JP5672254B2 - コヒーレント光源装置およびプロジェクタ - Google Patents
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Description
そして前記2次元光振幅変調素子(DmjA)は、映像信号に従って、画素毎に光を投影レンズ(Ej2A)に入射される方向に向かわせる、あるいは入射されない方向に向かわせるように変調することにより、スクリーン(Tj)上に画像を表示する。
前記合成四角形の像の位置に2次元光振幅変調素子(DmjB)を配置することにより、前記射出端(PmoB)から出力された光によって、照明対象である前記2次元光振幅変調素子(DmjB)が照明される。 ただし、照明に際しては、前記照明レンズ(Ej1B)と前記2次元光振幅変調素子(DmjB)との間に偏光ビームスプリッタ(MjB)を配置して、これにより光が前記2次元光振幅変調素子(DmjB)に向けて反射されるようにしてある。
そして前記2次元光振幅変調素子(DmjB)は、映像信号に従って、画素毎に光の偏光方向を90度回転させる、あるいは回転させないように変調して反射することにより、回転させられた光のみが、前記偏光ビームスプリッタ(MjB)を透過して投影レンズ(Ej3B)に入射され、スクリーン(Tj)上に画像を表示する。
また、前記2次元光振幅変調素子(DmjB)には略平行光が入射されるよう、例えばその直前に、フィールドレンズ(Ej2B)が挿入される。
ここでスペックルとは、半導体レーザやその他のレーザの光、あるいは(高調波発生・光パラメトリック効果などのような非線形光学現象を利用して)レーザ光を波長変換するなどして生成した、コヒーレント光を投射した場合に不可避的に現れる、粒状・斑点状の模様であって、前記したプロジェクタのような鑑賞用の映像を生成する用途や、感光性材料からなる被膜にフォトマスクのパターンを精密に露光する用途においては、画質を著しく劣化させる、非常に厄介な現象であるため、改善のための工夫が、古くから多く提案されて来た。
フライアイインテグレータは、前述の通り、前段フライアイレンズの各レンズの外形を後段フライアイレンズによって対象面上に結像させ重ね合わされることで、均一な照度分布を得ることを特徴としているが、該公報に挙げられるように、フライアイインテグレータを回転させると、対象面上に結像される像も同時に回転してしまうことになる。
前記2次元光振幅変調素子は投影するスクリーンの大きさに合わせて、矩形形状であることが多い。フライアイインテグレータ回転した場合に、2次元光振幅変調素子の全面が均一に照射されるよう、フライアイレンズの外形の像の倍率を調整すると、2次元光振幅変調素子の領域外を照射する光線が増加してしまうため、光利用効率が低下してしまうという問題を抱えていた。
さらに、放射点とは、光放射領域を構成する像点、もしくは実質的に回折限界近くまで収束可能な小さい光放射領域を指す。
ただし、レーザのような指向性を有する光を扱う光学系では、開口絞りによって光束を切り出す必要が無いために開口絞りが存在しない場合が多く、その場合は、光学系における光の存在形態によって、それらが定義される。
また、光学系のなかの隣接する2個の部分光学系AとBに注目し、Aの直後にBが隣接しているとしたとき、(Aの出力像がBの入力像となるのと同様に)Aの射出瞳はBの入射瞳となるし、そもそも光学系のなかに任意に定義した部分光学系の入射瞳・射出瞳は、(開口絞りが存在すれば全てそれの像であるし、存在しなくても)全て共役のはずであるから、特に区別が必要無ければ、入射瞳・射出瞳を単に瞳と呼ぶ。
