方部分をブロックするように配置されるか、又は下方部分をブロックするように配置される。回折されたビームの対応する角度の範囲も同様にカットされ、又は少なくとも減衰される。このビームブロッカの使用は、回折ビームのダイナミックレンジを減少させ、そうしなければ洗い落とされてしまうような強度の弱い特性の検知を促進するため、回折スペクトルの強度の強い成分を減衰するのに有用である。
図3Aは、本発明の実施形態に基づくHRXRDシステム20の要素の鳥瞰図であり、ビームブロッカ48の使用を示す。デフォルト位置では、ビームブロッカは図1に示すように引っ込んでいて、入射ビーム30に衝突しない。しかし場合によっては、ビーム内のある角度範囲をブロックすることは有利である。ビームブロッカ48は図3Aに示すように範囲の上方部分をブロックするように配置されるか、又は下方部分をブロックするように配置される。回折されたビームの対応する角度の範囲も同様にカットされ、又は少なくとも減衰される。このビームブロッカの使用は、回折ビームのダイナミックレンジを減少させ、そうしなければ洗い落とされてしまうような強度の弱い特性の検知を促進するため、回折スペクトルの強度の強い成分を減衰するのに有用である。
図3Bは、本発明の他の実施形態に基づくHRXRDシステム20の要素の概略平面図であり、ビームブロッカ49の使用を示す。X線チューブ38は典型的に多重のX線波長を放射し、それらはCu KalやKa2波長のように、接近している。光学系40(この図では湾曲した結晶モノクロメータとして示されるが)近傍の放射線を完全には除外しない。このようにこの例では、ビームがCu Kal線を有する時、光学系40はまたX線チューブ38からのCu Kal線を隣接するビーム56の中に焦点を結ばせる。システム20の典型的な構成においては、ビーム56の焦点はビーム30の焦点よりほんの少しだけ、1mmより小さい距離だけ、場合によっては0.2mmより小さくずれている。(図では焦点のずれは明確化のため誇張されている。)散乱されたCu Ka2放射は検出器組立体36に到達しHDXRD測定に干渉する。
ビームブロッカ49はこの問題の解決に使用可能である。このビームブロッカは、例えば、垂直(Z)方向に向いた金属ナイフ端を有する。ナイフ端は図3Bに示すように、ビーム56をブロックするように焦点の2−3mm手前に配置される。ビーム56はこの位置では十分にビーム30から分離されており、
従ってビームブロッカ49は所望のビーム30を途中捕捉しない。
従ってビームブロッカ49は所望のビーム30を途中捕捉しない。
図4は、本発明の実施形態に基づくビームブロッカ48の異なる位置で測定されたHRXRDスペクトルを示すグラフ60である。ビームブロッカがビーム30から離されている、ブロックされないスペクトル62は、検査対象ウェハのシリコン基板からのブラッグ回折により、基板ピーク64が卓越している。
この例では、SiGeエピタキシャル層が基板上に形成され、スペクトル62はSiGe層からのブラッグ回折による副ピークを有する。(ピーク64とピーク66の角度の差異はSiGe内のゲルマニウムドーパントの集積を表わす)ピーク64とピーク66の間の中間の角度領域における周辺スペクトル構造70は、ピーク64からこの領域への放射の広がりのため、スペクトル62では見ることが困難である。
この例では、SiGeエピタキシャル層が基板上に形成され、スペクトル62はSiGe層からのブラッグ回折による副ピークを有する。(ピーク64とピーク66の角度の差異はSiGe内のゲルマニウムドーパントの集積を表わす)ピーク64とピーク66の間の中間の角度領域における周辺スペクトル構造70は、ピーク64からこの領域への放射の広がりのため、スペクトル62では見ることが困難である。
この問題を解決するため、スペクトル62でピーク64の位置が確定された後、ビームブロッカ48が入射ビーム30の対応する角度範囲をブロックするように配置される。ビームブロッカは、周辺スペクトル構造70を有する中間領域のブロックを最小化するように正確に位置決めされる。その結果の図4のスペクトル68では、ピーク64は大幅に縮小され、従って周辺スペクトル構造の解像度は向上する。この周辺スペクトル構造の期間と強度はエピタキシャル層の寸法に関する価値ある情報を提供する。
ある実施形態では、信号処理装置52はスペクトル62に基づいてビームブロッカ48を制御する。信号処理装置はピーク64の場所と幅を探すためスペクトルを分析する。その後信号処理装置はピーク64を減衰させるためビームブロッカの望ましい位置を計算し、それに従ってビームブロッカに制御信号を出力する。ビームブロッカは典型的にリニアエンコーダ付きのモータのような、動作制御装置を有し、それは駆動されてビームブロッカを信号処理装置52からの信号に従って位置決めする。図1と図3Aにおいては、ビームブロッカは対称回折モードで図示されているが、ビームブロッカは、同じ目的のため図2にしめされた非対称モードにおいても、同様に使用することができる。
(エピタキシャル層の緩和の測定)
図5Aと図5Bは基板74の上にエピタキシャル層76が形成されるサンプル72と78の断面図をそれぞれ示す。エピタキシャル層76は、例えば、シリコン基板上に形成されたSiGeの薄膜からなってもよい。ゲルマニウムドーパントの添加により、エピタキシャル層76内の単位セル77の体積は基板74の単位セルの体積より大きくなる。(差異は明確化のため誇張されている)サンプル72では、層76は仮晶であり、即ち、層76内の単位セルは下にある層74のセルとのアラインメントを維持するため緊張を与えられている。 しかしサンプル78では、層76のセル77は立方体構造に緩和されていて、下にある層74のセルとのアラインメントを失っている。この種の緩和は、製造工程における不適切な設定の結果であるが、このウェハから製造される半導体デバイスに欠陥をもたらす。従ってエピタキシャル層の緩和を監視し、緩和が検知されたときに製造工程を適切に調整することが重要である。
