JPH06273357A - 結晶欠陥評価装置 - Google Patents
結晶欠陥評価装置Info
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- JPH06273357A JPH06273357A JP5057315A JP5731593A JPH06273357A JP H06273357 A JPH06273357 A JP H06273357A JP 5057315 A JP5057315 A JP 5057315A JP 5731593 A JP5731593 A JP 5731593A JP H06273357 A JPH06273357 A JP H06273357A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 Ｘ線源２から複数種類の特性Ｘ線χ0 を出力
し、そのうちの１種χ1をモノクロメータ３により選定
して試料ｓに入射させる。試料ｓからの全反射Ｘ線χ2
の強度をカウンタ５により計測し、回折Ｘ線χ3 はカウ
ンタ６により計測する。これらの計測データを制御装置
８が取込み、評価処理に使用する。ステージ１は試料ｓ
の結晶方位を可変とすべく回転駆動される。Ｘ線管陰極
としては、モザイクターゲット、組立てターゲット、部
分メッキが施されたターゲット、合金製ターゲット、気
相成長で作成したターゲット等の各種のターゲットを採
用可能である。 【効果】 Ｓｉ結晶方位精度に関係なくその特性Ｘ線を
適切に選択することにより全反射条件とブラッグ条件と
を同時に満たすことが可能となる。
し、そのうちの１種χ1をモノクロメータ３により選定
して試料ｓに入射させる。試料ｓからの全反射Ｘ線χ2
の強度をカウンタ５により計測し、回折Ｘ線χ3 はカウ
ンタ６により計測する。これらの計測データを制御装置
８が取込み、評価処理に使用する。ステージ１は試料ｓ
の結晶方位を可変とすべく回転駆動される。Ｘ線管陰極
としては、モザイクターゲット、組立てターゲット、部
分メッキが施されたターゲット、合金製ターゲット、気
相成長で作成したターゲット等の各種のターゲットを採
用可能である。 【効果】 Ｓｉ結晶方位精度に関係なくその特性Ｘ線を
適切に選択することにより全反射条件とブラッグ条件と
を同時に満たすことが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線を用いた結晶欠陥評
価装置に関するものである。
価装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路素子の微細化、高集積化
につれて結晶表面の低密度結晶欠陥（転位、ＯＳＦ、析
出物）の分布評価が重要となってきている。そのための
評価法としては、結晶表面を非破壊で評価できるＸ線回
折ベルクバレット法が注目されており、特に入射Ｘ線を
全反射条件で入射した場合、表面より１０ナノメータ
（以下、この単位に関しｎｍを代用表記とする。）程度
のごく浅い部分の評価が可能となり、その意味で注目に
価するものである。
につれて結晶表面の低密度結晶欠陥（転位、ＯＳＦ、析
出物）の分布評価が重要となってきている。そのための
評価法としては、結晶表面を非破壊で評価できるＸ線回
折ベルクバレット法が注目されており、特に入射Ｘ線を
全反射条件で入射した場合、表面より１０ナノメータ
（以下、この単位に関しｎｍを代用表記とする。）程度
のごく浅い部分の評価が可能となり、その意味で注目に
価するものである。
【０００３】ＭＯＳＬＳＩ用Ｓｉウェーハでは（１０
０）面が主に用いられているが、このＳｉ（１００）ウ
ェーハを全反射条件を用いたＸ線回折ベルクバレット法
で評価するにあたってはＳＯＲ−Ｘ線等の強力な白色Ｘ
線をモノクロメータにより単色化して用いている。
０）面が主に用いられているが、このＳｉ（１００）ウ
ェーハを全反射条件を用いたＸ線回折ベルクバレット法
で評価するにあたってはＳＯＲ−Ｘ線等の強力な白色Ｘ
線をモノクロメータにより単色化して用いている。
【０００４】ところで、評価装置の小形化のためには回
転対陰極等より発生する特性Ｘ線を用いる必要がある。
転対陰極等より発生する特性Ｘ線を用いる必要がある。
【０００５】Ｓｉ（１００）ウェーハの場合、ＷＬβ線
を用い、ブラッグ反射として（４２２）反射を用いるこ
とにより、試料に入射するＸ線と試料表面との角度を全
反射臨界角以下にできるため有効である。
