PL220339B1 - Przenośna walizka próżniowa z wziernikiem - Google Patents

Przenośna walizka próżniowa z wziernikiem

Info

Publication number
PL220339B1
PL220339B1 PL399921A PL39992112A PL220339B1 PL 220339 B1 PL220339 B1 PL 220339B1 PL 399921 A PL399921 A PL 399921A PL 39992112 A PL39992112 A PL 39992112A PL 220339 B1 PL220339 B1 PL 220339B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
vacuum chamber
vacuum
suitcase
sight
sample
Prior art date
Application number
PL399921A
Other languages
English (en)
Other versions
PL399921A1 (pl
Inventor
Janusz Sobczak
Aleksander Jabłoński
Włodzimierz Kutner
Krzysztof Noworyta
Andreas Glenz
Original Assignee
Inst Chemii Fizycznej Polskiej Akademii Nauk
Instytut Chemii Fizycznej Polskiej Akademii Nauk
Prevac Spółka Z Ograniczoną Opdowiedzialnością
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Chemii Fizycznej Polskiej Akademii Nauk, Instytut Chemii Fizycznej Polskiej Akademii Nauk, Prevac Spółka Z Ograniczoną Opdowiedzialnością filed Critical Inst Chemii Fizycznej Polskiej Akademii Nauk
Priority to PL399921A priority Critical patent/PL220339B1/pl
Priority to EP13174926.9A priority patent/EP2685490A1/en
Publication of PL399921A1 publication Critical patent/PL399921A1/pl
Publication of PL220339B1 publication Critical patent/PL220339B1/pl