前記放射点(Ks)に注目すると、最外周の周辺光線(Lms1,Lms2)により示されているように、底面(Ci)により規定される円錐形角度領域内に前記放射点(Ks)を形成する光束が分布していることを示しており、この放射点からの光束に対する主光線(Lps)は、この光束分布の中心光線として定義している。 一般論としては、前記主光線(Lps,Lps’,…)は光学系の光軸であるz軸に対して角度を有し、したがって、光軸と交わる点(Qs)に瞳が存在すると考える。 なお、図3に示したような、前記主光線(Lps,Lps’,…)が光学系の光軸に平行である場合は、瞳は無限遠にあると考える。
すなわち前記光偏向手段(Md)は、前記第2光放射領域(Gu)の近傍にある偏向点において前記第2光放射領域(Gu)の形成にかかわる光束(Bu)を偏向する。
ただし、前記したように、前記第1光学系(Eu)の前記射出瞳(Quo)と前記第3光放射領域(Gf)とが共役であるとは、前記光偏向手段(Md)を介して入力される前記射出瞳(Quo)の像を入力像とする、前記第2光学系(Ef)の結像機能による出力像として、前記第3光放射領域(Gf)が形成されることを意味する。
出力された前記光束(Bmo)には、入射光線の角度と位置の成分の混合によって多重の干渉が生じせしめられる結果、それが投射された被照明面のスペックルの粒状・斑点状の模様が細かくなり、視認し難くなるという性質が付与される。
また、図1においては、前記射出瞳(Quo)が、前記第2光放射領域(Gu)よりも前方にあるように描いてあるが、後方に形成されるものであっても構わない。
その理由の第1は、前記第1光学系(Eu)に入力される全ての光が通過する領域として、前記第1光放射領域(Gs)はコンパクトな領域であり、よって前記第2光放射領域(Gu)もまた、前記第1光放射領域(Gs)に共役な領域とすることでコンパクトになるからである。 このようにすることにより、前記光束(Bu)を偏向するために必要な前記光偏向手段(Md)の大きさもコンパクトにすることが可能になる。
その理由は、前記したように、前記第2光学系(Ef)は、前記光混合手段(Fm)の前記入射端(Pmi)の近傍に、前記第1光学系(Eu)の前記射出瞳(Quo)に共役な前記第3光放射領域(Gf)を形成するよう設置するため、もし、前記射出瞳(Quo)が前記第2光放射領域(Gu)として前記光偏向手段(Md)の偏向点近傍に配置されたならば、前記光偏向手段(Md)が、前記光束(Bu)を偏向する方向を変化させたとしても、前記入射端(Pmi)における前記第3光放射領域(Gf)の位置が変化できなくなってしまうからである。
この性質は、後述するように、前記光混合手段(Fm)の光利用効率が高い状態を維持しながらコヒーレント光源装置を動作させることに利用することができる。
また、前記したように、いま述べた光ガイドに関しては、前記した、ガラスや樹脂などの光透過性の材料からなる角柱によって構成されるものの他に、中空の角筒で、その内面が反射鏡になっており、同様に内面で反射を繰り返しながら光を伝播させ、同様の機能を果たすものも使うことができる。
先に図16について説明したものと同様に、フライアイインテグレータにおいては、入射側の前段フライアイレンズ(Fm1)上に縦横に並んだ、それぞれのレンズ外形の矩形の像が、射出側の後段フライアイレンズ(Fm2)、および、照明レンズ(Fmc)によって、1個の合成四角形の像としての照明領域(Gk)を形成する。
また、前記光偏向手段(Md)が前記光束(Bu)を偏向する方向を連続的に変化させることにより、破線で示すように、前記第3光放射領域(Gf)が、領域(Gf”)の位置に来ると、これを形成する光束(Bf”)は、前記前段フライアイレンズ(Fm1)の他の一部を照射して、前記部分的光束群(Bg’)とは異なる部分的光束群(Bg”)を生成し、同じく前記照明領域(Gk)を形成する。
