KR100648301B1 - 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기 - Google Patents

정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기 Download PDF

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(주)지오엘리먼트
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Abstract

본 발명은 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기에 관한 것으로서, 본 발명에서는 전자재료 제조시 전구체의 사용에 필수적으로 따르는 금속제의 보관용기에 보관되어 있는 액상의 전구체의 액위를 측정하기 위하여 사용되는 정전용량식 레벨센서에서의 프로브 구조를 개선하여 금속탐침의 기계적인 밀폐와 전기적인 밀폐를 용이하게 이룰 수 있을 뿐만 아니라 진공이나 고압에도 견딜 수 있으며, 특히 하위레벨에서도 정전용량 값의 왜곡을 방지하여 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 어떠한 공정에서라도 용기 내부의 전구체의 액면을 안정화시켜 주어 측정되는 정전용량 값의 정확도를 높여 줄 수 있는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공한다.

Description

정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기{Canister with Capacitive level sensor for the special chemical}
도 1은 종래 전구체 보관용기의 일 예를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 2는 종래 전구체 보관용기의 다른 예를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 종래 전구체 보관용기의 또 다른 예를 개략적으로 나타낸 도면.
도 4는 종래 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 도 4에 도시된 정전용량식 레벨센서의 프로브의 확대 단면도.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면.
도 7은 도 6에 도시된 정전용량식 레벨센서의 프로브의 확대 단면도.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면.
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 제5실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면.
도 12는 본 발명의 제6실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면.
도 13은 약품 보관용기를 사용하여 액위를 측정하는 실험장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 14는 금속탐침 외측으로 금속제 튜브를 설치한 약품 보관용기의 액위 측정결과를 나타낸 그래프.
도 15는 금속탐침 외측으로 금속제 튜브를 설치하지 않은 약품 보관용기의 액위 측정결과를 나타낸 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 용기본체 11 : 케이스 12 : 커버
13 : 결합구 20 : 주입관 30 : 배출관
50 : 정전용량식 레벨센서 51 : 컨트롤러
60,60a : 프로브 61,61a : 금속탐침 62 : 커넥터
63 : 상부 가스킷 64 : 하부 가스켓 65 : 그랜드
66 : 너트부 67 : 고정너트 70 : 금속제 튜브
71 : 통공 72 : 유입공 81 : 포인트레벨센서
82 : 초음파레벨센서
본 발명은 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 혹은 전자재료의 제조에 사용되는 각종 약품을 보관하거나 취급하는데 사용되는 보관용기의 내부에 보관되는 액상의 화학약품의 액위를 측정하기 위하여 장착되는 정전용량식 레벨센서에서 프로브의 구조적 변경을 통해 전기적인 단절과 기계적인 밀폐를 동시에 구현하여 액위측정에 대한 오류를 최소화하여 용기 내의 약품 용량을 보다 정확하게 측정할 수 있도록 함으로서 반도체나 전자재료를 제조하는 공정에서 약품의 고갈이나 과잉충전을 방지하여 반도체 또는 전자재료 제조장비를 사용함에 있어서 안정적인 운용이 가능하도록 한 액위측정을 위한 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 및 전자 재료 관련 제조 공정에서는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막과 같은 세라믹 박막 및 후막을 증착할 때 유기금속 화합물 또는 무기금속 화합물 등(이하 '전구체'라 함)을 이용하는 원자층 증착법(ALD : atomic layer deposition)이나 화학 증착법(CVD : Chemical Vapor Deposition)과 같은 공정을 사용한다. 이러한 ALD나 CVD와 같은 공정에서는 핵심 소재로 특별히 고안된 전구체가 사용되며 이들 전구체는 목적에 따라 특수 제작된 스테인리스 스틸이나 석영재질의 보관용기에 채워져 공정에 적용된다.
이러한 반도체 소자 및 전자 재료의 제조장치에서 사용되는 보관용기는 일반적으로 도 1에 도시된 바와 같이 내부에 전구체가 담겨지는 케이스(111)와, 상기 케이스(111)의 상부에 결합되는 커버(112)를 포함하는 용기본체(110)와, 상기 커버(112)와 연결되어 용기본체(110) 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관(120), 상기 커버(112)와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관(130)이 구비된다.
여기서, 용기본체(110) 내부에 채워진 전구체의 원활한 기화를 위해 아르곤(Ar)이나 질소(N2)와 같은 불활성 가스가 주입관(120)을 통해 용기의 내부로 주입되며, 주입된 가스는 전구체를 버블링(bubbling)시켜 전구체의 기화를 돕고, 기화된 전구체의 기체상은 불활성 가스와 혼합된 상태로 배출관(130)을 통해 배출된 후 반도체 및 전자 소자 제조 공정의 원하는 장치까지 공급되게 구성된다.
이때, 주입관(120)은 용기본체(110) 내부에 보관되는 전구체의 기화특성에 따라 도 2에 도시된 바와 같이 형성될 수도 있다. 즉, 전구체의 기화특성이 우수한 경우 별도로 전구체를 버블링할 필요가 없으므로 이송가스를 주입하면 기화된 전구체의 기체상과 함께 이송가스가 배출관(130)을 통해 배출된 후 반도체 및 전자 소자 제조 공정의 원하는 장치까지 공급되게 구성된다.
주입관(120)의 길이에 관계없이 상기한 보관용기들은 반도체나 전자재료를 제조하는 과정에서 전구체를 소비하게 되는데, 그에 따라 전구체 소비정도에 따라 용기본체(110) 내부에 전구체를 충전할 필요가 있으며, 이를 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 커버(112)에 충전구(140)가 형성된 것을 사용하기도 한다.
