EP1386694A1 - Verfahen zum Polieren und Poliermaschine - Google Patents

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EP1386694A1
EP1386694A1 EP03025546A EP03025546A EP1386694A1 EP 1386694 A1 EP1386694 A1 EP 1386694A1 EP 03025546 A EP03025546 A EP 03025546A EP 03025546 A EP03025546 A EP 03025546A EP 1386694 A1 EP1386694 A1 EP 1386694A1
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EP
European Patent Office
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polishing
polishing plate
drive shaft
pressure
polished
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EP1386694B1 (de
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Christoph KÜBLER
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Carl Zeiss Vision International GmbH
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Carl Zeiss AG
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    • B24B49/006—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
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    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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    • B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load

Definitions

  • the invention relates to a method for polishing a point-asymmetrical Freeform surface according to the preamble of claim 1 and a polishing machine according to the preamble of claim 5.
  • a polishing machine for polishing spherical is known from EP 727 280 B1 Lens surfaces known.
  • This polishing machine has an upper one in an x direction movable carriage on. With this slide is a tool spindle that is one vertical axis is rotatably connected. The tool spindle is used for Inclusion of a dressing tool.
  • a workpiece spindle connected to a further slide is provided. The Workpiece spindle and the workpiece spindle with the dressing tool are in one fixed distance from each other. The carriage carrying these two spindles is in movable in z direction.
  • WO 97/00155 describes a polishing machine and a method for polishing known optical surfaces.
  • the polishing machine has a polishing head with a elastic membrane is provided.
  • the membrane is pressurized Controlled application of force to the surface to be polished.
  • the disadvantage of this Polishing machine that the size of the surface of the surface to be polished Depends on the pressurization.
  • the polishing head with the elastic membrane is moved by an associated spring in the direction of biased surface.
  • hydraulic cylinders are provided for providing a tilting movement of the elastic membrane to one on the axis of rotation in the area of the flexible membrane lying point.
  • the application of force to Polishing surface is detected by assigned sensors, rotating strips and solenoite.
  • DE 1 239 211 B discloses a gimbal-mounted optical grinding or polishing tool known.
  • An alignment member is provided to align the polishing plate elastic material.
  • This alignment member does not practice the tool from the Spindle lifting force. It can easily be designed so that even one Force the tool to the all-round movable joint, e.g. B. draws a ball joint, however, the alignment force is so weak that the tool is set to the workpiece is possible under the effect of the working pressure.
  • the use of a such a tool allows automatic loading of an optical grinding machine, since the workpiece remains rigid and axially immovable on the spindle and without lateral Tilting away takes a precisely defined position relative to the loading device.
  • the object of the invention is a method and a polishing machine with a Polishing head with polishing plate to polish a free-form surface by which a high quality optical surface can be polished and a constant one Polishing removal can be guaranteed on the entire optical surface to be polished can.
  • the object of the invention is for the method by the in claim 1 given characteristics solved.
  • the object of the invention is achieved for the polishing machine the features given in claim 5 solved.
  • the pressure in a Pressure chamber of the polishing head depending on the surface contour of the optical Area regulated so that the turntable resting on the optical surface it exerts a predetermined constant polishing pressure.
  • a polishing head in particular for polishing optical surfaces, can be used be, with a polishing plate, with a rotationally driven drive shaft is connected, the polishing plate being articulated and non-rotatable with the drive shaft connected is.
  • the polishing plate is connected in a rotationally fixed manner to the drive shaft it is possible that the polishing plate follows the surface contour on the one to be machined Surface rests. Thanks to the articulated connection, the polishing plate can Carry out tilting movements so that it has a maximum polishing surface on the on the polished surface.
  • the non-rotatable articulated connection Connect the polishing plate to the drive shaft using a spherical imbus joint. Because of this Ball imbus joint, it is possible to set the pivot point around which the polishing plate is in any Directions can be pivoted as close as possible to the surface to be polished Arrange polishing plates.
  • the close arrangement of the articulated connection to the polishing Surface of the polishing plate has the advantage that the polishing plate has the surface contours can respond quickly.
  • the articulated connection has been found to be advantageous for the articulated connection to have one or more Locking elements to secure the connection between the drive shaft and the polishing head assigned. If a spherical imbus joint is provided as the articulated connection, then by means of the locking element ensures that the ball imbus head from the assigned Recess cannot slip out. This means that the polishing plate can be used without any problems of the surface to be polished. By the guaranteed by the locking element Various polishing plates can also easily detach the connection are exchanged for each other.