を用い、ブラッグ反射として（４２２）反射を用いるこ
とにより、試料に入射するＸ線と試料表面との角度を全
反射臨界角以下にできるため有効である。
【０００６】しかし、現実のＳｉ（１００）ウェーハの
表面方位精度は±１°であり、全反射臨界角がほぼ０．
２°であるため、全反射条件とブラッグ条件とを同時に
満たさない場合が起こるという問題があり、早期解決が
要望されている。
表面方位精度は±１°であり、全反射臨界角がほぼ０．
２°であるため、全反射条件とブラッグ条件とを同時に
満たさない場合が起こるという問題があり、早期解決が
要望されている。
【０００７】なお、Ｓｉウェーハの加工精度を上げ、表
面方位精度を上げることも考えられるが今の技術では困
難であり、評価装置での対策が望まれていた。
面方位精度を上げることも考えられるが今の技術では困
難であり、評価装置での対策が望まれていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように従来のＸ線
を用いた評価装置では、Ｓｉウェーハの表面方位精度が
Ｘ線の全反射臨界角より大きいために、全反射条件とブ
ラッグ条件とを同時に満たさない場合を生ずるという問
題がある。
を用いた評価装置では、Ｓｉウェーハの表面方位精度が
Ｘ線の全反射臨界角より大きいために、全反射条件とブ
ラッグ条件とを同時に満たさない場合を生ずるという問
題がある。
【０００９】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところはＳｉウェ
ーハの表面方位精度に左右されずに全反射条件とブラッ
グ条件とを同時に満たすことが可能な結晶欠陥評価装置
を提供することにある。
みてなされたもので、その目的とするところはＳｉウェ
ーハの表面方位精度に左右されずに全反射条件とブラッ
グ条件とを同時に満たすことが可能な結晶欠陥評価装置
を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の結晶欠陥評価装
置は、複数種の特性Ｘ線を発生するＸ線源と、上記複数
種の特性Ｘ線のうちの１種を選定して試料に入射させる
特定波長Ｘ線取出し手段とを備えている。
置は、複数種の特性Ｘ線を発生するＸ線源と、上記複数
種の特性Ｘ線のうちの１種を選定して試料に入射させる
特定波長Ｘ線取出し手段とを備えている。
【００１１】試料の向きを変えるために、試料を回転可
能なステージに設置するのが望ましい。
能なステージに設置するのが望ましい。
【００１２】Ｘ線源となるＸ線管陰極としては、モザイ
クターゲット、組立てターゲット、部分メッキが施され
たターゲット、合金製ターゲット、気相成長で作成した
ターゲット等の各種のターゲットを採用することができ
る。
クターゲット、組立てターゲット、部分メッキが施され
たターゲット、合金製ターゲット、気相成長で作成した
ターゲット等の各種のターゲットを採用することができ
る。
【００１３】特定波長Ｘ線取出し手段としてはモノクロ
メータあるいはＸ線フィルタを採用することができる。
メータあるいはＸ線フィルタを採用することができる。
【００１４】さらに、例えば、試料表面からの反射Ｘ線
強度を計測する第１の計測手段と、上記試料からのブラ
ッグ回折Ｘ線強度を計測する第２の計測手段とを備える
ことにより結晶欠陥評価用のデータを得ることができ
る。
強度を計測する第１の計測手段と、上記試料からのブラ
ッグ回折Ｘ線強度を計測する第２の計測手段とを備える
ことにより結晶欠陥評価用のデータを得ることができ
る。
【００１５】
【作用】本発明によれば、複数種の特性Ｘ線の中から１
つの波長を選定して使用するようにしているため、Ｓｉ
結晶方位精度に関係なくその特性Ｘ線を適切に選択する
ことにより全反射条件とブラッグ条件とを同時に満たす
ようにすることが可能となる。
つの波長を選定して使用するようにしているため、Ｓｉ
結晶方位精度に関係なくその特性Ｘ線を適切に選択する
ことにより全反射条件とブラッグ条件とを同時に満たす
ようにすることが可能となる。
【００１６】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。
つつ説明する。
【００１７】図１は本発明の一実施例に係る装置の概略
構成を示すものである。特に図１（Ａ）は評価装置のシ
ステム構成全般を示し、図１（Ｂ）はＸ線ベルグバレッ
ト法での入射Ｘ線、回折Ｘ線、試料の配置を示すもので
ある。
