JP2011521445A - フーリエ光学系を含む照明系 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
dG min=n/H*E/(PaPb)1/2
d=n/H*E/(PaPb)1/2 (A2)
1次元負荷モデルに対して(例えば、円柱レンズに対して)は次式が生じる。
d=n/H*E2/(xaPaxbPb) (A3)
式(A3)では、パラメータxa及びxbは、それぞれ非折り返し方向の光線範囲を示している。
入射面の直径:35mm
先頭の要素L1−1までの距離:75mm
フーリエ光学系の後側焦点にある受光平面
射出面の直径:100mm
最後の要素L2−3までの距離:10mm
透過面と受光面の間の距離A(焦点面距離に対応する):1750mm
群距離dG:1254mm
焦点距離fFOS:25,000mm
焦点面距離Aに対する構造長Lの比:0.950
群距離/焦点距離比(dG/fFOS):0.050
構造長/焦点距離比(L/fFOS):0.075
p(h)=[((1/r)h2)/(1+SQRT(1−(1+K)(1/r)2h2))]+C4*h4+C6*h6+...
この場合、半径の逆数(1/r)は、面の曲率を示し、hは、光軸からの面の点の距離(すなわち、光線高さ)を示している。その結果、p(h)は、いわゆるサジッタ、すなわち、面の頂点から面の点までのz方向(光軸方向)の距離を示している。
102 1次光源
110 瞳成形面
150 瞳成形ユニット
165 照明視野
190 照明系
Claims (28)
- 1次光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置のための照明系であって、
1次光源からの光を受光し、かつ照明系の瞳成形面に可変的に調節可能な2次元強度分布を発生させるための可変的に調節可能な瞳成形ユニット、
を含み、
前記瞳成形ユニットは、フーリエ光学系の入射平面を通じて入射する入射ビーム束をフーリエ光学系の射出平面から射出する射出ビーム束へと変換するためのフーリエ光学系を有し、
前記フーリエ光学系は、焦点距離fFOSと、入射側の先頭の系の面と射出側の最後の系の面の間で光軸に沿って測定された構造長Lとを有し、かつ条件(L/fFOS)<1/6が成り立つ、
ことを特徴とする照明系。 - 条件(L/fFOS)<0.1が成り立つことを特徴とする請求項1に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系の前記焦点距離fFOSは、10m又はそれよりも大きく、前記構造長Lは、4m未満であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、入射側の第1のレンズと射出側の第2のレンズとを有する第1のレンズ群と、該第1のレンズ群の下流に配置され、入射側の第1のレンズと射出側の第2のレンズとを有する第2のレンズ群も含み、
前記第1のレンズ群の射出側の最後の系の面と前記第2のレンズ群の入射側の先頭の系の面との間に群距離dGが存在する、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明系。 - 前記第1のレンズ群の前記射出側の最後の系の面と前記第2のレンズ群の前記入射側の先頭の系の面との間で条件dG>0.6*Lが成り立つ群距離dGが存在することを特徴とする請求項4に記載の照明系。
- 前記第1のレンズ群の前記射出側の最後の系の面と前記第2のレンズ群の前記入射側の先頭の系の面との間で条件dG<0.12*fFOSが成り立つ群距離dGが存在することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、幾何学的フラックスHが与えられた時に単位時間当たりに放射線エネルギEを伝達させるように設計され、PAが、前記第1のレンズ群の前記射出側の第2のレンズの予め決めることができる最大エネルギ負荷であり、PBが、前記第2のレンズ群の前記入射側の第1のレンズの予め決めることができる最大エネルギ負荷であり、該第1のレンズ群の射出側の最後の系の面と該第2のレンズ群の入射側の先頭の系の面との間の群距離dGが、最小群距離dG minよりも小さくなく、該最小群距離に対して次式:
dG min=n/H*E/(PaPb)1/2