그러나, 상기한 도 1 내지 3에 도시한 종래의 약품 보관용기들은 내부가 보 이지 않는 구조의 것을 사용하는 것이 일반적이어서 용기본체(110) 내부에 보관중인 전구체의 량을 육안으로는 정확하게 알 수 없기 때문에 CVD장비를 통해 생산된 반도체 웨이퍼의 개수를 세어 웨이퍼의 생산에 사용되어진 전구체의 사용량을 예상하고, 이렇게 예상된 결과에 따라 용기 내부의 전구체가 고갈되기 전에 그 잔량을 고려하여 미리 용기를 교체하거나 재충전을 하고 있다. 그에 따라 용기본체(110) 내부에 충분한 량의 전구체가 존재하여도 정확한 확인이 불가능하므로 자주 용기를 교체하는 일이 발생하거나, 혹은 용기 내부의 전구체가 고갈되어 전구체가 없는 상태에서 장비를 운용함으로서 불량 웨이퍼를 만들어 내어 금전적으로나 시간적으로 많은 피해가 발생하는 등의 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 근래에는 내부의 전구체 량을 측정할 수 있는 여러 가지 종류의 레벨센서를 설치한 보관용기를 사용한다. 상기 보관용기에 사용되는 레벨센서는 일반적으로 플로트형 레벨센서나 포인트레벨센서가 사용되고 있다. 여기서, 플로트형 레벨센서는 주지된 바와 같이 환형 플로트 볼을 전구체 용액에 부유시켜서 플로트 볼의 위치가 이동되면 근접센서로 이를 감지하여 전구체의 용량을 탐지하는 센서이며, 포인트레벨센서는 정해진 위치에 액체가 도달하면 이를 전기 또는 전자적인 신호로 원하는 장치에 전달하여 용기 내부에 있는 전구체의 용량을 확인할 수 있도록 한 센서이다.
그러나, 플로트 볼을 사용하는 방법은 점성이 많은 액체를 사용할 때 플로트 볼의 움직임에 제한이 있으며, 고온에서 사용시에 플로트 볼의 내부에 설치되어 있는 자석의 자속밀도가 떨어지기 때문에 근접센서에서의 감지가 어려우며, 특히 보 관용기 내부에 가스를 주입하여 전구체를 버블링시키고, 기화된 기화된 전구체의 기체상을 불활성 가스와 혼합된 상태로 배출관(130)으로 배출하는 과정에서 플로트 볼의 부력이 약해져서 플로트볼이 가라앉는 등의 문제로 인하여 보관용기 내부의 액위 측정시에 오류를 일으킬 가능성이 많다. 또한, 포인트레벨센서의 경우 용기내부의 전구체를 실시간으로 모니터링 하는 것이 곤란하다는 단점이 있다. 따라서 새로운 종류의 액위 측정 방법이 요구되고 있다.
그에 따라 근래에는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 두 개의 탐침 사이의 정전용량을 측정하여 이를 통해 보관용기 내부의 액위를 측정하는 정전용량식 레벨센서(150)를 보관용기에 장착함으로서 좀더 정확하게 용기본체(110) 내부의 전구체 액위를 측정할 수 있는 방법이 사용되고 있다.
이와 같은 정전용량식 레벨센서(150)를 장착한 보관용기는 금속탐침(161)이 구비된 프로브(160)를 용기내에 설치하여 이를 제1탐침으로 사용하고, 제2탐침으로 용기본체(110)를 사용하여 내부의 액위 변화에 따라 변화되는 정전용량을 컨트롤러(151)로 측정하여 이를 통해 보관용기 내부의 전구체 액위를 측정하는 것이다. 여기서, 제2탐침의 접점은 도면에 도시된 바와 같이 커버(112)와 전기적으로 연결되는데, 상기 커버(112)는 케이스(111)와 연결되어 있으므로 결국 제2탐침은 커버(112)와 케이스(111)를 포함하는 용기본체에 해당되게 된다. 이때, 컨트롤러(151)는 정전용량의 변화를 측정하고 이를 통해 보관용기 내부의 전구체 액위를 모니터링할 수 있는 장치를 총칭하는 것으로 일반적으로 사용되고 있는 장치이다.
상기 정전용량식 레벨센서(150)에서 프로브(160)는 다양한 형태가 알려져 있 으나, 일반적으로 도 5에 도시된 바와 같이 상단에 전선이 연결되는 금속탐침(161)과; 상기 금속탐침(161)의 절연을 위해 상단 외주연에 감싸지는 가스킷(163)과; 상기 가스킷(163)의 외부에 감싸지며, 하단에 걸림턱이 형성된 그랜드(165)와; 상기 금속탐침(161)의 절연과 내부 밀폐를 위하여 상기 그랜드(165)와 용접되어 형성된 유리재(164) 및 상기 그랜드(165)의 걸림턱에 걸려지며, 내부 하단이 커버(112)의 결합구(113)와 결합되는 고정너트(167)를 포함하도록 구성된다.
