KR200390503Y1 - 약품 보관용기 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 혹은 전자재료의 제조에 사용되는 각종 약품을 보관하거나 취급하는데 사용되는 보관용기에 관한 것으로서, 반도체 소자 또는 전자 재료를 제조하는 과정에서 어떠한 공정에서라도 레벨센서의 측정값의 정확도를 향상시켜 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있도록 한 약품 보관용기를 제공한다.

Description

약품 보관용기{Canister for the special chemical}

본 고안은 반도체 혹은 전자재료의 제조에 사용되는 각종 약품을 보관하거나 취급하는데 사용되는 보관용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용기 내의 약품 용량을 측정하기 위한 레벨센서의 정확도를 극대화시켜 용기 내부에 존재하는 약품의 용량을 보다 정확하게 측정할 수 있도록 함으로서 반도체나 전자재료를 제조하는 공정의 중간에 약품이 고갈되거나 충전시 과잉 충전되는 것을 방지하여 반도체 혹은 전자재료 제조장비를 사용함에 있어서 안정적인 운용이 가능하도록 한 약품 보관용기에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 및 전자 재료 관련 제조 공정에서는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막과 같은 세라믹 박막 및 후막을 증착할 때 유기금속 화합물 또는 무기금속 화합물 등(이하 전구체라 함)을 이용하는 원자층 증착법(ALD : atomic layer deposition)이나 화학 증착법(CVD : Chemical Vapor Deposition)과 같은 공정을 사용한다. 이러한 ALD나 CVD와 같은 공정에서는 핵심 소재로 특별히 고안된 전구체가 사용되며 이들 전구체는 목적에 따라 특수 제작된 스테인리스 스틸이나 석영재질의 보관용기에 채워져 공정에 적용된다.

이러한 반도체 소자 및 전자 재료의 제조장치에서 사용되는 보관용기는 일반적으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 전구체가 채워지는 용기본체(10)와, 상기 용기본체(10)의 상부에 결합되는 용기커버(20), 상기 용기커버(20)와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관(30), 상기 용기커버(20)와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관(40)을 구비한다.

여기서, 용기본체(10) 내부에 채워지는 전구체의 원활한 기화를 위해 아르곤(Ar)이나 질소(N₂)와 같은 불활성 가스가 주입관(30)을 통해 용기의 내부로 주입되며, 주입된 가스의 버블링(bubbling)에 의해 기화된 전구체의 기체상은 불활성 가스와 혼합된 상태로 배출관(40)을 통해 배출된 후 반도체 및 전자 소자 제조 공정의 원하는 장치까지 공급되게 구성된다.

반도체 소자 및 전자 재료의 제조과정에서 전구체가 소비되면 용기본체(10) 내부에 전구체를 충전할 필요가 있으며, 이를 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 용기커버(20)에 주입관(30)과 배출관(40)을 포함하여 충전구(50)가 형성될 수 있다. 이는 필요에 따라 선택적으로 형성된다. 미 설명부호 60는 약품 보관용기를 다른 약품 보관용기와 연결하고자 할 때 사용하는 연결관으로서 이 역시 필요에 따라 선택적으로 형성될 수 있는 것이다.