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/004—Sight-glasses therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67356—Closed carriers specially adapted for containing chips, dies or ICs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Packages (AREA)
  • Purses, Travelling Bags, Baskets, Or Suitcases (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest przenośna walizka próżniowa przeznaczona do przenoszenia i badania próbek w warunkach próżni.
Z oferty firmy PREVAC, firmy ULVAC-PHI czy firmy TECTRA znane są przenośne walizki próżniowe zbudowane z mobilnej komory próżniowej wyposażonej w zawór, zespół zamykający oraz dołączonej komory pompowej z odpowiednio umieszczonym zaworem. Zestaw ten umożliwia wypompowanie powietrza z komory próżniowej. Komora próżniowa służy do przechowywania w niej interesującego obiektu pod próżnią. Warunków próżniowych mogą wymagać np. płytki półprzewodników czy inne substraty w procesie ich obróbki lub charakteryzowania. Z kolei śluza służy jako komora pompowa przy wkładaniu lub wyjmowaniu obiektu do lub z mobilnej komory próżniowej.
Podobne rozwiązania znane są z amerykańskiego zgłoszenia wynalazku nr US 2006 102237 A1 i z patentu USA nr US 6168364 B1, a także ze zgłoszenia międzynarodowego wynalazku nr WO 2004 001817 A1. Przedstawione tam urządzenia obejmują komory próżniowe i elementy umożliwiające utrzymanie próżni, takie jak zamknięcia, zawory lub pompy. Ponadto każde z tych urządzeń zawierać może zespół transportowy służący do umieszczania próbki wewnątrz komory próżniowej.
Przenośne walizki próżniowe służą do dogodnego przenoszenia próbek lub obiektów (np. płytek półprzewodników czy innych substratów) w warunkach próżni pomiędzy urządzeniami służącymi do ich obróbki lub badania. W typowym zastosowaniu, walizkę podłącza się poprzez śluzę do urządzenia (może to być urządzenie służące do obróbki lub charakteryzowania próbki - np. spektrometr, mikroskop czy też komora technologiczna, itp.), odpompowuje się powietrze ze śluzy i przenosi próbkę przeznaczoną do obróbki lub badania pomiędzy komorą próżniową walizki a wspomnianym urządzeniem (stosownie do potrzeb). Po dokonaniu badań lub obróbki, próbka - w analogicznej procedurze ponownie umieszczana jest w walizce próżniowej, aby można ją było przenieść w inne miejsce.
Aby poddać próbkę badaniu w urządzeniu próżniowym (np. w spektrofotometrze odbiciowym podczerwieni) posługując się walizkami próżniowymi znanymi w stanie obecnej techniki należy koniecznie przełożyć próbkę z walizki do urządzenia pomiarowego a po wykonaniu pomiarów - przełożyć próbkę z powrotem do walizki.
Żadna ze znanych walizek próżniowych nie umożliwia wykonania badań bez przekładania umieszczonych wewnątrz próbek do urządzenia służącego do ich obróbki lub badania.
Dlatego celem obecnego wynalazku jest skonstruowanie i wykonanie przenośnej walizki próżniowej z wziernikami specjalnie przystosowanej do zarówno łatwego transportowania jak i badania próbek znajdujących się wewnątrz komory próżniowej tej walizki bez konieczności wyjmowania i przekładania tych próbek w inne miejsce.
Zgodnie z wynalazkiem, przenośna walizka próżniowa, obejmująca mobilną komorę próżniową i pierwszy zawór jako zespół zamykający, charakteryzuje się tym, że w obudowie komory próżniowej umieszczony jest wziernik lub/i wzierniki.
Korzystnie, wziernik lub/i wzierniki umieszczone są pod kątem umożliwiającym pomiar promieniowania odbitego od powierzchni badanej próbki. Te kąty mogą być dedykowane również i do innych technik pomiarowych.
Korzystnie, wzierniki wykonane są z materiałów przepuszczalnych dla promieniowania podczerwonego i światła widzialnego, np. z KBr. Te wzierniki mogą być wykonane również z innych materiałów w przypadku innych technik pomiarowych, np. CuBe, Al.
Korzystnie, komora próżniowa wyposażona jest w stację przechwytującą nośnik próbek do transportu próbki z lub do komory próżniowej.
Korzystnie, walizkę według wynalazku można dołączyć do komory pompowej lub śluzy poprzez odpowiedni zespół mocująco-przyłączeniowy i odpompować z niej gaz poprzez drugi zawór.
Korzystnie, walizka według wynalazku jest przystosowana do łączenia z mobilną pompą próżniową zasilaną z gniazda elektrycznego samochodu lub innego źródła zasilania.
Korzystnie, do komory próżniowej walizki według wynalazku przyłączona jest pompa jonowa zasilana z gniazda elektrycznego napięcia zmiennego 230 V lub napięcia stałego 12 V lub 24 V.
Korzystnie, komora próżniowa ma jeden wziernik lub dwa wzierniki umieszczone naprzeciw siebie w sposób umożliwiający przejście wiązki promieniowania na wylot przez komorę próżniową.
