KR101069171B1 - 분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기파트 - Google Patents

분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기파트 Download PDF

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KR101069171B1
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Abstract

본 발명은 분말소스 이송장치, 분말소스 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기 파트에 관한 것으로서, 본 발명은, 분말소스를 수용하며 하향 개구되어 분말소스를 배출하는 배출구를 갖는 리필용기, 리필용기로부터 배출된 분말소스를 수용하며, 분말소스를 배출하기 위해 하향 개구된 배출구를 갖는 메인용기, 및 메인용기로부터 배출된 분말소스를 미리 결정된 양만큼 수용하는 계량용기를 포함한다. 이에 의해, 분말소스의 안정적인 이송이 가능하고, 분말소스를 정밀하게 계량할 수 있다.
분말소스, 고체소스, 이송, 리필용기, 메인용기, 계량용기, 진동, 센서

Description

분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기 파트{Carrying apparatus, measuring method for powder source and measuring part used the same}
본 발명은 분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기 파트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 분말소스의 이송이 안정되도록 하고, 분말소스의 양을 정확히 계량할 수 있도록 하는 분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기 파트에 관한 것이다.
최근 DRAM과 같은 반도체 장치의 집적도가 높아지면서 실리콘 산화막(SiO2)을 이용한 게이트 산화막 또는 커패시터의 형성이 물리적 한계에 직면하고 있다. 이에 따라, 실리콘 산화막보다 유전율이 높은 물질에 대한 연구가 활발히 진행되어 실리콘 산화막의 수 배에 달하는 유전율을 갖는 Ta2O5 막 등의 새로운 종류의 박막이 개발되고 있다.
한편, 미소한 단차 형상으로 이루어지는 DRAM의 커패시터용 전극상에 박막을 형성하기 위해서는, 복잡한 형상의 표면에 피복성이 양호한 CVD법을 이용한 성막이 사용되며, 이 방법은 프로세스의 간략화라는 점에서도 대단히 유리하다. CVD법에서는 고유전율을 갖는 박막의 원료로서 소정의 금속을 포함한 유기금속 화합물이 이용된다. 이 원료를 기화시켜서 그 기체를 기판에 분사함으로써 고유전율의 박막이 형성된다.
또한 최근에는, 고유전율로 스텝 커버리지(Step Coverage)성이 높은 PbXZr1 -X TiO3(PZT)막, BaXSr1 - XTiO3(BST)막 등이 사용되고 있다. 이들 박막의 CVD 소스로는, Pb원으로는 Pb(DPM)2, Zr원으로서 Zr(OC(CH3)3)4, Ti원으로서 Ti(OCH(CH3)2)4, Ba원으로서 Ba(DPM)2, Sr원으로서 Sr(DPM)2이 사용되고 있다. 이중 일부는 액체소스의 형태로 일부는 고체소스의 형태로 사용되고 있다.
CVD 소스로서 액체소스를 사용하는 경우, 액체소스는 가스상태로 변환된 후 CVD 장치에 공급된다. 그러나, 일반적으로 액체소스는 낮은 증기압, 고점도, 기화온도와 분해온도 차가 적은 점 때문에, 품질저하 없이 원하는 농도, 유량, 고효율로 기화시키기가 곤란하다.
반면 고체소스는 고온으로 유지 승화시켜 기화시킴으로써 고순도의 소스를 얻을 수 있다는 장점이 있다. 그러나, 일반적으로 고체소스는 기계적 운반수단인 스크류 혹은 롤러 컨베이어를 이용하여 이송하게 되는데, 일정량의 분말을 스크류나 롤러 컨베이어 등을 이용하여 이송시, 분말 입자가 가동부와 정지부의 사이에 끼어 가동이 불가능해지거나, 분말 입자가 구동장치 부분을 마모시켜 발생한 파티클에 의해 고장이 유발된다. 이로 인해, 운반수단의 장시간 사용이 불가능해져 고 체소스의 일정한 공급에 차질을 빚게 된다.
이를 방지하기 위해, 통상적으로 고체소스를 테트라히드로푸란 등의 용매에 용해시켜 액상소스로 제조한 후 기화시켜 사용하고 있다. 그러나 고체소스는 기화온도가 용매의 기화온도와 크게 상이하기 때문에, 가열시 용매만 기화함으로써 액체소스의 기화보다 곤란한 점들이 발생하였다. 또한, 고체소스를 유기용매에 용해시킨 액체소스를 사용하는 경우, 소스 공급구에서 용매만이 기화하기는 경우가 많이 발생하며, 따라서, 장시간 사용시에는 고체소스가 석출되어 소스의 통로내에 부착됨으로써, 절연박막의 품질 및 순도에 나쁜 영향을 미칠 우려가 있었다.
한편, 다른 방법으로는 고체소스인 분말이 담긴 용기를 가열하여 고체소스를 기화시키고, 기화된 소스를 원하는 양만큼 이송시켜 사용하는 방법이 있다. 그러나, 이 방법의 경우, 공정이 진행됨에 따라 고체소스의 양이 감소하고, 이에 따라, 발생하는 기화소스의 발생량이 변한다는 단점이 있다. 또한, 기화된 소스가 용기의 온도가 낮은 부분, 즉, TC 포트와 배출 포트 쪽에 증착되어 결국 출구를 막게 됨으로써, 고체소스의 일부만을 사용한 상태에서 공정이 중단되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 분말소스의 이송을 원활히 하여 분말소스를 안정되게 공급할 수 있도록 하는 분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기 파트를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 분말소스의 양을 정확하게 계량할 수 있도록 하는 분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기 파트를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 분말소스 이송장치는, 분말소스를 수용하며, 상기 분말소스를 배출하기 위해 하향 개구된 배출구를 갖는 메인용기; 및 상기 메인용기로부터 배출된 상기 분말소스를 미리 결정된 양만큼 수용하는 계량용기; 를 포함한다.
또한, 본 분말소스 이송장치는, 분말소스를 수용하며 하향 개구되어 상기 분말소스를 상기 메인용기 측으로 배출하는 배출구를 갖는 리필용기;를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 분말소스 이송장치는, 상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시킬 수 있는 제2진동부재;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 분말소스 이송장치는, 상기 분말소스를 배출시키기 위해 상기 계량 용기를 진동시킬 수 있는 제3진동부재;를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 리필용기의 배출구에는 상기 메인용기내의 일정 위치까지 연장된 배출관이 하향 형성될 수 있다.