그러나, 상기한 충전구(50)가 형성되거나 형성되지 않은 종래의 약품 보관용기는 용기본체(10) 내부에 보관중인 전구체의 량을 정확하게 알 수 없기 때문에 CVD장비를 통해 생산된 반도체 웨이퍼의 개수를 세어 웨이퍼의 생산에 사용되어진 전구체의 사용량을 예상하고, 이렇게 예상된 결과에 따라 용기 내부의 전구체가 고갈되기 전에 그 잔량을 고려하여 미리 용기를 교체하거나 충전을 하고 있다. 그에 따라 용기본체(10) 내부에 충분한 량의 전구체가 존재하여도 자주 용기를 교체하는 일이 발생하거나, 혹은 용기 내부의 전구체의 고갈되어도 전구체가 없는 상태에서 장비를 운용함으로서 불량 웨이퍼를 만들어 내어 금전적으로나 시간적으로 많은 피해가 발생하는 등의 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 근래에는 내부의 전구체 량을 측정할 수 있는 여러 가지 종류의 레벨센서가 형성된 보관용기를 사용한다. 상기 보관용기에 사용되는 레벨센서는 일반적으로 플로트형 레벨센서나 광학 레벨센서 또는 초음파 레벨센서가 있으며, 이들은 그 특성에 따라 용기본체(10) 내부에 설치되거나 외부에 설치된다. 여기서, 플로트형 레벨센서는 주지된 바와 같이 환형 플로트 볼을 전구체 용액에 부유시켜서 플로트 볼의 위치가 이동되면 근접센서로 이를 감지하여 용량을 탐지하는 센서이며, 광학 레벨센서는 전구체 용액에 침지시켜 빛의 굴절율에 의해 그 용량을 탐지하는 센서이며, 초음파 레벨센서는 초음파를 발생시킨 후 되돌아오는 초음파를 감지하여 용량을 측정하는 센서이다.

그러나, 상기한 레벨센서들이 장착된 보관용기의 경우 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 용기본체(10)의 내부에 보관중인 전구체에 아르곤 또는 질소, 헬륨 등의 불활성 가스를 주입하여 기포를 만들어 증발량을 늘리는 버블링 공정을 실시하거나 또는 불활성 가스를 이송가스로 사용하여 용기 내부의 전구체를 증발시키는 공정을 실시하는 경우 전구체의 액면에 과량의 버블이 발생하게 됨과 아울러 전구체의 액면에서 파동이 발생하여 전구체의 용량을 정확하게 측정하는 것이 불량하게 되는 문제점이 있다.

뿐만 아니라 용기커버(20)에 충전구(50)가 형성된 보관용기는 자동 전구체 공급장치로 용기본체(10) 내부에 전구체를 자동으로 충전하는 경우 주입되는 액체로 인하여 액면에 파동이 발생하여 정확한 액의 높이를 측정하는 것이 불가능한 경우가 발생하게 되며, 만일 이 과정에서 레벨센서가 오작동을 일으켜 용기 내부에 전구체의 용량이 부족한 것으로 인식하게 되면 충전구(50)를 통하여 전구체가 계속 투입되어 최대 용량 이상으로 충전되는 상황이 발생될 수 있으며, 이 경우 공정 중에 전구체의 누설로 인하여 경우에 따라 장비에서 화재가 발생할 가능성이 생기는 등의 문제점이 있다.

이에 본 고안은 상기한 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로서 반도체 소자 또는 전자 재료를 제조하는 과정에서 어떠한 공정에서라도 레벨센서의 측정값의 정확도를 향상시켜 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있도록 한 약품 보관용기를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 전구체가 채워지는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되는 용기커버, 상기 용기커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 용기커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관 및 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서를 포함하는 약품 보관용기에 있어서, 상기 용기본체의 내부에 삽입되며, 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 고정되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 레벨센서로 측정하기 위한 액면안정화구가 구비됨을 특징으로 하는 약품 보관용기를 제공한다.

이하 본 고안에 따른 약품 보관용기를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 약품 보관용기의 분해사시도이고, 도 5는 도 4에 도시한 약품 보관용기의 결합단면도이다.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 약품 보관용기는 전구체가 채워지는 용기본체(10)와, 상기 용기본체(10)의 상부에 결합되는 용기커버(20), 상기 용기커버(20)와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관(30), 상기 용기커버(20)와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관(40), 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서(70) 및 상기 용기본체(10)의 내부에 삽입되며, 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 고정되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 레벨센서(70)로 측정하기 위한 액면안정화구(80)를 포함한다.