構成を示すものである。特に図１（Ａ）は評価装置のシ
ステム構成全般を示し、図１（Ｂ）はＸ線ベルグバレッ
ト法での入射Ｘ線、回折Ｘ線、試料の配置を示すもので
ある。
【００１８】まず図１（Ｂ）を参照すると、θB は入射
Ｘ線χ1 と試料ｓの回折格子面とがなす角度（つまり、
ブラッグ角）、φは入射Ｘ線χ1 と試料ｓ表面とのなす
角度、θは試料ｓ表面と同回折格子面とのなす角度、ｒ
は試料ｓの回転角度である。θB 、φ、θにはφ＝θB
−θの関係があり、φが全反射臨界角φc 以下であれ
ば、全反射が起こり、試料表面のみの評価が可能とな
る。
Ｘ線χ1 と試料ｓの回折格子面とがなす角度（つまり、
ブラッグ角）、φは入射Ｘ線χ1 と試料ｓ表面とのなす
角度、θは試料ｓ表面と同回折格子面とのなす角度、ｒ
は試料ｓの回転角度である。θB 、φ、θにはφ＝θB
−θの関係があり、φが全反射臨界角φc 以下であれ
ば、全反射が起こり、試料表面のみの評価が可能とな
る。
【００１９】Ｓｉ（１００）でＷＬβ線（４２２）を用
いる場合にはφ＝０．０６°となり、φ＜φc となり、
試料ｓ表面の評価が可能ではあるが、Ｓｉウェーハの表
面方位精度が±１°であるため、θが±１°だけ試料に
より異なることとなり、試料によって全反射を起こさな
い場合が出てくる。
いる場合にはφ＝０．０６°となり、φ＜φc となり、
試料ｓ表面の評価が可能ではあるが、Ｓｉウェーハの表
面方位精度が±１°であるため、θが±１°だけ試料に
より異なることとなり、試料によって全反射を起こさな
い場合が出てくる。
【００２０】そこで、本発明では種々の特性Ｘ線を用い
ることによりθB を変え、全反射とブラッグ反射とを同
時に起こさせるようにする。Ｓｉ（１００）で（４２
２）反射を用いる場合はＰｂＬα、ＡｓＫα、ＯｓＬ
β、ＴｉＬα、ＧａＫβ、ＷＬβ、ＲｅＬβ、ＧｅＫ
α、ＡｕＬαを用い、入射Ｘ線の波長を１．１７５Ａ°
から１．２７６Ａ°の範囲に変えることによりθB を
３．３°の範囲で変化させる。実際の装置ではφ＜０．
５°であれば、試料表面欠陥評価は充分に行える。用い
る特性Ｘ線の波長とθB 、φの値は下記表１に記載した
ものである。
ることによりθB を変え、全反射とブラッグ反射とを同
時に起こさせるようにする。Ｓｉ（１００）で（４２
２）反射を用いる場合はＰｂＬα、ＡｓＫα、ＯｓＬ
β、ＴｉＬα、ＧａＫβ、ＷＬβ、ＲｅＬβ、ＧｅＫ
α、ＡｕＬαを用い、入射Ｘ線の波長を１．１７５Ａ°
から１．２７６Ａ°の範囲に変えることによりθB を
３．３°の範囲で変化させる。実際の装置ではφ＜０．
５°であれば、試料表面欠陥評価は充分に行える。用い
る特性Ｘ線の波長とθB 、φの値は下記表１に記載した
ものである。
【００２１】
【表１】 ブラッグ条件を合わせる場合、θB を変化させる通常の
方法では「φ＋θ」を変化させるため、φが変化し、全
反射条件が変化してしまうため本発明ではφを固定し、
ｒを変えることにより実効的にθB を変化させてブラッ
グ条件を合わせる。ブラック条件を合せる場合、回折Ｘ
線強度を測定し、ブラック条件を合せても良いし、試料
表面より反射した反射Ｘ線強度を測定しても良い。
方法では「φ＋θ」を変化させるため、φが変化し、全
反射条件が変化してしまうため本発明ではφを固定し、
ｒを変えることにより実効的にθB を変化させてブラッ
グ条件を合わせる。ブラック条件を合せる場合、回折Ｘ
線強度を測定し、ブラック条件を合せても良いし、試料
表面より反射した反射Ｘ線強度を測定しても良い。
【００２２】図２はＸ線強度のｒ依存性を示すものであ
る。
る。
【００２３】ブラッグ条件で入射Ｘ線と回折Ｘ線とのな
す面が試料表面と垂直の場合は図２（Ａ）に示すように
ピークＰA が一つとなり、垂直でない場合は同図（Ｂ）
のようにピークＰB が二つになる。回折Ｘ線χ3 の方向
をほぼ一定とするためには図２（Ａ）の条件が良いこと
となる。入射Ｘ線の波長及び角度φを変えることにより
図２（Ａ）の条件は実現できる。
す面が試料表面と垂直の場合は図２（Ａ）に示すように
ピークＰA が一つとなり、垂直でない場合は同図（Ｂ）
のようにピークＰB が二つになる。回折Ｘ線χ3 の方向
をほぼ一定とするためには図２（Ａ）の条件が良いこと
となる。入射Ｘ線の波長及び角度φを変えることにより
図２（Ａ）の条件は実現できる。
【００２４】次に、図１（Ａ）において、１はＳｉウェ
ーハからなる試料ｓを載置するためのステージであり、
このステージ１はＸＹ方向に水平駆動されるとともに、
