JP2006284551A - 振動型ジャイロセンサ - Google Patents

振動型ジャイロセンサ Download PDF

Info

Publication number
JP2006284551A
JP2006284551A JP2005374325A JP2005374325A JP2006284551A JP 2006284551 A JP2006284551 A JP 2006284551A JP 2005374325 A JP2005374325 A JP 2005374325A JP 2005374325 A JP2005374325 A JP 2005374325A JP 2006284551 A JP2006284551 A JP 2006284551A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
support substrate
gyro sensor
vibration element
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005374325A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006284551A5 (enExample
Inventor
Teruyuki Inaguma
輝往 稲熊
Kazuo Takahashi
和夫 高橋
Shin Sasaki
伸 佐々木
Shigeto Watanabe
成人 渡邊
Junichi Honda
順一 本多
Koji Suzuki
浩二 鈴木
Manabu Aizawa
学 相澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2005374325A priority Critical patent/JP2006284551A/ja
Priority to CN2006800003215A priority patent/CN1969168B/zh
Priority to KR1020067021823A priority patent/KR20070101108A/ko
Priority to PCT/JP2006/303330 priority patent/WO2006090805A1/ja
Priority to EP06714470A priority patent/EP1852679A4/en
Priority to US10/599,833 priority patent/US7654139B2/en
Publication of JP2006284551A publication Critical patent/JP2006284551A/ja
Publication of JP2006284551A5 publication Critical patent/JP2006284551A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
    • G01C19/5663—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
    • G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
JP2005374325A 2005-02-23 2005-12-27 振動型ジャイロセンサ Pending JP2006284551A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005374325A JP2006284551A (ja) 2005-02-23 2005-12-27 振動型ジャイロセンサ
CN2006800003215A CN1969168B (zh) 2005-02-23 2006-02-23 振动型陀螺传感器
KR1020067021823A KR20070101108A (ko) 2005-02-23 2006-02-23 진동형 자이로 센서
PCT/JP2006/303330 WO2006090805A1 (ja) 2005-02-23 2006-02-23 振動型ジャイロセンサ
EP06714470A EP1852679A4 (en) 2005-02-23 2006-02-23 OSCILLATING CIRCULAR SENSOR
US10/599,833 US7654139B2 (en) 2005-02-23 2006-02-23 Vibratory gyrosensor having a vibration element provided with terminals

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005047802 2005-02-23
JP2005050962 2005-02-25
JP2005066051 2005-03-09
JP2005374325A JP2006284551A (ja) 2005-02-23 2005-12-27 振動型ジャイロセンサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006284551A true JP2006284551A (ja) 2006-10-19
JP2006284551A5 JP2006284551A5 (enExample) 2009-02-19

Family

ID=36927441

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005374325A Pending JP2006284551A (ja) 2005-02-23 2005-12-27 振動型ジャイロセンサ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7654139B2 (enExample)
EP (1) EP1852679A4 (enExample)
JP (1) JP2006284551A (enExample)
KR (1) KR20070101108A (enExample)
CN (1) CN1969168B (enExample)
WO (1) WO2006090805A1 (enExample)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006250583A (ja) * 2005-03-08 2006-09-21 Sony Corp 振動型ジャイロセンサ
JP2007285978A (ja) * 2006-04-19 2007-11-01 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP2008157701A (ja) * 2006-12-22 2008-07-10 Sony Corp 圧電素子、振動型ジャイロセンサ、電子機器及び圧電素子の製造方法
JP2010014575A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Sony Corp 角速度センサ及びその製造方法
JP2011179941A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法、モーションセンサー及びモーションセンサーの製造方法
US8087296B2 (en) 2006-03-15 2012-01-03 Panasonic Corporation Angular velocity sensor
JP2012184993A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Nec Tokin Corp 圧電式加速度センサ
JP2013217813A (ja) * 2012-04-10 2013-10-24 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法および電子機器
US8847708B2 (en) 2011-03-30 2014-09-30 Seiko Epson Corporation MEMS vibrator and oscillator
JP2014222233A (ja) * 2014-06-24 2014-11-27 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス及びモーションセンサー
JP2015132569A (ja) * 2014-01-15 2015-07-23 株式会社島津製作所 超音波疲労試験機
JP2016118421A (ja) * 2014-12-19 2016-06-30 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット、電子機器、および移動体
JP2017049436A (ja) * 2015-09-02 2017-03-09 セイコーエプソン株式会社 電子装置、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
US10551194B2 (en) 2014-07-16 2020-02-04 Seiko Epson Corporation Sensor unit, electronic apparatus, and moving body