Dzięki walizce próżniowej z wziernikami według wynalazku nie ma konieczności przekładania próbki z komory próżniowej walizki do spektrofotometru lub innego urządzenia pomiarowego, ponieważ dzięki wziernikom/oknom pomiary można wykonać na próbce pozostającej wewnątrz komory
PL 220 339 B1 próżniowej walizki. Wiązka promieniowania służącego do badania próbki pada na próbkę poprzez wziernik/okno. W przypadku badania promieniowania odbitego - wiązka odbita od próbki wychodzi przez ten sam wziernik wlotowy lub przez drugi wziernik - wylotowy i może być poddana analizie. Drugi wziernik znajduje się po przeciwnej stronie przenośnej komory próżniowej w stosunku do pierwszego wziernika. W przypadku badania promieniowania przechodzącego - wiązka wchodzi przez wziernik wlotowy, przechodzi przez próbkę, a następnie wychodzi przez wziernik wylotowy i może zostać poddana analizie. Wzierniki - wlotowy i wylotowy - mogą również być wykorzystane w taki sposób, że wziernik wlotowy pracuje jako wylotowy a wylotowy jako wlotowy.
Korzystny przykład wykonania wynalazku
Wynalazek jest bliżej przedstawiony w korzystnym przykładzie wykonania mobilnej komory próżniowej zwanej walizką próżniową zastosowanej do badań w połączeniu ze spektrometrem podczerwieni, co zostało przedstawione na załączonym rysunku, na którym:
fig. 1 przedstawia wynalazek w rzucie izometrycznym w połączeniu z resztą układu systemu technologiczno-pomiarowego (układu próżniowego analitycznego/technologicznego), fig. 2 przedstawia wynalazek w rzucie izometrycznym samej walizki próżniowej, fig. 3 przedstawia wynalazek w rzucie z boku, fig. 4 przedstawia wynalazek w rzucie z boku w przekroju, fig. 5 przedstawia wynalazek w rzucie z góry, fig. 6 przedstawia samą walizkę próżniową według wynalazku widoczną na fig. 1-5, podłączoną do spektrofotometru podczerwieni, która jest umocowana na dedykowanym uchwycie; a) - widok z góry, b) - widok perspektywiczny, zaś fig. 7 przedstawia widma w podczerwieni, zarejestrowane w trybie od biciowo-absorbcyjnym pod kątem padania wiązki promieniowania 87°, cienkiej warstwy (krzywa 1) polimeru molekularnie niewdrukowanego, (krzywa 2) polimeru molekularnie wdrukowanego adrenaliną (krzywa 3) polimeru wdrukowanego po ekstrakcji szablonu adrenaliny za pomocą 0,1 M CH3COOH, oraz (krzywa 4) polimeru wdrukowanego po ekstrakcji szablonu adrenaliny za pomocą 0,01 M NaOH. Widma zarejestrowano z zastosowaniem walizki próżniowej z wziernikami według wynalazku.
Na rysunkach 1 - 6 zastosowano następujące oznaczenia: 1 - mobilna komora próżniowa, 2 wziernik wlotowy, 3 - wziernik wylotowy, 4 - mobilna pompa, 5 - pierwszy zawór sprzężony z walizką próżniową, 6 - komora pompowa lub śluza, 7 - drugi zawór, odcinający system pompowy lub śluzowy, 8 - głowica próżniowa, 9 - trzeci zawór odcinający komorę transferową, 10 - transfer nośników próbek z i do aparatury próżniowej, SP - spektrofotometr IR.
P r z y k ł a d 1
W przykładzie wykonania, przenośna walizka próżniowa z wziernikami ma wszystkie potrzebne elementy do pomiarów za pomocą spektrofotometru podczerwieni.
Walizka próżniowa w tym konkretnym przykładzie wykonana jest w postaci cylindrycznej ze stali nierdzewnej, o średnicy 63 mm. Może być wykonana również jako element prostokątny lub kwadratowy z materiałów innych, np. z aluminium, tytanu, itp. w zależności od wymaganych pól magnetycznych czy też odporności fizyko-chemicznej. Wymiary mogą zależeć od wielkości substratów czy uwarunkowań aparaturowych. Uszczelnienia w konkretnym przypadku wykonane są z elastomerów oraz uszczelek miedzianych typu CF. Również i tu mogą one być wykonane w inny sposób używając innych materiałów. W tym konkretnym przypadku zastosowano zawór komercyjny, można jednak zastosować również zintegrowany i dedykowany zawór, który będzie optymalizował funkcję tego urządzenia. W zależności od zastosowanych uszczelnień oraz możliwości odpompowania mogą być uzyskiwane próżnie w pełnym zakresie wysokiej próżni (ang. high vacuum - HV) oraz ultrawysokiej próżni (ang. ultrahigh vacuum - UHV).
P r z y k ł a d 2
W przykładzie tym przedstawiono zastosowania przenośnej walizki próżniowej z wziernikami do pomiarów absorbancji warstw polimerów wdrukowanych molekularnie za pomocą odbiciowo-adsorbcyjnej spektroskopii w podczerwieni (ang. infrared reflection-absorption spectroscopy - IRRAS). W tym celu przygotowano cienkie (ok. 30 nm) warstwy polimeru wdrukowanego adrenaliną za pomocą polimeryzacji elektrochemicznej na płytce szklanej pokrytej warstwą złota, zgodnie z metodą opisaną w polskim zgłoszeniu wynalazku nr P-398219 z dnia 24.02.2012 r. Dwie z przygotowanych próbek poddano ekstrakcji, jedną za pomocą 0,01 M NaOH, a drugą za pomocą 0,1 M CH3COOH. Dla porównania, w identyczny sposób, przygotowano również warstwę polimeru niewdrukowanego. Tak osadzone cienkie warstwy tych polimerów zbadano za pomocą spektroskopii fotoelektronów (ang.