回転駆動され、その回転により試料ｓをその表面の法線
回りに回転させ、結晶方位を変え、結晶格子面（仮想線
Ｌ）とその入射Ｘ線との角度を変化させることが可能と
されている。
ーハからなる試料ｓを載置するためのステージであり、
このステージ１はＸＹ方向に水平駆動されるとともに、
回転駆動され、その回転により試料ｓをその表面の法線
回りに回転させ、結晶方位を変え、結晶格子面（仮想線
Ｌ）とその入射Ｘ線との角度を変化させることが可能と
されている。
【００２５】２はＸ線陰極管を形成するＸ線源であり、
電子ビームＢの入射により複数種の波長を持った特性Ｘ
線χ0 を出力する。このＸ線源２は例えばモザイクター
ゲット、組立てターゲット、部分メッキが施されたター
ゲット、合金製ターゲット、気相成長で作成したターゲ
ット等により構成され、上記表１に記載の特性Ｘ線を発
生する。
電子ビームＢの入射により複数種の波長を持った特性Ｘ
線χ0 を出力する。このＸ線源２は例えばモザイクター
ゲット、組立てターゲット、部分メッキが施されたター
ゲット、合金製ターゲット、気相成長で作成したターゲ
ット等により構成され、上記表１に記載の特性Ｘ線を発
生する。
【００２６】３はモノクロメータであって、Ｘ線源２か
らの複数種の特性Ｘ線χ0 のうち１種類の特性Ｘ線χ1
を出力するもので、このモノクロメータ３の回折格子面
を矢印ｒ1 で示すように回転させることで回折波長が変
わり、これによって、取出される特性Ｘ線の波長を変え
ることができる。モノクロメータ３からの特性Ｘ線χ1
はスリット４を通してステージ１上の試料ｓに入射させ
る。このスリット４は特性Ｘ線χ1 以外の波長成分が試
料ｓに入射するのを防ぐためのものである。つまり、モ
ノクロメータ３からの正規の回折格子面からの特性Ｘ線
χ1 以外に外囲器等に当たって反射したＸ線をも空間に
発散している。これが、試料ｓに入射した場合、誤差要
因となるため、スリット４は特性Ｘ線χ1 の入射経路だ
けを確保し、その他の入射経路を遮断する役割を果たす
ものである。この特性Ｘ線χ1 は上記ステージ１のＸＹ
方向の駆動によって試料ｓ表面における入射位置が変え
られ、それにより試料ｓ表面の全域にわたり特性Ｘ線を
入射させることができるようになっている。
らの複数種の特性Ｘ線χ0 のうち１種類の特性Ｘ線χ1
を出力するもので、このモノクロメータ３の回折格子面
を矢印ｒ1 で示すように回転させることで回折波長が変
わり、これによって、取出される特性Ｘ線の波長を変え
ることができる。モノクロメータ３からの特性Ｘ線χ1
はスリット４を通してステージ１上の試料ｓに入射させ
る。このスリット４は特性Ｘ線χ1 以外の波長成分が試
料ｓに入射するのを防ぐためのものである。つまり、モ
ノクロメータ３からの正規の回折格子面からの特性Ｘ線
χ1 以外に外囲器等に当たって反射したＸ線をも空間に
発散している。これが、試料ｓに入射した場合、誤差要
因となるため、スリット４は特性Ｘ線χ1 の入射経路だ
けを確保し、その他の入射経路を遮断する役割を果たす
ものである。この特性Ｘ線χ1 は上記ステージ１のＸＹ
方向の駆動によって試料ｓ表面における入射位置が変え
られ、それにより試料ｓ表面の全域にわたり特性Ｘ線を
入射させることができるようになっている。
【００２７】χ2 は試料ｓからの全反射Ｘ線、χ3 は試
料ｓからのブラッグ反射した回折Ｘ線、５，６はＸ線カ
ウンタであり、Ｘ線カウンタ５は反射Ｘ線χ2 の強度に
応じてカウント動作し、そのカウント値はＸ線χ2 の強
さを示すものとなる。Ｘ線カウンタ６は回折Ｘ線χ3 の
強度に応じてカウント動作するもので、その出力カウン
ト値はＸ線χ3 の強度を示すものとなる。回折Ｘ線χ3
の強度は結晶格子欠陥の程度に比例して大きくなるもの
で、Ｘ線カウンタ６へのＸ線χ3 の経路にはフィルム７
が設けられ、回折Ｘ線χ3 はＸ線カウンタ６に加えてフ
ィルム７にも入射され、その入射強度がフィルム７の感
光度として反映されるようになっている。このフィルム
７はステージ１のＸＹ移動に同期して平行移動され、フ
ィルム７の各局部位置が試料ｓ表面の局部位置に対応さ
せられ、フィルム７上には試料ｓの格子欠陥の分布が現
れるようになっている。
料ｓからのブラッグ反射した回折Ｘ線、５，６はＸ線カ
ウンタであり、Ｘ線カウンタ５は反射Ｘ線χ2 の強度に
応じてカウント動作し、そのカウント値はＸ線χ2 の強
さを示すものとなる。Ｘ線カウンタ６は回折Ｘ線χ3 の