상기한 구성의 프로브(160)는 고정너트(167)가 보관용기의 커버(120)의 결합구(113)에 결합되면서 금속탐침(161)이 보관용기 내부에 위치하게 되며, 금속탐침(161)의 상단부에 연결된 전선은 모니터링장치와 연결되는데, 통상적으로 상기 금속탐침(161)과 용기자체 사이의 정전용량을 통해 용기본체(110) 내부의 액위를 측정하게 된다. 이때, 정전용량식 레벨센서(160)에서 측정되는 정전용량 값은 커버(112)와 케이스(111)를 포함하는 용기본체(110) 뿐만 아니라 전구체, 금속탐침(161) 등 주변요소 전반에 걸쳐 영향을 받게 되는데, 보다 정확한 정전용량의 측정을 위해서는 금속탐침(161)과 용기자체와의 전기적인 단절과 기계적인 밀폐가 매우 중요하다.
상기에서 가스킷(163)과 유리재(164)는 프로브(160)와 금속재로 제작된 그랜드(165)와의 사이의 전기적인 단절과 기계적인 밀폐를 위하여 형성된 것으로서, 상기 유리재(164)는 용접방법(Hermetically seal)에 의해 형성된다. 그러나, 상기와 같이 그랜드(165)와 금속탐침(161) 사이에 형성되는 유리재(164)는 자체적으로 갖고 있는 물리적인 성질로 인하여 이동중이나 사용 중에 용기나 프로브(160)에 충격 이나 순간적인 고압이 가해질 경우 파손될 위험이 있으며, 이 경우 금속용기 내부의 화학약품이 외부로 유출되어 심각한 위험을 초래할 가능성이 많다. 또, 금속과 유리재(164) 사이를 용접방법으로 밀봉처리하는 경우 유리재질의 특수용접 시에 열팽창에 대한 완충을 위하여 각종 첨가물이 쓰이는데, 이러한 첨가물이 화학약품과 반응하여 금속용기 내부에 보관중인 화학약품의 변질을 초래할 가능성이 있는 등의 여러 가지 문제를 안고 있는 것이 현실이다.
또한, 전구체 보관용기에 장착된 정전용량식 레벨센서(160)에서 측정된 정전용량값은 전술한 바와 같이 주변요소 전반에 걸쳐 영향을 받게 되는데, 특히 보관용기의 케이스(111)가 원통형인 경우 정전용량 값은 원통형 벽면과 평면인 바닥면 등에도 영향을 받게 된다. 특히, 보관용기의 용기본체(110) 내부에 채워진 전구체의 상위 레벨에서는 케이스(111) 옆면인 벽면의 영향을 많이 받아 오류가 없는 값을 출력하는데 반하여 하위레벨로 갈수록 케이스(111)의 벽면보다는 바닥면에 더욱 많은 영향을 받게 되므로 실제 레벨과는 달리 왜곡된 정전용량 값을 출력하게 되므로 보관용기 내부의 정확한 액위 측정이 어렵다는 문제점이 있다.
또한, 상기한 정전용량식 레벨센서(150)를 장착한 전구체 보관용기의 경우 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 과정에서 사용시 버블링공정이나 이송가스 주입 및 혼합가스배출공정, 재충전공정을 필수적으로 거치게 되는데, 이 과정에서 전구체 액위의 표면이 흔들리게 되어 프로브(160)의 금속탐침(161) 표면에는 실제의 전구체 레벨보다 높은 위치나 낮은 위치에서 전구체가 묻어나는 경우가 발생하게 되어 정전용량 값의 오차가 발생하게 되고, 그에 따라 보관용기 내부의 전구체 액위 의 정확한 측정이 어렵다는 단점이 있다. 특히, 재충전공정에서 액면의 파동으로 인하여 정전용량식 레벨센서(150)가 전구체의 용량을 부족한 것으로 인식할 경우 충전구(140)를 통하여 전구체가 계속 투입되어 최대 용량 이상으로 충전되는 상황이 발생할 수 있으며, 이 경우 공정 중 전구체의 누설로 인하여 장비에서 화재가 발생할 가능성도 생기는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서 전자재료 제조시 전구체의 사용에 필수적으로 따르는 금속제의 보관용기에 보관되어 있는 액상의 전구체의 액위를 측정하기 위하여 사용되는 정전용량식 레벨센서에서의 프로브 구조를 개선하여 금속탐침의 기계적인 밀폐와 전기적인 밀폐를 용이하게 이룰 수 있을 뿐만 아니라 진공이나 고압에도 견딜 수 있는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공하는데 그 목적이 있다.
또, 본 발명에서는 하위레벨에서도 정전용량 값의 왜곡을 방지하여 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 어떠한 공정에서라도 용기 내부의 전구체의 액면을 안정화시켜 주어 측정되는 정전용량 값의 정확도를 높여 줄 수 있도록 한 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공하는데 다른 목적이 있다.
아울러 본 발명은 보관용기 내부의 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있도록 하기 위하여 정전용량식 레벨센서와 함께 보조 레벨센서를 병행하여 장착된 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 내부에 전구체가 담겨지는 케이스와 상기 케이스의 상부에 결합되는 커버를 포함하는 용기본체와, 상기 커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관 및 제1탐침인 프로브와 제2탐침 사이의 정전용량을 통해 용기 내부의 액위를 측정하는 정전용량식 레벨센서를 포함하는 약품 보관용기에 있어서, 상기 프로브가: 금속탐침과; 상기 금속탐침의 상단에 결합되는 것으로 전선이 연결된 커넥터와; 상기 금속탐침의 절연을 위해 상부 외주연에 감싸지는 상·하부 가스킷과; 상기 하부 가스킷의 외부에 감싸지며, 하단에 걸림턱이 형성된 그랜드와; 밀폐를 위해 상단부는 상기 상부 가스킷의 외부에 감싸지며, 하단부는 상기 그랜드의 상부와 결합되는 너트부와; 상기 그랜드의 걸림턱에 걸려지며, 내부 하단이 커버의 결합구에 결합되는 고정너트;를 포함함을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공한다.