図5Aと図5Bは基板74の上にエピタキシャル層76が形成されるサンプル72と78の断面図をそれぞれ示す。エピタキシャル層76は、例えば、シリコン基板上に形成されたSiGeの薄膜からなってもよい。ゲルマニウムドーパントの添加により、エピタキシャル層76内の単位セル77の体積は基板74の単位セルの体積より大きくなる。(差異は明確化のため誇張されている)サンプル72では、層76は仮晶であり、即ち、層76内の単位セルは下にある層74のセルとのアラインメントを維持するため緊張を与えられている。 しかしサンプル78では、層76のセル77は立方体構造に緩和されていて、下にある層74のセルとのアラインメントを失っている。この種の緩和は、製造工程における不適切な設定の結果であるが、このウェハから製造される半導体デバイスに欠陥をもたらす。従ってエピタキシャル層の緩和を監視し、緩和が検知されたときに製造工程を適切に調整することが重要である。
緩和を監視する1つの方法は、非対称モードにおいて、基板と当該層に起因する回折ピークの相対位置の変化を測定することである。より正確な結果をもたら他の方法としては、回折スペクトルの周辺スペクトル構造を解析することである。
図6は本発明に基づく、周辺スペクトル構造上のエピタキシャル層の緩和の効果を示すHRXRDスペクトル80、82、84を示すグラフである。スペクトルはシリコン基板上に形成されたSiGe層から対称モードで計測された。基板に起因する強い強度のピークは、上記のように、これらスペクトルからブロックされている。
スペクトル80は、十分に緊張されたSiGe層から得られた。−0.55°とー0.85°との間の周辺スペクトルは明確に見えて、100カウントのオーダーの大きな振幅を有する。一方、十分に緩和された層(SiGe層の単位セルと下にあるシリコン基板の単位セルとの間の寸法変位が約6.6%)から得られたスペクトル84には全く目視可能な周辺スペクトルが存在しない。その中間の事例であるスペクトル82では、SiGe層は緩やかに緩和され(寸法変位が約3%)、周辺スペクトルは目視出来るが、振幅は遥かに減少している。
これらの発見に基づき、信号処理装置52は、エピタキシャル層の緩和の度合いを計算するため、HRXRDスペクトルの周辺スペクトルの振幅を分析してもよい。周辺スペクトルの振幅は、スペクトルのパラメータのモデルへの適合により抽出されてもよい。その結果の適合パラメータは層の緩和の正確な指標となる。周辺スペクトルの期間はエピタキシャル層の厚みを示している。
(非対称モードでの測定精度の向上)
図7,8は本発明に基づく、システム20における非対称モードのHRXRDにおいてビームリミッタの使用を示す。図7はサンプル22の拡大平面図であり、X線ビーム30により形成されるスポット32及びスポットの範囲での ビームリミッタ50の効果を示す。図8はシステム20の構成要素の鳥瞰図であり、サンプル上のスポット範囲を制御するため、ビームリミッタ50がいかにビーム30に挿入されるかを示す。図8では入射ビーム30がサンプル22に微小角度で衝突する構成を示すが、回折ビームがサンプルから微小角度で離反する他の構成においても、ビームリミッタは同様に使用可能である。その他の構成ではビームリミッタは、効果の感度が鋭敏でなくなるという問題点があるが、その構成においてもスポット範囲を制限することが望ましい。
図7,8は本発明に基づく、システム20における非対称モードのHRXRDにおいてビームリミッタの使用を示す。図7はサンプル22の拡大平面図であり、X線ビーム30により形成されるスポット32及びスポットの範囲での ビームリミッタ50の効果を示す。図8はシステム20の構成要素の鳥瞰図であり、サンプル上のスポット範囲を制御するため、ビームリミッタ50がいかにビーム30に挿入されるかを示す。図8では入射ビーム30がサンプル22に微小角度で衝突する構成を示すが、回折ビームがサンプルから微小角度で離反する他の構成においても、ビームリミッタは同様に使用可能である。その他の構成ではビームリミッタは、効果の感度が鋭敏でなくなるという問題点があるが、その構成においてもスポット範囲を制限することが望ましい。
図7においてエピタキシャル層は、サンプル22の表面上の小さなパッド90として形成される。ビーム30の入射角が微小なため、スポット32はパッド90をカバーし、またさらにエピタキシャル層でカバーされない大きな基板上の面積をカバーする。スポット32とパッド90の不適合は以下の少なくとも2つの結果をもたらす。
1)基板に起因するHRXRDスペクトルの強い強度のピーク(図4のピーク64)は、エピタキシャル層に起因するピーク66やその他のスペクトル構造に比較して増大する。
2)スポット32の中心に対するパッド90の変位は、XRDスペクトルにおいてエピタキシャル層ピーク66と基板ピーク64との明確な角度分離を歪める。
1)基板に起因するHRXRDスペクトルの強い強度のピーク(図4のピーク64)は、エピタキシャル層に起因するピーク66やその他のスペクトル構造に比較して増大する。
2)スポット32の中心に対するパッド90の変位は、XRDスペクトルにおいてエピタキシャル層ピーク66と基板ピーク64との明確な角度分離を歪める。
