JP2006284551A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 17
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 3
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 claims 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005374325A JP2006284551A (ja) | 2005-02-23 | 2005-12-27 | 振動型ジャイロセンサ |
| CN2006800003215A CN1969168B (zh) | 2005-02-23 | 2006-02-23 | 振动型陀螺传感器 |
| KR1020067021823A KR20070101108A (ko) | 2005-02-23 | 2006-02-23 | 진동형 자이로 센서 |
| PCT/JP2006/303330 WO2006090805A1 (ja) | 2005-02-23 | 2006-02-23 | 振動型ジャイロセンサ |
| EP06714470A EP1852679A4 (en) | 2005-02-23 | 2006-02-23 | OSCILLATING CIRCULAR SENSOR |
| US10/599,833 US7654139B2 (en) | 2005-02-23 | 2006-02-23 | Vibratory gyrosensor having a vibration element provided with terminals |
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005047802 | 2005-02-23 | ||
| JP2005050962 | 2005-02-25 | ||
| JP2005066051 | 2005-03-09 | ||
| JP2005374325A JP2006284551A (ja) | 2005-02-23 | 2005-12-27 | 振動型ジャイロセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006284551A JP2006284551A (ja) | 2006-10-19 |
| JP2006284551A5 true JP2006284551A5 (enExample) | 2009-02-19 |
Family
ID=36927441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005374325A Pending JP2006284551A (ja) | 2005-02-23 | 2005-12-27 | 振動型ジャイロセンサ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7654139B2 (enExample) |
| EP (1) | EP1852679A4 (enExample) |
| JP (1) | JP2006284551A (enExample) |
| KR (1) | KR20070101108A (enExample) |
| CN (1) | CN1969168B (enExample) |
| WO (1) | WO2006090805A1 (enExample) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006250583A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Sony Corp | 振動型ジャイロセンサ |
| CN103196437B (zh) | 2006-03-15 | 2016-04-06 | 松下知识产权经营株式会社 | 角速度传感器及其制造方法 |
| JP4850572B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2012-01-11 | 富士通株式会社 | 角速度センサ |
| JP2008157701A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Sony Corp | 圧電素子、振動型ジャイロセンサ、電子機器及び圧電素子の製造方法 |
| US7915794B2 (en) * | 2007-11-15 | 2011-03-29 | Sony Corporation | Piezoelectric device having a tension stress, and angular velocity sensor |
| JP4678427B2 (ja) * | 2008-06-23 | 2011-04-27 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| JP4640459B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2011-03-02 | ソニー株式会社 | 角速度センサ |
| DE102009002559A1 (de) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung |
| JP5737848B2 (ja) * | 2010-03-01 | 2015-06-17 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法、モーションセンサー及びモーションセンサーの製造方法 |
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| JP5066271B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2012-11-07 | Necトーキン株式会社 | 圧電式加速度センサ |
| JP2012193971A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Seiko Epson Corp | センサーモジュール、センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法及び電子機器 |
| JP2012209885A (ja) | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Seiko Epson Corp | Mems振動子および発振器 |
| WO2012160620A1 (ja) * | 2011-05-20 | 2012-11-29 | オリンパス株式会社 | 内視鏡装置 |
| US20130196539A1 (en) * | 2012-01-12 | 2013-08-01 | John Mezzalingua Associates, Inc. | Electronics Packaging Assembly with Dielectric Cover |
| JP6044101B2 (ja) | 2012-04-10 | 2016-12-14 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法および電子機器 |
| JP6318552B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2018-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサー、電子機器および移動体 |
| JP6255903B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2018-01-10 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサー、電子機器および移動体 |
| JP6079652B2 (ja) * | 2014-01-15 | 2017-02-15 | 株式会社島津製作所 | 超音波疲労試験機 |
| JP5999143B2 (ja) * | 2014-06-24 | 2016-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス及びセンサー |
| JP6500423B2 (ja) * | 2014-12-19 | 2019-04-17 | セイコーエプソン株式会社 | センサーユニット、電子機器、および移動体 |
| CN106662446B (zh) | 2014-07-16 | 2019-10-25 | 精工爱普生株式会社 | 传感器单元、电子设备以及移动体 |
| JP6507565B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2019-05-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器および移動体 |
| JP2017049436A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電子装置、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
| JP6840960B2 (ja) * | 2016-09-07 | 2021-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | センサー用基板、物理量検出センサー、加速度センサー、電子機器、移動体、およびセンサー用基板の製造方法 |
| KR102382121B1 (ko) * | 2017-12-11 | 2022-03-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
| US11911792B2 (en) * | 2021-01-12 | 2024-02-27 | GE Precision Healthcare LLC | Micromachined ultrasonic transources with dual out-of-plane and in-plane actuation and displacement |
| JP7552377B2 (ja) * | 2021-01-20 | 2024-09-18 | セイコーエプソン株式会社 | センサーモジュール |
| CN113097051B (zh) * | 2021-03-02 | 2025-02-25 | 松诺盟科技有限公司 | 传感器芯体元件的制备方法 |
Family Cites Families (27)
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| JPH032614A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-09 | Tokimec Inc | ジャイロ装置 |
| JPH0418732A (ja) * | 1990-05-12 | 1992-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
| JPH07113643A (ja) | 1993-10-15 | 1995-05-02 | Nikon Corp | 圧電振動角速度計 |
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| JP5037819B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2012-10-03 | ソニー株式会社 | 電子機器 |
-
2005
- 2005-12-27 JP JP2005374325A patent/JP2006284551A/ja active Pending
-
2006
- 2006-02-23 EP EP06714470A patent/EP1852679A4/en not_active Withdrawn
- 2006-02-23 WO PCT/JP2006/303330 patent/WO2006090805A1/ja not_active Ceased
- 2006-02-23 US US10/599,833 patent/US7654139B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-02-23 CN CN2006800003215A patent/CN1969168B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-02-23 KR KR1020067021823A patent/KR20070101108A/ko not_active Ceased
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