KR100653312B1 - 약품 보관용기 및 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법 - Google Patents
약품 보관용기 및 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법 Download PDFInfo
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- 전구체가 채워지는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되는 용기커버, 상기 용기커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 용기커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관, 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서 및 상기 용기본체의 내부에 삽입되며, 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 고정되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 레벨센서로 측정하기 위한 액면안정화구를 포함하는 약품 보관용기에 있어서,상기 레벨센서는 초음파 레벨센서이며, 용기본체 외측 바닥면의 액면안정화구의 하부에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 11에 있어서,상기 액면안정화구는 원통형을 포함한 다각통형임을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 12에 있어서,상기 액면안정화구는 그 일단이 용기커버에 고정되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면과 소정의 거리만큼 이격됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 12에 있어서,상기 액면안정화구는 그 일단은 용기커버와 소정의 거리만큼 이격되고, 타단은 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 아울러 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 청구항 12에 있어서,상기 액면안정화구는 양단이 각각 용기커버와 용기본체 내부의 바닥면에 각각 고정되고, 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공이 형성됨과 아울러 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 약품 보관용기.
- 전구체가 채워지는 용기본체와, 상기 용기본체의 상부에 결합되는 용기커버, 상기 용기커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 용기커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관 및 내부의 전구체 용량을 감지하는 레벨센서를 포함하는 약품 보관용기 내부에 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 액면안정화구를 고정하여 내측으로 유입된 전구체의 액위를 레벨센세로 측정하는 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법에 있어서,상기 레벨센서는 초음파 레벨센서이며, 용기본체 외측 바닥면의 액면안정화구의 하부에 고정되어 설치된 것임을 특징으로 하는 약품 보관용기 내부의 액위 측정방법.
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