또한, 본 분말소스 이송장치는, 상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시킬 수 있는 제2진동부재;를 더 포함하며,
상기 배출구에는 상기 제2진동부재의 작동 전에는 상기 분말소스의 배출을 방지하고, 상기 제2진동부재가 작동하면 상기 분말소스를 배출하는 차단부재가 형성될 수 있다.
한편, 상기 차단부재는, 격자, 오리피스, 및 망사 중 어느 하나로 형성되며, 상기 메인용기의 진동시에만 분말소스가 통과할 수 있는 크기를 가질 수 있다.
또한, 상기 격자의 길이를 조절하거나 또는 격자의 모양을 변경함으로써 분말소스의 양을 조절할 수 있다.
한편, 본 분말소스 이송장치는, 분말소스를 수용하며 하향 개구되어 상기 분말소스를 상기 메인용기 측으로 배출하는 배출구를 갖는 리필용기; 및 상기 분말소스가 상기 배출구를 통해 배출되도록 상기 리필용기를 진동시킬 수 있는 제1진동부재;를 더 포함하며, 상기 메인용기에는 상기 분말소스의 양이 일정량에 도달하였는지 여부를 감지하기 위한 측정센서가 설치되며, 상기 측정센서의 측정결과에 따라서, 상기 제1진동부재의 진동이 제어될 수 있다.
또한, 상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시키는 제2진동부재;를 더 포함하며, 상기 제1진동부재 및 제2진동부 재 중 적어도 하나는 중력방향과 동일한 방향으로 진동을 발생시킬 수 있다.
한편, 본 분말소스 이송장치는, 메인용기 및 계량용기를 지지하기 위한 프레임;을 더 포함하며, 메인용기 및 계량용기 중 적어도 하나는 탄성력 있는 연결부재를 통해서 상기 프레임에 의해 지지될 수 있다.
또한, 상기 연결부재는 중력방향과 동일한 방향의 진동을 완화시킬 수 있다.
한편, 본 분말소스 이송장치는, 상기 계량용기는, 입구와 배출구를 가진 바디를 포함하며, 상기 배출구와 상기 입구 사이에 자석 및 자성체 중 어느 하나가 위치되고, 상기 자석 및 자성체 중 나머지 하나가 상기 배출구 근처에 위치될 수 있다.
또한, 상기 자석은 전자석이며, 상기 자성체와 상기 전자석과의 상호작용으로 상기 배출구가 개폐될 수 있다.
한편, 상기 자석은 영구자석이며, 상기 영구자석이 상기 바디를 따라 이동됨에 따라서 상기 배출구가 개폐될 수 있다.
또한, 본 분말소스 이송장치는, 상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시키는 제2진동부재;를 더 포함하며, 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 계량센서의 측정결과에 따라서, 상기 제2진동부재가 제어될 수 있다.
한편, 상기 계량센서는 레벨 센서로서, 이동가능할 수 있다.
또한, 본 분말소스 이송장치는, 상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시키는 제2진동부재;를 더 포함하며, 상기 계량용기에는 상기 메인용기로부터 배출되는 분말소스의 양을 측정하는 계량센서가 설치되며, 상기 제2진동부재의 동작과 상기 계량센서의 측정결과에 기초하여, 오작동 여부를 판단할 수 있다.
한편, 본 분말소스 이송장치는, 진공챔버를 더 포함하며, 상기 메인용기 및 계량 용기는 상기 진공 챔버의 내부에 위치될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 계량용기 파트는, 입구와 배출구를 가진 바디; 상기 바디에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 센서; 상기 센서의 측정결과에 기초하여, 상기 메인용기로부터 상기 계량용기 파트로 제공되는 분말소스의 양을 조절할 수 있다.
또한, 상기 센서는 이동가능하며, 상기 센서가 이동됨으로써 분말소스의 양이 조절될 수 있다.
한편, 상기 바디는 이동가능하며, 상기 바디가 이동됨으로써 분말소스의 양이 조절될 수 있다.
또한, 상기 배출구를 개폐하는 개폐부재;를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 개폐부재는, 자성체 및 이 자성체와 상호작용하는 자석을 포함하며, 상기 자석 및 자성체 중 하나는 상기 배출구와 상기 입구 사이에 위치되고, 나머지 하나는 배출구 근처에 위치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 분말소스 분말소스 정량방법은, 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 정량하기 위해서, 상기 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 센서 및 상기 계량용기 중 어느 하나를 이동시킴으로써, 상기 계량용 기내에 수용되는 분말소스의 양을 결정할 수 있다.
한편, 상기 센서가 이동하는 경우, 상기 센서는 레벨 센서이며, 수용하고자 하는 분말소스의 양을 나타내는 상기 계량용기의 레벨로, 상기 센서를 이동시킬 수 있다.
또한, 상기 센서가 이동하는 경우, 상기 이동되는 센서에 의해 측정되는 결과에 기초하여, 상기 계량용기로 분말소스를 공급하는 메인용기의 동작을 제어함으로써 상기 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 정량할 수 있다.
한편, 상기 메인용기의 진동을 제어함으로써 상기 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 정량할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 분말소스 정량방법은, 메인용기로부터 계량용기로 이송되는 분말소스의 양을 정량하기 위해서, 상기 메인용기로부터 이송되는 분말소스의 이송 횟수를 측정하는 단계;를 포함하며, 기측정된 1회 이송량과, 상기 이송 횟수에 기초하여 상기 계량용기로 이송되는 분말 소소의 양을 결정할 수 있다.
본 분말소스 이송장치, 정량방법, 및 이에 사용되는 계량 용기 파트는, 분말소스 이송장치의 안정적인 구동이 가능하고 이송경로의 막힘이 방지됨으로써, 분말소스의 안정적인 이송이 가능하다. 또한, 분말소스를 정밀하게 계량할 수 있고, 계량할 수 있는 양을 변경할 수 있다.
상술한 목적, 특징 및 장점들은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.
본 분말소스 이송장치 및 방법은, 분말소스를 다단계에 걸쳐 진동을 이용하여 이송시키고, 분말소스의 양을 정확히 계량할 수 있도록 함으로써, 분말소스의 이송이 원활하고 정량의 분말소스의 이송이 가능하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분말소스 이송장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 분말소스 이송장치의 측면도이고, 도 3은 도 1의 분말소스 이송장치의 단면도이며, 도 10 내지 도 14는, 본 발명의 일 실시예에 따른 분말소스 이송장치를 여러 측면에서 바라본 구성단면도이다.