또, 본 발명은 내부로 전구체의 유입이 가능하게 상기 금속탐침의 외측에 설치되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 안정화시키면서 제2의 탐침의 역할을 수행하는 원형의 금속제 튜브를 포함함을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공한다.
또한 본 발명은 상기 정전용량식 레벨센서와 함께 보조레벨센서가 구비됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공한다.
이하 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6에 도시된 정전용량식 레벨센서의 프로브의 확대 단면도이다.
상기 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 정전용량식 레벨센서(50)가 장착된 전구체 보관용기는 내부에 전구체가 담겨지는 케이스(11)와 상기 케이스(11)의 상부에 결합되는 커버(12)를 포함하는 용기본체(10)와, 상기 커버(12)와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관(20), 상기 커버(12)와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관(30) 및 제1탐침인 프로브(60)와 제2탐침 사이의 정전용량을 통해 용기 내부의 액위를 측정하는 정전용량식 레벨센서(50)를 포함하도록 구성된다.
여기서, 케이스(11)와 커버(12)로 이루어지는 용기본체(10)나 주입관(20), 배출관(30)의 형성은 종래기술을 적용하면 용이하게 형성할 수 있으며, 필요에 따라서는 전구체의 충전을 위하여 충전구(도면에 도시하지 않음)가 설치될 수도 있다. 또한, 용기본체(10) 내부에 보관되는 전구체는 반도체 및 전자 재료 관련 제조 공정에서는 금속박막이나 질화금속박막, 산화금속박막등을 형성시키는데 사용되는 유기금속 화합물 또는 무기금속 화합물을 총칭하는 것이나 필요에 따라서는 이외의 약품일 수 있음을 밝혀둔다. 아울러 주입관(20)은 보관용기에 채워지는 전구체의 기화특성에 따라 내부 길이가 길거나 짧은 형태로 될 수 있다. 즉, 전구체의 기화특성이 좋지 않은 경우 주입되는 가스에 의해 전구체를 기화시켜 주입된 가스 와 함께 배출관(30)으로 배출시켜야 하는 버블링공정을 수행하기 위하여 도면에 도시된 바와 같이 보관용기 내부의 주입관(20)의 길이가 길게 형성될 수 있으며, 반대로 전구체의 기화특성이 우수하여 별도의 버블링공정 없이 이송가스를 주입하면 기화된 전구체의 기체상과 함께 이송가스가 배출관(30)을 통해 배출하는 이송가스의 주입 및 혼합가스 배출공정을 실시하기 위해서는 종래기술에서 설명한 바와 같이 보관용기 내부의 주입관(20)의 길이가 짧게 형성될 수 있다. 이러한 용기의 선택은 당해 분야의 통상의 지식을 가진자라면 용이하게 선택하여 사용할 수 있는 것이다.
이때, 본 발명에 따르면 정전용량식 레벨센서(50)에서 제1탐침으로 사용되는 프로브(60)는 금속탐침(61)과, 상기 금속탐침(61)의 상단에 결합되는 것으로 전선이 연결된 커넥터(62)와, 상기 금속탐침(61)의 절연을 위해 상부 외주연에 감싸지는 상·하부 가스킷(63,64)과, 상기 하부 가스킷(64)의 외부에 감싸지며, 하단에 걸림턱이 형성된 그랜드(65)와, 밀폐를 위해 상단부는 상기 상부 가스킷(63)의 외부에 감싸지며, 하단부는 상기 그랜드(65)의 상부와 결합되는 너트부(66)와, 상기 그랜드(65)의 걸림턱에 걸려지며, 내부 하단이 커버(12)의 결합구(13)와 결합되는 고정너트(67)를 포함한다.
여기서, 금속탐침(61)의 상단에 결합되는 커넥터(62)는 금속탐침(61)과 컨트롤러(51)를 전기적으로 용이하게 연결시킬 수 있도록 하기 위하여 형성된 것으로 금속탐침(61)과 동일한 재질의 금속으로 제작되는 것이 좋다. 이때, 금속탐침(61)은 통상의 프로브(60)에 사용되는 것으로 스테인레스강이나 니켈합금 등으로 제작 된 것을 사용하면 된다.
본 발명에서는 상기 금속탐침(61)의 전기적인 밀폐와 기계적인 밀폐를 위하여 상기 금속탐침(61)의 상부 외주연에 감싸지는 상·하부 가스킷(63,64)을 형성하되, 하부 가스킷(64)은 그랜드(65)로 감싸고, 상부 가스킷(63)은 너트부(66)로 감싸진다.
이와 같이 절연 재질의 상·하부 가스킷(63,64)을 사용하면 금속탐침(61)과 그랜드(65) 사이의 전기적 단절을 이룰 수 있을 뿐만 아니라 상부 가스킷(63)은 너트부(66)로 눌러주고, 하부 가스킷(64)은 그랜드(65)로 눌러줌으로서 금속탐침(61)을 보다 완벽하게 밀폐시킬 수 있게 된다. 이와 같은 금속탐침(61)의 기계적 밀폐와 전기적 단절은 정전용량측정값의 정확도를 높여주게 된다.
이때, 상기 상·하부 가스킷(63,64)은 화학적으로 안정한 테프론 계열의 플라스틱 절연재로 제작된 것을 사용하는 것이 좋으며, 보다 바람직하게는 폴리테트라플로로에틸렌(poly(tetrafluoroethylene)), 폴리클로로트리플로로에틸렌(poly(chlorotrifluoroethylene)), 폴리비닐리덴플로라이드(poly(vinylidenefluoride)), 퍼플로로알콕시(perfluoroalkoxy) 또는 폴리테트라플로로에틸렌과 폴리퍼플로로프로필비닐에테르(poly(perfluoropropylvinylether)) 혼합물에서 선택된 것을 사용하는 것이 좋다.
이와 같이 금속탐침(61)의 밀봉을 위하여 상·하부 가스킷(63,64)을 테프론 계열의 플라스틱 절연재를 사용하게 되면, 종래 유리재를 사용하는 것에 비하여 우수한 특성을 나타낸다. 즉, 유리재는 자체적으로 갖고 있는 물리적인 성질로 인하 여 이동중이나 사용 중에 용기나 프로브(60)에 충격이나 순간적인 고압이 가해질 경우 파손될 위험이 있으나, 본 발명에서와 같이 테프론 계열의 플라스틱 절연재를 사용하면 이러한 위험성이 없어진다. 아울러 용접방법에 의한 밀봉처리를 하지 않아도 우수한 밀폐성을 확보할 수 있게 되어 종래 용접에 의한 용기본체(10) 내부에 보관중인 화학약품의 변질을 방지할 수 있게 된다.
고정너트(67)는 보관용기와 결합되어 프로브(60)가 장착될 수 있도록 하기 위하여 형성한 것으로서, 상기 고정너트(67)는 그랜드(65)의 걸림턱에 걸려지며, 내부 하단에 나선홈이 형성되어 있어 보관용기의 커버(12)에 형성된 결합구(13)와 나선 결합된다.
상기와 같은 구조의 프로브(60)가 장착된 보관용기에서 프로브(60)는 제1탐침으로 사용되는데, 제2탐침은 도면에 도시된 바와 같이 용기본체(10)를 사용하는 일반적인 방법이 적용될 수 있으며, 용기본체(10)와 금속탐침(61) 사이의 정전용량을 통해 용기본체(10) 내부의 액위를 측정하도록 할 수 있다. 제1탐침인 프로브(60)와 제2탐침 사이에 형성된 컨트롤러(51)는 정전용량의 변화를 측정하고 이를 통해 용기본체(10) 내부의 전구체 액위를 모니터링할 수 있는 장치를 총칭하는 것으로 일반적으로 사용되고 있는 장치이다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 프로브(60)를 갖는 정전용량식 레벨센서(50)가 장착된 전구체 보관용기의 경우 금속탐침(61)의 전기적인 단절과 기계적인 밀폐를 효과적으로 얻을 수 있어 종래의 보관용기에 비하여 좀더 정확한 정전용량 값을 측정할 수 있게 된다. 뿐만 아니라 테프론 계열의 플라스틱 절연재를 상·하 부 가스킷(63,64)으로 사용하여 보관용기에 충격이나 순간적인 고압이 가해질 경우에도 파손될 위험이 없게 된다.
한편, 전구체 보관용기에 장착된 정전용량식 레벨센서(60)에서 측정된 정전용량 값은 상위 레벨에서는 케이스(11) 옆면인 벽면의 영향을 많이 받아 오류가 없는 값을 출력하는데 반하여 하위레벨에서는 케이스(11)의 벽면보다는 바닥면에 더욱 많은 영향을 받아 실제 레벨과는 달리 왜곡된 정전용량 값을 출력하게 되어 용기본체(10) 내부의 정확한 액위 측정을 어렵게 만드는 문제점이 있다. 뿐만 아니라 정전용량식 레벨센서(50)가 장착된 전구체 보관용기를 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 과정에서 사용시 버블링공정이나 이송가스 주입 및 혼합가스배출공정, 재충전공정을 필수적으로 거치게 되는데, 이 과정에서 전구체 액위의 표면이 흔들리게 되어 프로브(60)의 금속탐침(61) 표면에는 실제의 전구체 레벨보다 높은 위치나 낮은 위치에서 전구체가 묻게 되어 정전용량 값의 오차가 발생하게 되고, 그에 따라 보관용기 내부의 전구체 액위의 정확한 측정이 어렵다는 단점이 있다.
이를 해소하기 위하여 본 발명에서는 금속탐침(61) 주변의 전구체 액위를 안정화시킬 수 있도록 함과 아울러 제2탐침의 역할을 수행할 수 있는 원형의 금속제 튜브가 설치된 정전용량식 레벨센서(50)가 구비된 약품 보관용기를 제공한다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면에 도시된 바와 같이 금속탐침(61)의 외측에 원형의 금속제 튜브(70)가 설치된다.
이때 금속제 튜브(70)는 용기본체(10)와 연결되어 있어 제2탐침으로서의 역 할을 함께 수행하게 되는데, 따라서 도면에 도시된 바와 같이 금속탐침(61)의 외측에 원형의 금속제 튜브(70)가 설치될 경우 상기 금속제 튜브(70)가 제2탐침의 역할을 수행하게 되어 정전용량 값은 상위레벨에서 뿐만 아니라 하위레벨에서도 금속탐침(61)이 바닥면의 영향보다는 금속제 튜브(70)의 영향을 많이 받게 되어 바닥면과의 정전용량을 배제시킬 수 있으므로 하위레벨에서 정전용량 값이 왜곡되는 것을 방지하여 오류의 발생 없이 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있게 된다. 참고로 정전용량 값은 주지된 바와 같이 탐침의 표면적에 비례하며 탐침간의 직선 거리에 반비례하게 되는데, 그에 따라 금속제 튜브(70)를 설치하게 되면 금속탐침(61)과의 거리가 가까워지므로 정전용량 값이 증가하여 좀더 확실한 값을 얻을 수 있으며, 금속탐침(61)과 바닥과의 관계는 금속탐침(61)의 외측에 설치된 금속제 튜브(70)에 의해 간섭이 생겨 거의 영향을 받지 않게 된다.
