JP2009229251A - 半導体テスト装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハマザーボードとプローブカードをコネクタにより接続してICのテストを行う半導体テスト装置において、前記ウエハマザーボードとプローブカードのそれぞれに前記コネクタの種別を認識するためのコネクタ種別認識手段を設けた。
【選択図】 図1
Description
これらの図において、半導体テスト装置Aは、メインフレーム1、ウエハマザーボード(WMB)2、テストヘッド(TH)3から構成されている。メインフレーム1とテストヘッド3は接続線5で接続されている。
ウエハマザーボード(WMB)2は、テストヘッド(TH)3とプローブカード(PC)6を接続するインターフェースである。ウエハマザーボード2は、接続されるプローブカード6によって種類が異なっている。同様にプローブカード6も接続されるウエハマザーボード2によって種類が異なってる。
動作1) ウエハマザーボード2のコネクタ種/コネクタ取付位置(口径)/ピン配列が、接続されるプローブカード6のコネクタ種/コネクタ取付位置(口径)/ピン配列と同じかどうか目視でチェックする。
動作3) プローバー4にプローブカード6を実装する。
動作4) テストヘッド3をデバイス測定するために所定位置へ移動させる。(矢印B方向に旋回させる)
動作6) プローバー上昇/下降機構11にてプローブカード6を持ち上げる。
この時点では、コネクタは接触しているが、ウエハマザーボード2が有するプローブカードロック機構9にてロックしない限り、ピンコンタクトは完全に接続されない。
動作8) プローバーコントロールユニット8からテストヘッドコントロールユニット7へプローブカードロック信号制御線13を介してプローブカードロック命令を送信する。
動作10) ウエハマザーボード2のコネクタ2aと、プローブカード6のコネクタ6aが接続される(コネクタロック)。
なお、このような半導体テスト装置の従来技術としては下記の特許文献が知られている。
ウエハマザーボード2のコネクタ種/コネクタ取付位置(口径)と、プローブカード6のコネクタ種/コネクタ取付位置(口径)が一致してない状態で接続行為(動作6)を行うと、コネクタが破損する恐れがある。
ウエハマザーボードとプローブカードをコネクタにより接続してICのテストを行う半導体テスト装置において、前記ウエハマザーボードとプローブカードのそれぞれに前記コネクタの種別を認識するためのコネクタ種別認識手段を設けたことを特徴とする。
前記ウエハマザーボードとプローブカードに設けたコネクタ種別認識手段から出力される種別認識信号を入力し、コネクタが合致しているか否かを判定する合否判定手段を設けたことを特徴とする。
前記合否判定回路の出力に基づいて前記ウエハマザーボードとプローブカードをロックするプローブカードロック機構を設けたことを特徴とする。
ウエハマザーボードの種別認識手段とプローブカードの種別認識手段からの出力信号および前記合否判定手段からの出力信号を入力し、画面上に表示する表示手段を設けたことを特徴とする。
図1において、図3の従来例と同一要素には同一符号を付している。
本発明では、プローブカード6に、コネクタ種/コネクタ取付位置(口径)/ピン配列情報を持ったプローブカード種別設定回路20を設け、ウエハマザーボード2に、コネクタ種/コネクタ取付位置(口径)/ピン配列情報を持ったウエハマザーボード種別設定回路21を設け、さらにウエハマザーボード2からテストヘッド3にウエハマザーボード種別設定回路21からのウエハマザーボード識別認識信号24を伝送する配線を設けている。
プローブカード種別設定回路20と、ウエハマザーボード種別設定回路21は、例えば
ROMやバーコード(図示省略)にコネクタ種/コネクタ取付位置(口径)/ピン配列情報を持たせ、その情報を読み取ることによって実現させることができる。
動作1) プローブカード6がプローバー4に実装された時点で、プローブカード種別設定回路20の情報であるプローブカード種別認識信号23をプローバーコントロールユニット8aへ送出する。
そして、テストヘッドコントロールユニット7aはプローバーコントロールユニット8aへウエハマザーボード種別認識信号24を送出する。
動作4) プローバーコントロールユニット8a内の合否判定回路22にて、プローブカード種別認識信号23とウエハマザーボード種別認識信号24を比較する。
一致する場合は、プローブカード上昇許可信号を送出してプローバー上昇/下降機構11にてプローブカード6を持ち上げる。一致しない場合は、持ち上げない。(接合を許可しない)
動作6) 判定結果信号25をテストヘッドコントロールユニット7aに送出する。
動作7) プローバーコントロールユニット8aからテストヘッドコントロールユニット7aへプローブカードロック信号制御線13を介してプローブカードロック命令を送信する。この時、動作6の判定結果信号25からの情報が一致しているという信号であればテストヘッドコントロールユニット7aからプローブカードロック機構9へプローブカードロック信号14を送信する。
一致していなければ、ロック信号は送信しない。(ロック動作をしない)
動作8) ウエハマザーボード2のコネクタと、プローブカード6のコネクタが接続される。(コネクタロック)
1 メインフレーム
2 ウエハマザーボード(WMB)
3 テストヘッド(TH)
4 プローバー(PB)
5,28 接続線
6 プローブカード(PC)
7,7a テストヘッドコントロールユニット
8,8a プローバーコントロールユニット
9 プローブカードロック機構
10 プローブカード位置検出センサ
11 プローブカード上昇/下降機構
12 プローブカード位置情報
13 プローブカードロック信号制御線
14 プローブカードロック信号
15 プローブカード上昇許可信号
20 プローブカード種別設定回路
21 ウエハマザーボード設定回路
22 合否判定回路
23 プローブカード種別認識信号
24 ウエハマザーボード種別認識信号
25 判定結果信号
27 ワークステーション
Claims (4)
- ウエハマザーボードとプローブカードをコネクタにより接続してICのテストを行う半導体テスト装置において、前記ウエハマザーボードとプローブカードのそれぞれに前記コネクタの種別を認識するためのコネクタ種別認識手段を設けたことを特徴とする半導体テスト装置。
- 前記ウエハマザーボードとプローブカードに設けたコネクタ種別認識手段から出力される種別認識信号を入力し、コネクタが合致しているか否かを判定する合否判定手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の半導体テスト装置。
- 前記合否判定回路の出力に基づいて前記ウエハマザーボードとプローブカードをロックするプローブカードロック機構を設けたことを特徴とする請求項2に記載の半導体テスト装置。
- ウエハマザーボードの種別認識手段とプローブカードの種別認識手段からの出力信号および前記合否判定手段からの出力信号を入力し、画面上に表示する表示手段を設けたことを特徴とする請求項2に記載の半導体テスト装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008075200A JP2009229251A (ja) | 2008-03-24 | 2008-03-24 | 半導体テスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008075200A JP2009229251A (ja) | 2008-03-24 | 2008-03-24 | 半導体テスト装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009229251A true JP2009229251A (ja) | 2009-10-08 |
Family
ID=41244823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008075200A Ceased JP2009229251A (ja) | 2008-03-24 | 2008-03-24 | 半導体テスト装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009229251A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63107136A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブカ−ド自動交換機能付プロ−バ |
JPH04159744A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-02 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | コネクタ判別システム |
JPH051235U (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | 株式会社東京精密 | 半導体素子検査装置 |
JPH11271397A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
-
2008
- 2008-03-24 JP JP2008075200A patent/JP2009229251A/ja not_active Ceased
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63107136A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブカ−ド自動交換機能付プロ−バ |
JPH04159744A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-02 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | コネクタ判別システム |
JPH051235U (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | 株式会社東京精密 | 半導体素子検査装置 |
JPH11271397A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
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