このように、前記照明領域(Gk)の形成にあたっては、前記光偏向手段(Md)の動作によって前記前段フライアイレンズ(Fm1)の使用する部分を連続的に変化させることにより、前記照明領域(Gk)を形成する際の光線の角度を連続的に変化するため、スペックルは常に移動することになり、その移動速度に見合う適当な期間内で平均すると、前記したスペックルの粒状・斑点状の模様が細かくなり、視認し難くなる。
また、同様にフライアイインテグレータの作動原理より容易に理解できるように、前記光偏向手段(Md)の動作により連続的に変化する前記第3光放射領域(Gf)の全ての位置において、前記光束(Bf’)に含まれる前記第1光放射領域(Gs)の中心像点からの主光線(Lpf’)や、前記光束(Bf”)に含まれる前記第1光放射領域(Gs)の中心像点からの主光線(Lpf”)など、前記第3光放射領域(Gf)を形成する前記光束(Bf)に含まれる前記第1光放射領域(Gs)の中心像点からの主光線は、フライアイインテグレータ、すなわち前記光混合手段(Fm)について、その軸、すなわちz軸に対し、できる限り平行を維持することが望ましい。
後述する図11の(b)に記載の第1光放射領域(Gs)のように、中心に放射点が存在しない場合は、仮想の像点によって代表させてもよく、あるいは中心近くに実在する放射点(Ks,Ks’,…)の一つに着目してもよい。
このような、実際に光を発生させている1次光源だけでなく、1次光源からの光が伝送され、あるいは投影されるなどして光を放射する、2次光源を前記第1光放射領域(Gs)としてもよい。
このとき、光ファイバが1本であっても、通常はそれを点光源として扱うことはできず、前記第1光放射領域(Gs)は、有限の面積内に放射点が連続的に分布する光放射領域と考えなければならない。 すなわち、光ファイバのコアである射出端(Pto)には、概ね均一に放射点(Ks,Ks’,…)が連続的に分布しており、前記放射点(Ks,Ks’,…)のそれぞれからは、光ファイバの構造によって既定される、周辺光線が分布して存在する円錐形角度領域の頂角をもって光が放射される。
その際、主光線(Lps,Lps’,…)は、光ファイバの軸に平行になるため、この軸を光学系の光軸であるz軸と一致させればよく、先に図3を用いて説明したものと同じ状況となる。
先ず、図7に記載のコヒーレント光源装置について説明する。 1個または複数個の半導体レーザを光源とする半導体レーザ光源ユニット(Ls)における半導体チップの表面に存在する発散光の放射部を第1光放射領域(Gs)とする。
それを無限遠の像に変換するコリメータレンズ(Es)、および結像レンズ(Eu1)からなる第1光学系(Eu)は、前記第1光放射領域(Gs)に対する共役な像として、偏向用ミラー(Mdm)の上に第2光放射領域(Gu)を結像させる。
いま述べた、前記第1光放射領域(Gs)からの全主光線が光軸に平行である場合には、前記コリメータレンズ(Es)の出力側焦点に前記コリメータレンズ(Es)の射出瞳(Qu)が形成されるため、前記第1光学系(Eu)の射出瞳(Quo)は、前記コリメータレンズ(Es)の前記射出瞳(Qu)に対する前記結像レンズ(Eu1)による像として形成される。
ここでは、前記コリメータレンズ(Es)の射出瞳(Qu)は、前記結像レンズ(Eu1)の出力側焦点面よりも前記結像レンズ(Eu1)に近い位置に配置するものとして、したがって、前記第1光学系(Eu)の前記射出瞳(Quo)は、前記結像レンズ(Eu1)の虚像として、前記結像レンズ(Eu1)の後方に形成される場合を想定する。
このような構造とすることにより、前記ミラー回転モータ(Mdd)の回転に伴い、前記法線ベクトルの軌跡は円錐面を描くように揺動するため、前記偏向用ミラー(Mdm)は回転揺動ミラーとなり、光偏向手段(Md)として機能する。