여기서, 용기본체(10)와 용기커버(20), 상기 용기커버(20)에 형성되는 것으로서 주입관(30)과 배출관(40)은 공지의 기술을 적용하면 용이하게 형성할 수 있는 것으로서 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 아울러 상기 용기본체(10)나 용기커버(20), 용기커버(20)와 연결되는 주입관(30)과 배출관(40)은 필요에 따라 다양한 변형이 가능함을 밝혀둔다. 또한, 용기본체 내부에 채워지는 전구체는 반도체 및 전자 재료 관련 제조 공정에서는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막등을 형성시키는데 사용되는 유기금속 화합물 또는 무기금속 화합물을 총칭하는 것이나 필요에 따라서는 이외의 약품일 수 있다.

본 고안에서는 약품 보관용기를 구성함에 있어 용기본체(10)의 내부에 액면안정화구(80)를 삽입하여 고정시키되, 상기 액면안정화구(80)의 내측으로 전구체의 유입이 가능하도록 함과 아울러 내부에 유입된 전구체의 액위를 레벨센서(70)로 측정할 수 있도록 한 것에 가장 큰 특징이 있다.

이와 같이 액면안정화구(80)가 용기본체(10) 내부에 형성될 경우 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 용기본체(10)의 내부에 보관중인 전구체에 주입관(30)을 통해 아르곤 및 질소, 헬륨 등의 불활성 가스를 주입하여 기포를 만들어 증발량을 늘리는 버블링 공정을 실시하거나 또는 불활성 가스를 이송가스로 사용하여 용기 내부의 전구체를 증발시키는 공정을 실시하여도 액면안정화구(80) 내부에 유입된 전구체는 일정한 액면을 유지하게 된다. 즉, 액면안정화구(80) 외부에 존재하는 전구체는 상기 공정과정에서 파동이 발생하거나 거품이 상부에 생성되는데 반하여 액면안정화구(80) 내부에 존재하는 전구체는 액면안정화구(80)가 파동이나 거품이 내부로 전달 또는 유입되는 것을 방지하여 항상 일정한 액면을 유지하게 된다. 따라서 레벨센서(70)를 사용하여 액면안정화구(80) 내부의 액위를 측정하게 되면 보다 정확한 액위의 측정이 가능하게 되는 것이다.

결국, 상기와 같이 액면안정화구(80)가 용기본체(10) 내부에 고정된 약품 보관용기를 사용하게 되면 내부에 보관중인 전구체의 량을 사용에 따라 정확하게 파악할 수 있으므로 약품 보관용기의 정확한 교체시기를 알 수 있어 자주 용기를 교체하지 않아도 되며, 전구체의 고갈로 인해 불량 웨이퍼가 생산되는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.

액면안정화구(80)를 용기본체(10) 내부에 고정함에 있어 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 고정되어야만 하는데, 용기본체(10) 내부에 채워진 전구체의 흐름을 원활하게 하여 실질적인 액위를 측정할 수 있도록 하기 위함이다.

액면안정화구(80)의 내측으로 전구체의 유입이 가능하도록 하기 위해서는 다양한 방법이 모색될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 액면안정화구(80)의 일단이 용기커버(20)에 고정되고, 타단은 용기본체(10) 내부의 바닥면과 소정의 거리만큼 이격되도록 함과 아울러 상단부에 통공(82)이 형성된다. 여기서 통공(82)은 액면안정화구(80)의 외측 압력변화에 따라 내측의 압력이 자연스럽게 변화되어 액면안정화구(80)의 내측으로 및 외측으로 전구체의 유입 및 배출이 자연스럽게 이루어질 수 있도록 하기 위하여 형성된 것이다.

상기 액면안정화구(80)는 원통형을 포함한 다각통형을 사용할 수 있으며, 그 중에서도 원통형의 형태를 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 아울러 상기 액면안정화구(80)는 스테인리스를 포함하여 약품 보관용기를 제작하기 위하여 적용되는 재질로 제작된 것을 사용할 수 있으며, 이를 용기본체(10) 내부에 고정하는 방법은 용접을 실시하여 고정하거나 홈을 만들어 끼우는 방식을 포함하여 다양한 방법으로 고정할 수 있다. 뿐만 아니라 도면에서는 상기 액면안정화구(80)를 중앙에 고정된 것으로 예시하였으나, 반드시 중앙에 위치할 필요는 없으며, 내부 어느 위치에 고정되어도 동일한 효과를 얻을 수 있다.