この問題を軽減するため、ビームリミッタ50がスポット32の上方でビーム30に挿入される。例えばビーム制限にナイフ端が使用される場合、図8に示すように、ナイフ端はサンプル22表面から僅かの距離上方に下がられ、ビーム30の上側部分をブロックし、またビーム30の下側部分に起因する回折線をブロックする。代表的な構成では、ナイフ端はサンプル表面から15ミクロン上方に配置される。しかし用途の必要性によっては、それより大きい又は小さい距離が使用されてもよい。ビームリミッタの結果、照射ビームの実効寸法は減少され、検出器組立体36は減少されたスポット92からのみ回折X線を受けとる。この例のスポット92の寸法はY方向(ビーム30の軸線のサンプル表面への投影の方向)に減少され、スポット92はほぼ全体がパッド90の上に収まる。結果として、エピタキシャル層ピーク66の相対強度は回折スペクトルにおいて増大され、エピタキシャル層ピーク66と基板ピーク64との分離の歪みは除去される。
図9は本発明に基づくビームリミッタ94の断面図である。この実施形態ではビームリミッタは、例えば、図に示すように、金属の円筒形状または他の適切な形状の棒から作られる。ロッドを貫通する穴96は、ビーム34の回折X線が検出器組立体に到達することを許容される領域を幾何学的に制限することにより、スポット32の実効寸法を減少させる。入射ビーム30は、8°のような微小角度でビームリミッタ94の下方においてサンプル22に衝突し、一方回折ビーム34は角度74°でサンプルを離反し穴96を貫通する。ビームリミッタは直径約0.4mmで、約40ミクロンの直径の穴を有するが、所望の空間解像度によってはそれより大きい又は小さい穴であってよい。
ビームリミッタ94は、サンプル22が大きな角度で照射され回折ビームが微小角度で検出される非対称微小角度出口モードにおいても、同様に使用可能である。この場合ビームリミッタは入力ビーム30に対して配置され、入射X線は穴96を貫通し、X線が回折されるスポットを画定し制限する。
図10は本発明の実施形態に基づく、HRXRDスペクトルの特性がサンプルの高さに依存することを示すグラフである。このグラフにおいてデータ点98は、シリコンウェハの高さ(Z軸)の関数として非対称モードにおいて測定された、SiGeのエピタキシャル層に起因するエピタキシャル層ピーク66と基板ピーク64との分離(図4に示す)に対応する。Z軸は図1,2に示すように、サンプル表面に直角な方向に向けられ、ステージ24により制御される。Z軸の変更によりサンプル表面は入射ビーム30の焦点に入ったり出たりする。しかし図7に示し上述した一種のスポットずれに起因するピーク分離の変化を防止するため、スポットの横方向(Y軸)位置は実際上ウェハ上で一定に保たれる。ウェハ表面がビーム焦点から外れる(図10においてZ軸値が小さくなる)に従い、エピタキシャル層ピーク66と基板ピーク64との明確な分離は増大する。増大量は、データに適合する直線100で示すように、焦点からのズレの距離(即ちZ軸値)に直線比例する。
図10に示す現象は多くの有益な用途をもたらす。これらの用途のため、直線100のパラメータは既知の特性を有する1つ以上のサンプルを使用して事前に目盛を定められていてもよい。例えば、直線の傾斜と切片は、異なる既知のドーパント集積と緩和度合いのエピタキシャル層を有するサンプルを使用して目盛を定められていてもよい。異なるサンプル高さのHRXRDピーク分離は、その後検査対象の1つのサンプルについて測定され、サンプル特性−エピタキシャル層のドーパント集積と緩和度合いは、高さの関数としてのピーク分離の傾斜(及び場合によって切片)に基づき確認することができる。あるいは、ドーパント集積を測定するため、ピーク分離は対称モード(そこではピーク分離はサンプル高さに感応しない)で最初に測定され、非対称モードでの高さによるピーク分離の変化は、緩和を測定するのに使用することが出来る。
他の実施形態では、非対称モードのサンプルはエピタキシャル層ピーク66と基板ピーク64間の分離を増大させるため、意図的に入射ビームの焦点外の高さに配置される。ピーク間の距離を増大させることは、ピークの間の中間層にある周辺スペクトル構造70のような、エピタキシャル層に随伴する細かい詳細の可視度を増大させるために有益である。
さらに他の実施形態では、サンプル22が焦点外に移動された時の増大したピーク分離は、ビームブロッカ48の位置決めを促進するのに使用できる(図3Aに示すように)。ビームブロッカは基板ピーク64をブロックするようにサンプルの焦点外位置に精密に位置決めされ、ピーク64は完全にブロックされ、一方ピーク近くのスペクトル構造は最小限にブロックされる。その後サンプルは焦点位置に戻され、一方入射ビーム30に対するビームブロッカの位置は不変である。この工程は信号処理装置52の制御のもと、自動的に実行可能である
(逆格子空間マッピング)
図11は、本発明の他の実施形態に基づくHRXRD測定用システム100の側面図である。システム100はシステム20に殆どの点で類似している。図11の特徴は、場合によってはシステム20に統合されうる。従って以下の記述は逆格子空間マッピング(RSM)の作成に使用されるシステム100の特定の構成要素及びこの目的のための使用方法に焦点をあてられる。RSMは既存技術で周知の技術であり、例えば、WoitokとKarchenko著「ファースト逆格子空間マッピングに向けて」X線分析の進歩 48、165−169頁に記載されており、それはここに参照され、採り入れられる。しかし図11に示される実施形態は、精密な空間解像度(60ミクロンのオーダーの)と高速なデータ収集という利点を提供する。
図11は、本発明の他の実施形態に基づくHRXRD測定用システム100の側面図である。システム100はシステム20に殆どの点で類似している。図11の特徴は、場合によってはシステム20に統合されうる。従って以下の記述は逆格子空間マッピング(RSM)の作成に使用されるシステム100の特定の構成要素及びこの目的のための使用方法に焦点をあてられる。RSMは既存技術で周知の技術であり、例えば、WoitokとKarchenko著「ファースト逆格子空間マッピングに向けて」X線分析の進歩 48、165−169頁に記載されており、それはここに参照され、採り入れられる。しかし図11に示される実施形態は、精密な空間解像度(60ミクロンのオーダーの)と高速なデータ収集という利点を提供する。
