JP2001024039A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項1】
プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、
上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項2】
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを着脱可能に保持するアダプタを含むことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項3】
上記受け渡し機構は、上記アダプタを着脱可能に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイド機構を有することを特徴とする請求項2に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項4】
上記搬送トレイは、その先端部にU字状の切欠部を有するアダプタ保持部を有し、上記載置台が上記切欠部の中を上昇することにより、上記アダプタ保持部から上記載置台に取り付けられたプローブカード支持体上に上記アダプタを受け取ることを特徴とする請求項3に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項5】
上記ガイド機構は、水平状態及び垂直状態の両状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項6】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項2〜請求項5のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項7】
プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、
上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、
上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項8】
上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項7に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項9】
上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とする請求項3または請求項7に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項10】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項11】
上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項1】
プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、
上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項2】
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを着脱可能に保持するアダプタを含むことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項3】
上記受け渡し機構は、上記アダプタを着脱可能に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイド機構を有することを特徴とする請求項2に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項4】
上記搬送トレイは、その先端部にU字状の切欠部を有するアダプタ保持部を有し、上記載置台が上記切欠部の中を上昇することにより、上記アダプタ保持部から上記載置台に取り付けられたプローブカード支持体上に上記アダプタを受け取ることを特徴とする請求項3に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項5】
上記ガイド機構は、水平状態及び垂直状態の両状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項6】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項2〜請求項5のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項7】
プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、
上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、
上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、
上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、
上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、
上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有する
ことを特徴とするプローブカード搬送機構。
【請求項8】
上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項7に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項9】
上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とする請求項3または請求項7に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項10】
上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構。
【請求項11】
上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載のプローブカード搬送機構。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有することを特徴とするものである。
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持された保持機構まで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、この載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、このプローブカード支持体に上記プローブカードを受け渡す受け渡し機構と、を備え、上記受け渡し機構は、上記プローブカードの受け渡し位置を決める位置決め部材を少なくとも一つ有し、また、上記載置台は、上記プローブカードを上記保持機構に着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記プローブカードを搬送する機能を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2に記載のプローブカード搬送機構は、請求項1に記載の発明において、上記受け渡し機構は、上記プローブカードを着脱可能に保持するアダプタを含むことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3に記載のプローブカード搬送機構は、請求項2に記載の発明において、上記受け渡し機構は、上記アダプタを着脱可能に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイド機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項4に記載のプローブカード搬送機構は、請求項3に記載の発明において、上記搬送トレイは、その先端部にU字状の切欠部を有するアダプタ保持部を有し、上記載置台が上記切欠部の中を上昇することにより、上記アダプタ保持部から上記載置台に取り付けられたプローブカード支持体上に上記アダプタを受け取ることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載のプローブカード搬送機構は、請求項3または請求項4に記載の発明において、上記ガイド機構は、水平状態及び垂直状態の両状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項6に記載のプローブカード搬送機構は、請求項2〜請求項5のいずれか1項の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項7に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項8に記載のプローブカード搬送機構は、請求項7に記載の発明において、上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項9に記載のプローブカード搬送機構は、請