JP2004534150A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 蒸着プロセス用の反応チャンバに搬送される原料化学物質用の原料化学物質容器アセンブリであって、
   真空チャンバを画定する壁を有するとともに第１部および第２部を含む金属容器を備え、前記第１部は、前記容器の壁に開口を画定するように取外し可能であり、この開口を通して新しい材料を当該容器内に充填したり使用した材料を当該容器から取り除くことが可能であり、前記第１部および第２部はそれぞれフランジを備え、これらフランジがその間に金属ガスケットを挿入された状態で互いに対して押し付けられるように構成され、前記フランジの少なくとも一方が円錐状の面を有しており、
   スラスト片を有する結合部を備えたテンションチェーンを具備し、当該テンションチェーンに張力がかかると、前記スラスト片は前記二つのフランジに係合し、これらフランジを互いに押し付け、
   前記真空チャンバから前記反応チャンバへ繋がっているガス出口を備える、原料化学物質容器アセンブリ。
2. 前記金属シールおよびテンションチェーンがそれぞれ、前記金属容器の周縁に沿って設けられる、請求項１に記載の原料化学物質容器アセンブリ。
3. 前記金属容器が上壁、下壁、および側壁を有し、当該側壁はほぼ回転対称に構成され、回転対称軸に垂直な交差平面によって前記側壁は前記第１部と第２部とに切断され、当該第１部および第２部は前記金属シールによって互いに密封される、請求項１に記載の原料化学物質容器アセンブリ。
4. 原料化学物質を保持すると共に、前記開口を通して前記金属容器内に取外し可能に装填される内側容器をさらに備えている、請求項１に記載の原料化学物質容器アセンブリ。
5. 前記第１部が、前記内側容器の底面を受けるような大きさの内側凹部を備えている、請求項４に記載の原料化学物質容器アセンブリ。
6. 前記開口が前記容器の底端部に近接して形成され、ガス入口および前記ガス出口が当該容器の上端部に近接して形成される、請求項１に記載の原料化学物質容器アセンブリ。
7. 前記金属ガスケットが、ニッケル、ニッケル合金、ニッケル被覆金属、貴金属被覆した別の金属、および焼鈍した遷移金属からなるグループから選択した材料を含んである、請求項１に記載の原料化学物質容器アセンブリ。
8. 蒸着用の液体または固体原料化学物質の容器アセンブリであって、
   上部および下部を含む外側容器であって、当該上部及び下部はそれぞれフランジを備え、当該フランジはこれらの間に金属ガスケットを挟んだ状態で互いにシールされるように構成され、前記フランジの少なくとも１つが傾斜外面を有する外側容器と、
   固体または液体原料化学物質を保持するように構成され、前記外側容器内に格納される内側容器と、
   前記フランジの傾斜外面と相互作用するスラスト部により、横方向の締付力を長手方向の密封力に変えるように構成されたテンションチェーンと
   を備える容器アセンブリ。
9. 固体または液体原料化学物質を揮発させる熱源をさらに備えている、請求項８に記載の容器アセンブリ。
10. 前記金属ガスケットは、アルミまたは銅より硬いが、延性が小さい、請求項８に記載の容器アセンブリ。