JPH0680710B2 - プロ−ブカ−ド自動交換機能付プロ−バ - Google Patents
プロ−ブカ−ド自動交換機能付プロ−バInfo
- Publication number
- JPH0680710B2 JPH0680710B2 JP25407186A JP25407186A JPH0680710B2 JP H0680710 B2 JPH0680710 B2 JP H0680710B2 JP 25407186 A JP25407186 A JP 25407186A JP 25407186 A JP25407186 A JP 25407186A JP H0680710 B2 JPH0680710 B2 JP H0680710B2
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- JP
- Japan
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- probe card
- prober
- connector
- chuck
- data
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明はプローブカードの自動交換を可能にしたプロー
バに係り、特にプローブカードを自動的に搬送し、コネ
クタとの位置合せ、取り付け、取り外しを行うことので
きるプローブカード自動交換機能付プローバに関する。
バに係り、特にプローブカードを自動的に搬送し、コネ
クタとの位置合せ、取り付け、取り外しを行うことので
きるプローブカード自動交換機能付プローバに関する。
［発明の技術的背景］ プローバは、ウェハのチップパッドとプローブカードの
針とを接触させることによりチップをテスターのヘッド
と接続し、チップの電気的特性を測定するものである
が、プローブカードは通常プローバのヘッドプレートに
設けたリングインサート部にねじで固定することにより
取付けられており、測定の条件やウェハの種類、大きさ
等が変わるたびに、マニュアルで取り外し、取り付けな
どの交換を行なっていた。しかし、このようなプローブ
カードの交換はプローバ上に設置されている重量の大き
いテストヘッドを180°倒した状態で行わなければなら
ず、しかもプローブカードとコネクタを確実に位置出し
して固定する必要があり、オペレータにとって決して容
易な作業ではなかった。又、プローブカードを変更した
時はその都度、品名、大きさ、OFFの位置、Ｘ及びYINDE
X等の種々のデータをプローバのキーボードより入力し
なければならなかった。
針とを接触させることによりチップをテスターのヘッド
と接続し、チップの電気的特性を測定するものである
が、プローブカードは通常プローバのヘッドプレートに
設けたリングインサート部にねじで固定することにより
取付けられており、測定の条件やウェハの種類、大きさ
等が変わるたびに、マニュアルで取り外し、取り付けな
どの交換を行なっていた。しかし、このようなプローブ
カードの交換はプローバ上に設置されている重量の大き
いテストヘッドを180°倒した状態で行わなければなら
ず、しかもプローブカードとコネクタを確実に位置出し
して固定する必要があり、オペレータにとって決して容
易な作業ではなかった。又、プローブカードを変更した
時はその都度、品名、大きさ、OFFの位置、Ｘ及びYINDE
X等の種々のデータをプローバのキーボードより入力し
なければならなかった。
［発明の目的］ 本発明は上記従来のマニュアルによるプローブカードの
交換の難点に鑑みなされたもので、自動的にプローブカ
ードの交換ができ、しかも自動交換時に確実な位置出し
とプローブカードからのデータの入力が可能なプローブ
カード自動交換機構付プローバを提供せんとするもので
ある。
交換の難点に鑑みなされたもので、自動的にプローブカ
ードの交換ができ、しかも自動交換時に確実な位置出し
とプローブカードからのデータの入力が可能なプローブ
カード自動交換機構付プローバを提供せんとするもので
ある。
［発明の概要］ このような目的を達成するために本発明はテストヘッド
と、該テストヘッドと電気的に接続されるプローブカー
ドを装着するコネクタと、前記プローブカードにウェハ
のチップパッドが接続するように前記ウェハを搭載搬送
するチャックとを備えたプローバにおいて、前記プロー
ブカード及び前記コネクタはそれぞれ互いに係合及び係
合解除するためのロック機構を備えると共に前記チャッ
クは前記プローブカードの搬送を兼ね且つ前記プローブ
カードを上方に移動させるリフト手段を有することを特
徴とする。
と、該テストヘッドと電気的に接続されるプローブカー
ドを装着するコネクタと、前記プローブカードにウェハ
のチップパッドが接続するように前記ウェハを搭載搬送
するチャックとを備えたプローバにおいて、前記プロー
ブカード及び前記コネクタはそれぞれ互いに係合及び係
合解除するためのロック機構を備えると共に前記チャッ
クは前記プローブカードの搬送を兼ね且つ前記プローブ
カードを上方に移動させるリフト手段を有することを特