본 분말소스 이송장치는, 분말소스를 수용하는 리필용기 파트(10)와, 리필용기 파트(10)로부터 제공된 분말소스를 일정 량만큼 수용하는 메인용기 파트(30)와, 메인용기 파트(30)로부터 제공된 분말소스를 계량하여 배출하는 계량용기 파트(50)와, 리필용기 파트(10), 메인용기 파트(30), 계량용기 파트(50)를 순차적으로 수직으로 지지하는 원통형상의 프레임(1)을 포함한다.
리필용기 파트(10)는, 일정량 이상의 분말소스를 수용하며 하향 개구된 리필용기(15)와, 리필용기(15)에 진동을 전달하여 분말소스가 배출되도록 하는 제1진동 부재(20)와, 리필용기(15)를 프레임에 결합시키는 제1연결부재(27)를 포함한다.
리필용기(15)는 바닥면의 중앙영역에 분말소스의 배출을 위한 배출구(16)가 형성되어 있고, 바닥면이 배출구(16)를 향해 하향 경사지게 형성되어 있다. 그리고 배출구(16)의 하부에는 메인용기(35)내의 일정 위치까지 연장된 배출관(17)이 하향 형성되어 있다. 이렇게 배출관(17)이 메인용기(35)내로 연장됨에 따라, 분말소스가 메인용기(35)내에 배출관(17)의 말단부의 위치보다 더 높이 분말소스를 수용할 수 없다. 이러한 배출관(17)에 의해 메인용기(35)에 제공되는 분말소스의 양이 제한될 수 있다.
리필용기(15)의 하부에는 리필용기(15)를 진동시키기 위한 제1진동부재(20)가 설치되어 있다. 제1진동부재(20)는, 진동을 형성하는 한 쌍의 진동체(21)와, 배출관(17)을 중심으로 한 쌍의 진동체(21)를 연결하는 진동바아(23)를 포함한다. 각 진동체(21)로부터 발생된 진동은 진동바아(23)를 통해 리필용기(15)에 전달된다. 여기서, 각 진동체(21)에서 발생하는 진동은 리필용기(15)에 저장된 분말소스를 진동시켜 배출구(16)로 배출시킬 수 있는 주파수를 가지며, 각 진동체(21)로는 예를 들면 솔레노이드, 엑츄에이터, 또는 편심모터 등을 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진동체(21)는, 즉, 중력방향과 동일 또는 평행한으로 진동을 발생시키며, 중력방향과 수직인 방향(즉, 좌우방향)으로는 진동을 발생시키지 않는다. 이러한 경우, 연결부재(27, 47)들도 상향방향으로 탄성력을 가지는 것이 바람직할 것이다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제1진동부재(20)는, 메인용기에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 센서의 측정결과에 기초하여, 그 진동동작이 제어될 수 있다. 예를 들면, 후술하는 센서(45)의 측정결과, 메인용기에 수용되는 분말소스의 양이 적다면, 제1진동부재(20)는 리필용기(10)를 진동시킬 수 있다.
한편, 리필용기(15)의 배출구(16) 영역에는 리필용기(15)내에 수용된 분말소스의 양을 측정하기 위한 리필용 센서(25)가 설치되어 있다. 리필용 센서(25)는 광센서, 초음파 센서, 압력센서, 정전용량센서, 근접센서 등을 사용할 수 있으며, 리필용기(15)내에 수용된 분말소스의 양이 리필용 센서(25)가 설치된 위치 이하가 되면, 리필용 센서(25)가 이를 감지할 수 있다. 리필용 센서(25)에 의해 감지된 결과는, 예를 들면, 관리자가 알 수 있도록 디스플레이부(미도시)를 통해서 표시되거나, 관리자에 의해 관리되는 외부 장치(미도시)로 전송될 수 있다. 여기서, 디스플레이부(미도시)는 엘시디 화면과 같은 구성일 수 있으며, 리필용 센서(25)에 의해 감지된 결과를 표시한다. 디스플레이부(미도시)는 본 분말소스 이송장치의 임의의 위치(내부 또는 외부)에 관리자가 쉽게 볼 수 있는 곳에 위치될 수 있다. 한편, 리필용 센서(25)에 의해 감지된 결과가 외부장치로 전송되는 경우에는, 유선 또는 무선에 의해 전송될 수 있다. 무선(미도시)에 전송되는 경우에는, 본 분말소스 이송장치는 무선통신부(미도시)를 추가로 구비하며, 이러한 무선통신부에 의해 리필용 센서(25)의 감지결과가 관리자에 의해 관리되는 외부장치로 전송될 수 있다.
리필용기(15)의 상면에는 리필용기(15)의 둘레방향을 따라 소정 간격을 두고 배치되어 프레임(1)과 리필용기(15)를 결합시키는 제1연결부재(27)가 장착되어 있다. 제1연결부재(27)는 "Z"자 형상으로 절곡된 판 스프링 또는 실리콘 와이어 등 탄성을 가지는 재질로 제작되어, 제1진동부재(20)에 의해 발생된 리필용기(15)의 진동이 프레임(1)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 제1연결부재(27)에 의해서 프레임(1)으로부터 리필용기(15)가 받는 충격이 완화 또는 거의 없어질 수 있으며, 또한 리필용기(15)로부터 프레임(1)이 받는 충격도 완화 또는 거의 없어질 수 있다.
본원 발명의 일 실시예에 따르면, 리필용기 파트(10)는, 메인용기 파트(30)와 접촉되지 않고 분리되어 있으므로, 리필용기 파트(10)에서 발생되는 충격이 메인용기 파트(30)로 전달되지 않는다. 리필용기 파트(10)는 제1진동부재(20)에 의해 프레임(1)에만 연결되므로,리필용기 파트(10)로부터 발생되는 충격은 제1진동부재(20)에 의해 완화되어 프레임(1)에 거의 전달되지 않는다. 후술하겠지만, 프레임(1)이 리필용기 파트(10)로부터 경미한 충격량을 받더라도, 메인용기 파트(30)도 제2연결부재(47)에 의해 프레임(1)과 연결되어 있으므로, 리필용기 파트(10)로부터 발생되는 충격은 메인용기 파트(30)에 전달되지 않을 것이다. 반대로, 메인용기 파트(30)에서 발생되는 충격도, 리필용기 파트(10)에는 전달되지 않을 것이다. 이로써, 본 분말소스 이송장치는 외부의 충격이나, 리필용기 파트(10)와 메인용기 파트(30) 상호 간의 충격으로부터 분리되어, 진동의 영향 없이 안정적으로 동작할 수 있게 된다. 차츰 알게 되겠지만, 리필용기 파트(10), 메인용기 파트(30), 및 계량용기 파트(50)들은 서로 상호간에 충격의 영향이 없도록 구성되어 있다.