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7915794B2 (en) * 2007-11-15 2011-03-29 Sony Corporation Piezoelectric device having a tension stress, and angular velocity sensor
JP4678427B2 (ja) * 2008-06-23 2011-04-27 株式会社村田製作所 振動ジャイロ
DE102009002559A1 (de) * 2009-04-22 2010-10-28 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung
JP5903667B2 (ja) * 2010-11-18 2016-04-13 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 慣性力センサ
JP2012193971A (ja) * 2011-03-15 2012-10-11 Seiko Epson Corp センサーモジュール、センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法及び電子機器
WO2012160620A1 (ja) * 2011-05-20 2012-11-29 オリンパス株式会社 内視鏡装置
US20130196539A1 (en) * 2012-01-12 2013-08-01 John Mezzalingua Associates, Inc. Electronics Packaging Assembly with Dielectric Cover
JP6318552B2 (ja) * 2013-10-31 2018-05-09 セイコーエプソン株式会社 角速度センサー、電子機器および移動体
JP6255903B2 (ja) * 2013-10-31 2018-01-10 セイコーエプソン株式会社 角速度センサー、電子機器および移動体
JP6507565B2 (ja) * 2014-10-28 2019-05-08 セイコーエプソン株式会社 電子デバイス、電子機器および移動体
JP6840960B2 (ja) * 2016-09-07 2021-03-10 セイコーエプソン株式会社 センサー用基板、物理量検出センサー、加速度センサー、電子機器、移動体、およびセンサー用基板の製造方法
KR102382121B1 (ko) * 2017-12-11 2022-03-31 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
US11911792B2 (en) * 2021-01-12 2024-02-27 GE Precision Healthcare LLC Micromachined ultrasonic transources with dual out-of-plane and in-plane actuation and displacement
JP7552377B2 (ja) * 2021-01-20 2024-09-18 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール
CN113097051B (zh) * 2021-03-02 2025-02-25 松诺盟科技有限公司 传感器芯体元件的制备方法

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH032614A (ja) * 1989-05-31 1991-01-09 Tokimec Inc ジャイロ装置
JPH0418732A (ja) * 1990-05-12 1992-01-22 Mitsubishi Electric Corp 半導体集積回路装置
JPH07201650A (ja) * 1993-12-29 1995-08-04 Kinseki Ltd 表面実装電子部品
JPH0878954A (ja) * 1994-09-08 1996-03-22 Citizen Watch Co Ltd 発振器およびその製造方法
JPH08264540A (ja) * 1995-03-22 1996-10-11 Nec Corp バンプ構造、バンプ製造用キャピラリ及びバンプ製造方 法
JPH1051263A (ja) * 1996-07-31 1998-02-20 River Eletec Kk 水晶振動子
WO1998041818A1 (en) * 1997-03-19 1998-09-24 Hitachi, Ltd. Gyro sensor and video camera using the same
JPH11264730A (ja) * 1998-03-18 1999-09-28 Masaki Esashi 電磁駆動型角速度センサ及びその製造方法
JPH11266135A (ja) * 1998-03-17 1999-09-28 Daishinku:Kk 圧電振動子および圧電振動子の製造方法
WO2000033455A1 (fr) * 1998-12-02 2000-06-08 Seiko Epson Corporation Dispositif piezo-electrique et son procédé de fabrication
JP2000278080A (ja) * 1999-03-24 2000-10-06 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電デバイス
JP2001308141A (ja) * 2000-02-18 2001-11-02 Sony Corp 電子回路装置の製造方法
JP2003028649A (ja) * 2001-05-11 2003-01-29 Murata Mfg Co Ltd センサ回路モジュールおよびそれを用いた電子装置
JP2005039435A (ja) * 2003-07-17 2005-02-10 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03261A (ja) 1989-05-26 1991-01-07 Sharp Corp サーマルヘッド駆動装置
JPH07113643A (ja) 1993-10-15 1995-05-02 Nikon Corp 圧電振動角速度計
US6140144A (en) * 1996-08-08 2000-10-31 Integrated Sensing Systems, Inc. Method for packaging microsensors
JP3644205B2 (ja) * 1997-08-08 2005-04-27 株式会社デンソー 半導体装置及びその製造方法
JPH11289238A (ja) * 1998-03-31 1999-10-19 Daishinku:Kk 圧電振動子
WO2001067600A1 (en) * 2000-03-03 2001-09-13 Daishinku Corporation Crystal vibration device
JP3666370B2 (ja) * 2000-07-06 2005-06-29 株式会社村田製作所 外力検知センサ
JP4852216B2 (ja) * 2002-01-30 2012-01-11 セイコーエプソン株式会社 振動型ジャイロスコープ
JP2004304577A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Seiko Epson Corp 圧電デバイスおよびジャイロセンサ、圧電振動片及び圧電デバイスの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
US7148609B2 (en) * 2003-05-12 2006-12-12 Ngk Insulators, Ltd. Structures for supporting vibrators
JP2005127758A (ja) * 2003-10-22 2005-05-19 Murata Mfg Co Ltd 角速度センサ
JP5135683B2 (ja) * 2005-02-28 2013-02-06 ソニー株式会社 振動型ジャイロセンサ及び振動素子の製造方法
JP5037819B2 (ja) * 2005-03-04 2012-10-03 ソニー株式会社 電子機器