強度に応じてカウント動作するもので、その出力カウン
ト値はＸ線χ3 の強度を示すものとなる。回折Ｘ線χ3
の強度は結晶格子欠陥の程度に比例して大きくなるもの
で、Ｘ線カウンタ６へのＸ線χ3 の経路にはフィルム７
が設けられ、回折Ｘ線χ3 はＸ線カウンタ６に加えてフ
ィルム７にも入射され、その入射強度がフィルム７の感
光度として反映されるようになっている。このフィルム
７はステージ１のＸＹ移動に同期して平行移動され、フ
ィルム７の各局部位置が試料ｓ表面の局部位置に対応さ
せられ、フィルム７上には試料ｓの格子欠陥の分布が現
れるようになっている。
【００２８】８は制御装置であり、この制御装置８は、
ステージ１、Ｘ線源２、モノクロメータ３、Ｘ線カウン
タ５，６の動作制御（ステージ１の駆動制御、Ｘ線源２
における出力部のシャッタ開閉制御、モノクロメータ３
の回転制御等）や評価処理全般のシーケンス制御を司る
他、カウンタ５，６の出力をデータとして、特にカウン
タ５の出力を基にしてＸ線χ1 の波長が試料ｓ面の評価
用として適切か否かの評価、そして適切な波長のＸ線χ
1 選定を行い、その後、カウンタ６の出力を基にして試
料ｓの結晶欠陥の評価を行う。
ステージ１、Ｘ線源２、モノクロメータ３、Ｘ線カウン
タ５，６の動作制御（ステージ１の駆動制御、Ｘ線源２
における出力部のシャッタ開閉制御、モノクロメータ３
の回転制御等）や評価処理全般のシーケンス制御を司る
他、カウンタ５，６の出力をデータとして、特にカウン
タ５の出力を基にしてＸ線χ1 の波長が試料ｓ面の評価
用として適切か否かの評価、そして適切な波長のＸ線χ
1 選定を行い、その後、カウンタ６の出力を基にして試
料ｓの結晶欠陥の評価を行う。
【００２９】このように複数種の特性Ｘ線の中から１つ
の波長を選定して使用するようにしているため、Ｓｉ結
晶方位精度に関係なくその特性Ｘ線の選定次第で全反射
条件とブラッグ条件とを同時に満たすようにすることが
可能となる。それにより、従来とは異なりＳｉ（１０
０）の表面方位誤差の全範囲に亘っての試料表面の極小
密度欠陥について評価が可能となる。つまり、従来は、
表面方位のずれが大きい場合に全反射条件とブラッグ反
射条件とを同時に満足させることができず、入射Ｘ線が
試料内部にまで入る条件で評価を行ったため、内部の結
晶欠陥（酸素析出等）の影響により表面の極小密度欠陥
の評価ができず、表面方位のずれが、せいぜい±０．４
°の範囲でしか良好な評価が行えなかった。これに対
し、本発明では±１．０°の全範囲での評価が可能にな
る。下記表２は実際に評価試験を行って見た結果を従来
技術と比較して示すものである。
の波長を選定して使用するようにしているため、Ｓｉ結
晶方位精度に関係なくその特性Ｘ線の選定次第で全反射
条件とブラッグ条件とを同時に満たすようにすることが
可能となる。それにより、従来とは異なりＳｉ（１０
０）の表面方位誤差の全範囲に亘っての試料表面の極小
密度欠陥について評価が可能となる。つまり、従来は、
表面方位のずれが大きい場合に全反射条件とブラッグ反
射条件とを同時に満足させることができず、入射Ｘ線が
試料内部にまで入る条件で評価を行ったため、内部の結
晶欠陥（酸素析出等）の影響により表面の極小密度欠陥
の評価ができず、表面方位のずれが、せいぜい±０．４
°の範囲でしか良好な評価が行えなかった。これに対
し、本発明では±１．０°の全範囲での評価が可能にな
る。下記表２は実際に評価試験を行って見た結果を従来
技術と比較して示すものである。
【００３０】
【表２】 さらに本発明によれば、従来条件よりも正確にブラッグ
条件に合わせることが可能になり、一層の測定精度向上
が可能となった。
条件に合わせることが可能になり、一層の測定精度向上
が可能となった。
【００３１】そして、結晶表面のみの極小欠陥評価が実
用ウェーハに対し、数ｍ2 の大きさの小型評価装置で可
能になる。従来のＳＯＲを使う場合、数百ｍ四方以上の
場所が必要なことを考えると本発明の効果がより明解に
わかる。
用ウェーハに対し、数ｍ2 の大きさの小型評価装置で可
能になる。従来のＳＯＲを使う場合、数百ｍ四方以上の
場所が必要なことを考えると本発明の効果がより明解に
わかる。
【００３２】なお、本発明では、入射Ｘ線の波長をモノ
クロメータにより変えるため入射Ｘ線、回折Ｘ線の方向
・位置がずれることになるが、波長の変化分がわずかの
ため、実質上の問題はない。
クロメータにより変えるため入射Ｘ線、回折Ｘ線の方向