この実施形態では、X線方向に向くスリット102は、集束ビーム30を狭い角度範囲に制限する。精密モータ駆動のようなスキャン機構104は、ビーム30を横切ってスリットをスキャンする。このように、ビーム30の角度範囲内の入射角の連なりの其々は、図1の実施形態のように全角度範囲を一度にサンプリングするのではなく、個別にサンプリングされる。各入射各に対し、検出器組立体36は、検知器アレイ42が受けたビーム34の回折X線強度を角度の関数として、取り出し角度全体に亘って感知する。
このように、信号処理装置52はそれぞれの入射/取り出し角度のペアに対する測定された回折強度を含む、3次元(3D)のデータ組を収集する。信号処理装置52はこれらのデータを、逆格子空間マッピングとして知られる3次元グラフに表示してもよい。この種の表示法は、サンプル22の表面が幾何学的に歪められた場合のようなあるタイプの複合結晶構造の解析に有益である。
上記の方法は明確化のため、特にシステム20の構成要素と、あるタイプのシリコンウェハサンプルと、エピタキシャル層に関しているが、これらの方法の概念は他のタイプのサンプルや他のHRXRDシステム構成にも同様に適用可能である。上記の実施形態は例示として引用され、本発明は上記で特に図示され記述されたものに限定されない。むしろ本発明の範囲は、上記に記載された種々の特徴の組合せ及びサブ組合せ及び、当業者が上記記載を読んだ時に想到される、従来技術にない本発明の変化形や修正形を含む。
20:システム 22:サンプル 24:可動ステージ
26:X線源 30:ビーム 32:スポット
34:ビーム 36:検出器組立体 38:X線チューブ
40:光学系 42:検出器アレイ 44,46:動作組立体
48,49:ビームブロッカ 50:ビームリミッタ
52:信号処理装置
26:X線源 30:ビーム 32:スポット
34:ビーム 36:検出器組立体 38:X線チューブ
40:光学系 42:検出器アレイ 44,46:動作組立体
48,49:ビームブロッカ 50:ビームリミッタ
52:信号処理装置
Claims (56)
- 分析の方法であって、
X線の集束ビームをそれぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層からなるサンプルの表面に配向するステップと、
前記第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと前記第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを少なくとも有する第1の回折スペクトルを生成するため、前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に、前記検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
ビームブロッカを、前記第1の回折ピークを含む角度範囲をブロックするため、前記集束ビーム内に配置するステップと、
前記第1の回折ピークが少なくとも部分的にブロックされている時に、少なくとも前記第2の回折ピークを有する第2の回折スペクトルを生成するため、前記ビームブロッカが集束ビーム内に配置されている時に、前記サンプルから回折された前記X線を検知するステップと、
少なくとも前記第2の結晶層の特性を識別するため、少なくとも前記第2の回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法。 - 前記X線を検知するステップは、仰角の範囲に亘り同時に前記X線を捕捉し解析するように構成された、要素を持つ検知器アレイを配置するステップを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記仰角の範囲は少なくとも2°である、ことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記第2の結晶層は前記第1の結晶層の上にエピタキシャルに積層される、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の結晶層は半導体基板からなり、前記第2の結晶層はドープされた半導体からなる、ことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記半導体基板はシリコンウェハからなり、前記第2の結晶層はSiGeエピタキシャル層からなる、ことを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記少なくとも前記第2の回折スペクトルを分析するステップは、前記第2の回折スペクトル内の前記第1の回折ピークの近傍に現れる周辺パターンを分析するステップを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記ビームブロッカを配置するステップは、前記第1の回折ピークの角度範囲を同定するため、自動的に前記第1の回折スペクトルを分析するステップと、前記同定された範囲をカバーするため前記ビームブロッカを移動するステップと、を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記X線の集束ビームは焦点を持ち、
前記X線を検知し前記第1の回折スペクトルを生成するステップは、前記第1と前記第2の回折ピークの分離を増大させるため、前記サンプルを前記焦点外に移動させるステップを有し、