徴とする。
又、本発明のプローバにおいては、プローブカードの少
なくとも一面にデータ部を設け且つプローバ側に該デー
タ部のデータを読み取るデータ読取手段を設けたことを
特徴とする。
なくとも一面にデータ部を設け且つプローバ側に該デー
タ部のデータを読み取るデータ読取手段を設けたことを
特徴とする。
更に、本発明のプローバにおいては、プローブカードと
コネクタの位置出しを行うために、プローブカード及び
コネクタにそれぞれ磁気又は光学素子及びそれら素子の
検知手段を備えたことを特徴とする。
コネクタの位置出しを行うために、プローブカード及び
コネクタにそれぞれ磁気又は光学素子及びそれら素子の
検知手段を備えたことを特徴とする。
［発明の実施例］ 以下、本発明の好ましい実施例を図面に基き説明する。
第１図及び第２図は本発明のプローバの全体図を示し、
主としてローダ部１、プローバ部２、テストヘッド３及
び操作パネル４から成り、ローダ部１は、ハンドリング
アーム等の搬送手段（図示せず）によってカセット５内
に収納されたウェハを一枚ずつ取り出し、プローバ部２
のチャック６上に搬送する。プローバ部２はアラインメ
ントステージとXYステージから成り、アラインメントス
テージでチャック６上のウェハのファインアラインメン
トを行い、XYステージでチャック６をXY方向に駆動しな
がらウェハ７のチップのパッドをプローブカード８の針
と接触させて測定を行う。プローブカード８はプローバ
のヘッドプレート９に設けたリングインサート部10のコ
ネクタ11に取り付けられる。そして、ヘッドプレート９
上にテストヘッド３を設置した時、プローブカード８は
リングインサート部10を介してテストヘッド３と電気的
に接続され、ウェハ７のチップの測定が可能となる。以
上が第１図及び第２図のプローバにおける通常のプロー
ビングの機能で、これらはすでに公知のものであるが、
本発明のプローバは更にプローブカードを搬送、取り付
け、取り外すための機能を備えている。以下それら機能
について詳述する。まずプローブカード８について説明
する。第３図（ａ）、（ｂ）はプローブカード８の詳細
を示す図で、プローブカード８は中央にチップのパッド
に接触する針12を有し、且つコネクタ11に取付けられる
面にコネクタ11側の端子と接触される全メッキラウンド
13、コネクタ11側のロック機構であるロックリングに係
止されるロック機構（ロック部14）が形成されており、
更にその同じ面にデータ部としてデータの入った磁気テ
ープ15又はバーコード、文字などのID15′が貼付されて
いる。
第１図及び第２図は本発明のプローバの全体図を示し、
主としてローダ部１、プローバ部２、テストヘッド３及
び操作パネル４から成り、ローダ部１は、ハンドリング
アーム等の搬送手段（図示せず）によってカセット５内
に収納されたウェハを一枚ずつ取り出し、プローバ部２
のチャック６上に搬送する。プローバ部２はアラインメ
ントステージとXYステージから成り、アラインメントス
テージでチャック６上のウェハのファインアラインメン
トを行い、XYステージでチャック６をXY方向に駆動しな
がらウェハ７のチップのパッドをプローブカード８の針
と接触させて測定を行う。プローブカード８はプローバ
のヘッドプレート９に設けたリングインサート部10のコ
ネクタ11に取り付けられる。そして、ヘッドプレート９
上にテストヘッド３を設置した時、プローブカード８は
リングインサート部10を介してテストヘッド３と電気的
に接続され、ウェハ７のチップの測定が可能となる。以
上が第１図及び第２図のプローバにおける通常のプロー
ビングの機能で、これらはすでに公知のものであるが、
本発明のプローバは更にプローブカードを搬送、取り付
け、取り外すための機能を備えている。以下それら機能
について詳述する。まずプローブカード８について説明
する。第３図（ａ）、（ｂ）はプローブカード８の詳細
を示す図で、プローブカード８は中央にチップのパッド
に接触する針12を有し、且つコネクタ11に取付けられる
面にコネクタ11側の端子と接触される全メッキラウンド
13、コネクタ11側のロック機構であるロックリングに係
止されるロック機構（ロック部14）が形成されており、
更にその同じ面にデータ部としてデータの入った磁気テ
ープ15又はバーコード、文字などのID15′が貼付されて
いる。
一方、コネクタ11には第４図に示すようにロック機構と
してプローブカード８のロック部14の溝14aと係合する
突部16aを有するロックリング16が備えられる。ロック
リング16の外周に設けたギア部16bはステップモータ18
のウォーム18aと噛み合っておりモータ18の回転によっ
てロックリング16が回転することにより、その突部16a
をプローブカード８のロック部14と係合させたり、又は
係合を解いたりすることができる。
してプローブカード８のロック部14の溝14aと係合する
突部16aを有するロックリング16が備えられる。ロック
リング16の外周に設けたギア部16bはステップモータ18
のウォーム18aと噛み合っておりモータ18の回転によっ