한편, 메인용기 파트(30)는, 리필용기(15)로부터 배출된 일정량의 분말소스를 수용하는 배출구(36)를 갖는 메인용기(35)와, 일정 주파수의 진동을 발생시켜 메인용기(35)를 진동시키는 제2진동부재(40)와, 리필용기(15)를 프레임(1)에 결합시키는 제2연결부재(47)를 포함한다. 제2연결부재(47)는 메인용기 파트(30)를 프레임(1)에 연결시키며, 이로써 메인용기 파트(30)로부터 발생되는 진동과 같은 충격은 프레임(1)에 완화되어 전달되거나 거의 전달되지 않으며, 반대로 프레임(1)에 발생되는 충격도 메인용기 파트(30)에 완화되거나 거의 전달되지 않을 수 있다. 메인용기 파트(20)와 리필용기 파트(10)는 서로 직접적으로 연결되는 부분이 없으며, 메인용기 파트(20)는 오직 제2연결부재(47)에 의해서만 프레임(1)에 연결되고, 리필용기 파트(10)는 오직 제1연결부재(27)에 의해서만 프레임(1)에 연결된다. 후술하는 계량용기 파트(50) 역시, 메인용기 파트(20)나 리필용기 파트(10) 어느 곳과도 직접적으로 연결되는 부분이 없으며, 프레임과만 직접 연결되어 고정된다.
본원 발명의 일 실시예에 따른 분말이송장치는 그 내부가 진공인 진공챔버(미도시)에 위치될 수 있으며, 이러한 경우 진공이 유지되어야 하므로, 안정성이 매우 중요하다. 이를 위해서, 본원 발명에 따른 분말이송장치에서의 계량용기 파트(50), 메인용기 파트(20), 리필용기 파트(10)는 연결부재들(27, 47)에 의해 상호 영향이 최소화 되도록 구성되었다.
메인용기(35)는 전체적으로 하부로 갈수록 폭이 좁아지는 깔대기 형상으로 형성될 수 있으며, 일정량의 분말소스를 수용한다. 메인용기(35)의 하단부에는 분말소스의 배출을 위한 배출구(36)가 형성되어 있고, 배출구(36)에는 제2진동부재(40)의 진동 전에는 분말소스의 배출을 방지하기 위한 차단부재(미도시)가 배출구(36)를 차단하도록 형성되어 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 차단부재는 격자, 오리피스, 망사 중 하나로 형성될 수 있다. 격자, 오리피스, 또는 망사로 형성되는 경우, 이들이 형성하는 메쉬의 크기는 제2진동부재(40)가 진동되면 분말소스가 메쉬를 통과할 수 있지만, 제2진동부재(40)의 진동 전에는 메쉬를 통과하지 못할 정도의 크기이다. 여기서, 격자, 오리피스, 또는 망사의 크기의 길이나 모양을 조절함으로써 분말소스의 양을 조절할 수 있다.
차단부재(미도시)는 예를 들면 구멍이나 슬롯을 가진 부재도 가능하다. 이 역시, 구멍이나 슬롯의 크기는, 제2진동부재(40)가 진동되면 분말소스가 구멍이나 슬롯을 통과할 정도의 크기를 가질 수 있으며, 제2진동부재(40)의 진동 전에는 구멍이나 슬롯을 통과하지 못할 정도의 크기로 형성될 수 있다. 여기서, 구멍이나 슬롯의 크기의 길이나 모양을 조절함으로써 분말소스의 양을 조절할 수 있다.
이러한 메인용기(35)에는 분말소스의 양을 측정하는 측정센서(45)가 설치되어 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 측정센서(45)는 메인용기(35)의 상부 측에 설치될 수 있으며, 리필용기(15)로부터 배출된 분말소스가 메인용기(35)의 측정센서(45)가 설치된 위치까지 도달하여 메인용기(35)에 충분한 양의 분말소스가 수용되어 있는지 여부를 감지할 수 있다. 측정센서(45)는 광센서, 초음파 센서, 압력센서, 정전용량센서, 또는 근접센서 등을 사용할 수 있으며, 측정센서(45)의 위치 또는 개수는 필요에 의해 변경될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 측정센서(45)에 의해 감지된 결과는, 제1진동부재(20)에 전달될 수 있으며, 측정센서(45)의 감지결과에 따라서 제1진동부재(20)가 진동 또는 진동되지 않을 수 있다.
제2진동부재(40)는, 한 쌍의 진동체(41)와, 메인용기(35)의 배출구(16) 영역을 중심으로 양측으로 연장되며 양단에 각각 진동체(41)가 장착된 진동바아(43)를 포함한다. 진동바아(43)는 메인용기(35)의 배출구(16)에 인접한 영역으로부터 상향 절곡된 다음 다시 외측으로 절곡되도록 형성된다. 제2진동부재(40)의 각 진동체(41)는, 제1진동부재(20)의 각 진동체(21)와 마찬가지로, 솔레노이드, 엑츄에이터, 또는 편심모터 등을 사용할 수 있으며, 분말소스를 배출구(16)를 통해 배출시킬 수 있도록 적합한 주파수를 갖는 진동을 형성한다.
이러한 메인용기(35)의 상부에는 프레임(1)에 메인용기(35)를 결합시키기 위한 "Z" 형상의 제2연결부재(47)가 장착되어 있으며, 제2연결부재(47)는 판 스프링, 실리콘 와이어 등으로 제작될 수 있다.
상술한 제1연결부재(27)와 제2연결부재(47)의 형상은 예시적인 것으로서, 그러한 형상에 본원발명이 한정되는 것은 아니며, 충격을 완화시킬 수 있는 재질과 형상이라면 본원 발명의 연결부재들로서 사용될 수 있다. 본원발명의 일 실시예에 따르면, 리필용기(10), 메인용기(30), 및 계량용기(55) 중 적어도 하나는 충격을 완화시킬 수 있는 탄성력 있는 연결부재에 의해 프레임(1)에 연결될 수 있다.