前記ビームブロッカを配置するステップは、前記サンプルが焦点外にある時に前記ビームブロッカの位置を調整し、その後第2の回折スペクトルを生成するため前記サンプルを焦点内に移動させるステップを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記X線を検知し前記第1の回折スペクトルを生成するステップは、前記サンプルを前記焦点外に移動させるステップと、少なくとも前記第1の回折スペクトルを非対称回折モードで捕獲するステップと、を有することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記X線の集束ビームを配向するステップは、単色の第1のビームを第1の波長でモノクロメータを使用して生成するステップを有し、
ここにおいて前記第1のビームは前記サンプル上の焦点に集束し、
前記方法は、前記モノクロメータにより第2の波長で生成された第2のビームを、前記第1のビームに隣接した焦点手前の位置でブロックするステップを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 分析の方法であって、
焦点を有するX線の集束ビームをそれぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層からなるサンプルの表面に配向するステップと、
前記第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと前記第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを少なくとも有する第1の回折スペクトルを生成するため、前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に、前記検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
前記第1と前記第2の回折ピークの分離を増大させるため、前記サンプルを前記焦点外に移動するステップと、
少なくとも前記第2の結晶層の特性を識別するため前記回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法。 - 前記集束ビーム内の前記X線は入射角の範囲に亘って前記サンプルに衝突し、
ここにおいて前記X線を検知するステップは、前記X線を非対称モードで検知するステップを有し、前記X線は前記サンプルから前記入射角とは異なる取り出し角で回折される、ことを特徴とする請求項12に記載の方法。 - 前記第2の結晶層は前記第1の結晶層の上にエピタキシャルに積層され、前記回折スペクトルを分析するステップは、前記第2の結晶層の前記第1の結晶層に対する緩和を検知するステップを有する、ことを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記X線の集束ビームは前記サンプルの表面のスポットに衝突し、
前記方法は、前記スポットの寸法を減少させるため、X線の一部をブロックするように前記スポットに隣接する位置にビームリミッタを配置するステップを有する、ことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - 前記サンプルを移動するステップは、前記分離を前記サンプルの前記焦点からの距離の関数として測定するステップを有する、ことを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記回折スペクトルを分析するステップは、前記第2の結晶層内のドーパントの集積を、前記分離の前記サンプルと前記焦点との距離に対する関数的依存性に基づいて発見するステップを有する、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 分析の方法であって、
X線の集束ビームをエピタキシャル層がその上に形成されたサンプルの表面のスポットに、入射角の範囲に亘って衝突するように配向するステップと、
前記スポットの寸法を減少させるため、前記X線の一部をブロックするように前記スポットに隣接する位置にビームリミッタを配置するステップと、
非対称モードで前記スポットから回折された前記X線を検知し、
ここにおいて前記X線は前記サンプルから前記入射角とは異なる取り出し角で回折され、
同時に、回折スペクトルを生成するため検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
前記エピタキシャル層の特性を同定するため前記回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法。 - 前記ビームリミッタは、前記スポットの上方で前記表面と平行に配置されるナイフ端を有する、ことを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記ビームリミッタは前記X線が貫通する通路に構成された穴を有し、前記スポットの寸法は前記穴の寸法により決定される、ことを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記入射角は微小角度の範囲内である、ことを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記取り出し角は微小角度の範囲内である、ことを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 分析の方法であって、
X線の集束ビームをエピタキシャル層がその上に形成されたサンプルの表面に配向するステップと、
1つの回折ピークと前記エピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有するスペクトルを生成するため、前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に、前記検知されたX線を角度の関数として解析するステップと、