てロックリング16が回転することにより、その突部16a
をプローブカード８のロック部14と係合させたり、又は
係合を解いたりすることができる。
テストヘッド３又はリングインサート部10にはプローブ
カードの磁気テープ15又はバーコード、文字などのID1
5′のデータを読み取るデータ読取手段17として磁気ヘ
ッド又は光学読取手段等を備える。
カードの磁気テープ15又はバーコード、文字などのID1
5′のデータを読み取るデータ読取手段17として磁気ヘ
ッド又は光学読取手段等を備える。
次にチャック６について説明する。
チャック６は通常、真空吸着によってウェハを吸着保持
し、各ステージで駆動されるものであるが、本発明にお
いてチャック６はウェハだけでなくプローブカード８を
搭載し、搬送するために使用される。そしてチャック６
には第５図に示すようにチャック上面6aより突出し可能
なピン19が設けられる。ピン19はチャック６上のプロー
ブカード８を上方にもち上げるリフト手段をなすもので
プローブカード８がXYステージによってコネクタ11下部
に搬送されるとピン19がチャック上面6aより突出してプ
ローブカード８を上方に持ち上げ、プローブカード８を
コネクタ11に近接させる。
し、各ステージで駆動されるものであるが、本発明にお
いてチャック６はウェハだけでなくプローブカード８を
搭載し、搬送するために使用される。そしてチャック６
には第５図に示すようにチャック上面6aより突出し可能
なピン19が設けられる。ピン19はチャック６上のプロー
ブカード８を上方にもち上げるリフト手段をなすもので
プローブカード８がXYステージによってコネクタ11下部
に搬送されるとピン19がチャック上面6aより突出してプ
ローブカード８を上方に持ち上げ、プローブカード８を
コネクタ11に近接させる。
以上のような構成において、プローブカード８の自動搬
送及び取り付けについて説明する。まずローダ部１にプ
ローブカード８専用のカセットをセットし、スタートす
る。ローダ部１はハンドリングアーム等によりカセット
よりプローブカード８を取り出しプローバ部２のチャッ
ク６上に搭載する。チャック６上に搭載されているもの
がプローブカード８であればアラインメントは行わずXY
ステージによってチャック６が駆動され、直接コネクタ
11下方にプローブカード８を搬送する。次いでチャック
６のピン19を突出させてプローブカード８をコネクタ11
に接近させた後、チャック６全体を上昇させてプローブ
カード８とコネクタ11を当接させる。この状態でロック
リング16を回転させてその突部16aをプローブカード８
のロック部14の溝14aに係合させてプローブカード８を
コネクタ11に固定する。このロックリングの回転と同時
に、プローバ側に設置される磁気ヘッド17等のデータ読
取り手段によってプローブカード８上面の磁気カード15
又はバーコード、文字などのIDのデータを読み取りプロ
ーバ内のCPUに入力する。そしてロック機構（ロック部1
4とロックリング16）の係合時にプローブカード８とコ
ネクタ11は金メッキラウンド13と端子ピンの位置が合致
するようになっている。
送及び取り付けについて説明する。まずローダ部１にプ
ローブカード８専用のカセットをセットし、スタートす
る。ローダ部１はハンドリングアーム等によりカセット
よりプローブカード８を取り出しプローバ部２のチャッ
ク６上に搭載する。チャック６上に搭載されているもの
がプローブカード８であればアラインメントは行わずXY
ステージによってチャック６が駆動され、直接コネクタ
11下方にプローブカード８を搬送する。次いでチャック
６のピン19を突出させてプローブカード８をコネクタ11
に接近させた後、チャック６全体を上昇させてプローブ
カード８とコネクタ11を当接させる。この状態でロック
リング16を回転させてその突部16aをプローブカード８
のロック部14の溝14aに係合させてプローブカード８を
コネクタ11に固定する。このロックリングの回転と同時
に、プローバ側に設置される磁気ヘッド17等のデータ読
取り手段によってプローブカード８上面の磁気カード15
又はバーコード、文字などのIDのデータを読み取りプロ
ーバ内のCPUに入力する。そしてロック機構（ロック部1
4とロックリング16）の係合時にプローブカード８とコ
ネクタ11は金メッキラウンド13と端子ピンの位置が合致
するようになっている。
プローブカード８をコネクタ11から取り外すには、チャ
ック６をリングインサート部の下方に移動した状態で取
り付けと全く逆に、まずロックリング16を回転させて、
その突部16aとロック部14の係合を解いてプローブカー
ド８をチャック６上にのせ、ローダ部１へ搬送し、ロー
ダ部１でカセット内へ戻す。このようにして、プローブ
カード８の自動交換が達成される。
ック６をリングインサート部の下方に移動した状態で取
り付けと全く逆に、まずロックリング16を回転させて、
その突部16aとロック部14の係合を解いてプローブカー
ド８をチャック６上にのせ、ローダ部１へ搬送し、ロー
ダ部１でカセット内へ戻す。このようにして、プローブ