이때, 상기 금속제 튜브(70)는 내부로 전구체의 유입이 가능하게 되어 있으며, 내부로 유입된 전구체는 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 어떠한 공정에서라도 액면이 안정화되므로 정전용량 값의 정확도를 높여 줄 수 있게 된다. 즉, 상기 금속제 튜브(70)가 금속탐침(61)의 외측에 형성된 보관용기를 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 사용시 버블링공정이나 이송가스 주입 및 혼합가스 배출공정, 전구체 재충전 공정을 실시하여도 금속제 튜브(70) 외부에 존재하는 전구체는 상기 공정과정에서 파동이 발생하거나 거품이 상부에 생성되는데 반하여 금속제 튜브(70) 내부에 존재하는 전구체는 금속제 튜브(70)가 파동이나 거품이 내부로 전달 또는 유입되는 것을 방지하여 주어 항상 일정한 액면을 유지하게 된다. 따라서 금속탐침(61)의 주위 액면이 일정하게 유지되어 정전용량 값의 오차 발생이 억제되고, 그에 따라 보관용기 내부의 전구체 액위의 정확한 측정이 가능하게 된다.
상기 금속제 튜브(70)는 용기본체(10) 내부에 채워진 전구체의 흐름을 원활하게 하여 실질적인 액위를 측정할 수 있도록 내측으로 전구체의 유입이 가능하게 장착된다. 이를 위해서 다양한 장착구조가 모색될 수 있는데, 도면에 도시된 바와 같이 금속제 튜브(70)의 일단이 커버(12)에 고정되고, 타단은 케이스(11) 내부의 바닥면과 소정의 거리만큼 이격되도록 함과 아울러 상단부에 통공(71)이 형성된다. 여기서 통공(71)은 금속제 튜브(70) 외측 압력변화에 따라 내측의 압력이 자연스럽게 변화되어 금속제 튜브(70)의 내외측으로 전구체가 자연스럽게 유입 및 배출될 수 있도록 하기 위하여 형성된 것이다.
상기 금속제 튜브(70)는 스테인리스를 포함하여 약품 보관용기의 제작에 적용되는 일반적인 재질을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 용기본체(10)와 동일한 재질로 사용하여 제작된 것이 좋다. 아울러 상기 금속제 튜브(70)를 용기본체(10) 내부에 고정하는 방법은 용접을 실시하여 고정하거나 홈을 만들어 끼우는 방식을 포함하여 다양한 방법으로 고정할 수 있다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면에 도시된 바와 같이 금속탐침(61)의 외측에 설치되는 금속제 튜브(70)는 일단이 커버(12)와 소정의 거리만큼 이격되고, 타단은 케이스(11) 내부의 바닥면에 고정되며, 아울러 하단부에 내부로 전구체가 유입되도록 유입공(72)이 형성된다.
여기서, 전구체는 금속제 튜브(70)의 하단부의 유입공(72)을 통해 내부로 유입되며, 내부로 유입된 전구체는 반도체 소자 및 전자 재료를 제조하는 과정에서 어떠한 공정을 실시하여도 그 액면이 안정화되어 일정한 액위를 유지하게 되어 측정되는 정전용량 값의 오차 발생이 억제되고, 그에 따라 보관용기 내부의 전구체 액위의 정확한 측정이 가능하게 된다.
뿐만 아니라 상기 금속제 튜브(70) 용기본체(10)와 연결되어 있어 제2탐침으로서의 역할을 함께 수행하게 됨에 따라 전술한 바와 같이 정전용량 값은 상위레벨에서 뿐만 아니라 하위레벨에서도 금속탐침(61)이 바닥면의 영향보다는 금속제 튜브(70)의 영향을 많이 받게 되어 바닥면과의 정전용량을 배제시킬 수 있으므로 하위레벨에서도 정전용량 값이 왜곡되는 것을 방지하여 오류의 발생 없이 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있게 된다.
전술한 보관용기의 경우 제2탐침으로 용기본체(10)를 사용하는 것에 대하여 이외에도 제2탐침으로 여러 가지를 적용할 수 있다.
도 10은 본 발명의 제4실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면에 도시된 바와 같이 프로브(60)와 동일한 구조를 갖는 제2프로브(60a)를 하나 더 장착한 후 이를 제2탐침으로 사용할 수 있다.
이 경우 프로브(60)의 금속탐침(61)과 제2프로브(60a)의 금속탐침(61a) 사이의 정전용량을 통해 보관용기 내부의 전구체 액위를 측정할 수 있게 되는데, 금속탐침(61,61a)들의 전기적 단절과 기계적 밀폐성이 우수하여 좀더 정확한 정전용량 의 측정을 통해 정확한 보관용기 내부의 전구체 액위를 측정할 수 있게 된다.
이때, 상기 프로브(60)와 제2프로브(60a)의 금속탐침(61,61a)들에는 전술한 바와 같이 하위레벨에서도 좀더 정확한 액위측정이 가능하도록 함과 아울러 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 어떠한 공정에서라도 용기 내부의 전구체의 액면을 안정화시켜 주어 측정되는 정전용량 값의 정확도를 높여 줄 수 있도록 외측에 내부로 유입된 전구체의 액위를 안정화시키는 원형의 금속제 튜브를 설치할 수 있다.
도 11은 본 발명의 제5실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면에 도시된 바와 같이 제1탐침과 제2탐침으로 사용되는 프로브(60,60a)들의 금속탐침(61,61a)들 외측에 내부로 전구체의 유입이 가능하게 된 하나의 금속제 튜브(70)가 설치된다.
이때, 금속제 튜브(70)는 전술한 바와 같이 다양한 방법으로 용기본체(10) 내부에 장착될 수 있으며, 이와 같이 금속제 튜브(70)가 설치될 경우 금속탐침(61,61a)들은 용기본체(10) 내부에 보관된 전구체가 상위레벨에서 뿐만 아니라 하위레벨에서도 바닥면과의 영향이 최소화되어 측정된 정전용량 값의 왜곡없이 정확한 측정이 가능하므로 액위를 좀더 정확하게 측정할 수 있게 된다. 또한 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 어떠한 공정에서라도 용기 내부의 전구체의 액면을 안정화시켜 주어 측정되는 정전용량 값의 정확도를 높여 주어 보다 정확한 액위를 측정할 수 있게 된다.
도 12는 본 발명의 제6실시예에 따른 정전용량식 레벨센서가 장착된 전구체 보관용기를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면에 도시된 바와 같이 보관용기에는 본 발명에 따른 프로브(60)를 갖는 정전용량식 레벨센서(50)와 함께 보조레벨센서가 구비된다.
상기 보조레벨센서는 용기본체(10) 내부의 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있도록 도와주며, 하나의 레벨센서가 고장 등의 이유로 작동이 불가능할 때 보조해주는 기능을 한다. 상기 보조레벨센서는 통상의 전구체 보관용기의 내부 액위를 측정할 때 사용되는 포인트레벨센서(81)나 초음파레벨센서(82)에서 선택되는 것을 사용할 수 있다. 여기서 포인트레벨센서(81)는 미리 설정된 레벨에 전구체의 액위가 도달하였을 대에 외부의 관련장비에 신호를 보내주어 알려주는 것이고, 초음파레벨센서(82)는 케이스(11) 외측 하단에 부착되어 초음파를 내부로 보낸 후 되돌아오는 초음파를 측정하여 용기본체(10) 내부의 변동되는 전구체의 액위를 연속적으로 알려주는 것이다.
이와 같이 보조레벨센서가 구비된 경우에도 전술한 바와 같이 금속탐침(61)의 외측에 금속제 튜브(61)를 설치할 수 있으며, 별도의 프로브(60)를 하나 더 장착하여 이를 제2탐침으로 사용할 수도 있으며, 이는 선택적으로 이루어질 수 있는 것이다.
본 발명에 따른 약품 보관용기 내에 프로브(60)를 장착하고, 장착된 프로브(60)의 금속탐침(61) 외측에 금속제 튜브(70)를 설치한 경우와 설치하지 않은 경우의 액위 측정의 정확도와 액면의 안정성 여부를 확인하기 위하여 다음과 같은 실험을 실시하였다.
<실험예>
도 13에 도시된 바와 같이 약품 보관용기의 용기본체(10)에 프로브(60)를 장착하고, 프로브(60)의 금속탐침(61) 외측에 금속제 튜브(70)를 설치하고, 금속탐침(61)과 용기본체(10)를 컨트롤러(51)에 연결하여 정전용량을 측정할 수 있도록 하였다. 컨트롤러(51)는 각각 계측기(220) 및 컴퓨터(230)와 연결하여 측정된 정전용량을 토대로 용기 내부의 액위를 그래프화 할 수 있도록 하였다. 이와 같이 설치한 후 상기 약품 보관용기의 내부에 헥산을 채워 넣은 다음 주입구(20)를 통해 탱크(210)에 보관된 아르곤 가스를 주입하여 내부의 액면이 흔들리게 하면서 진공펌프(240)와 연결된 배출구(30)의 밸브를 열고 닫음을 반복하면서 10초 간격으로 액위를 지속적으로 측정하고 그 결과를 도 14에 도시하였다.
<비교실험예>
금속제 튜브를 설치하지 않은 약품 보관용기를 사용하여 상기 실험예와 동일한 방법으로 액위를 측정하고 그 결과를 도 15에 도시하였다.
상기 실험예와 비교실험예의 결과 금속제 튜브를 설치하지 않은 약품 보관용기의 액위를 측정한 결과를 나타내는 도 15의 경우 하위레벨에서 오류가 발생함을 알 수 있으나, 본 발명에서와 같이 금속제 튜브를 설치한 약품 보관용기의 액위 측정결과를 나타내는 도 14의 경우 하위레벨에서도 측정된 액위 값의 오류가 제거되어 정확한 액위의 측정이 가능함을 알 수 있다.
상기에서 설명한 바와 같이 본 발명은 전자재료 제조시 전구체의 사용에 필수적으로 따르는 금속제의 보관용기에 보관되어 있는 액상의 전구체의 액위를 측정 하기 위하여 사용되는 정전용량식 레벨센서에서의 프로브 구조를 개선함과 아울러 화학적으로 안정한 테플론 계열의 플라스틱 절연재를 사용하여 금속탐침의 기계적인 밀폐와 전기적인 절연을 용이하게 이룰 수 있을 뿐만 아니라 진공이나 고압에도 견딜 수 있는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공하는 유용한 효과가 있다.