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH032614A (ja) * 1989-05-31 1991-01-09 Tokimec Inc ジャイロ装置
JPH0418732A (ja) * 1990-05-12 1992-01-22 Mitsubishi Electric Corp 半導体集積回路装置
JPH07201650A (ja) * 1993-12-29 1995-08-04 Kinseki Ltd 表面実装電子部品
JPH0878954A (ja) * 1994-09-08 1996-03-22 Citizen Watch Co Ltd 発振器およびその製造方法
JPH08264540A (ja) * 1995-03-22 1996-10-11 Nec Corp バンプ構造、バンプ製造用キャピラリ及びバンプ製造方 法
JPH1051263A (ja) * 1996-07-31 1998-02-20 River Eletec Kk 水晶振動子
WO1998041818A1 (en) * 1997-03-19 1998-09-24 Hitachi, Ltd. Gyro sensor and video camera using the same
JPH11266135A (ja) * 1998-03-17 1999-09-28 Daishinku:Kk 圧電振動子および圧電振動子の製造方法
JPH11264730A (ja) * 1998-03-18 1999-09-28 Masaki Esashi 電磁駆動型角速度センサ及びその製造方法
WO2000033455A1 (fr) * 1998-12-02 2000-06-08 Seiko Epson Corporation Dispositif piezo-electrique et son procédé de fabrication
JP2000278080A (ja) * 1999-03-24 2000-10-06 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電デバイス
JP2001308141A (ja) * 2000-02-18 2001-11-02 Sony Corp 電子回路装置の製造方法
JP2003028649A (ja) * 2001-05-11 2003-01-29 Murata Mfg Co Ltd センサ回路モジュールおよびそれを用いた電子装置
JP2005039435A (ja) * 2003-07-17 2005-02-10 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電発振器

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006250583A (ja) * 2005-03-08 2006-09-21 Sony Corp 振動型ジャイロセンサ
US8087296B2 (en) 2006-03-15 2012-01-03 Panasonic Corporation Angular velocity sensor
JP2007285978A (ja) * 2006-04-19 2007-11-01 Fujitsu Media Device Kk 角速度センサ
JP2008157701A (ja) * 2006-12-22 2008-07-10 Sony Corp 圧電素子、振動型ジャイロセンサ、電子機器及び圧電素子の製造方法
JP2010014575A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Sony Corp 角速度センサ及びその製造方法
JP2011179941A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法、モーションセンサー及びモーションセンサーの製造方法
JP2012184993A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Nec Tokin Corp 圧電式加速度センサ
US8847708B2 (en) 2011-03-30 2014-09-30 Seiko Epson Corporation MEMS vibrator and oscillator
JP2013217813A (ja) * 2012-04-10 2013-10-24 Seiko Epson Corp センサーデバイス、センサーデバイスの製造方法および電子機器
JP2015132569A (ja) * 2014-01-15 2015-07-23 株式会社島津製作所 超音波疲労試験機
JP2014222233A (ja) * 2014-06-24 2014-11-27 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス及びモーションセンサー
US10551194B2 (en) 2014-07-16 2020-02-04 Seiko Epson Corporation Sensor unit, electronic apparatus, and moving body
US11041723B2 (en) 2014-07-16 2021-06-22 Seiko Epson Corporation Sensor unit, electronic apparatus, and moving body
JP2016118421A (ja) * 2014-12-19 2016-06-30 セイコーエプソン株式会社 センサーユニット、電子機器、および移動体
JP2017049436A (ja) * 2015-09-02 2017-03-09 セイコーエプソン株式会社 電子装置、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ

Also Published As

Publication number Publication date
US7654139B2 (en) 2010-02-02
EP1852679A1 (en) 2007-11-07
CN1969168B (zh) 2010-06-16
EP1852679A4 (en) 2012-05-09
CN1969168A (zh) 2007-05-23
US20080257044A1 (en) 2008-10-23
KR20070101108A (ko) 2007-10-16
WO2006090805A1 (ja) 2006-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006284551A (ja) 振動型ジャイロセンサ
JP5135683B2 (ja) 振動型ジャイロセンサ及び振動素子の製造方法
JP5037819B2 (ja) 電子機器
JP5107399B2 (ja) 振動型ジャイロセンサ
US7578187B2 (en) Vibrating gyroscopic sensor and method of adjusting vibrating gyroscopic sensor
JP4640459B2 (ja) 角速度センサ
JP2011108680A (ja) 積層基板の製造方法、ダイアフラムの製造方法、圧力センサーの製造方法
JP5146578B2 (ja) 振動型ジャイロセンサ
JP2006250583A (ja) 振動型ジャイロセンサ
JP2009186378A (ja) 支持基板及びそれを用いた静電容量型力学量検出センサ
JP2010043870A (ja) 角速度センサ素子、角速度センサ及び電子機器
JP2011106823A (ja) 圧力センサー及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20071028

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081225

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110208

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20111213