JP2007505488A - マイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マイクロリソグラフィ投影露光系設備のための照明系が、主光源(11)からの光で照明視野を照明するために用いられる。照明系は主光源からの光を受光する光分布器(25)を有し、この光から、照明系の瞳孔形状表面(31)で様々に設定され得る二次元強度分布を生成する。光分布器は、光学変調器に入射する光の角度分布を変化させる目的で個別に制御され得る複数の個別エレメント(21)の二次元アレイを有する少なくとも1つの光学変調器を有する。この機器は光学コンポーネントを置き換えることなく大きく異なる複数の照明モードの様々な設定を可能にする。
【選択図】 図1
Description
Claims (46)
- 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光系のための照明系が、
光軸(12、11、212、312)と、
主光源(11、111、211、311)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231、331)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225、325)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220、320、420)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させる照明系。 - 光学変調器(20、120、220、320、420)が、複数の個別エレメントのアレイ(21、121、221、321、421)を有していて複数の個別エレメントに入射する放射の角度を変化させるために駆動され得る請求項1に記載の照明系。
- 光学変調器が、組み立てられていて、かつ、光学変調器に入射する実質的に全ての光の強度が瞳孔形状表面(31、131、231、331)の使用可能な領域に偏向されるように制御され得る請求項1又は2に記載の照明系。
- 光学変調器(20、120、220、320)と瞳孔形状表面(31、231、331)の間に光学系(30、230、330)が設けられていて、光学変調器により生成された角度分布を瞳孔形状表面(31、231、331)の空間分布に変換する請求項1〜3のいずれか1項に記載の照明系。
- 光学系(30、231)が、様々に設定され得る、及び、好ましくは連続的に設定され得る焦点距離を有する請求項4に記載の照明系。
- アキシコン系が、光学変調器(20、220)と瞳孔形状表面(31、231)の間に配置されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の照明系。
- 光学変調器(120)と瞳孔形状表面(131)の間の空間に光学コンポーネントが存在しない請求項1〜3のいずれか1項に記載の照明系。
- 瞳孔形状表面(131)が光学変調器(121)の遠視野領域にある程、光学変調器(120)と瞳孔形状表面(131)の間の距離が大きい請求項7に記載の照明系。
- 光学変調器が、反射光学変調器(20、120、220、320、420)として構成されていて、これが好ましくは偏向ミラーの方式で光軸(12、112、212、312)に関して斜めに配置されている請求項1〜8のいずれか1項に記載の照明系。
- 光学変調器(20、120、220)と瞳孔形状表面(31、131、231)の間に、瞳孔形状表面(31、131、231)の領域の角度分布に属する光軸(12、112、212)と複数の光ビームの間の複数の角度が約5°、とくに約3°より小さくなるように選択された光学距離がある請求項1〜9のいずれか1項に記載の照明系。
- 光学変調器が、少なくとも1つのミラー配置(20、120、320、420)を有していてミラー配置に入射する光の角度分布を変化させる目的で個別に制御され得る複数の個別ミラー(21、121、321、421)のアレイを有する請求項1〜10のいずれか1項に記載の照明系。
- 複数の個別ミラーのうちの少なくとも幾つか、とくに全ての複数の個別ミラー(21)が、平坦なミラー表面を有する請求項11に記載の照明系。
- 複数の個別ミラーのうちの少なくとも幾つか、とくに全ての複数の個別ミラーが、有限のミラー焦点距離を有する複数のカーブしたミラーとして形成され、複数の個別ミラーに入射する放射が実質的に焦点合わせされた形状で瞳孔形状表面に当たるようにミラー焦点距離が好ましくは寸法決めされている請求項11又は12に記載の照明系。
- ミラー配置(20、120)の複数の個別ミラーが、全て同じ形状及び寸法を有する請求項11〜13のいずれか1項に記載の照明系。
- 複数の個別ミラーが、第1ミラー群と少なくとも第2ミラー群を含み、その各々が1又はそれより多い個別ミラーを有し、複数のミラー群の複数の個別ミラーが異なる寸法及び/又は異なる形状及び/又は異なる曲率を有する請求項11〜13のいずれか1項に記載の照明系。