PL 220 339 B1
X-ray photoelectron spectroscopy - XPS) w warunkach wysokiej próżni w celu określenia efektywności ekstrakcji adrenaliny. Następnie próbki te były montowane w uchwycie wewnątrz przenośnie] walizki próżniowej z wziernikami według wynalazku w taki sposób, aby powierzchnia próbki była umieszczona w osi optycznej wziernika wlotowego. W celu przeprowadzenia niniejszych pomiarów, w walizce założone były wzierniki z bromku potasu zapewniające wysoką przepuszczalność światła w zakresie podczerwieni. Następnie walizka wraz z próbką mocowana była w dedykowanym uchwycie komory pomiarowej modułu PMA50 (Bruker Optics, Germany), jak to schematycznie pokazano na fig. 6. Orientacja walizki w uchwycie komory pomiarowej może być różna od tej pokazanej na fig. 6. W szczególności może to być orientacja pionowa lub pozioma, stosownie do konstrukcji walizki i uchwytu. Moduł PMA50 przyłączony był do spektrofotometru Vertex80v firmy Bruker Optics sterowanego za pomocą oprogramowania OPUS 6.5 tej samej firmy. Tak umocowana walizka próżniowa obracana była wokół swojej głównej osi w taki sposób, aby kąt padania wiązki promieniowania IR, o polaryzacji p, na próbkę wynosił 87°. Walizka była następnie unieruchamiana w tej pozycji. Odbita od próbki wiązka promieniowania IR wychodziła przez wziernik wylotowy i trafiała do chłodzonego ciekłym azotem detektora MCT (ang. mecrury cadmium telluride) modułu PMA50.
W tak przygotowanym układzie pomiarowym zarejestrowano najpierw widmo IRRAS złoconej płytki szklanej bez warstwy polimeru, które służyło jako widmo odniesienia. Następnie zarejestrowano widmo polimeru molekularnie wdrukowanego adrenaliną przed ekstrakcją, po ekstrakcji adrenaliny za pomocą 0,1 M CH3COOH, po ekstrakcji adrenaliny za pomocą 0,01 M NaOH oraz polimeru niewdrukowanego (odpowiednio, krzywa 2, 3, 4 i 1 na fig. 7). Wszystkie widma zarejestrowano w zakresie -1 liczb falowych od 4000 do 600 cm-1. Widma polimerów, po odjęciu tła, pokazane są na fig. 7. Na wid-1 mach wyraźnie widoczne są piki przy 804 i 691 cm-1 odpowiadające drganiom deformacyjnym wiązań
C-S-C i rozciągającym wiązań C-S, charakterystycznych dla polimerów tiofenowych. W widmach wy-1 różnić można również piki przy 1383 cm-1 charakterystyczne dla drgań -CH2- w eterze koronowym -1 jednego z monomerów funkcyjnych oraz pasma między 1640 a 1720 cm-1 odpowiadające drganiom -C=O w grupie karboksylowej obecnej w drugim z monomerów funkcyjnych. Wyniki te potwierdzają obecność obu monomerów funkcyjnych we wszystkich osadzonych warstwach polimerów. Zgodnie z wynikami przeprowadzonych obliczeń kwantowomechanicznych, obecność piku przy 952 cm-1 w widmie polimeru wdrukowanego adrenaliną przypisać można złożonemu drganiu układu adrenalina-eter koronowy. Występowanie tego piku potwierdza obecność adrenaliny w warstwie polimeru wdrukowanego. Co istotne, pik ten nie jest widoczny ani w widmie warstwy polimeru niewdrukowanego, ani w widmach warstw polimerów po ekstrakcji adrenaliny. Wynik ten wskazuje również na wyczerpujące usuwanie adrenaliny z warstwy polimeru w wyniku zastosowania każdej z dwóch procedur ekstrakcji.
Ciekawe, że w trakcie ekstrakcji adrenaliny za pomocą 0,01 M NaOH pik charakterystyczny dla drgań -1 grupy -COOH, który w widmie polimeru przed ekstrakcją występuje przy 1719 cm-1 (krzywa 2 na fig. 7) -1 ulega przesunięciu do 1648 cm-1 w widmie polimeru po ekstrakcji (krzywa 4 na fig. 7). Pik przy wyższej liczbie falowej jest charakterystyczny dla sprotonowanej grupy karboksylowej, -COOH, a pik przy niższej liczbie falowej - dla grupy zdeprotonowanej, -COO-. To przesunięcie świadczy więc o deprotonowaniu grupy karboksylowej w polimerze w trakcie ekstrakcji adrenaliny za pomocą mocnej zasady.
Powyższe badania wykazały przydatność walizki próżniowej z wziernikami według wynalazku do rejestrowania widm w podczerwieni cienkich warstw polimerów.
Podziękowania
Pomiary sprawdzające działanie walizki próżniowej były dofinansowane ze środków Europejskiego Funduszu Rozwoju Regionalnego w ramach projektu Innowacyjna Gospodarka (Grant nr
ERDF, POIG.01.01.02-00-008/08 2007-2013).
Opłaty związane z ochroną wynalazku dofinansowano ze środków projektu NanOtechnology, Biomaterials and alternative Energy Source for ERA integration FP7-REGPOT-CT-2011-285949-