여기서, 레벨센서(70)는 도면에 도시된 바와 같이 주지된 초음파 레벨센서를 사용할 수 있으나, 이외에 플로트형 레벨센서나 광학 레벨센서를 포함하여 공지의 것을 선택하여 사용할 수도 있으며, 다만 초음파 레벨센서인 경우에는 도면에 도시된 바와 같이 용기본체(10) 외측의 바닥면으로 액면안정화구(80)의 하부에 고정되어 설치되며, 플로트형 레벨센서나 광학 레벨센서는 액면안정화구(80) 내측으로 놓여지게 설치되는데, 상기한 레벨센서(70)를 설치함에 있어서 액면안정화구(80) 내부의 액위를 측정할 수 있도록 공지된 방법에 따라 장착하면 된다.

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 약품 보관용기의 결합단면도이고, 도 7은 도 6에 도시된 액면안정화구의 사시도로서, 상기 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 액면안정화구(80)의 일단은 용기커버(20)와 소정의 거리만큼 이격되고, 타단은 용기본체(10) 내부의 바닥면에 고정되며, 아울러 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공(81)이 형성된다.

여기서, 전구체는 액면안정화구(80)의 하단부의 유입공(81)을 통해 내부로 유입되며, 이러한 액면안정화구(80)가 용기본체(10) 내부에 형성될 경우 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 용기본체(10)의 내부에 보관중인 전구체에 아르곤 및 질소, 헬륨 등의 불활성 가스를 주입하여 기포를 만들어 증발량을 늘리는 버블링 공정을 실시하거나 또는 불활성 가스를 이송가스로 사용하여 용기 내부의 전구체를 증발시키는 공정을 실시하여도 액면안정화구(80) 내부에 유입된 전구체는 일정한 액면을 유지하게 된다. 따라서 레벨센서(70)를 이용하여 액면안정화구(80) 내부의 전구체의 액위를 측정하게 되면 보다 정확한 전구체의 용량을 확인할 수 있게 된다.

도 8은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 약품 보관용기의 결합단면도이고, 도 9는 도 8에 도시된 액면안정화구의 사시도로서, 상기 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 액면안정화구(80)는 양단이 각각 용기커버(20)와 용기본체(10) 내부의 바닥면에 각각 고정되고, 하단부에는 내부로 전구체가 유입되도록 유입공(81)이 형성되며, 아울러 상단부에는 통공(82)이 형성된다.

여기서 액면안정화구(80)의 하단부에 형성된 유입공(81)은 전구체가 내부로 유입될 수 있도록 하기 위하여 형성된 것이고, 액면안정화구(80)의 외부 압력변화에 따라 내부의 압력이 변화되도록 하여 전구체의 유입 및 배출이 자연스럽게 이루어질 수 있도록 하기 위하여 형성된 것이다.

상기한 액면안정화구(80)가 용기본체(10) 내부에 형성될 경우 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 어떠한 공정을 실시하여도 액면안정화구(80) 내부에 유입된 전구체는 일정한 액면을 유지하게 된다. 따라서 레벨센서(70)를 이용하여 액면안정화구(80) 내부의 전구체의 액위를 측정하게 되면 정확한 전구체의 용량을 확인할 수 있게 된다.

도 10은 본 고안 약품 보관용기의 내부에 레벨센서가 설치된 상태를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도 10에 도시된 바와 같이 레벨센서(70)는 액면안정화구(80)의 내부에 놓여지며, 아울러 용기커버(20)에 고정되어 설치된다. 여기서, 레벨센서(70)는 플로트형 레벨센서 또는 광학 레벨센서일 수 있다.

이와 같이 레벨센서(70)가 형성되면, 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 어떠한 공정을 실시하여도 유입된 전구체가 일정한 액면을 유지하게 됨에 따라 정확한 전구체의 용량을 확인할 수 있게 된다.

