KR20060115471A - 약품 보관용기 및 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법 - Google Patents
약품 보관용기 및 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 전구체가 채워지는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되는 용기커버, 상기 용기커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 용기커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관 및 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서를 포함하는 약품 보관용기에 있어서,상기 용기본체의 내부에 삽입되며, 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 고정되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 레벨센서로 측정하기 위한 액면안정화구가 구비됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 1에 있어서,상기 액면안정화구는 원통형을 포함한 다각통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 2에 있어서,상기 액면안정화구는 원통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액면안정화구는 그 일단이 용기커버에 고정되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면과 소정의 거리만큼 이격됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으 로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액면안정화구는 그 일단은 용기커버와 소정의 거리만큼 이격되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 아울러 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액면안정화구는 양단이 각각 용기커버와 용기본체 내부의 바닥면에 각각 고정되고, 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 1에 있어서,상기 레벨센서는 플로트형 레벨센서 또는 광학 레벨센서임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 7에 있어서,상기 레벨센서는 용기커버에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 7에 있어서,상기 레벨센서는 액면안정화구 내측면에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 1에 있어서,상기 레벨센서는 초음파 레벨센서임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 10에 있어서,상기 레벨센서는 용기본체 외측의 바닥면으로 액면안정화구의 하부에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 10 또는 11에 있어서,상기 액면안정화구는 원통형을 포함한 다각통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 12에 있어서,상기 액면안정화구는 그 일단이 용기커버에 고정되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면과 소정의 거리만큼 이격됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 12에 있어서,상기 액면안정화구는 그 일단은 용기커버와 소정의 거리만큼 이격되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 아울러 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 12에 있어서,상기 액면안정화구는 양단이 각각 용기커버와 용기본체 내부의 바닥면에 각각 고정되고, 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 전구체가 채워지는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되는 용기커버, 상기 용기커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 용기커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관 및 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서를 포함하는 약품 보관용기 내부에 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 액면안정화구를 고정하여 내측으로 유입된 전구체의 액위를 레벨센세로 측정하는 것을 특징으로 하는 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법.
- 청구항 16에 있어서,상기 액면안정화구는 원통형을 포함한 다각통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법.
- 청구항 16 또는 17에 있어서,상기 레벨센서는 플로트형 레벨센서 또는 광학 레벨센서임을 특징으로 하는 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법.
- 청구항 16 또는 17에 있어서,상기 레벨센서는 초음파 레벨센서임을 특징으로 하는 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법.
- 청구항 19에 있어서,상기 레벨센서는 용기본체 외측의 바닥면으로 액면안정화구의 하부에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법.
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