カード８の自動交換が達成される。
以上の実施例においては、プローブカード８をコネクタ
11に接続する場合、ロック部14とロックリング16が係合
するようにあらかじめプローブカード８をチャック６に
搭載する時に位置合わせしておくことが必要であるが、
本発明においては自動的に位置合わせする機能を付与す
ることができる。
11に接続する場合、ロック部14とロックリング16が係合
するようにあらかじめプローブカード８をチャック６に
搭載する時に位置合わせしておくことが必要であるが、
本発明においては自動的に位置合わせする機能を付与す
ることができる。
第７図に示すように、プローブカード８はその周辺部に
配設される金メッキラウンド13より内側の所定の３点に
磁気又は光学素子としてマグネット21が埋め込まれてい
る。一方、コネクタ11には金メッキラウンド13に対応し
てポコピン22が配設されると共に、マグネット21に対応
する位置にホール素子又はマグネットダイオート等の検
知手段23を設ける。
配設される金メッキラウンド13より内側の所定の３点に
磁気又は光学素子としてマグネット21が埋め込まれてい
る。一方、コネクタ11には金メッキラウンド13に対応し
てポコピン22が配設されると共に、マグネット21に対応
する位置にホール素子又はマグネットダイオート等の検
知手段23を設ける。
そして、プローブカード８とコネクタ11を接近させた状
態でチャック６を回転させて３つの検知手段23の出力の
ANDを取り、位置出しする。位置出し終了後はチャック
６を上昇させ前述のロック機構（第７図には図示せず）
によってコネクタ11にプローブカード８を接続固定す
る。この実施例では位置出しのためにマグネット21及び
磁気検知手段23を用いているが、光学素子及び光学的検
知手段を用いることも可能である。マグネット20を用い
た場合は、プローブカード８に貼付するデータ部15とし
て磁気テープは使えないので、代わりにバーコード、文
字などのID15′を用い光学読取手段によりデータを読み
取るようにする。
態でチャック６を回転させて３つの検知手段23の出力の
ANDを取り、位置出しする。位置出し終了後はチャック
６を上昇させ前述のロック機構（第７図には図示せず）
によってコネクタ11にプローブカード８を接続固定す
る。この実施例では位置出しのためにマグネット21及び
磁気検知手段23を用いているが、光学素子及び光学的検
知手段を用いることも可能である。マグネット20を用い
た場合は、プローブカード８に貼付するデータ部15とし
て磁気テープは使えないので、代わりにバーコード、文
字などのID15′を用い光学読取手段によりデータを読み
取るようにする。
尚、コネクタ11の端子ピンとしてポコピン22を用いたの
は、ポコピン22を用いた場合、ロック機構を解くと同時
にポコピン22の内蔵するばねによって自動的にプローブ
カード８とコネクタ11の接続が解かれ、自動化の要請に
かなうからである。
は、ポコピン22を用いた場合、ロック機構を解くと同時
にポコピン22の内蔵するばねによって自動的にプローブ
カード８とコネクタ11の接続が解かれ、自動化の要請に
かなうからである。
［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明のプローバに
おいてはプローブカードの搬送にチャックを利用したの
で、従来のプローバの簡単な改造によってプローブカー
ドの搬送から取付け、取り外しまでを自動的に行うこと
ができ、しかもプローブカードにデータを担持させたの
で取付けと同時にプローブカード変更に伴うデータの変
更を自動的に入力することができる。更に、プローブカ
ードとコネクタ側に検出素子を設けることにより、簡単
に位置出しをすることができる。
おいてはプローブカードの搬送にチャックを利用したの
で、従来のプローバの簡単な改造によってプローブカー
ドの搬送から取付け、取り外しまでを自動的に行うこと
ができ、しかもプローブカードにデータを担持させたの
で取付けと同時にプローブカード変更に伴うデータの変
更を自動的に入力することができる。更に、プローブカ
ードとコネクタ側に検出素子を設けることにより、簡単
に位置出しをすることができる。
第１図はプローバ全体図、第２図はプローバ部正面図、
第３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれプローブカードの平面
図及び側面図、第４図はロック機構を示す図、第５図は
チャックの側面図、第６図はプローブカードの第３図と
は別の実施例を示す図、第７図は第４図とは別のロック
機構を示す図である。 １……ローダ部 ２……プローバ部 ３……テストヘッド ４……操作パネル ６……チャック ７……ウェハ ８……プローブカード 10……リングインサート部 11……コネクタ 12……プローブ針 14……ロック部（ロック機構） 15……磁気テープ（データ部） 16……ロックリング（ロック機構） 19……ピン（リフト機構） 21……マグネット（磁気又は光学素子） 22……ポコピン 23……検知手段