求項3または請求項7に記載の発明において、上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項10に記載のプローブカード搬送機構は、請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項11に記載のプローブカード搬送機構は、請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の発明において、上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項6に記載のプローブカード搬送機構は、請求項2〜請求項5のいずれか1項の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項7に記載のプローブカード搬送機構は、プローブ装置本体内にX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配置され、被検査体が載置された状態で、複数のプローブ針を有するプローブカードがカードホルダーを介して着脱可能に保持されたインサートリングまで移動して、上記被検査体と上記複数のプローブ針とを電気的に接触させる載置台と、上記プローブカードを着脱自在に保持するアダプタと、上記載置台の側面に取り付けられて、上記プローブ針が上記載置台の載置面に接触しないように上記プローブカードを保持する上記アダプタを上記載置台上において着脱可能に支持するプローブカード支持体と、上記プローブカード支持体に上記アダプタを受け渡す受け渡し機構と、を備え、且つ、上記載置台は、上記インサートリングに上記プローブカードを着脱するために、上記プローブカード支持体によって支持された上記アダプタを介して上記プローブカードを搬送する機能を有し、また、上記受け渡し機構は、上記プローブカードを保持した上記アダプタを着脱自在に保持する搬送トレイと、上記プローブ装置本体に取り付けられたアームと、上記アームに固定され且つ上記プローブ装置本体の外側と内側の間で上記搬送トレイを移動案内するガイドレールを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項8に記載のプローブカード搬送機構は、請求項7に記載の発明において、上記アームは、水平状態及び垂直状態になるように、上記プローブ装置本体に回転可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項9に記載のプローブカード搬送機構は、請求項3または請求項7に記載の発明において、上記搬送トレイは、上記アダプタの存否を検出するセンサを有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項10に記載のプローブカード搬送機構は、請求項7〜請求項9のいずれか1項に記載の発明において、上記プローブカード支持体は、上記アダプタを吸引力により保持する吸引機構を有することを特徴とするものである。
また、本発明の請求項11に記載のプローブカード搬送機構は、請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の発明において、上記プローブカード支持体に、上記プローブカードの存否を検出するセンサを設けたことを特徴とするものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図3に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のプローブカード搬送機構(以下、単に「搬送機構」と称す。)Tが適用されたプローブ装置Pは、図1に示すように、プローバ室1内でX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配設され且つ被検査体であるウエハを載置する載置台(ウエハチャック)2と、このウエハチャック2の上方でヘッドプレート3の略中央孔3Aに固定されたプローブカードの保持機構(インサートリング)4と、このインサートリング4に対してカードホルダー5を介して着脱可能に保持されたプローブカード6とを備えている。プローバ室1には図示しないローダ室が隣接し、このローダ室からプローバ室1内のウエハチャック2でウエハを受け取る。プローバ室1内ではウエハチャック2がX、Y、Z及びθ方向に移動する間にアライメント機構(図示せず)を介してウエハとプローブカード6のプローブ針6Aとのアライメントを行った後、ウエハをインデックス送りを行いながらウエハの電気的特性検査を実行する。
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図3に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のプローブカード搬送機構(以下、単に「搬送機構」と称す。)Tが適用されたプローブ装置Pは、図1に示すように、プローバ室1内でX、Y、Z及びθ方向に移動可能に配設され且つ被検査体であるウエハを載置する載置台(ウエハチャック)2と、このウエハチャック2の上方でヘッドプレート3の略中央孔3Aに固定されたプローブカードの保持機構(インサートリング)4と、このインサートリング4に対してカードホルダー5を介して着脱可能に保持されたプローブカード6とを備えている。プローバ室1には図示しないローダ室が隣接し、このローダ室からプローバ室1内のウエハチャック2でウエハを受け取る。プローバ室1内ではウエハチャック2がX、Y、Z及びθ方向に移動する間にアライメント機構(図示せず)を介してウエハとプローブカード6のプローブ針6Aとのアライメントを行った後、ウエハをインデックス送りを行いながらウエハの電気的特性検査を実行する。
上記受け渡し機構7は、カードホルダー付きのプローブカード6を着脱自在に保持するアダプタ8と、このアダプタ8を着脱自在に保持する、先端部がU字状の切欠部によって二股に分かれて形成されたフォーク状の搬送トレイ9と、この搬送トレイ9をプローブカード6の受け渡し位置まで移動案内する一対のガイドレール10、10がガイド機構として固定されたアーム11と、このアーム11上で搬送トレイ9を介して移動したアダプタ8を受け取るためにウエハチャック2の周囲の3箇所で支持するアダプタ支持体12とを備えている。
図1、図2の(a)に示すように搬送トレイ9の基端部裏面には一対のガイドレール10、10と係合する係合部9C、9Cが設けられ、搬送トレイ9は手動操作により両係合部9C、9Cを介してアーム11上を図1の矢印Aで示すようにプローバ室1内の内側へ押し込み、その位置から引き出せるようになっている。図2の(c)に示すようにアーム11上には各ガイドレール10、10の先端側には位置決め部材(ストッパー)13、13が設けられ、これらのストッパー13、13で搬送トレイ9を止め、プローブカード6をプローバ室1内の常に一定の位置(ウエハチャックとのプローブカードの受け渡し位置)まで押し込むことができるようになっている。また、各ガイドレール10、10の基端側にはストッパー(図示せず)が設けられ、これらのストッパーで搬送トレイ9がガイドレール10、10から抜け出さないようにしてある。
【0031】
【発明の効果】
本発明の請求項1〜請求項11に記載の発明によれば、プローブ装置が本来具備する機構以外には極力余分な駆動機構を用いることなく機構的、構造的に簡素化し、もって更に低コスト化を促進することができるプローブカード搬送機構を提供することができる。
【発明の効果】
本発明の請求項1〜請求項11に記載の発明によれば、プローブ装置が本来具備する機構以外には極力余分な駆動機構を用いることなく機構的、構造的に簡素化し、もって更に低コスト化を促進することができるプローブカード搬送機構を提供することができる。
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TW089113408A TW455974B (en) | 1999-07-09 | 2000-07-06 | Probe card transfer mechanism |
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KR10-2000-0038815A KR100503516B1 (ko) | 1999-07-09 | 2000-07-07 | 프로브 카드 반송 기구 및 프로브 장치 |
KR1020050035654A KR100564475B1 (ko) | 1999-07-09 | 2005-04-28 | 프로브 카드 반송 기구 및 프로브 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19524599A JP4104099B2 (ja) | 1999-07-09 | 1999-07-09 | プローブカード搬送機構 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP2001024039A5 true JP2001024039A5 (ja) | 2006-09-07 |
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Family
ID=16337921
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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