  • a piston assigned to the pressure chamber is operatively connected to the drive shaft so that pressurization of the Pressure chamber is transferred to the polishing plate via the drive shaft.
  • the polishing head (1) shown in FIG. 1 has a polishing plate (3) with a Polishing surface (5).
  • the polishing surface (5) lies on a surface (41) to be polished Workpiece (39).
  • the polishing plate 3 is connected to a drive shaft (7) via the articulated connection. added. In the illustrated embodiment, this is non-rotatable articulated Connection provided a ball imbus joint.
  • the drive shaft (7) is on the The end of the side facing the polishing plate is provided with a spherical imbus head (19) a recess (13) formed in the polishing plate (3) engages.
  • a locking element 15
  • a spring element or spring pin on the polishing plate which is in a recess protrudes into the Kugelimbuskopf, be provided.
  • the drive shaft (7) can be displaced translationally and rotatably via the bearing element (23) stored in a hollow cylinder (49).
  • the hollow cylinder (49) is driven in rotation via a drive, not shown, of the polishing machine, the rotary movement due to the non-rotatable connection through the bearing element (23) completely on the Drive shaft (7) for the polishing head is transmitted.
  • a hydraulic or pneumatic system which is used to act upon the polishing head serves the required polishing pressure.
  • Piston 33
  • Pressurization of the piston (33) is that formed in the pressure chamber cylinder (31) Pressure chamber (29) a pressure supply (35) with a pressure control valve (37) and Assigned pressure reservoir (36).
  • the rotationally fixed translationally movable coupling between the hollow cylinder (49) and the Drive shaft (7) takes place via a roller bearing (23).
  • the drive shaft (7) has non-rotationally symmetrical outer profile (43), preferably a polygonal profile.
  • the Form fit between the outer profile (43) of the drive shaft (7) and the inner wall of the Hollow cylinder is reached via rollers or rollers (25) in the bearing element (23) are added symmetrically to the outer profile of the drive shaft (7) and on the Roll off the outer profile (43) of the drive shaft.
  • the axes of rotation of the rolls or rollers are aligned perpendicular to the axis of rotation of the drive shaft (7).
  • a Ball bearing instead of the roller bearing of the drive shaft (7) in the hollow cylinder (49), a Ball bearing, as shown in Figure 4, may be provided.
  • the drive axle has at least one area corresponding to the bearing Non-rotationally symmetrical outer profile, in particular a polygonal profile.
  • polishing the polishing head For polishing the Polishing head, the diameter of which is smaller than the diameter of the surface to be polished, in a pivoting movement in the radial direction over the optical surface to be polished (41) moves. Both the workpiece (39) and the polishing plate are almost driven at the same speed in the same direction.
  • moving the polishing plate About the optical surface to be polished (41) can be provided that the speeds of the Polishing plate or the speed of the workpiece, especially depending on the radial position of the polishing plate. This speed change has one positive influence on constant polishing removal.
  • the pressure fluctuations are very small held so that the polishing plate with constant force on the optical to be polished Surface rests.
  • the pressure control valve also helps to compensate Pressure fluctuations at.
  • the arrangement described in connection with a polishing machine according to the State of the art is in particular non-rotationally symmetrical optical surfaces (41) polishable, the polishing removal being constant over the entire optical surface.
  • the polishing surface of the polishing plate (3) rests as far as possible on the optical surface (41) to be polished. This will ensured in particular by the fact that the non-rotatable articulated connection between the polishing plate and the drive shaft (7) of the polishing plate by one on the Center axis (2) of the polishing head can be tilted in any direction can and the orientation of the polishing plate thereby the surface contour of the Polishing surface (41) can follow.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Polieren einer punktunsymmetrischen Freiformfläche mit einer Poliermaschine wobei ein Polierteller (3) der Poliermaschine in gleicher Drehrichtung rotatorisch angetrieben wird wie die zu polierende optische Fläche. Dabei wird der Druck in einer Druckkammer (29) des Polierkopfes (1) in Abhängigkeit von der Oberflächenkontur der optischen Fläche (41) geregelt, so dass der auf der optischen Oberfläche (41) aufliegende Drehteller auf dieselbe einen vorbestimmten Polierdruck ausübt. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Poliermaschine. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Polieren einer punktunsymmetrischen Freiformfläche gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie eine Poliermaschine gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 5.