が成り立つことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明系。 - 前記群距離dGは、dG minと3*dG minの間にあることを特徴とする請求項7に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、0.01mm≦H≦0.2mmの幾何学的フラックスに対して設計され、Hは、入射瞳の半径EPD/2と、入射側開口数NAOと、入射側屈折率noとの積であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、4つ、5つ、又は6つのレンズを有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記入射側の第1のレンズ群は、厳密に2つのレンズを有することを特徴とする請求項4から請求項10のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、少なくとも1つの非球面形レンズ面を有する少なくとも1つのレンズを有することを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系の前記射出平面に最も近い射出側レンズ面が、非球面形状を有することを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、入力側と出力側でテレセントリックであることを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、少なくとも1つの平面偏向ミラーを含むことを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、z字形方式で折り返されることを特徴とする請求項1から請求項15のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記フーリエ光学系は、少なくとも1対の交差円柱レンズ系を有し、
1対の交差円柱レンズ系が、第1の曲率平面内で湾曲した少なくとも1つの第1の円柱面を有する第1の円柱レンズ系と、第2の曲率面内で湾曲した少なくとも1つの第2の円柱面を有する第2の円柱レンズ系とを有し、
前記第1及び前記第2の曲率平面は、互いに垂直である、
ことを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の照明系。 - 前記フーリエ光学系は、複数の第1の円柱レンズを有する第1の円柱レンズ群と、下流に配置されて複数の第2の円柱レンズを有する第2の円柱レンズ群とを有することを特徴とする請求項17に記載の照明系。
- 前記瞳成形ユニットは、前記フーリエ光学系の上流に配置された光混合デバイスを有することを特徴とする請求項1から請求項18のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記光混合デバイスは、フライアイコンデンサーを含むことを特徴とする請求項19に記載の照明系。
- 前記瞳成形ユニットは、光変調デバイス上に入射する光束の角度分布を制御可能に変更するための光変調デバイスを有し、前記フーリエ光学系は、前記1次光源と該光変調デバイスの間に配置されることを特徴とする請求項1から請求項20のいずれか1項に記載の照明系。
- 前記光変調デバイスは、前記入射放射線の前記角度分布を変更するのに用いることができる個別に駆動可能な個別要素の2次元アレイ配列を含むことを特徴とする請求項21に記載の照明系。
- 前記光変調デバイスは、多くの個別に駆動可能な個別ミラーを有する多ミラーアレイ(MMA)を含むことを特徴とする請求項21又は請求項22に記載の照明系。
- フーリエ光学系の入射平面を通じて入射する入射ビーム束をフーリエ光学系の射出平面から射出する射出ビーム束へと変換するためのフーリエ光学系であって、
焦点距離fFOSと、入射側の先頭の系の面と射出側の最後の系の面の間で光軸に沿って測定された構造長Lとを有し、かつ条件(L/fFOS)<1/6が成り立つ、
ことを特徴とする光学系。 - 請求項2から請求項18のいずれか1項の特徴付け部分に記載の特徴を特徴とする請求項24に記載のフーリエ光学系。
- 1次光源からの光を受光し、かつ照明面に実質的に均一な2次元強度分布を発生させるための光混合系であって、
請求項24及び請求項25のいずれか1項に記載のフーリエ光学系を有し、角度領域において有効な光混合デバイスが、該フーリエ光学系の上流に配置される、
ことを特徴とする光混合系。 - 前記光混合デバイスは、フライアイコンデンサーを含むことを特徴とする請求項26に記載の光混合系。
- 投影対物系の像面の領域に配置された感放射線基板を該投影対物系の物体面の領域に配置されたマスクパターンの少なくとも1つの像で露光するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、
1次光源と、
前記1次光源からの光を受光し、かつマスクのパターン上に誘導される照明放射線を成形するための照明系と、
前記マスクの構造を感光基板上に結像するための投影対物系と、
を含み、
前記照明系は、請求項1から請求項23のいずれか1項に記載の方式で構成される、
ことを特徴とする装置。
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