・位置がずれることになるが、波長の変化分がわずかの
ため、実質上の問題はない。
【００３３】また、モノクロメータはＳｉ（４２２）反
射を用いたが他の条件でも差支えない。入射Ｘ線の単波
長化にはモノクローメータ以外にＸ線フィルタを用いて
も実施例と同等の効果が得られる。
射を用いたが他の条件でも差支えない。入射Ｘ線の単波
長化にはモノクローメータ以外にＸ線フィルタを用いて
も実施例と同等の効果が得られる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数種の特性Ｘ線の中から１つの波長を選定して使用する
ようにしているため、Ｓｉ結晶方位精度に関係なくその
特性Ｘ線の選定次第で全反射条件とブラッグ条件とを同
時に満たすようにすることが可能となる。これにより、
Ｓｉ（１００）について言えばその表面方位誤差の全範
囲に亘っての試料表面の極小密度欠陥に関し、評価が可
能となる。また、本発明によれば、従来条件よりも正確
にブラッグ条件に合わせることが可能になり、一層の測
定精度向上が可能となった。そして、実用ウェーハに関
する結晶表面のみの極小欠陥評価が回転対陰極等で発生
する特性Ｘ線で可能になるため、評価装置全体を数ｍ2
オーダに小形化することが可能となる。
数種の特性Ｘ線の中から１つの波長を選定して使用する
ようにしているため、Ｓｉ結晶方位精度に関係なくその
特性Ｘ線の選定次第で全反射条件とブラッグ条件とを同
時に満たすようにすることが可能となる。これにより、
Ｓｉ（１００）について言えばその表面方位誤差の全範
囲に亘っての試料表面の極小密度欠陥に関し、評価が可
能となる。また、本発明によれば、従来条件よりも正確
にブラッグ条件に合わせることが可能になり、一層の測
定精度向上が可能となった。そして、実用ウェーハに関
する結晶表面のみの極小欠陥評価が回転対陰極等で発生
する特性Ｘ線で可能になるため、評価装置全体を数ｍ2
オーダに小形化することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る結晶欠陥評価装置の概
略構成を示す概念図。
略構成を示す概念図。
【図２】入射Ｘ線に対する試料ｓの結晶格子の向きと全
反射Ｘ線及び回折Ｘ線の強度との関係を示すグラフ。
反射Ｘ線及び回折Ｘ線の強度との関係を示すグラフ。
１ ステージ ２ Ｘ線源 ３ モノクロメータ ４ スリット ５，６ Ｘ線カウンタ ７ フィルム ８ 制御装置 ｂ 電子ビーム ｓ 試料 χ0 Ｘ線源２からの放射Ｘ線 χ1 モノクロメータ３からの放射Ｘ線（試料ｓへの入
射Ｘ線） χ2 試料ｓからの全反射Ｘ線 χ3 試料ｓからの回折Ｘ線
射Ｘ線） χ2 試料ｓからの全反射Ｘ線 χ3 試料ｓからの回折Ｘ線
Claims (3)
- 【請求項１】複数種の特性Ｘ線を発生するＸ線源と、 前記複数の特性Ｘ線のうちの１種を選定して試料に入射
させる特定波長Ｘ線取出し手段と、 前記試料を設置するための回転可能なステージと、 前記試料表面からの反射Ｘ線強度を計測する第１の計測
手段と、 前記試料からのブラッグ回折Ｘ線強度を計測する第２の
計測手段とを備えていることを特徴とする結晶欠陥評価
装置。 - 【請求項２】Ｘ線源としてモザイクターゲット、組立て
ターゲット、部分メッキが施されたターゲット、合金製
ターゲット、気相成長で作成したターゲットの１つを備
えていることを特徴とする請求項１及び２のうちいずれ
か１項記載の結晶欠陥評価装置。 - 【請求項３】特定波長Ｘ線取出し手段としてモノクロメ
ータあるいはＸ線フィルタを備えていることを特徴とす
る請求項１，２のうちいずれか１項記載の結晶欠陥評価
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5057315A JPH06273357A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 結晶欠陥評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5057315A JPH06273357A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 結晶欠陥評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273357A true