このとき、該第2光放射領域(Gu)は前記偏向用ミラー(Mdm)上にあるから、前記光偏向手段(Md)の偏向動作によっても、概ね不動状態を保たれるため、前記第2光学系(Ef)が形成する無限遠の出力像の位置、すなわちz軸に対する角度も概ね一定に保たれる。
前記光偏向手段(Md)に、前記回転揺動ミラーを使用した場合に、前記光混合手段(Fm)の前記入射端(Pmi)に形成される前記第3光放射領域(Gf)が、前記光偏向手段(Md)による偏向方向の変化に伴って、変位する様子を描いたものであり、前記第3光放射領域(Gf)の中心は、円形の軌跡(Cg)を描くように移動する。
また領域(Gf’)と領域(Gf”)は、先に図4について説明した、同じ記号を付した領域に対応させて描いてある。
よって図9の放射点(Ks,Ks’,…)は、図7に記載の前記半導体レーザ光源ユニット(Ls)として使用することが好適である。
半導体レーザアレイデバイス(LDA,LDA’)からのビーム列は、ビーム合成ミラー(MA,MA’)を用いて一束のビームに合成される。 その際、前記半導体レーザアレイデバイス(LDA)それぞれからの主光線(Lps,Lps’,…)は全て平行になるように配置することが好適である。
ここで、前記光束(Bf)が遠方または無限遠に形成する像とは、要するに前記光束(Bf)に含まれる光線の方向角度分布に対応する。
したがって、使用する光混合手段(Fm)の立体的な許容角度の範囲に適合するよう、前記第1光放射領域(Gs)における放射点(Ks,Ks’,…)を配置または分布させることが有利である。
ただし、図16について説明した偏光整列機能素子(PcB)が含まれている場合は、前記した立体的な許容角度の範囲はさらに限定されたものになる場合がある。
前記結像レンズ(Eu1)およびそれより後段の光学系の働きは、図7に記載のものと同様である。 ただし、第1光学系(Eu)の射出瞳である、R・G・Bの各色毎に形成される前記結像レンズ(Eu1)の射出瞳(QuR,QuG,QuB)に対し、これらに共役な像として、フライアイインテグレータよりなる光混合手段(Fm)の入射端(Pmi)に、第3光放射領域(Gf)を結像させている。
例えば、断面が楔型になっているガラス板を回転させる回転非平行ガラス板、像回転プリズム(ドーブプリズムや台形プリズムなどと呼ばれるものや、その屈折面を反射面に代えたプリズムなど)を軸回りに回転させる回転像回転プリズム、往復的に角度を偏向させる振動ミラー、ガルバノメーター、ポリゴンなどを使用することが可能である。 これらのうち回転揺動ミラー、回転非平行ガラス板、回転像回転プリズムなどのような、光学素子を回転させるものは、往復的に角度を偏向させる構造のものに比べ、機械的な振動を小さくすることができるため、本発明の光偏向手段として好適である。
前記第3光放射領域(Gf)の中心の軌跡(Cg’)は前記フライアイインテグレータ入射端(Pmi)上を走査する軌道をとる。
As’ 半導体レーザ活性領域
Ba ビーム列
Bd 光束
Bf 光束
Bf’ 光束
Bf” 光束
Bg’ 部分的光束群
Bg” 部分的光束群
Bmo 光束
Bs 光束
Bu 光束
Cg 軌跡
Cg’ 軌跡
Ci 底面
CiA 底面
DmjA 2次元光振幅変調素子
DmjB 2次元光振幅変調素子
Ds 半導体レーザ光源
Ds’ 半導体レーザ光源
Ef1 コリメータレンズ
Ec コリメータレンズ
Ec’ コリメータレンズ
Ef 第2光学系
Ej1A 照明レンズ
Ej1B 照明レンズ
Ej2A 投影レンズ
Ej2B フィールドレンズ
Ej3B 投影レンズ
Es コリメータレンズ
EsB コリメータレンズ
EsG コリメータレンズ
EsR コリメータレンズ
Eu 第1光学系
Eu1 結像レンズ
Ex 発散レンズ
Ex’ 発散レンズ
Ey 放射角度補正レンズアレイ
F1B 前段フライアイレンズ
F2B 後段フライアイレンズ
Fb 光ファイバ