계량용기 파트(50)는, 메인용기(35)로부터 배출된 분말소스를 수용하는 계량용기(55)와, 계량용기(55)의 배출구(56)를 개폐하는 개폐부재(57,70)와, 계량용기(55)내의 분말소스의 양을 제어하기 위한 센서부재(59,60)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 계량용기(55)는, 입구와 배출구를 가진 바디로 형성되며, 계량용기(55)의 입구는 메인용기(35)로부터의 분말소스를 수용하기 용이 하도록 호퍼형상으로 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 바디는 실린더 형상으로 형성될 수 있다. 계량용기(55)가 지름이 작은 실린더 형상으로 형성되는 경우, 계량용기(55)로부터 배출되는 분말소스의 양을 미세한 단위 예를 들면 mg 단위까지 계량할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 계량용기(55)는 조도가 좋은 재질(예를 들면 유리관)이 바람직하다. 여기서 조도는 거친 정도를 나타내는 파라미터이다.
개폐부재(57,70)는, 계량용기(55)의 배출구(56)를 개폐하는 자성체(57)와, 자석(70)을 포함한다. 여기서, 자성체(57)와 자석(70)은 서로 상호작용에 의해서 개폐동작을 수행할 수 있다. 자석은 예를 들면 계량용기의 입구와 배출구 사이에 위치될 수 있고, 자성체는 계량용기의 배출구의 근처에 위치될 수 있다. 물론, 반대로, 자성체가 계량용기의 입구와 배출구 사이에 위치되고, 자석이 계량용기의 배출구의 근처에 위치될 수도 있다. 도 4a에서는, 배출구의 바로 하부에 자성체가 위치된 것으로 도시되었지만, 이에만 한정되는 것이 아니며, 자성체나 자석이 상호 작용을 할 수 있는 위치라면 자성체가 위치될 수 있다.
자성체(57)와 자석(70)은 자력에 의해 상호 붙거나 근접하여 이동할 수 있으며, 여기서 자석(70)은 예를 들면 전자석 또는 영구자석일 수 있다. 본 실시예에서 사용된 자성체는 금속구슬이 사용되었지만, 자석(70)과 상호작용을 하는 물질 또는 물체는 본원 발명에 사용될 수 있다. 바람직하게는, 강자성체이겠지만, 경우에 따라서 상자성체도 사용가능할 것이다.
전자석을 사용할 경우, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 전자석(170)은 배출구(16)의 외부에 배출구(16)에 인접하게 장착되며, 전자석(170)에 전원이 공급되면 자력이 발생하여 자성체(57)가 자력에 의해 전자석(170)이 위치한 배출구(56)까지 상승하여 배출구(56)를 폐쇄하게 된다. 이때, 자성체(57)가 배출구(56)를 기밀하게 폐쇄하도록 전자석(170)을 배출구(56)보다 약간 상측에 설치하는 것이 바람직하다.
영구자석을 사용할 경우, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 계량용기(55)를 둘러싸도록 영구자석(77)을 장착하고, 영구자석(77)을 승하강시킬 수 있는 엑츄에이터(71)를 설치할 수 있다. 엑츄에이터(71)의 작동축(73)이 상하방향으로 배치되도록 프레임(1)에 설치하고, 엑츄에이터(71)의 작동축(73)과 자석(77)을 연결간(75)으로 연결하여 엑츄에이터(71)의 작동에 따라 자석(77)이 계량용기(55)를 따라 승하강하도록 한다. 이에 따라, 배출구(16)를 폐쇄할 경우에는 자석(77)이 배출구(16)를 둘러싸도록 엑츄에이터(71)의 작동축(73)을 하강시키고, 배출구(56)를 개방할 경우에는 자석(77)이 배출구(56)로부터 이격되어 자성체(57)로 자력을 미치지 못하도록 자석(77)을 승강시킨다. 이와 같이, 영구자석을 사용하는 경우, 전력공급이 중단되더라도, 자성체(57)가 배출구(57)를 패쇄 하는 상태(즉, Normal-Close State)를 유지하므로, 배출구(16)로 의도하지 않았던 분말의 배출 현상이 발생하지 않는다. 한편, 자성체(57)를 지지하는 자성체 지지대(91)가 추가적으로 설치되어 자성체(57)가 적절하게 지지되도록 할 수 있다(도 11 내지 도 12 참조). 도 11 내지 도 12를 참조하면, 자성체 지지대(91)는 자성체(57)를 지지함과 동시에 분말소스를 통과시킬 수 있는 구조로 되어 있음을 알 수 있다.
도 1과 도 6을 참조하면, 본원 발명의 일 실시예에 따른 센서부재(59,60)는, 계량용기(55)내에 수용되는 분말소스의 양을 제어하기 위해 계량용기(55)의 일측에 설치된 계량센서(59)와, 계량센서(59)를 계량용기(55)의 상하방향을 따라 이동시키기 위한 구동부(60)를 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 계량센서(59)는 레분말소스의 레벨을 측정하는 레벨센서일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 분말 소스의 양을 측정할 수 있는 센서라면 사용가능하다.
계량센서(59)는 미리 설정된 일정량의 분말소스가 계량용기(55)에 수용되는 위치에 설치될 수 있으며, 광센서, 초음파 센서, 정전용량센서, 근접센서 등을 사용할 수 있다. 본원 발명의 일 실시예에 따르면 계량센서(59)의 감지결과는, 제2진동부재(40)에 전달될 수 있다. 예를 들면, 제2진동부재(40)는 "계량센서(59)의 감지결과"가 미리 설정된 레벨까지 분말소스가 수용되지 않았다는 것을 나타내면 진동 동작을 계속 하거나 시작할 수 있다. 하지만, "계량센서(59)의 감지결과"가 미리 설정된 레벨까지 분말소스가 수용되었다는 것을 나타내면 제2진동부재(40)는 진동 동작을 중지한다. 이로써, 원하는 양의 분말소스를 정밀하게 제어할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 계량용기(55)에는 센서가 상하방향을 따라 복수 개가 설치될 수도 있다. 도 9는 도 1의 계량용기 파트에 복수의 계량센서가 위치시키는 구성을 나타내는 예시도 이며, 도 9를 참조하여 상세히 설명한다.
도 9를 참조하면, 계량용기(55)에는 상부의 계량센서(81)와 하부의 계량센서(59)가 위치된다. 여기서 계량센서(59)는 상술한 바와 같이, 계량용기(55)에 수용되는 분말소스의 양을 측정하고 측정결과를 제2진동부재(40)에 전달할 수 있다. 한편, 상부의 계량센서(81)는 메인용기(35)에 진동이 가해지는 동안 분말소스가 메인용기(35)로부터 배출되는지 여부를 감지할 수 있다. 상부의 계량센서(81)의 감지결과는 적절한 수단을 통해서 본 분말소스 이송장치의 사용자에게 표시될 수 있을 것이다. 이에 따라, 메인용기(35)가 정상적으로 진동됨에도 불구하고 정상적인 분말 이송이 이루어지지 아니하는 오작동을 검출하여 공정의 안정성을 보장할 수 있다.
구동부(60)는 계량하여 배출하고자 하는 분말소스의 양을 조절할 수 있도록 계량센서(59)의 위치를 변경하기 위해 마련되며, 계량센서(59)를 계량용기(55)의 길이방향을 따라 정밀하게 이동시킬 수 있는 다양한 형태로 구성될 수 있다. 구동부(60)는 분해능이 우수한 것이 바람직하며, 센서의 위치를 정밀하게 제어함으로써, 미량의 분말소스를 계량할 수 있게 된다.
구동부(60)의 동작은, 예를 들면, 외부의 사용자 인터페이스 장치나 외부 장치에 의해 제어될 수 있다. 여기서, 사용자 인터페이스 장치(미도시)는 분말소스의 양을 선택할 수 있는 입력부(미도시)와 디스플레이부(미도시)로 구성될 수 있으며, 외부장치는 구동부(60)의 동작을 제어하기 위해서 구동부(60)와 유선 또는 무선으로 연결될 수 있다. 이처럼, 구동부(30)의 동작을 제어하기 위한 사용자 인터페이스 장치, 또는 외부장치와 같은 기술적 구성들은 본 발명의 실시자들이 필요에 따라서 다양한 형태로 구현가능하며, 필요에 맞게 실시할 수 있을 것이다.
구동부(60)에 의해 계량센서(59)의 위치가 변경될 수 있으며, 이러한 위치변경에 의해 분말소스의 양을 정밀하게 조정할 수 있음은 상술한 바와 같다.
본 발명의 일 실시예에 따른 구동부는, 도 3에 도시된 바와 같이, 모터(61), 볼스크류(63), LM가이드(65)를 사용할 수 있다. 모터(61)는 모터축이 상하방향으로 배치되도록 프레임(1)의 바닥면에 장착되고, 회전수의 정밀제어가 가능한 스텝모터, 리니어 모터 등을 사용할 수 있다. 모터축에는 볼스크류(63)가 장착되어 모터(61)로부터의 회전력을 LM가이드(65)로 전달한다. LM가이드(65)는, 계량센서(59)가 장착되고 계량용기(55)를 감싸는 센서측 아암(67)과, 모터축의 볼스크류(63)에 맞물리는 암나사산을 갖는 모터측 아암(66)을 갖는다. 이에 따라, 모터(61)가 정역 회전하면, 볼스크류(63)가 정방향 또는 역방향으로 회전하고, LM가이드(65)는 계량용기(55)의 상하방향으로 이동하게 된다. 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이, 계량센서(59)의 위치를 조절하여 계량용기(55)에 수용되는 분말소스의 양을 조절할 수 있다.
도 6에 도시된 실시예는 센서의 위치를 조절함으로써 분말소스의 양을 조절하는 구성을 채택하였으나 이는 예시적인 구성으로서, 센서를 고정하고 계량 용기를 이동시키는 방법으로도 분말소스의 양을 조절할 수 있다. 예를 들면, 광센서를 고정하고, 계량 용기를 적절한 구동부를 이용하여 이동시킴으로써, 계량 용기에 수용되는 분말소스의 양을 조절하는 구성을 채택할 수도 있다.
한편, 도시되지는 아니하였으나, 계량용기 파트(50)에는 제3진동부재가 구비되어 계량용기(55)에 진동을 전달할 수 있으며, 제3진동부재는 계량용기(55)에 수용된 분말소스를 배출하기 위해 사용될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분말소스 이송장치의 개략적 구성단면 도이다.
본 실시예의 분말소스 이송장치는, 리필용기 파트(10)와 메인용기 파트(30)를 갖는다는 점에서는 상술한 실시예와 그 구성이 유사하다.
다만, 본 실시예의 분말소스 이송장치는, 메인용기(35)의 하부에 계량용기(55)를 설치하지 아니하고, 바로 이송관(151)을 설치하고, 이송관(151)의 일측에 배출되는 분말소스의 양 또는 분말소스의 배출 여부를 측정할 수 있는 이송센서(159)를 설치한다. 이에 따라, 이송센서(159)가 메인용기(35)로부터 분말소스가 배출되는 시간 또는 횟수를 측정함으로써, 메인용기(35)에서 배출되는 분말소스의 양을 측정할 수 있다. 구체적으로는, 메인용기(35)가 진동됨에 따라서 분말소스는 계량 용기(55) 측으로 일정량씩 이동되며, 이송센서(159)는 이동 횟수를 측정함으로써, 메인용기(35)로부터 계량 용기(55) 측으로 이송되는 양을 측정할 수 있다. 즉, 이송센서(159)로부터 측정된 이동 횟수 값과, 이동되는 일정량을 이용하여 CPU(미도시)와 같은 수단을 채용함으로 가능하다. 여기서,이동되는 일정량은 1회 이송량으로서, 시험적으로 결정될 수 있는 량이다.
도 8은 도 1의 분말소스 이송장치에 의한 분말소스 이송과정을 나타낸 흐름도이다.
분말소스가 리필용기(15)에 일정량 이상 수용되어 있는 상태에서 메인용기(35)로 분말소스를 공급하기 위해, 제1진동부재(20)를 작동시켜 진동을 발생시킨다(S800). 제1진동부재(20)로부터의 진동에 의해 리필용기(15)로부터의 분말소스가 메인용기(35)로 배출된다(S810). 분말소스가 일정량만큼 배출되어 메인용 기(35)의 측정센서(45)에서 분말소스를 감지하면(S820), 제1진동부재(20)의 작동이 정지된다(S830).
그런 다음, 메인용기(35)로부터의 계량용기(55)로 분말소스를 배출하기 위해, 제2진동부재(40)를 작동시킨다(S840). 메인용기(35)로부터 계량용기(55)로 분말소스가 제공되고(S850), 계량용기(55)의 계량센서(59)가 분말소스를 감지하면(S860), 제2진동부재(40)의 작동을 정지시킨다(S870). 마지막으로 계량용기(55)에서 계량된 일정량의 분말소스를 배출하기 위해, 제3진동부재를 작동시키고(S880), 이와 동시에, 배출구(16)를 개방시켜 분말소스를 배출한다(S890).