이때, 필요에 따라서 상기 레벨센서(70)는 액면안정화구(80) 내측면에 고정되어 설치될 수 있다. 이와 같이 레벨센서(70)가 형성되어도 레벨센서(70)가 용기커버(20)에 고정된 것과 동일한 효과를 얻을 있다. 여기서, 레벨센서(70)를 용기커버(20) 또는 액면안정화구(80)에 고정하는 것은 공지된 기술을 적용하면 용이하게 형성할 수 있다.

도 11은 본 고안 또 다른 실시예에 따른 약품 보관용기의 분해사시도로서, 도면에 도시된 바와 같이 용기커버(20)에 주입관(30)과 배출관(40) 이외에 전구체의 충전을 위한 충전구(50)가 구비된다. 아울러 상기 용기커버(20)에 다른 약품 보관용기와 연결하기 위한 연결구를 더 형성할 수 있다.

여기서 충전구(50)는 반도체 소자 및 전자 재료의 제조과정에서 전구체가 소비되면 용기본체(10) 내부에 전구체를 충전하기 위하여 형성한 것이다. 또한 연결관(60)은 약품 보관용기를 다른 약품 보관용기와 연결하고자 할 때 사용하기 위하여 형성한 것이다.

상기와 같이 충전구(50)를 형성하여서 충전구(50)를 이용하여 자동 전구체 공급장치로 용기본체(10) 내부에 전구체를 자동으로 충전하는 경우에도 액면안정화구(80)의 내부에는 주입되는 액체의 파동과 관계없이 주입되는 전구체 양의 증가에 따라 액위가 상승하고 액면이 일정하게 유지되므로 정확한 액의 높이를 측정할 수 있으며, 따라서 정확한 량의 전구체의 재충전이 가능하게 된다.

도 12 내지 도 14는 본 고안에 따른 약품 보관용기의 사용상태를 도시한 도면으로서, 도 12는 버블링 공정을 도시한 도면이고, 도 13는 이송가스 주입공정을 도시한 도면이며, 도 14는 재충전 공정을 도시한 도면이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 반도체 소자 및 전자 재료의 제조과정에서 버블링 공정이나 이송가스 주입공정, 재충전 공정에 관계없이 액면안정화구(80)가 액면의 파동이 내부로 전달되거나 거품이 내부로 유입되는 것을 방지하여 줌으로서 내부에는 항상 일정한 액면이 유지됨에 따라 정확한 전구체의 용량을 측정할 수 있게 된다.

결국, 본 고안에 따른 약품 보관용기는 레벨센서(70)의 외부에서 버블링 작용으로 인하여 액체 전구체 내부에서 기포가 발생하여 액면이 파동이 심해지거나 액체 내부의 거품으로 인하여 레벨센서(70)가 작동을 하지 못하는 경우나, 이송가스 주입작용으로 인하여 액면에 심하게 파동을 만들어져 레벨센서(70)가 실제적인 액면을 읽지 못하는 경우나, 용기 내부의 전구체 고갈을 감지하고 그로 인하여 자동 전구체 충전장치로부터 전구체를 재충전할 때 용기 내부의 충전구(50)로부터 떨어지는 액체 전구체로 인하여 액체 전구체의 액면에 파동이 발생하여 실제적인 액면을 읽지 못하는 현상 등을 방지하기 위해서 여러 가지 원인으로 인하여 발생하는 파동을 센서부에서는 감지할 수 없게 물리적으로 파동을 막하서 안정적으로 실제적인 레벨을 측정할 수 있도록 하는데 유용하게 사용될 수 있다.

본 고안에 따른 약품 보관용기를 사용하여 그 내부의 액위 측정방법을 첨부된 도 4 내지 14를 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 도면에 도시된 바와 같이 전구체가 채워지는 용기본체(10)와, 상기 용기본체(10)의 상부에 결합되는 용기커버(20), 상기 용기커버(20)와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관(30), 상기 용기커버(20)와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관(40) 및 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서(70)를 포함하는 약품 보관용기 내부에 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 액면안정화구(80)를 고정하여 내측으로 유입된 전구체의 액위를 레벨센세로 측정하게 된다.