Claims (8)

1. Przenośna walizka próżniowa, obejmująca mobilną komorę próżniową i pierwszy zawór jako zespół zamykający, znamienna tym, że w obudowie komory próżniowej (1) umieszczony jest wziernik (2) lub/i wzierniki (3).
2. Walizka według zastrz. 1, znamienna tym, że wziernik (2) lub/i wzierniki (3) umieszczone są pod kątem umożliwiającym pomiar promieniowania odbitego od powierzchni badanej próbki.
3. Walizka według zastrz. 1 albo 2, znamienna tym, że wzierniki (2) i (3) wykonane są z materiałów przepuszczalnych dla promieniowania podczerwonego i światła widzialnego, korzystnie z KBr, albo z CuBe lub Al.
4. Walizka według dowolnego z poprzedzających zastrz., znamienna tym, że komora próżniowa (1) wyposażona jest w stację przechwytującą nośnik próbek do transportu próbki z lub do komory próżniowej (1).
5. Walizka według dowolnego z poprzedzających zastrz., znamienna tym, że można dołączyć ją do komory pompowej lub śluzy (6) i odpompować z niej gaz poprzez drugi zawór (7).
6. Walizka według dowolnego z poprzedzających zastrz., znamienna tym, że jest przystosowana do łączenia z mobilną pompą próżniową zasilaną z gniazda elektrycznego samochodu lub innego źródła zasilania.
7. Walizka według dowolnego z poprzedzających zastrz., znamienna tym, że do komory próżniowej przyłączona jest pompa jonowa zasilana z gniazda elektrycznego napięcia zmiennego 230 V lub napięcia stałego 12 V lub 24 V.
8. Walizka według dowolnego z poprzedzających zastrz., znamienna tym, że komora próżniowa (1) ma jeden wziernik (2) lub dwa wzierniki (2, 3) umieszczone naprzeciw siebie w sposób umożliwiający przejście wiązki promieniowania na wylot przez komorę próżniową (1).
PL399921A 2012-07-12 2012-07-12 Przenośna walizka próżniowa z wziernikiem PL220339B1 (pl)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL399921A PL220339B1 (pl) 2012-07-12 2012-07-12 Przenośna walizka próżniowa z wziernikiem
EP13174926.9A EP2685490A1 (en) 2012-07-12 2013-07-03 Portable vacuum case with a sight-glass