Aus der EP 727 280 B1 ist eine Poliermaschine zum Polieren sphärischer Linsenoberflächen bekannt. Diese Poliermaschine weist einen oberen in einer x-Richtung verfahrbaren Schlitten auf. Mit diesem Schlitten ist eine Werkzeugspindel, die um eine vertikale Achse drehbar gelagert ist, verbunden. Die Werkzeugspindel dient dabei zur Aufnahme eines Abrichtwerkzeuges. Zur Aufnahme des Werkstückes bzw. der Linse ist eine mit einem weiteren Schlitten verbundene Werkstückspindel vorgesehen. Die Werkstückspindel und die Werkstückspindel mit dem Abrichtwerkzeug sind in einem festen Abstand zueinander angeordnet. Der diese beiden Spindeln tragende Schlitten ist in z-Richtung verfahrbar.
Aus der WO 97/00155 ist eine Poliermaschine und ein Verfahren zum Polieren von optischen Flächen bekannt. Die Poliermaschine weist eine Polierkopf auf, der mit einer elastischen Membran versehen ist. Durch Druckbeaufschlagung der Membran wird die Kraftbeaufschlagung der zu polierenden Fläche geregelt. Nachteilig ist bei dieser Poliermaschine, dass die Größe der auf der zu polierenden Fläche aufliegende Fläche des Polierkopfes bzw. der Membran von der Druckbeaufschlagung abhängt. Der Polierkopf mit der elastischem Membran wird durch eine zugeordnete Feder in Richtung der zu polierenden Fläche vorgespannt. Für die Bereitstellung einer Kippbeweglichkeit der elastischen Membran, um eine auf der Drehachse im Bereich der flexiblen Membran liegenden Punkt, sind Hydraulikzylinder vorgesehen. Die Kraftbeaufschlagung der zu polierenden Fläche wird durch zugeordnete Sensoren, Drehstreifen und Solenoit, detektiert.
In dem aus dieser Schrift bekannten Verfahren wird das Polieren der optischen Oberfläche in Abhängigkeit von der Drehzahl des polierenden Kopfes und der auf die zu polierende Oberfläche wirkenden Anpresskraft durch Druckbeaufschlagung gesteuert.
Aus der DE 1 239 211 B ist ein kardanisch gelagertes Optik- Schleif- oder Polierwerkzeug bekannt. Zur Ausrichtung des Poliertellers ist ein Ausrichtglied vorgesehen, das aus elastischem Werkstoff besteht. Dieses Ausrichtglied übt keine das Werkzeug von der Spindel abhebende Kraft aus. Es kann ohne weiteres so ausgebildet werden, dass sogar eine Kraft das Werkzeug an das allseitig bewegliche Gelenk, z. B. ein Kugelgelenk, heranzieht, wobei jedoch die Ausrichtkraft so schwach ist, dass die Einstellung des Werkzeuges auf das Werkstück unter der Wirkung des Arbeitsdruckes möglich ist. Die Verwendung eines solchen Werkzeuges gestattet das automatische Beschicken einer Optik- Schleifmaschine, da das Werkstück starr und axial unbeweglich auf der Spindel verbleibt und ohne seitliches Wegkippen eine genau definierte Lage relativ zu der Beschickungsvorrichtung, einnimmt.
Es ist Aufgabe der Erfindung ein Verfahren sowie eine Poliermaschine mit einem Polierkopf mit Polierteller zum Polieren einer Freiformfläche bereitzustellen, durch die eine qualitativ hochwertige optische Oberfläche polierbar ist und ein konstanter Polierabtrag auf der gesamten zu polierenden optischen Oberfläche gewährleistet werden kann.
Die Aufgabe der Erfindung wird für das Verfahren durch die im Patentanspruch 1 gegebenen Merkmale gelöst. Die Aufgabe der Erfindung wird für die Poliermaschine durch die im Patentanspruch 5 gegebenen Merkmale gelöst.
Weitere vorteilhafte Maßnahmen sind in weiteren abhängigen Ansprüchen beschrieben.
In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird der Druck in einer Druckkammer des Polierkopfes in Abhängigkeit von der Oberflächenkontur der optischen Fläche geregelt, so dass der auf der optischen Oberfläche aufliegende Drehteller auf dieselbe einen vorbestimmten konstanten Polierdruck ausübt.
Es kann ein Polierkopf, insbesondere zum Polieren von optischen Flächen, eingesetzt werden, mit einem Polierteller, der mit einer rotatorisch antreibbaren Antriebswelle verbunden ist, wobei der Polierteller mit der Antriebswelle gelenkig und drehfest verbunden ist.
Durch die Maßnahme den Polierteller drehfest gelenkig mit der Antriebswelle zu verbinden ist es möglich, daß der Polierteller der Oberflächenkontur folgend auf der zu bearbeitenden Oberfläche aufliegt. Durch die gelenkige Verbindung kann der Polierteller Kippbewegungen ausführen, so daß er mit einer maximalen Polierfläche auf der zu polierenden Oberfläche aufliegt.
Zur Übertragung der Drehbewegung der Antriebswelle auf den Polierteller hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, den Polierteller mit der Antriebswelle mittels Formschluß zu verbinden, so daß die Drehbewegung der Antriebswelle aufgrund des Formschlusses auf den Polierteller übertragen wird.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt für die drehfeste gelenkige Verbindung den Polierteller über ein Kugelimbusgelenk mit der Antriebswelle zu verbinden. Durch dieses Kugelimbusgelenk ist es möglich, den Drehpunkt, um den der Polierteller in beliebige Richtungen geschwenkt werden kann, möglichst nah an der zu polierenden Oberfläche des Poliertellers anzuordnen. Die nahe Anordnung der gelenkigen Verbindung zur polierenden Oberfläche des Poliertellers hat den Vorteil, daß der Polierteller den Oberflächenkonturen reaktionsschnell folgen kann.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, der gelenkigen Verbindung ein oder mehrere Rastelemente zur Sicherung der Verbindung von Antriebswelle und Polierkopf zuzuordnen. Ist als gelenkige Verbindung ein Kugelimbusgelenk vorgesehen, so wird mittels des Rastelementes sichergestellt, daß der Kugelimbuskopf aus der zugeordneten Ausnehmung nicht herausrutschen kann. Dadurch kann der Polierteller ohne Probleme von der zu polierenden Fläche entfernt werden. Durch die durch das Rastelement gewährleistete Lösbarkeit der Verbindung können außerdem verschiedene Polierteller leicht gegeneinander ausgetauscht werden.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, dem Polierkopf eine Druckkammer zuzuordnen wobei aus einer Druckbeaufschlagung der Druckkammer eine translatorische Bewegung des Poliertellers entlang einer Mittenachse des Polierkopfes resultiert. Liegt der Polierteller auf einer zu polierenden Oberfläche auf, so resultiert aus einer Druckbeaufschlagung ein erhöhter Polierdruck.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, wenn ein der Druckkammer zugeordneter Kolben mit der Antriebswelle in Wirkverbindung steht, so daß eine Druckbeaufschlagung der Druckkammer über die Antriebswelle auf den Polierteller übertragen wird.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt die Antriebswelle mittels eines koaxial angeordneten Hohlzylinders, in dem die Antriebswelle drehfest gelagert ist, über diesen Hohlzylinder anzutreiben. Für die Übertragung der Drehbewegung hat sich eine formschlüssige Verbindung als vorteilhaft erwiesen.
Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, die Antriebswelle in dem Hohlzylinder mittels Lagerelementen, z.B. einer Wälzlagerung oder einer Kugellagerung, translatorisch leicht bewegbar zu lagern. Durch diese Lagerung wird gewährleistet, daß bei Druckbeaufschlagung der Druckkammer sich die Antriebswelle in dem Hohlzylinder leichtgängig translatorisch bewegen kann und somit die eingeleitete translatorische Bewegung bzw. Kraftbeaufschlagung nahezu vollständig auf den Polierteller übertragen wird.
Schließlich hat es sich als vorteilhaft herausgestellt eine Poliermaschine mit dem geschilderten Polierkopf zu bestücken.
Anhand eines Ausführungsbeispieles wird die Erfindung im folgenden näher beschrieben.
Es zeigt:
Figur 1
eine schematische Skizze des Polierkopfes in einem dessen Mittenachse enthaltenen Schnittes;
Figur 2
einen Schnitt entlang der Ebene II - II in Figur 1;
Figur 3
einen Schnitt entlang der Ebene III - III in Figur 1; und
Figur 4
Schnitt entlang der Ebene III - III bei einem alternativen Ausführungsbeispiel.
Der in Figur 1 dargestellte Polierkopf (1) weist einen Polierteller (3) mit einem Polierbelag (5) auf. Der Polierbelag (5) liegt auf einer zu polierenden Oberfläche (41) eines Werkstückes (39) auf.
Der Polierteller 3 ist über die gelenkige Verbindung an einer Antriebswelle (7) aufgenommen. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist für diese drehfeste gelenkige Verbindung ein Kugelimbusgelenk vorgesehen. Die Antriebswelle (7) ist dazu auf der dem Polierteller zugewandten Seite endseitig mit einem Kugelimbuskopf (19) versehen, der in eine im Polierteller (3) ausgebildete Ausnehmung (13) eingreift.
Zur Sicherung ist die Verbindung zwischen dem Kugelimbuskopf (19) und dem Polierteller (3) mittels eines Rastelementes (15) gesichert ist. Als Rastelement können beispielsweise ein Federelement bzw. Federstift am Polierteller, der in eine Ausnehmung am Kugelimbuskopf hinein ragt, vorgesehen sein.
Es ist auch möglich, den Kugelimbuskopf (19) an dem Polierteller auszubilden; in diesem Fall ist dann in der Antriebswelle (7) eine Ausnehmung zur drehsicheren gelenkigen Aufnahme des Kugelimbuskopfes vorzusehen. Allerdings ist in diesem Fall der Abstand zwischen der Gelenkstelle - also dem Punkt, um den eine Kippung des Poliertellers relativ zur starren Antriebswelle erfolgen kann - und der zu polierenden Fläche (41) größer.
Die Antriebswelle (7) ist über Lagerelement (23) translatorisch verschiebbar und drehfest in einem Hohlzylinder (49) gelagert. Der Hohlzylinder (49) wird rotatorisch angetrieben über einen nicht dargestellten Antrieb der Poliermaschine, wobei die Drehbewegung aufgrund der drehfesten Verbindung durch das Lagerelement (23) vollständig auf die Antriebswelle (7) für den Polierkopf übertragen wird.
Auf der vom Polierkopf abgewandten Seite der Antriebswelle (7) ist in dem Hohlzylinder (49) ein Hydraulik- oder Pneumatiksystem, das zur Beaufschlagung des Polierkopfes mit dem erforderlichen Polierdruck dient, vorgesehen. Dieses weist einen Druckkammerzylinder (31) mit einem darin translatorisch verschiebar aufgenommenen Kolben (33) auf. Zur Entkoppelung des Kolbens (33) von der Drehbewegung der Antriebswelle (7) und des Hohlzylinders können Drehlager zwischen dem Druckkammerzylinder (31) und dem Hohlzylinder (49) sowie zwischen dem vom Kolben (33) angetriebenen Pleul (32) und der Antriebswelle (7) vorgesehen sein. Zur Druckbeaufschlagung des Kolbens (33) ist der im Druckkammerzylinder (31) gebildeten Druckkammer (29) eine Druckversorgung (35) mit einem Druckregelventil (37) und einem Druckreservoir (36) zugeordnet. Durch Druckbeaufschlagung der Druckkammer (29) wird eine entlang einer Mittenachse (2) des Polierkopfes (1) gerichteten Kraft auf den Kolben (33) eingeleitet. Aus dieser Kraft resultiert eine translatorische Bewegung des Poliertellers bzw. eine Erhöhung der wirkenden Polierkraft, sofern der Polierbelag (5)auf einer zu polierenden optischen Fläche (41) eines Werkstückes (39) aufliegt.
Die drehfeste translatorisch bewegbare Kopplung zwischen dem Hohlzylinder (49) und der Antriebswelle (7) erfolgt über ein Wälzlager (23). Die Antriebswelle (7) weist dazu ein nicht rotationssymmetrisches Außenprofil (43), vorzugsweise ein Mehrkantprofil auf. Der Formschluß zwischen dem Außenprofil (43) der Antriebswelle (7) und der Innenwand des Hohlzylinders wird über Rollen oder Walzen (25) erreicht, die in dem Lagerelement (23) symmetrisch zum Außenprofil der Antriebswelle (7) aufgenommen sind und an dem Außenprofil (43) der Antriebswelle abrollen. Die Drehachsen der Rollen oder Walzen sind dabei senkrecht zur Rotationachse der Antriebswelle (7) ausgerichtet.