- ミラー配置の複数の個別ミラーのうちの少なくとも幾つかが、個別ミラーから反射された放射の分布を形成するための光学構造、とくに回折光学構造を有する請求項11〜15のいずれか1項に記載の照明系。
- ミラー配置(20、120、320、420)の複数の個別ミラーが、ミラー配置の他の複数の個別ミラーに対して、好ましくは互いに関して横断的に通る2つの傾斜軸の周りに、傾斜され得る請求項11〜16のいずれか1項に記載の照明系。
- 光学変調器(220)が、制御可能な複数の回折格子として及び/又は複数の音響光学エレメントとして形成された複数の個別エレメント(221)のアレイを有する電気光学エレメント(220)として構成される請求項1〜10のいずれか1項に記載の照明系。
- 光源と光学変調器の間に光学装置(15、215、315)が配置されていて光学装置へ入射する放射を光学変調器(20、220、320、420)の複数の個別エレメント(21、221、321、421)上に集中させる請求項2〜18のいずれか1項に記載の照明系。
- 光学装置(15、215)が複数の望遠鏡レンズ系(16)を有する二次元アレイを含む請求項19に記載の照明系。
- 光学装置が、入射ビームを光学変調器の複数の個別光学エレメントに集中された複数の光ビームに変換するための回折光学アレイ生成器(315)を含む請求項19に記載の照明系。
- 回折光学アレイ生成器(315)がダマングリッドとして構成される請求項21に記載の照明系。
- 瞳孔形状表面(31)と照明視野の面(65)との間に、光の強度分布を混合するための光混合器(45、380)が配置されている請求項1〜22のいずれか1項に記載の照明系。
- 光混合器が、入口表面(44)を有する少なくとも1つの集積ロッド(45)を含み、瞳孔形状表面が、好ましくは入口表面の上流に位置付けられていて入口表面に対してフーリエ変換された面として構成される面の領域にある請求項23に記載の照明系。
- 光混合器が、入口表面を有する少なくとも1つのフライアイコンデンサ(380)を含み、瞳孔形状表面が好ましくは入口表面又は入口表面に関して光学的に共役した表面の領域にある請求項23に記載の照明系。
- フライアイコンデンサの複数の個別放射チャネルが実質的に完全に放射され又は実質的に完全に非放射となるように、光学変調器を制御することにより特徴付けられる請求項25に記載の照明系。
- 光分布器が、光学変調器と瞳孔形状表面の間に光学的に配置された少なくとも1つの回折光学エレメント(390、490)を有していて、光学変調器から出る光を受光するとともに回折光学エレメントの構成により定義された評価関数による角度分布を導入することにより光を修正する請求項25又は26に記載の照明系。
- 光学変調器の個別エレメントから出るビームが回折光学エレメントにより造形されて単独の光学チャネル又はフライアイコンデンサの複数の隣接した光学チャネルの群の形状及び寸法に一致するように、回折光学エレメント(390、490)が構成される請求項27に記載の照明系。
- 回折光学エレメント(390、490)がコンピュータ生成ホログラム(CGH)として構成される請求項27又は28に記載の照明系。
- フライアイコンデンサ(380)が、複数の放射チャネルの個別ブロックのためにマスクがされていない請求項25〜29のいずれか1項に記載の照明系。
- フライアイコンデンサも集積ロッドも、瞳孔形状表面(231)と照明視野の面(265)の間に配置されていない請求項1〜22のいずれか1項に記載の照明系。
- 瞳孔形状表面(231)に又はその近傍に、ラスタエレメント(232)が配置されていて照明系の後に続く視野面(250)に強度分布を造形及び均質化する請求項1〜31のいずれか1項に記載の照明系。
- 光学変調器の複数の個別エレメント(21、121、221、321)を駆動する目的で、複数の個別エレメントを制御するための複数の制御信号が露出されるべきマスク(66)の構造の機能として変化され得るように構成された制御装置が設けられている請求項1〜32のいずれか1項に記載の照明系。
- 複数の半導体コンポーネント及び他の複数の微細構造コンポーネントを製造する方法であって、
光学変調器に入射する放射の角度分布を変化させる目的で個別に制御され得る多くの個別エレメントを有する少なくとも1つの光学変調器を有する照明系の助けにより投影対物レンズの物平面に配置されたレチクルを照明する工程を含み、
光電性物質にレチクルの像を生成する工程を含み、
レチクルを照明する工程が、少なくとも2つの個別エレメントの互いに関するそれぞれの設定を用いてレチクルに入射する光の角度分布を設定する工程を含む方法。 - 光学変調器が、個別に制御され得る多くの個別ミラーを有するミラー配置を含み、複数の個別エレメントの相対的な設定の工程が、1又はそれより多い傾斜軸の周りで他の複数の個別ミラーに関して複数の個別ミラーの少なくとも1つを傾斜する工程を含む請求項34に記載の方法。
- 光学変調器が個別に制御され得る多くの回折格子を有し、相対的な設定の工程が少なくとも2つの回折格子の回折効果の異なる変化を含む請求項34に記載の方法。
- 照明系が多くの放射チャネルを有するフライアイコンデンサを含み、複数の放射チャネルが実質的に完全に照明されるか又は実質的に完全に非照明となるように複数の個別エレメントが制御される請求項34〜36のいずれか1項に記載の方法。
- 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系が、
光軸(12、112、212)と、
主光源(11、111、211)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させ、
光学変調器(20、120、220)と瞳孔形状表面(31、231)の間に、光学系(30、230)が設けられていて光学変調器により生成された角度分布を瞳孔形状表面(31、231)における空間分布に変換し、
光学系(30、231)が様々に設定され得る焦点距離を有する照明系。 - 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系が、
光軸(12、112、212)と、
主光源(11、111、211)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させ、
アキシコン系が光学変調器(20、220)と瞳孔形状表面(31、231)の間に配置されている照明系。 - 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系が、
光軸(12、112、212)と、
主光源(11、111、211)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させ、
光学変調器(120)と瞳孔形状表面(131)の間の空間に光学コンポーネントが存在しない照明系。 - 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系が、
光軸(12、112、212)と、
主光源(11、111、211)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させ、
光学変調器が、少なくとも1つのミラー配置(20、120)を有していてミラー配置に入射する光の角度分布を変化させる目的で個別に制御され得る複数の個別ミラー(21、121)のアレイを有し、
複数の個別ミラーが、第1ミラー群と少なくとも第2ミラー群を含み、その各々が1又はそれより多い個別ミラーを有し、複数のミラー群の複数の個別ミラーが異なる寸法及び/又は異なる形状及び/又は異なる曲率を有する照明系。 - 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系が、
光軸(12、112、212)と、
主光源(11、111、211)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させ、
光学変調器が、少なくとも1つのミラー配置(20、120)を有していてミラー配置に入射する光の角度分布を変化させる目的で個別に制御され得る複数の個別ミラー(21、121)のアレイを有し、
複数の個別ミラーが複数の順応ミラーとして構成されていてそこでミラー表面の形状が変化され得る照明系 - 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系が、
光軸(12、112、212)と、
主光源(11、111、211)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させ、
光学変調器(220)が、制御可能な複数の回折格子として及び/又は複数の音響光学エレメントとして形成された複数の個別エレメント(221)のアレイを有する電気光学エレメント(220)として構成されている照明系。 - 主光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系が、
光軸(12、112、212)と、
主光源(11、111、211)からの光を受光するための、かつ、照明系の瞳孔形状表面(31、131、231)で様々に設定され得る二次元強度分布(35)を生成するための光分布器(25、125、225)を含み、
光分布器が少なくとも1つの光学変調器(20、120、220)を有していて光学変調器に入射する光の角度分布を制御可能に変化させ、
光学変調器(20、120、22、320、420)が、複数の個別エレメント(21、121、221、321、421)のアレイを有していて複数の個別エレメントに入射する放射の角度を個別に変化させるために駆動されることが可能であり、
光源と光学変調器の間に光学装置(15、215、315)が配置されていて光学装置に入射する放射を光学変調器(20、220、320)の複数の個別エレメント(21、221、321)に集中させる照明系。 - 光学装置(15、215)が、複数の望遠鏡レンズ系(16)を有する二次元アレイを含む請求項44に記載の照明系。
- 光学装置が、入射ビームを光学変調器の複数の個別光学エレメントに集中された複数の光ビームに変換するための回折光学アレイ生成器(315)を含む請求項44に記載の照明系。
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