前記エピタキシャル層の緩和を測定するため前記周辺スペクトルの特性を分析するステップと、
を有することを特徴とする方法。 - 前記特性を分析するステップは、前記周辺スペクトルの振幅を評価するステップを有し、ここにおいて前記振幅の減少は前記緩和の増加を示唆する、ことを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 前記サンプルは結晶基板からなり、
前記集束ビームを配向するステップは、
基板回折ピークを含む角度範囲をブロックし、同時に、前記ブロックされた角度範囲に隣接する角度において前記周辺スペクトルの検知を促進するため、ビームブロッカを前記集束ビームの中に配置するステップを有する、
ことを特徴とする請求項23に記載の方法。 - 分析の方法であって、
X線の集束する単色の第1の波長の第1のビームを結晶サンプルの表面上の焦点に配向するステップと、
第2の波長の第2のビームを前記第1のビームに隣接し前記焦点の手前の位置においてブロックするステップと、
前記サンプルの回折スペクトルを生成するため、前記サンプルから回折されたX線を検知し、同時に、検知された前記X線を角度の関数として解析するステップと、
前記サンプルの特性を同定するため、前記回折スペクトルを分析するステップと、
を有することを特徴とする方法。 - 前記第1のビームを配向するステップは、入射X線ビームを湾曲した結晶モノクロメータを使用して焦点を結ばせるステップを有し、前記モノクロメータは、前記第2のビームも生成する、ことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 分析の方法であって、
X線の集束するビームを結晶サンプルの表面上の焦点に配向するステップと、
前記ビーム内のX線を前記ビームの角度範囲に亘る連続する入射角度で前記サンプルに入射させるため、前記集束するビームを横断してスリットをスキャンするステップと、
それぞれの入射角に対して回折データを生成するため、それぞれの入射角において、前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に、前記検知されたX線を取り出し角の関数として解析するステップと、
前記サンプルからの逆格子回折空間マップを生成するため、前記入射角に対する前記回折データを前記角度範囲に亘って組み合わせるステップと、
を有することを特徴とする方法。 - 分析装置であって、
X線源と、
前記X線源は、X線の集束するビームを、それぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それにより前記X線は前記サンプルから回折され、少なくとも前記第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと前記第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
前記検知器組立体は前記サンプルから回折された前記X線を検知し、一方検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
ビームブロッカと、
前記ビームブロッカは、前記第1の回折ピークを含む角度範囲をブロックするため、前記集束ビーム内に配置されるように構成され、
処理装置と、
前記処理装置は、前記回折スペクトルに基づいて少なくとも前記第2の層の特性を同定するため、前記第1の回折ピークを含む前記角度範囲がブロックされている間に、前記検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置。 - 前記検知器組立体は、仰角の範囲に亘って同時にX線を捕捉し解析するように構成される要素を持つ検知器アレイを有する、ことを特徴とする請求項29に記載の装置。
- 前記仰角の範囲は少なくとも2°である、ことを特徴とする請求項30に記載の装置。
- 前記第2の結晶層は前記第1の結晶層の上にエピタキシャルに積層される、ことを特徴とする請求項29に記載の装置。
- 前記第1の結晶層は半導体基板からなり、前記第2の結晶層はドープされた半導体からなる、ことを特徴とする請求項32に記載の装置。
- 前記半導体基板はシリコンウェハからなり、前記第2の結晶層はSiGeエピタキシャル層からなる、ことを特徴とする請求項33に記載の装置。
- 前記処理装置は、前記回折スペクトル内の前記第1の回折ピークの近傍に現れる周辺パターンを分析するように構成される、ことを特徴とする請求項29に記載の装置。
- 前記ビームブロッカは、前記第1の回折ピークを含む角度範囲をブロックしないように位置決めされ、
前記処理装置は、前記第1の回折ピークの角度範囲を同定し、前記同定された角度範囲をカバーするために前記ビームブロッカの位置を移動させるため、前記第1の回折ピークを含む角度範囲がブロックされない時に、前記回折スペクトルを分析するように構成される、
ことを特徴とする請求項29に記載の装置。 - 前記X線の集束ビームは焦点を持ち、
前記装置は動作機器を有し、
前記動作機器は、前記第1と前記第2の回折ピークの分離を増大させるため、前記サンプルを前記焦点外に移動させるように構成され、
前記ビームブロッカは、前記サンプルが焦点外にある時に前記第1の回折ピークがブロックされる位置に調整され、前記サンプルが前記回折スペクトルを生成するため焦点内に移動される時に前記位置を維持するように構成される、ことを特徴とする請求項29に記載の装置。 - 前記X線源と前記検知器組立体は、非対称回折モードにおいて前記回折スペクトルを生成するように位置決め可能であり、前記非対称回折モードにおいて前記第1と前記第2の回折ピークの分離は、前記サンプルが前記焦点から外に移動するにつれて増加する、ことを特徴とする請求項37に記載の装置。