Anstelle der Wälzlagerung der Antriebswelle (7) in dem Hohlzylinder (49) kann auch eine Kugellagerung, wie in Figur 4 dargestellt, vorgesehen sein. Zur drehfesten translatorisch verschiebbaren Verbindung sind die Kugeln (53) in Längsnuten (51) des Hohlzylinders (49) und weiteren Längsnuten (55) der Antriebswelle (7) gelagert, wobei sich die Längsnuten parallel zur Rotationsachse der Antriebswelle (7) erstrecken. Auch in diesem Fall weist die Antriebsachse wenigstens in einem der Lagerung entsprechenden Bereich ein nicht-rotationssymmetrisches Außenprofil, insbesondere ein Mehrkantprofil auf.
Im folgenden wird das Polierverfahren näher beschrieben. Zum Polieren wird der Polierkopf, dessen Durchmesser kleiner ist als der Durchmesser der zu polierenden Fläche, in einer Schwenkbewegung in radialer Richtung über die zu polierende optische Fläche (41) bewegt. Sowohl das Werkstück (39) als auch der Polierteller werden dabei mit nahezu gleicher Drehzahl in identischer Richtung angetrieben. Bei Bewegung des Poliertellers über die zu polierende optische Fläche (41) kann vorgesehen sein, daß die Drehzahlen des Poliertellers oder die Drehzahl des Werkstückes, insbesondere in Abhängigkeit von der radialen Position des Poliertellers, zu verändern. Diese Drehzahländerung hat einen positiven Einfluß auf einen konstanten Polierabtrag.
Durch die Wahl eines sehr großen Speichervolumens (36) im Verhältnis zum sich verändernden Volumen des Kolbens (31), werden die Druckschwankungen sehr klein gehalten, so daß der Polierteller mit konstanter Kraft auf der zu polierenden optischen Fläche aufliegt. Das Druckregelventil trägt auch noch zum Ausgleich von Druckschwankungen bei.
Durch die beschriebene Anordnung in Verbindung mit einer Poliermaschine nach dem Stand der Technik sind insbesondere nicht rotationssymmetrische optische Oberflächen (41) polierbar, wobei der Polierabtrag über die gesamte optische Fläche konstant ist. Für den gleichmäßigen Polierabtrag ist es erforderlich, daß der Polierbelag des Poliertellers (3) möglichst großflächig auf der zu polierenden optischen Fläche (41) aufliegt. Dies wird insbesondere dadurch gewährleistet, daß durch die drehfeste gelenkige Verbindung zwischen dem Polierteller und der Antriebswelle (7) der Polierteller um einen auf der Mittenachse (2) des Polierkopfes liegenden Punkt in beliebige Richtungen gekippt werden kann und die Ausrichtung des Poliertellers dadurch der Oberflächenkontur der zu polierenden Fläche (41) folgen kann.
Bezugszeichenliste:
1
Polierkopf
2
Mittenachse
3
Polierteller
5
Polierbelag (~ Belag)
7
Antriebswelle
9
gelenkige Verbindung
13
Ausnehmung im Polierteller
15
Rastelement
19
Kugelimbuskopf
20
Ausnehmung
23
Lagerelemente
25
Walzen oder Rollen
29
Druckkammer
31
Druckkammerzylinder
32
Pleuel
33
Kolben
35
Druckversorgung
36
Reservoir
37
Druckregelventil
39
Werkstück
41
Optische Fläche
43
Außenprofil
49
Hohlzylinder
51
Längsnuten
53
Kugeln
55
Längsnut in Antriebswelle

Claims (5)

  1. Verfahren zum Polieren einer punktunsymmetrischen Freiformfläche mit einem Polierkopf (1) mit Polierteller (3), wobei der Polierteller (3) in gleicher Drehrichtung rotatorisch angetrieben wird, wie die zu polierende optische Fläche, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck in einer Druckkammer (29) des Polierkopfes (1) in Abhängigkeit von der Oberflächenkontur der optischen Fläche (41) geregelt wird, so dass der auf der optischen Oberfläche (41) aufliegende Drehteller auf dieselbe einen vorbestimmten Polierdruck ausübt.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der zu bearbeitende Körper (3) mit annähernd gleicher Drehfrequenz angetrieben wird wie der Polierteller (3).
  3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehteller (3) eine radiale Bewegung relativ zum zu bearbeitenden Körper (39) ausführt.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in Abhängigkeit von der radialen Position des Drehtellers (3) die Drehfrequenz des Drehtellers (3) oder der zu polierenden Fläche (41) verändert wird.