JPH06273357A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13052142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5057315A Pending JPH06273357A (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 結晶欠陥評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06273357A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08159992A (ja) * | 1994-09-27 | 1996-06-21 | Technos:Kk | 表面欠陥評価装置 |
| JP2006091017A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd | 組み合わされたｘ線反射率計及び回折計 |
| US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
| US8437450B2 (en) | 2010-12-02 | 2013-05-07 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Fast measurement of X-ray diffraction from tilted layers |
| WO2013108876A1 (ja) * | 2012-01-18 | 2013-07-25 | 株式会社リガク | Ｘ線回折装置 |
| US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
| US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
| CN110057850A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-07-26 | 北京科技大学 | 一种金属构件表面涂层缺陷的x射线无损检测装置及方法 |
-
1993
- 1993-03-17 JP JP5057315A patent/JPH06273357A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08159992A (ja) * | 1994-09-27 | 1996-06-21 | Technos:Kk | 表面欠陥評価装置 |
| JP2006091017A (ja) * | 2004-09-21 | 2006-04-06 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd | 組み合わされたｘ線反射率計及び回折計 |
| US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
| US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
| US8693635B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-08 | Jordan Valley Semiconductor Ltd. | X-ray detector assembly with shield |
| US8437450B2 (en) | 2010-12-02 | 2013-05-07 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Fast measurement of X-ray diffraction from tilted layers |
| WO2013108876A1 (ja) * | 2012-01-18 | 2013-07-25 | 株式会社リガク | Ｘ線回折装置 |
| US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
| CN110057850A (zh) * | 2019-05-10 | 2019-07-26 | 北京科技大学 | 一种金属构件表面涂层缺陷的x射线无损检测装置及方法 |
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