第３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれプローブカードの平面
図及び側面図、第４図はロック機構を示す図、第５図は
チャックの側面図、第６図はプローブカードの第３図と
は別の実施例を示す図、第７図は第４図とは別のロック
機構を示す図である。 １……ローダ部 ２……プローバ部 ３……テストヘッド ４……操作パネル ６……チャック ７……ウェハ ８……プローブカード 10……リングインサート部 11……コネクタ 12……プローブ針 14……ロック部（ロック機構） 15……磁気テープ（データ部） 16……ロックリング（ロック機構） 19……ピン（リフト機構） 21……マグネット（磁気又は光学素子） 22……ポコピン 23……検知手段
Claims (3)
- 【請求項１】テストヘッドと、該テストヘッドと電気的
に接続されるプローブカードを装着するコネクタと、前
記プローブカードにウェハのチップパッドが接続するよ
うに前記ウェハを搭載搬送するチャックとを備えたプロ
ーバにおいて、前記プローブカード及び前記コネクタは
それぞれ互いに係合及び係合解除するためのロック機構
を備えると共に前記チャックは前記プローブカードの搬
送を兼ね且つ前記プローブカードを上方に移動させるリ
フト手段を有することを特徴とするプローブカード自動
交換機能付プローバ。 - 【請求項２】前記プローブカードは少なくとも一面にデ
ータ部を備え且つ前記プローバは前記データ部のデータ
を読み取るデータ読取手段を備えたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のプローブカード自動交換機能
付プローバ。 - 【請求項３】前記プローブカードは磁気又は光学素子を
有し且つ前記コネクタは該磁気又は光学素子を検出する
検知手段を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項及び第２項記載のプローブカード自動交換機能付プロ
ーバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25407186A JPH0680710B2 (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | プロ−ブカ−ド自動交換機能付プロ−バ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25407186A JPH0680710B2 (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | プロ−ブカ−ド自動交換機能付プロ−バ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63107136A JPS63107136A (ja) | 1988-05-12 |
| JPH0680710B2 true JPH0680710B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=17259816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25407186A Expired - Fee Related JPH0680710B2 (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | プロ−ブカ−ド自動交換機能付プロ−バ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680710B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH051235U (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | 株式会社東京精密 | 半導体素子検査装置 |
| JP4104099B2 (ja) | 1999-07-09 | 2008-06-18 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカード搬送機構 |
| JP2009229251A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Yokogawa Electric Corp | 半導体テスト装置 |
| CN106353669B (zh) * | 2016-10-15 | 2023-04-07 | 广州明森科技股份有限公司 | 一种智能卡芯片读写功能的检测装置 |
-
1986
- 1986-10-24 JP JP25407186A patent/JPH0680710B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63107136A (ja) | 1988-05-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |