JP5529034B2 - 着脱装置、コンタクトアーム、及び電子部品ハンドリング装置 - Google Patents
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 91
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 91
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 17
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 51
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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Description
200…デバイス押付装置
300…コンタクトアーム
400A〜400C…アーム本体
401A〜401C…挿入穴
410…挿入レバー
413…傾斜面
415…スプリング
430…ロックレバー
434…スプリング
500A〜500C…保持ユニット
510…ユニット本体
520A〜520C…凸部
521…テーパ面
530A,530B…溝
531…内壁面
530C…孔
600…保持ヘッド
700…デバイス保持部
図1は本発明の第1実施形態における電子部品試験装置を示す概略平面図、図2は図1のII-II線に沿った概略断面図、図3は本発明の第1実施形態における保持ユニットを示す正面図、図4は図3に示す保持ユニットの側面図、図5は本発明の第1実施形態における保持ユニットの先端部分を示す概略断面図、図6は本発明の第1実施形態におけるデバイス保持部の側面図、図7は本発明の第1実施形態におけるデバイス保持部の平面図、図8は本発明の第1実施形態において保持ユニットからデバイス保持部を着脱するための着脱レバーを示す平面図、図9は本発明の第1実施形態におけるデバイス保持部の着脱操作を説明するための図、図10は本発明の第1実施形態における着脱装置を示す平面図、図11は図10のXI-XI線に沿った断面図、図12は図10に示す着脱装置の正面図である。
図14は本発明の第2実施形態における着脱装置を示す平面図、図15は図14のXV-XV線に沿った断面図である。
図18は本発明の第3実施形態における着脱装置を示す平面図、図19は図18のXIX-XIX線に沿った断面図である。
Claims (13)
- 電子部品を保持するコンタクトアームにおいて、保持ユニットをアーム本体に着脱するための着脱装置であって、
溝又は孔を有し、前記保持ユニット又は前記アーム本体の一方に設けられ、前記アーム本体又は前記保持ユニットの他方に形成された挿入穴に挿入可能な凸部と、
前記アーム本体又は前記保持ユニットの他方に移動可能に設けられ、前記挿入穴に挿入された前記凸部の前記溝又は孔に挿入可能な挿入部材と、
前記挿入部材が前記溝又は孔に挿入された状態で、前記保持ユニットを前記アーム本体に対して拘束する拘束手段と、
前記挿入部材を前記挿入部材の挿入方向に向かって付勢する第1の付勢手段と、を備えており、
前記凸部を前記挿入穴に挿入する際に相互に接触する前記凸部の接触面又は前記挿入部材の接触面のうちの少なくとも一方が傾斜している着脱装置。 - 前記挿入部材の挿入方向は、前記凸部の挿入方向に対して実質的に直交する請求項1記載の着脱装置。
- 前記拘束手段は、前記保持ユニット又は前記アーム本体の一方を、前記アーム本体又は前記保持ユニットの他方から離反する方向に押圧する押圧手段を含む請求項1又は2記載の着脱装置。
- 電子部品を保持するコンタクトアームにおいて、保持ユニットをアーム本体に着脱するための着脱装置であって、
溝又は孔を有し、前記保持ユニット又は前記アーム本体の一方に設けられ、前記アーム本体又は前記保持ユニットの他方に形成された挿入穴に挿入可能な凸部と、
前記アーム本体又は前記保持ユニットの他方に移動可能に設けられ、前記挿入穴に挿入された前記凸部の前記溝又は孔に挿入可能な挿入部材と、
前記挿入部材が前記溝又は孔に挿入された状態で、前記保持ユニットを前記アーム本体に対して拘束する拘束手段と、を備えており、
前記拘束手段は、前記保持ユニット又は前記アーム本体の一方を、前記アーム本体又は前記保持ユニットの他方に向かって引き寄せる着脱装置。 - 前記拘束手段は、
前記溝又は孔の傾斜した内壁面と、
前記挿入部材において前記内壁面に対向する傾斜面と、
前記溝又は孔に挿入された前記挿入部材を固定する固定手段と、を含む請求項4記載の着脱装置。 - 前記挿入部材は、前記アーム本体に回転可能に設けられた第1のレバーを含み、
前記固定手段は、前記第1のレバーの回転方向に対して実質的に直交する方向に回転可能であり、前記溝に挿入された前記第1のレバーに当接可能な第2のレバーを含む請求項5記載の着脱装置。 - 前記挿入部材の挿入方向に向かって前記第2のレバーを付勢する第2の付勢手段をさらに備えた請求項6記載の着脱装置。
- 前記拘束手段は、前記保持ユニット又は前記アーム本体の一方を吸引する吸引手段を含む請求項4記載の着脱装置。
- 前記拘束手段は、前記挿入部材が有する偏心カムを含む請求項4記載の着脱装置。
- 電子部品を保持する電子部品保持部は、前記保持ユニットに着脱可能に取り付けられている請求項1〜9の何れかに記載の着脱装置。
- 請求項1〜10の何れかに記載の着脱装置を備えたコンタクトアーム。
- 前記保持ユニットに設けられた温度印加手段又は温度検出手段の少なくとも一方に電気的に接続され、前記保持ユニットに設けられたユニット側コネクタと、
前記ユニット側コネクタと嵌合可能であり、前記アーム本体に設けられた本体側コネクタと、を備えた請求項11記載のコンタクトアーム。 - 請求項11又は12記載のコンタクトアームを備えた電子部品ハンドリング装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2008/070208 WO2010052780A1 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 着脱装置、コンタクトアーム、電子部品ハンドリング装置および保持ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010052780A1 JPWO2010052780A1 (ja) | 2012-03-29 |
JP5529034B2 true JP5529034B2 (ja) | 2014-06-25 |
Family
ID=42152596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010536616A Active JP5529034B2 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 着脱装置、コンタクトアーム、及び電子部品ハンドリング装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5529034B2 (ja) |
WO (1) | WO2010052780A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108490335B (zh) * | 2018-03-10 | 2019-01-18 | 江苏鼎驰电子科技有限公司 | 一种集成电路测试设备 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53104350U (ja) * | 1977-01-28 | 1978-08-22 | ||
JP2002156410A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-31 | Seiko Epson Corp | 搬送装置、ic検査装置、搬送方法及びic検査方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5943544Y2 (ja) * | 1979-01-22 | 1984-12-25 | 道雄 川添 | カメラ取付用ブラケツトの保持装置 |
-
2008
- 2008-11-06 JP JP2010536616A patent/JP5529034B2/ja active Active
- 2008-11-06 WO PCT/JP2008/070208 patent/WO2010052780A1/ja active Application Filing
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53104350U (ja) * | 1977-01-28 | 1978-08-22 | ||
JP2002156410A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-31 | Seiko Epson Corp | 搬送装置、ic検査装置、搬送方法及びic検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010052780A1 (ja) | 2010-05-14 |
JPWO2010052780A1 (ja) | 2012-03-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
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