- 前記X線源はモノクロメータを有し、
前記集束するビームは、前記モノクロメータで生成される第1の波長の単色の第1のビームを有し、
ここにおいて前記第1のビームは前記サンプル上の焦点に集束し、
前記装置は、更なるビームブロッカを有し、
前記更なるビームブロッカは、前記モノクロメータにより第2の波長で生成された第2のビームを、前記第1のビームに隣接した焦点手前の位置でブロックするように構成される、ことを特徴とする請求項29に記載の装置。 - 分析装置であって、
X線源と、
前記X線源は、X線の集束するビームを、それぞれ異なる結晶特性の第1と第2の結晶層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それにより前記X線は前記サンプルから回折され、少なくとも前記第1の結晶層に起因する第1の回折ピークと前記第2の結晶層に起因する第2の回折ピークを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
前記検知器組立体は、前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に、検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
動作機器と、
前記動作機器は、前記第1と前記第2の回折ピークの分離を増大させるため、前記サンプルを前記焦点外に移動するように構成され、
処理装置と、
前記処理装置は、前記サンプルが前記焦点外に移動されている間、前記回折スペクトルに基づいて少なくとも前記第2の層の特性を同定するため、前記検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置。 - 前記集束するビーム内のX線は前記サンプルに入射角の範囲に亘って衝突し、
前記X線源と前記検知器組立体は、非対称回折モードにおいて前記回折スペクトルを生成するように位置決め可能であり、
前記X線は前記サンプルから前記入射角とは異なる取り出し角で回折され、
前記処理装置は、非対称モードにおいて、前記サンプルが前記焦点外に移動されている時に、前記回折スペクトルを受信し分析するように構成される、
ことを特徴とする請求項40に記載の装置。 - 前記第2の結晶層は前記第1の結晶層の上にエピタキシャルに積層され、
前記処理装置は前記第1の層に対する前記第2の層の緩和を前記回折スペクトルに基づいて測定するように構成される、ことを特徴とする請求項41に記載の装置。 - 前記X線の前記集束するビームは前記サンプルの前記表面のスポットに衝突し、
前記装置はビームリミッタを有し、
前記ビームリミッタは、前記スポットの寸法を減少させるため、前記X線の一部を前記スポットに隣接する位置でブロックするように位置決め可能である、ことを特徴とする請求項41に記載の装置。 - 前記処理装置は、前記第1と前記第2の回折ピークの分離を、前記サンプルの前記焦点からの距離の関数として測定するように構成される、ことを特徴とする請求項40に記載の装置。
- 前記処理装置は、前記分離の前記サンプルと前記焦点との距離に対する関数的依存性に基づいて、前記第2の層内のドーパントの集積を発見するように構成される、ことを特徴とする請求項44に記載の装置。
- 分析装置であって、
X線源と、
前記X線源は、X線の集束するビームをエピタキシャル層をその上に有するサンプルの表面のスポットに、入射角の範囲に亘って衝突するように配向するように構成され、それにより前記X線は前記サンプルから回折されて回折スペクトルを生成し、
ビームリミッタと、
前記ビームリミッタは、前記スポットの寸法を減少させるため、前記X線の一部を前記スポットに隣接する位置においてブロックするように構成され、
検知器組立体と、
前記検知器組立体は、非対称モードにおいて、前記スポットから回折された前記X線を検知するように構成され、
ここに前記X線は前記サンプルから前記入射角とは異なる取り出し角で回折され、
同時に、検知されたX線を角度の関数として解析し、
処理装置と、
前記処理装置は、前記回折スペクトルに基づいてエピタキシャル層の特性を同定するため、前記検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置。 - 前記ビームリミッタは、前記スポットの上方で前記表面と平行に配置されるナイフ端を有する、ことを特徴とする請求項46に記載の装置。
- 前記ビームリミッタは前記X線が貫通する通路に構成された穴を有し、前記スポットの寸法は前記穴の寸法により決定される、ことを特徴とする請求項46に記載の装置。
- 前記入射角は微小角度の範囲内である、ことを特徴とする請求項46に記載の装置。
- 前記取り出し角は微小角度の範囲内である、ことを特徴とする請求項46に記載の装置。
- 分析装置であって、
X線源と、
前記X線源は、X線の集束するビームを、その上に形成されたエピタキシャル層を持つサンプルの表面上に配向するように構成され、
それにより前記X線は前記サンプルから回折され、1つの回折ピークと前記エピタキシャル層に起因する周辺スペクトルを有する回折スペクトルを生成し、
検知器組立体と、
前記検知器組立体は、前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
前記処理装置は、前記周辺スペクトルの特性に基づいて前記エピタキシャル層の緩和を測定するため、前記検知器組立体の出力を受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置。 - 前記処理装置は、前記周辺スペクトルの振幅を評価するように構成され、ここにおいて前記振幅の減少は前記緩和の増加を示唆する、ことを特徴とする請求項51に記載の装置。
- 前記サンプルは結晶基板からなり、