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL399921A PL220339B1 (pl) 2012-07-12 2012-07-12 Przenośna walizka próżniowa z wziernikiem

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL399921A1 PL399921A1 (pl) 2014-01-20
PL220339B1 true PL220339B1 (pl) 2015-10-30

Family

ID=48745784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL399921A PL220339B1 (pl) 2012-07-12 2012-07-12 Przenośna walizka próżniowa z wziernikiem

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP2685490A1 (pl)
PL (1) PL220339B1 (pl)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3029428B1 (fr) * 2014-12-04 2016-12-30 Univ Nantes Dispositif pour la synthese et l'etude de composes sous temperatures et pressions controlees

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4969556A (en) * 1988-05-10 1990-11-13 Hajime Ishimaru Vacuum container
US6168364B1 (en) 1999-04-19 2001-01-02 Tdk Corporation Vacuum clean box, clean transfer method and apparatus therefor
JP3619119B2 (ja) * 2000-05-15 2005-02-09 キヤノン株式会社 真空処理方法
JP4619116B2 (ja) 2002-06-21 2011-01-26 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 真空処理システムのための搬送チャンバ
FR2874744B1 (fr) 2004-08-30 2006-11-24 Cit Alcatel Interface sous vide entre une boite de mini-environnement et un equipement

Also Published As

Publication number Publication date
EP2685490A1 (en) 2014-01-15
PL399921A1 (pl) 2014-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Ni et al. Effect of metallic and hyperbolic metamaterial surfaces on electric and magnetic dipole emission transitions
Michieli et al. Oxidation effects on the SERS response of silver nanoprism arrays
EP1841002A1 (en) Battery leakage detection system
Srajer et al. Double-layered nanoparticle stacks for surface enhanced infrared absorption spectroscopy
Wilson et al. Selective study of polymer/dielectric interfaces with vibrationally resonant sum frequency generation via thin-film interference
CN111316414B (zh) 用于监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器和方法
Zhang et al. Extending the shell-isolated nanoparticle-enhanced Raman spectroscopy approach to interfacial ionic liquids at single crystal electrode surfaces
EP3007733B1 (en) Fixed and portable coating apparatuses and methods
PL220339B1 (pl) Przenośna walizka próżniowa z wziernikiem
Hinrichs et al. Ellipsometry from infrared to vacuum ultraviolet: Structural properties of thin anisotropic guanine films on silicon
Iwahashi et al. Liquid/liquid interface layering of 1-butanol and [bmim] PF 6 ionic liquid: a nonlinear vibrational spectroscopy and molecular dynamics simulation study
Verre et al. General approach to the analysis of plasmonic structures using spectroscopic ellipsometry
Plechinger et al. Time-resolved Kerr rotation spectroscopy of valley dynamics in single-layer MoS2
Chen et al. Polarization properties of emission lines from relativistic accretion disks
Barbera et al. Status of the EPIC thin and medium filters on-board XMM-Newton after more than 10 years of operation I: laboratory measurements on back-up filters
CN105842889B (zh) 光配向基板的检测装置和方法
Yook et al. Experimental investigations on particle contamination of masks without protective pellicles during vibration or shipping of mask carriers
Li et al. Validation of broadband infrared normalization in sum-frequency generation vibrational spectroscopy through simultaneous chiral terms on α-quartz crystal
Hudelson et al. Development and evaluation of prototype transparent electrodynamic screen (EDS) integrated solar collectors for automated dust removal
Hinrichs et al. Surface-enhanced infrared absorption: infrared ellipsometry of Au evaporated ultrathin organic films
James Photoelectron spectroscopy
TWI642931B (zh) 缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法
US7542136B2 (en) Flipping stage arrangement for reduced wafer contamination cross section and improved measurement accuracy and throughput
Ha et al. Size determination of microscratches on silicon oxide wafer surface using scattered light
Kenaz et al. Mapping single-shot angle-resolved spectroscopic micro-ellipsometry with sub-5 microns lateral resolution