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라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
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实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
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使用雙(二乙基胺基)矽烷藉由peald沉積具有經改良品質之氧化矽膜的方法
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칼코지나이드 막 및 상기 막을 포함한 구조체를 증착하기 위한 방법 및 장치
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
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2019-10-25 |
2021-05-07 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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(en)
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Asm Ip Holding B.V. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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KR20210065848A
(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
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Asmip私人控股有限公司 |
基板处理设备
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기판 처리 장치
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
가스 공급 어셈블리, 이의 구성 요소, 및 이를 포함하는 반응기 시스템
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고 종횡비 피처를 형성하는 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
包括釩或銦層的裝置、結構及其形成方法、系統
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2020-02-04 |
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대형 물품의 투과율 측정을 위한 방법 및 장치
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수광 장치를 포함하는 기판 처리 장치 및 수광 장치의 교정 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於生長磷摻雜矽層之方法
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(zh)
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
專用於零件清潔的系統
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반응기 시스템용 정렬 고정구
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
박막 형성 방법
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半導體裝置的製造方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
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크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
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2020-04-15 |
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Asm Ip Holding B.V. |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於調整膜應力之方法
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
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2020-04-24 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於穩定釩化合物之方法及設備
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리
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(ko)
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2020-04-29 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
고체 소스 전구체 용기
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Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
同調回路を備える反応器システム
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2020-05-07 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
불소계 라디칼을 이용하여 반응 챔버의 인시츄 식각을 수행하기 위한 장치 및 방법
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(ko)
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2020-05-13 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成矽鍺層之方法、半導體結構、半導體裝置、形成沉積層之方法、及沉積系統
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(ko)
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2020-05-19 |
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기판 처리 장치
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2020-05-21 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
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(ko)
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2020-05-21 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판을 처리하기 위한 플랜지 및 장치
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2020-05-22 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
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(ko)
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2020-05-26 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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基板處理方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소를 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘이 구비된 층을 형성하는 방법
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基板處理方法
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포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법
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薄膜沉積製程
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기판 상에 티타늄 알루미늄 카바이드 막 구조체 및 관련 반도체 구조체를 증착하는 방법
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形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法
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다중 패터닝 공정을 사용하여 패터닝된 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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반도체 소자의 제조 방법, 및 ether-cat을 사용하는 기판 처리 장치
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沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
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TW202229620A
(zh)
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2020-11-12 |
2022-08-01 |
特文特大學 |
沉積系統、用於控制反應條件之方法、沉積方法
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TW202229795A
(zh)
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2020-11-23 |
2022-08-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具注入器之基板處理設備
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TW202235649A
(zh)
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2020-11-24 |
2022-09-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
填充間隙之方法與相關之系統及裝置
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TW202235675A
(zh)
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2020-11-30 |
2022-09-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
注入器、及基板處理設備
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2020-12-10 |
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Asm Ip Holding B.V. |
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2020-12-14 |
2022-09-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成臨限電壓控制用之結構的方法
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US11946137B2
(en)
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2020-12-16 |
2024-04-02 |
Asm Ip Holding B.V. |
Runout and wobble measurement fixtures
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2020-12-18 |
2022-08-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具有可旋轉台的晶圓處理設備
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TW202242184A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-11-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
前驅物膠囊、前驅物容器、氣相沉積總成、及將固態前驅物裝載至前驅物容器中之方法
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TW202231903A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-08-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
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TW202226899A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-07-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具匹配器的電漿處理裝置
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2021-05-11 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Electrode for substrate processing apparatus
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2021-05-11 |
2023-03-14 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas distributor for substrate processing apparatus
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USD980813S1
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2021-05-11 |
2023-03-14 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate for substrate processing apparatus
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2021-05-11 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Reactor wall for substrate processing apparatus
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2021-09-07 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate
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USD1099184S1
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2021-11-29 |
2025-10-21 |
Asm Ip Holding B.V. |
Weighted lift pin
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USD1060598S1
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2021-12-03 |
2025-02-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Split showerhead cover
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