JP2011018923A5 - - Google Patents

Claims (24)

1. 搬送チャンバであって、
   少なくとも一の処理チャンバと少なくとも一のロードロックチャンバに連結される側壁部を有し、少なくとも一の処理チャンバと少なくとも一のロードロックチャンバの間で基板を搬送するために用いられるロボットの少なくとも一部を収容するための本体部と、
   搬送チャンバの本体部の上部に連結されてこれを封止するために用いられる蓋部と、
   搬送チャンバの本体部の底部に連結されてこれを封止するために用いられるドーム型底部とを備え、ドーム型底部は本体部の半径より大きな曲率半径を有するドーム領域を含む搬送チャンバ。
2. 本体部は、円筒形内壁部と、ロードロックチャンバと処理チャンバの少なくとも一に連結されて用いられる複数の平坦領域を有する外壁部とを備えた請求項１記載の搬送チャンバ。
3. 本体部は材料の単一体から機械加工される請求項２記載の搬送チャンバ。
4. 本体部はアルミニウムを含む請求項３記載の搬送チャンバ。
5. 本体部の側壁部は約２インチの最小厚さを有する請求項４記載の搬送チャンバ。
6. 蓋部は実質的に平坦である請求項１記載の搬送チャンバ。
7. 蓋部はドーム型である請求項１記載の搬送チャンバ。
8. ドーム型底部は材料の単一体から機械加工される請求項１記載の搬送チャンバ。
9. ドーム型底部はステンレス鋼を含む請求項８記載の搬送チャンバ。
10. ドーム型底部は約０．６２５インチの最小厚さを有する請求項９記載の搬送チャンバ。
11. ドーム型底部は、蓋部とドーム型底部の中心部の間の垂直距離が蓋部とドーム型底部の外側端部の間の垂直距離より大きな凹型構造を有している請求項１記載の搬送チャンバ。
12. 搬送チャンバであって、
    少なくとも一の処理チャンバと少なくとも一のロードロックチャンバに連結される側壁部を有し、少なくとも一の処理チャンバと少なくとも一のロードロックチャンバの間で基板を搬送するために用いられるロボットの少なくとも一部を収容するため本体部と、
    搬送チャンバの本体部の上部に連結されてこれを封止するために用いられる蓋部と、
    搬送チャンバの本体部の底部に連結されてこれを封止するために用いられるドーム型底部とを備え、ドーム型底部は本体部の半径より大きな曲率半径を有するドーム領域を含む搬送チャンバと、
    搬送チャンバの本体部に連結された少なくとも一の処理チャンバと、
    搬送チャンバの本体部に連結された少なくとも一のロードロックチャンバと、
    ドーム型底部を介して搬送チャンバ内に少なくとも部分的に延伸しているロボットであって、搬送チャンバを介して少なくとも一の処理チャンバと少なくとも一のロードロックチャンバの間で基板を搬送するために用いられるロボットを備えた真空処理システム。
13. 本体部は、円筒形内壁部と、ロードロックチャンバと処理チャンバの少なくとも一と連結されて用いられる複数の平坦領域を有する外壁部とを備えた請求項１２記載のシステム。
14. 搬送チャンバの本体部は材料の単一体から機械加工される請求項１３記載のシステム。
15. 搬送チャンバの本体部はアルミニウムを含む請求項１４記載のシステム。
16. 搬送チャンバの本体部の側壁部は約２インチの最小厚さを有する請求項１５記載のシステム。
17. 搬送チャンバの蓋部は実質的に平坦である請求項１２記載のシステム。
18. 搬送チャンバの蓋部はドーム型である請求項１２記載のシステム。
19. 搬送チャンバのドーム型底部は材料の単一体から機械加工される請求項１２記載のシステム。
20. 搬送チャンバのドーム型底部はステンレス鋼を含む請求項１９記載のシステム。
21. 搬送チャンバのドーム型底部は約０．６２５インチの最小厚さを有する請求項２０記載のシステム。
22. 搬送チャンバのドーム型底部は、搬送チャンバの蓋部とドーム型底部の中心部の間の垂直距離が蓋部とドーム型底部の外側端部の間の垂直距離より大きな凹型構造を有している請求項１２記載のシステム。
23. 少なくとも一の処理チャンバを少なくとも一のロードロックチャンバに連結するために用いられる搬送チャンバのドーム型底部を形成する方法であって、
    材料を選択し、
    材料からドーム型底部を形成することを含み、
    ドーム型底部は、搬送チャンバの本体部の底部に合致し、これを封止するサイズの外径を有し、ドーム型底部は、本体部の半径より大きな曲率半径を有するドーム領域と、搬送チャンバに連結された少なくとも一のロードロックチャンバと少なくとも一の処理チャンバの間で基板を搬送するために用いられるロボットの少なくとも一部を収容するサイズの直径の穴部を有する方法。
24. 材料はステンレス鋼である請求項２３記載の方法。