여기서, 액면안정화구(80)는 전술한 바와 같이 원통형을 포함한 다각통형일 수 있다. 아울러 레벨센서(70)는 초음파 레벨센서나 플로트형 레벨센서 및 광학 레벨센서를 포함하여 공지의 것을 선택하여 사용할 수 있다.

바람직하게는 레벨센서(70)가 플로트형 레벨센서 또는 광학 레벨센서인 경우 용기커버(20)에 고정되어 설치되거나 액면안정화구(80) 내측면에 고정되어 설치하는 것이 좋으며, 상기 레벨센서(70)가 초음파 레벨센서인 경우 용기본체(10) 외측의 바닥면으로 액면안정화구(80)의 하부에 고정하여 설치하는 것이 바람직하다.

이와 같은 구성을 갖는 약품 보관용기는 액면안정화구(80)가 용기본체(10) 내부에 형성됨에 따라 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 버블링공정이나 이송가스 주입공정을 실시하여도 액면안정화구(80) 내부에 유입된 전구체는 일정한 액면을 유지하게 됨에 따라 레벨센서(70)를 사용하여 액면안정화구(80) 내부의 액위를 측정하게 되면 보다 정확한 액위의 측정이 가능하게 되는 것이다.

본 고안에 따른 약품용기내에 액면안정화구의 설치 유무에 따른 액위 측정의 정확도와 액면의 안정성 여부를 확인하기 위하여 다음과 같은 실험을 실시하였다.

<실험예>

도 15에 도시된 바와 같이 액면안정화구(80)가 설치된 약품 보관용기(1)의 외부 하단에 초음파 레벨센서(70)를 설치하였으며, 상기 초음파 레벨센서(70)는 센서 콘트롤러(130)에 의해 일정주기로 용기 내부의 액위를 측정할 할 수 있도록 하였고, 센서 콘트롤러(130)에서 측정된 액위를 컴퓨터(140)와 연결하여 측정된 데이터를 그래프화 할 수 있도록 하였다. 이와 같이 설치한 후 상기 약품 보관용기(1)의 내부에 헥산을 채워 넣은 다음 주입구(30)를 통해 탱크(120)에 보관된 아르곤 가스를 주입하여 내부의 액면이 흔들리게 하면서 진공펌프(110)와 연결된 배출구(40)의 밸브를 열고 닫음을 반복하면서 10초 간격으로 액위를 지속적으로 측정하고 그 결과를 도 16에 도시하였다.

<비교실험예>

액면안정화구를 설치하지 않은 약품 보관용기를 사용하여 상기 실험예와 동일한 방법으로 액위를 측정하고 그 결과를 도 17에 도시하였다.

상기 실험예와 비교실험예의 결과 액면안정화구를 설치하지 않은 약품 보관용기의 액위를 측정한 결과를 나타내는 도 17의 경우 액면이 심하게 흔들려 액위가 0으로 표기된 경우도 존재하였을 뿐만 아니라 데이터 결과가 과도한 차이를 보임에 따라 정확한 액위의 측정이 어려운 것을 확인할 수 있다.

그러나, 본 고안에서와 같이 액면안정화구를 설치한 약품 보관용기의 액위 측정결과를 나타내는 도 16의 경우 외부의 요인에도 불구하고 액면안정화구 내부의 액면은 일정하게 유지되어 액위의 측정 데이터가 일정하게 나타남을 확인할 수 있다. 따라서 본 고안에서 제시한 액면안정화구를 구비한 약품 보관용기의 경우 사용과정에서 보다 정확한 액위의 측정이 가능함을 알 수 있다.

상기에서 설명한 바와 같이 본 고안은 반도체 소자 또는 전자 재료를 제조하는 과정에서 어떠한 공정에서라도 보관용기에 형성된 액면안정화구의 내부에 채워진 전구체의 액면에 액면파동이나 버블발생을 방지하여 레벨센서의 측정값의 정확도를 향상시킬 수 있도록 한 약품 보관용기를 제공하는 유용한 효과가 있다.

이상에서 본 고안은 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 따라서 본 고안은 통상의 지식을 지닌 자라면 자명하게 도출 가능한 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예를 포괄하도록 의도된 청구범위에 의하여 해석되어져야 할 것이다.

도 1은 종래 약품 보관용기의 일 예를 도시한 분해사시도.

도 2는 도 1에 도시된 약품 보관용기의 단면도.

도 3은 종래 약품 보관용기의 다른 예를 도시한 도면.

도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 약품 보관용기의 분해사시도.

도 5는 도 4에 도시한 약품 보관용기의 결합단면도.

도 6은 본 고안의 다른 실시예에 따른 약품 보관용기의 결합단면도.

도 7은 도 6에 도시된 액면안정화구의 사시도.

도 8은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 약품 보관용기의 결합단면도.

도 9는 도 8에 도시된 액면안정화구의 사시도.

도 10은 본 고안 약품 보관용기의 내부에 레벨센서가 설치된 상태를 개략적으로 나타낸 도면.

도 11은 본 고안 또 다른 실시예에 따른 약품 보관용기의 분해사시도.

도 12는 본 고안에 따른 약품 보관용기의 일 사용상태를 도시한 도면.

도 13은 본 고안에 따른 약품 보관용기의 다른 사용상태를 도시한 도면.

도 14는 본 고안에 따른 약품 보관용기의 또 다른 사용상태를 도시한 도면.

도 15는 약품 보관용기를 사용하여 액위를 측정하는 실험장치를 개략적으로 나타낸 도면.

도 16은 액면 안정화구를 설치한 약품 보관용기의 액위 측정결과를 나타낸 그래프.

도 17은 액면 안정화구를 설치하지 않은 약품 보관용기의 액위 측정결과를 나타낸 그래프.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 용기본체 20 : 용기커버

30 : 주입관 40 : 배출관

50 : 충전구 60 : 연결관

70 : 레벨센서 80 : 액면안정화구

81 : 유입공 82 : 통공

Claims (15)

1. 전구체가 채워지는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되는 용기커버, 상기 용기커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 용기커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관 및 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서를 포함하는 약품 보관용기에 있어서,

   상기 용기본체의 내부에 삽입되며, 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 고정되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 레벨센서로 측정하기 위한 액면안정화구가 구비됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 액면안정화구는 원통형을 포함한 다각통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 액면안정화구는 원통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
4. 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 액면안정화구는 그 일단이 용기커버에 고정되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면과 소정의 거리만큼 이격됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
5. 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 액면안정화구는 그 일단은 용기커버와 소정의 거리만큼 이격되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 아울러 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
6. 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 액면안정화구는 양단이 각각 용기커버와 용기본체 내부의 바닥면에 각각 고정되고, 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 레벨센서는 플로트형 레벨센서 또는 광학 레벨센서임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 레벨센서는 용기커버에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
9. 청구항 7에 있어서,

   상기 레벨센서는 액면안정화구 내측면에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
10. 청구항 1에 있어서,

    상기 레벨센서는 초음파 레벨센서임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
11. 청구항 10에 있어서,

    상기 레벨센서는 용기본체 외측의 바닥면으로 액면안정화구의 하부에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
12. 청구항 10 또는 11에 있어서,

    상기 액면안정화구는 원통형을 포함한 다각통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
13. 청구항 12에 있어서,

    상기 액면안정화구는 그 일단이 용기커버에 고정되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면과 소정의 거리만큼 이격됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
14. 청구항 12에 있어서,

    상기 액면안정화구는 그 일단은 용기커버와 소정의 거리만큼 이격되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 아울러 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
15. 청구항 12에 있어서,

    상기 액면안정화구는 양단이 각각 용기커버와 용기본체 내부의 바닥면에 각각 고정되고, 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.