또, 본 발명에서는 프로브의 금속탐침 외측으로 내부로 전구체 유입이 가능함과 아울러 제2탐침의 역할을 수행하는 금속제 튜브를 설치함으로서, 금속탐침과 바닥면 사이의 정전용량값을 배제시켜 하위레벨에서도 정전용량 값의 왜곡을 방지하여 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 반도체 혹은 전자재료를 제조하는 어떠한 공정에서라도 금속제 튜브 내부의 전구체의 액면을 안정화시켜 주어 측정되는 정전용량 값의 정확도를 높여 줄 수 있도록 한 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공하는 유용한 효과가 있다.
아울러 본 발명은 보관용기 내부의 전구체의 액위를 보다 정확하게 측정할 수 있도록 하기 위하여 정전용량식 레벨센서와 함께 보조 레벨센서를 병행하여 장착된 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기를 제공하는 유용한 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과한 것이며, 따라서 본 발명은 당해 기술분야의 통상의 지식을 지닌 자라면 자명하게 도출 가능한 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예를 포괄하도록 의도된 청구범위에 의하여 해석되어져야 할 것이다.

Claims (19)

  1. 내부에 전구체가 담겨지는 케이스와 상기 케이스의 상부에 결합되는 커버를 포함하는 용기본체와, 상기 커버와 연결되어 용기 내부로 불활성가스가 주입되는 주입관, 상기 커버와 연결되며 주입된 불활성가스와 기화된 전구체가 배출되는 배출관 및 제1탐침인 프로브와 제2탐침 사이의 정전용량을 통해 용기 내부의 액위를 측정하는 정전용량식 레벨센서를 포함하는 약품 보관용기에 있어서,
    상기 프로브가: 금속탐침과; 상기 금속탐침의 상단에 결합되는 것으로 전선이 연결된 커넥터와; 상기 금속탐침의 절연을 위해 상부 외주연에 감싸지는 상·하부 가스킷과; 상기 하부 가스킷의 외부에 감싸지며, 하단에 걸림턱이 형성된 그랜드와; 밀폐를 위해 상단부는 상기 상부 가스킷의 외부에 감싸지며, 하단부는 상기 그랜드의 상부와 결합되는 너트부와; 상기 그랜드의 걸림턱에 걸려지며, 내부 하단이 커버의 결합구에 결합되는 고정너트;를 포함함을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 상·하부 가스킷은 화학적으로 안정한 테프론 계열의 플라스틱 절연재로 제작된 것임을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 테프론 계열의 플라스틱 절연재가 폴리테트라플로로에틸렌(poly(tetrafluoroethylene)), 폴리클로로트리플로로에틸렌(poly(chlorotrifluoroethylene)), 폴리비닐리덴플로라이드(poly(vinylidenefluoride)), 퍼플로로알콕시(perfluoroalkoxy) 또는 폴리테트라플로로에틸렌과 폴리퍼플로로프로필비닐에테르(poly(perfluoropropylvinylether)) 혼합물에서 선택된 것임을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  4. 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    내부로 전구체의 유입이 가능하게 상기 금속탐침의 외측에 설치되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 안정화시키면서 제2의 탐침의 역할을 수행하는 원형의 금속제 튜브를 포함함을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버에 고정되고, 하단은 용기본체 내부의 바닥면과 이격되게 형성되고, 그 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버와 이격되고, 하단이 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 그 하단부에는 전구체 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  7. 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2탐침으로 제2프로브를 장착하여 금속탐침들 사이에서의 정전용량을 통해 용기 내부의 액위를 측정하도록 한 것임을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 프로브와 제2프로브의 금속탐침들 외측에 설치되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 안정화시키는 하나의 원형의 금속제 튜브가 포함됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버에 고정되고, 하단은 용기본체 내부의 바닥면과 이격되게 형성되고, 그 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  10. 청구항 8에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버와 이격되고, 하단이 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 그 하단부에는 전구체 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  11. 청구항 1 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 정전용량식 레벨센서와 함께 보조 레벨센서가 구비됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 보조 레벨센서가 포인트레벨센서 또는 초음파레벨센서에서 선택된 것임을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  13. 청구항 11에 있어서,
    내부로 전구체의 유입이 가능하게 상기 금속탐침의 외측에 설치되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 안정화시키면서 제2의 탐침의 역할을 수행하는 원형의 금속제 튜브를 포함함을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버에 고정되고, 하단은 용기본체 내부의 바 닥면과 이격되게 형성되고, 그 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  15. 청구항 13에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버와 이격되고, 하단이 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 그 하단부에는 전구체 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  16. 청구항 11에 있어서,
    상기 제2탐침으로 제2프로브를 장착하여 금속탐침들 사이에서의 정전용량을 통해 용기 내부의 액위를 측정하도록 한 것임을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 프로브와 제2프로브의 금속탐침들 외측에 설치되어 내부로 유입된 전구체의 액위를 안정화시키는 하나의 원형의 금속제 튜브가 포함됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버에 고정되고, 하단은 용기본체 내부의 바 닥면과 이격되게 형성되고, 그 상단부에는 통공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
  19. 청구항 17에 있어서,
    상기 금속제 튜브는 그 상단이 커버와 이격되고, 하단이 용기본체 내부의 바닥면에 고정되며, 그 하단부에는 전구체 유입공이 형성됨을 특징으로 하는 정전용량식 레벨센서를 구비한 약품 보관용기.
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