이러한 구성에 의한 분말소스 이송장치는, 분말소스가 리필용기(15), 메인용기(35), 계량용기(55)는 상호 간의 영향을 줄 수 있는 충격을 최소화시킴으로써, 분말소스를 원하는 양만큼 안정되게 이송시킴으로써, 분말소스를 정밀하게 계량할 수 있다. 또한, 분말소스에 의해 이송장치가 고장 나는 것을 미리 감지하여 분말소스 이송장치의 안정적인 구동이 가능해지고, 분말소스의 안정적인 이송이 가능하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 분말소스 정량방법은, 분말소스를 수용하는 리필용기(10), 리필용기(10)로부터 분말소스를 제공받아 수용하는 메인용기(30), 및 메인용기(30)에 의해 분말소스를 제공받아 수용하는 계량용기(55)를 상하방향으로 순차적으로 배치하며, 여기서, 계량용기(55)는 메인용기(30)의 진동에 의해 분말소스를 제공받을 수 있다. 여기서, 배치시에, 리필용기(10), 메인용기(30), 및 계량용기(55) 중 적어도 하나를 진동부재에 의해 프레임(1)에 고정시킬 수 있다.
또한, 본 분말소스 정량방법은, 센서를 이용하여 계량용기(55)에 수용되는 분말소스의 양을 측정하며, 센서에 의해 측정되는 결과에 기초하여, 메인용기(30)의 진동을 제어함으로써 계량용기(55)에 수용되는 분말소스의 양을 조절한다. 또한, 계량용기(55)에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 센서의 위치를 변경할 수 있으며, 위치가 변경된 센서에 의해 측정되는 결과에 기초하여, 메인용기(30)의 진동을 제어함으로써 계량용기(55)에 수용되는 분말소스의 양을 조절할 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 메인용기(35)가 진동됨에 따라서 분말소스는 계량 용기(55) 측으로 일정량씩 이동되며, 이송센서(159)는 이동 횟수를 측정함으로써, 메인용기(35)로부터 계량 용기(55) 측으로 이송되는 양을 측정할 수 있다. 즉, 이송센서(159)로부터 측정된 이동 횟수 값과, 이동되는 일정량을 이용하여 CPU(미도시)와 같은 수단을 채용함으로 가능하다. 여기서, 이동되는 일정량은 1회 이송량으로서 시험적으로 결정될 수 있는 량이다.
정밀하게 분말소스를 계량할 수 있으므로, 원하는 양만큼의 분말소스를 다음 공정으로 제공할 수 있다. 이에 따라, CVD 방법을 적용한 반도체 공정에서 정량의 기화가 가능하여 우수한 품질과 순도의 반도체를 생산할 수 있다.
상술한 실시 예들에서는, 광센서, 초음파 센서, 정전용량센서, 또는 근접센서들을 예로 들었으나 본원 발명은 이러한 센서들에만 한정되는 것은 아니며, 분말의 레벨을 측정할 수 있는 센서라면 본원 발명에 사용될 수 있다. 또한, 상술한 실시 예들에 사용된 진동체와 다른 형상이나 다른 방식으로 리필용기(15), 메인용기(35), 계량용기(55)들을 진동시킬 수 있음은 물론이다.
또한 상술한 실시예들에서, 리필 용기 파트, 메인 용기 파트, 계량 용기 파트가 각각 구분되어 진공 챔버에 고정되는 것으로 설명하였으나, 이는 예시적인 구성이며 이들 파트를 전부 또는 일부를 일체적으로 구성하는 것도 당연히 가능하다. 예를 들면, 메인 용기 파트와 계량 용기 파트를 일체형으로 구성하거나, 리필 용기 파트와 메인 용기 파트를 일체형으로 구성하거나, 또는 이들 세가지 파트를 모두 일체형으로 구성하는 것이 가능하며, 리필 용기 파트는 생략하고 메인 용기 파트와 계량 용기 파트를 일체형으로 구성하는 것이 가능하다. 한편, 리필 용기 파트, 메인 용기 파트, 계량 용기 파트가 각각 구분되어 진공 챔버에 고정되는 경우, 진동을 주는 구성은 이들 각각의 파트마다 설치되는 것으로 설명하였으나, 상술한 설명처럼, 이들 파트가 부분적 또는 전체적으로 일체화된다면, 일체화된 부분별로 진동수단을 하나씩 설치하는 구성도 가능할 것이나 2개 이상 설치하더라도 무방하다. 마찬가지로, 일체화된 구성의 경우, 진공 챔버에 고정시키는 수단 역시 일체화된 부분별로 하나씩 설치하는 구성도 가능할 것이나, 2개 이상 설치하더라도 무방하다.
한편, 본 발명을 구성하는 구성요소들을 전자적으로 제어하거나 상호 통신하는 기술적 구성에 대하여는 상세히 설명하였지만, 그러한 기술은 본 발명이 속하는 기술분야에 속하는 자라면 누구나 용이하게 구현할 수 있을 것이다. 예를 들면, CPU, 저장부, 또는 유무선 통신장치를 이용하게 구현할 수 있을 것이며, 각 구성요소를 자동적으로 제어할 때는 제어시키기 위한 동작프로그램을 저장부에 저장시키고, 필요한 경우 CPU에 의해 실행되도록 할 수 있을 것이다.