前記装置はビームブロッカを有し、
前記ビームブロッカは、基板回折ピークを含む角度範囲をブロックすると同時に前記ブロックされた角度範囲に隣接する角度で前記周辺スペクトルの検知を促進するため、前記集束するビーム内に配置可能である、
ことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 分析装置であって、
X線源と、
前記X線源は、集束する単色の第1の波長の第1のX線ビームを、結晶サンプルの表面上の焦点に配向するように構成され、
ビームブロッカと、
前記ビームブロッカは、第2の波長の第2のビームを、前記第1のビームに隣接しかつ焦点の手前でブロックするために位置決めされるように構成され、
検知器組立体と、
前記検知器組立体は、前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に、前記結晶サンプルの回折スペクトルを生成するため、検知されたX線を角度の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
前記処理装置は、前記サンプルの特性を同定するため、前記回折スペクトルを受信し処理するように接続され、
を有することを特徴とする装置。 - 前記X線源は、
入力X線ビームを生成するように構成されたX線チューブと、
前記第1および前記第2のビームを生成する曲面の結晶モノクロメータと、
を有する、ことを特徴とする請求項54に記載の装置。 - 分析装置であって、
X線源と、
前記X線源は、集束するX線ビームを、結晶サンプルの表面上の焦点に配向するように構成され、
スリットと、
前記スリットは、前記ビーム内のX線を前記ビームの角度範囲に亘る連続する入射角度で前記サンプルに入射させるため、前記集束するビームに亘ってスキャンするように構成され、
検知器組立体と、
前記検知器組立体は、それぞれの入射角に対して回折データを生成するため、それぞれの入射角において前記サンプルから回折された前記X線を検知し、同時に前記検知されたX線を取り出し角の関数として解析するように構成され、
処理装置と、
前記処理装置は、
前記サンプルからの逆格子回折空間マップを生成するため、前記入射角に対する前記回折データを前記角度範囲に亘って組み合わせるように構成され、
を有することを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/683,436 | 2010-01-07 | ||
US12/683,436 US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2010-01-07 | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011141267A true JP2011141267A (ja) | 2011-07-21 |
Family
ID=44224694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010233976A Pending JP2011141267A (ja) | 2010-01-07 | 2010-10-18 | 高感度の高解像度x線回折測定 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8243878B2 (ja) |
JP (1) | JP2011141267A (ja) |
KR (1) | KR101275528B1 (ja) |
TW (1) | TWI518315B (ja) |
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- 2010-01-07 US US12/683,436 patent/US8243878B2/en active Active
- 2010-10-04 TW TW099133742A patent/TWI518315B/zh active
- 2010-10-18 JP JP2010233976A patent/JP2011141267A/ja active Pending
- 2010-11-03 KR KR1020100108488A patent/KR101275528B1/ko active IP Right Grant
-
2012
- 2012-07-12 US US13/547,073 patent/US8731138B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022533281A (ja) * | 2018-07-05 | 2022-07-22 | ブルカー テクノロジーズ リミテッド | 小角x線散乱計測計 |
JP7308233B2 (ja) | 2018-07-05 | 2023-07-13 | ブルカー テクノロジーズ リミテッド | 小角x線散乱計測計 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120281814A1 (en) | 2012-11-08 |
US20110164730A1 (en) | 2011-07-07 |
KR101275528B1 (ko) | 2013-06-20 |
KR20110081031A (ko) | 2011-07-13 |
US8731138B2 (en) | 2014-05-20 |
TW201140044A (en) | 2011-11-16 |
TWI518315B (zh) | 2016-01-21 |
US8243878B2 (en) | 2012-08-14 |
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