Fb’ 光ファイバ
Fm 光混合手段
Fm1 前段フライアイレンズ
Fm2 後段フライアイレンズ
FmA 光均一化手段
FmB 光均一化手段
Fmc 照明レンズ
Gf 第3光放射領域
Gf’ 領域
Gf” 領域
Gk 照明領域
Gs 第1光放射領域
GsB 第1光放射領域
GsG 第1光放射領域
GsR 第1光放射領域
Gu 第2光放射領域
HuB ダイクロイックミラー
HuG ダイクロイックミラー
HuR ミラー
Ks 放射点
Ks’ 放射点
LCD 液晶デバイス
LDA 半導体レーザアレイデバイス
LDA’ 半導体レーザアレイデバイス
LDA” 半導体レーザアレイデバイス
Lk1 ケーラー照明前段レンズ
Lk2 ケーラー照明前段レンズ
Lms1 周辺光線
Lms1A 周辺光線
Lms2 周辺光線
Lms2A 周辺光線
Lpf’ 主光線
Lpf” 主光線
Lps 主光線
Lps’ 主光線
Ls 半導体レーザ光源ユニット
LsB 半導体レーザ光源ユニット
LsG 半導体レーザ光源ユニット
LsR 半導体レーザ光源ユニット
MA ビーム合成ミラー
MA’ ビーム合成ミラー
MD ビーム合成ミラー
MD’ ビーム合成ミラー
Md 光偏向手段
Mdd ミラー回転モータ
Mdm 偏向用ミラー
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PcB 偏光整列機能素子
Pmi 入射端
PmiA 入射端
PmiB 入射端
Pmo 射出端
PmoA 射出端
PmoB 射出端
Pto 射出端
Pto’ 射出端
Qs 点
Qu 射出瞳
QuB 射出瞳
QuG 射出瞳
QuR 射出瞳
Quo 射出瞳
Sc コヒーレント光源
SjA 光源
SjB 光源
Tj スクリーン
ZiB 入射光軸
Claims (5)
- コヒーレント光源(Sc)によって形成される第1光放射領域(Gs)を有し、
前記第1光放射領域(Gs)からの光を投影して第2光放射領域(Gu)を形成する第1光学系(Eu)と、
前記第2光放射領域(Gu)の近傍において前記第2光放射領域(Gu)の形成にかかわる光束(Bu)を偏向する光偏向手段(Md)と、
前記光偏向手段(Md)の後段に設置される第2光学系(Ef)と、
前記第2光学系(Ef)の後段に設置され、その入射端(Pmi)へ入射される光線の角度と位置の成分の混合を行うための光混合手段(Fm)とを具備し、
前記第2光学系(Ef)は、前記第1光放射領域(Gs)に共役な像を遠方に形成し、かつ前記第1光学系(Eu)の射出瞳(Quo)に略共役な第3光放射領域(Gf)を前記入射端(Pmi)に形成し、
前記光偏向手段(Md)は、前記光束(Bu)を偏向する方向を連続的に変化させる動作を継続することによって、前記第3光放射領域(Gf)が前記入射端(Pmi)において連続的に移動せしめられることを特徴とするコヒーレント光源装置。 - 前記第2光放射領域(Gu)が前記第1光放射領域(Gs)に共役であることを特徴とする請求項1に記載のコヒーレント光源装置。
- 前記光混合手段(Fm)は、フライアイインテグレータであることを特徴とする請求項1または2に記載のコヒーレント光源装置。
- 前記第1光放射領域(Gs)を、コヒーレント光源(Sc)の光が入射端から入力される光ファイバ(Fb)の射出端(Pto)によって形成することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のコヒーレント光源装置。
- 請求項1から4のいずれかに記載のコヒーレント光源装置を利用して画像を投影表示するプロジェクタであって、光均一化手段が前記光混合手段(Fm)を兼ねることを特徴とするプロジェクタ。
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