본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시형태에 관해 설명하였으나, 이는 예시적인 것으로 받아들여져야 하며, 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 한도내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 형태에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분말소스 이송장치의 사시도,
도 2는 도 1의 분말소스 이송장치의 측면도,
도 3은 도 1의 분말소스 이송장치의 단면도,
도 4a 및 도 4b는 도 1의 계량용기 파트에서 자력부를 전자석으로 구성하는 경우를 실시예로 보인 부분 예시도,
도 5a 및 도 5b는 도 1의 계량용기 파트에서 자력부를 자석으로 구성하는 경우를 실시예로 보인 부분 예시도,
도 6은 도 1의 계량용기 파트에서 계량센서를 이동시켜 계량되는 분말소스의 양이 변경하는 예를 보인 예시도,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분말소스 이송장치의 개략적 구성단면도,
도 8은 도 1의 분말소스 이송장치에 의한 분말소스 이송과정을 나타낸 흐름도,
도 9는 도 1의 계량용기 파트에 복수의 계량센서가 위치시키는 구성을 나타내는 예시도이며,
도 10 내지 도 14는, 본 발명의 일 실시예에 따른 분말소스 이송장치를 여러 측면에서 바라본 구성단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 프레임 10 : 리필용기 파트
15 : 리필용기 20 : 제1진동부재
30 : 메인용기 파트 35 : 메인용기
40 : 제2진동부재 50 : 계량용기 파트
55 : 계량용기

Claims (29)

  1. 분말소스를 수용하며, 상기 분말소스를 배출하기 위해 하향 개구된 배출구를 갖는 메인용기;
    상기 메인용기로부터 배출된 상기 분말소스를 미리 결정된 양만큼 수용하는 계량용기; 및
    분말소스를 수용하며 하향 개구되어 상기 분말소스를 상기 메인용기 측으로 배출하는 배출구를 갖는 리필용기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시킬 수 있는 제2진동부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 분말소스를 배출시키기 위해 상기 계량용기를 진동시킬 수 있는 제3진동부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 리필용기의 배출구에는 상기 메인용기내의 일정 위치까지 연장된 배출관이 하향 형성된 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시킬 수 있는 제2진동부재;를 더 포함하며,
    상기 배출구에는 상기 제2진동부재의 작동 전에는 상기 분말소스의 배출을 방지하고, 상기 제2진동부재가 작동하면 상기 분말소스를 배출하는 차단부재가 형성된 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 차단부재는, 격자, 오리피스, 및 망사 중 어느 하나로 형성되며, 상기 메인용기의 진동시에만 분말소스가 통과할 수 있는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 격자의 길이를 조절하거나 또는 격자의 모양을 변경함으로써 분말소스의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    분말소스를 수용하며 하향 개구되어 상기 분말소스를 상기 메인용기 측으로 배출하는 배출구를 갖는 리필용기; 및
    상기 분말소스가 상기 배출구를 통해 배출되도록 상기 리필용기를 진동시킬 수 있는 제1진동부재;를 더 포함하며,
    상기 메인용기에는 상기 분말소스의 양이 일정량에 도달하였는지 여부를 감지하기 위한 측정센서가 설치되며,
    상기 측정센서의 측정결과에 따라서, 상기 제1진동부재의 진동이 제어되는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시키는 제2진동부재;를 더 포함하며,
    상기 제1진동부재 및 제2진동부재 중 적어도 하나는 중력방향과 동일한 방향으로 진동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    메인용기 및 계량용기를 지지하기 위한 프레임;을 더 포함하며,
    메인용기 및 계량용기 중 적어도 하나는 탄성력 있는 연결부재를 통해서 상 기 프레임에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 연결부재는 중력방향과 동일한 방향의 진동을 완화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 계량용기는, 입구와 배출구를 가진 바디를 포함하며,
    상기 배출구와 상기 입구 사이에 자석 및 자성체 중 어느 하나가 위치되고,
    상기 자석 및 자성체 중 나머지 하나가 상기 배출구 근처에 위치되는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치,
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 자석은 전자석이며,
    상기 자성체와 상기 전자석과의 상호작용으로 상기 배출구가 개폐되는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 자석은 영구자석이며,
    상기 영구자석이 상기 바디를 따라 이동됨에 따라서 상기 배출구가 개폐되는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시키는 제2진동부재; 및
    계량용기 내에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 계량센서;를 더 포함하며,
    상기 계량센서의 측정결과에 따라서, 상기 제2진동부재가 제어되는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 계량센서는 레벨 센서로서, 구동부에 의해 상기 계량센서를 따라서 이동가능한 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 분말소스가 상기 메인용기의 배출구를 통해 배출되도록 상기 메인용기를 진동시키는 제2진동부재;를 더 포함하며,
    상기 계량용기에는 상기 메인용기로부터 배출되는 분말소스의 양을 측정하는 계량센서가 설치되며,
    상기 제2진동부재의 동작과 상기 계량센서의 측정결과에 기초하여, 오작동 여부를 판단할 수 있는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  19. 제 1 항에 있어서,
    진공챔버를 더 포함하며,
    상기 메인용기 및 계량 용기는 상기 진공 챔버의 내부에 위치되는 것을 특징으로 하는 분말소스 이송장치.
  20. 메인용기로부터 분말소스를 제공받는 계량용기 파트에 있어서,
    입구와 배출구를 가진 바디;
    상기 바디에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 센서;
    상기 센서의 측정결과에 기초하여, 상기 메인용기로부터 상기 계량용기 파트로 제공되는 분말소스의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 계량 용기 파트.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 센서는 이동가능하며, 상기 센서가 이동됨으로써 분말소스의 양이 조절되는 것을 특징으로 하는 계량 용기 파트.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 바디는 이동가능하며, 상기 바디가 이동됨으로써 분말소스의 양이 조절되는 것을 특징으로 하는 계량용기 파트.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 배출구를 개폐하는 개폐부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 계량용기 파트.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 개폐부재는, 자성체 및 이 자성체와 상호작용하는 자석을 포함하며,
    상기 자석 및 자성체 중 하나는 상기 배출구와 상기 입구 사이에 위치되고, 나머지 하나는 배출구 근처에 위치되는 것을 특징으로 하는 계량용기 파트.
  25. 분말소스 정량방법에 있어서,
    계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 정량하기 위해서, 상기 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 측정하는 센서 및 상기 계량용기 중 어느 하나를 이동시킴으로써, 상기 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 결정하는 것을 특징으로 하는 분말소스 정량방법.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 센서가 이동하는 경우,
    상기 센서는 레벨 센서이며, 수용하고자 하는 분말소스의 양을 나타내는 상기 계량용기의 레벨로, 상기 센서를 이동시키는 것을 특징으로 하는 분말소스 정량방법.
  27. 제 25 항에 있어서,
    상기 센서가 이동하는 경우, 상기 이동되는 센서에 의해 측정되는 결과에 기초하여, 상기 계량용기로 분말소스를 공급하는 메인용기의 동작을 제어함으로써 상기 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 정량하는 것을 특징으로 하는 분말소스 정량방법.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 메인용기의 진동을 제어함으로써 상기 계량용기내에 수용되는 분말소스의 양을 정량하는 것을 특징으로 하는 분말소스 정량방법.
  29. 분말소스 정량방법에 있어서,
    메인용기로부터 계량용기로 이송되는 분말소스의 양을 정량하기 위해서, 상기 메인용기로부터 이송되는 분말소스의 이송 횟수를 측정하는 단계;를 포함하며,
    기측정된 1회 이송량과, 상기 이송 횟수에 기초하여 상기 계량용기로 이송되는 분말 소소의 양을 결정하는 것을 특징으로 하는 분말소스 정량 방법.
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