  5. Poliermaschine mit einem Polierkopf mit Druckkammer (29) und Polierteller (3), wobei der Polierteller (3) dazu ausgelegt ist, in gleicher Richtung zu drehen wie eine zu polierende optische Fläche (41), dadurch gekennzeichnet, dass für den Druck in der Druckkammer (29) eine Druckregelung in Abhängigkeit von der Oberflächenkontur der optischen Fläche (41) zur Ausübung eines vorbestimmten Polierdruckes auf die optische Oberfläche (41) mit dem auf der optischen Oberfläche (41) aufliegenden Polierteller (3) vorgesehen ist.
EP03025546A 2000-02-03 2001-01-11 Verfahen zum Polieren und Poliermaschine Expired - Lifetime EP1386694B2 (de)

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DE10004455 2000-02-03
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DE (3) DE50101982D1 (de)
TW (1) TW558477B (de)
WO (1) WO2001056740A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1779967A2 (de) * 2005-11-01 2007-05-02 Satisloh GmbH Gestaltung der Schlittenführung einer Fast-tool-anordnung, insbesondere für Drehmaschinen zur Bearbeitung von optischen Werkstücken
DE102017102094A1 (de) 2017-02-02 2018-08-02 Steffen Nitschke Werkzeugmodul zur Feinbearbeitung

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1251997B2 (de) 2000-02-03 2011-06-08 Carl Zeiss Vision GmbH Polierkopf für eine poliermaschine
DE10250856A1 (de) 2002-10-25 2004-05-13 Carl Zeiss Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern
DE10319945A1 (de) * 2003-05-02 2005-01-27 Loh Optikmaschinen Ag Werkzeug zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen
DE102004003131A1 (de) * 2004-01-15 2005-08-11 Carl Zeiss Vorrichtung und Verfahren zum Polieren einer optischen Fläche, optisches Bauelement, sowie Verfahren zum Herstellen eines Polierwerkzeugs
DE102004062319B3 (de) * 2004-12-20 2006-03-02 Schneider Gmbh + Co. Kg Polierwerkzeug
DE202008016454U1 (de) * 2008-06-17 2009-03-05 Satisloh Gmbh Werkzeug zum Polieren und Feinschleifen von optisch wirksamen Flächen in der Feinoptik
JP4709257B2 (ja) * 2008-08-08 2011-06-22 株式会社トプコン レンズ研磨装置
GB2477557A (en) * 2010-02-08 2011-08-10 Qioptiq Ltd Aspheric optical surface polishing tool with individually movable polishing pads
DE102010019491B4 (de) 2010-04-30 2015-07-09 Carl Zeiss Vision International Gmbh Polierwerkzeug zur Bearbeitung von optischen Flächen, insbesondere Freiformflächen
DE102011014230A1 (de) * 2011-03-17 2012-09-20 Satisloh Ag Vorrichtung zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an insbesondere Brillengläsern
FR2972672B1 (fr) 2011-03-18 2013-03-15 Coriolis Composites Attn Olivier Bouroullec Machine d'application de fibres avec systeme de securite
CN102490104A (zh) * 2011-12-09 2012-06-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 非球面反射镜自动加工装置
DE102012014399A1 (de) 2012-07-20 2014-05-15 Carl Zeiss Vision International Gmbh Vorrichtung zum Ermitteln und Ausgeben eines für einen Brillenträger geeigneten Brillenlinsentyp
DE102012216724A1 (de) 2012-09-19 2014-03-20 Carl Zeiss Vision International Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Polierbearbeitung von Brillenlinsen und Gießformen für die Brillenlinsenherstellung sowie entsprechendes Verfahren zur Herstellung von Brillenlinsen und Gießformen für die Brillenlinsenherstellung
US9352509B1 (en) * 2013-05-08 2016-05-31 The Boeing Company Tools and methods for use in removing a coating
ITBS20130066A1 (it) * 2013-05-16 2014-11-17 Cms Spa Unita' portautensile di macchine lucidatrici di lastre in pietra o affini
CN103302585A (zh) * 2013-06-25 2013-09-18 濮阳市亚利机械制造有限公司 一种用于研磨空气炮炮口的研磨机
DE102014206424A1 (de) 2014-04-03 2015-10-08 Carl Zeiss Vision International Gmbh Polierwerkzeug sowie Vorrichtung und Verfahren zur formfehleroptimierten Polierbearbeitung von Brillenlinsenoberflächen und Gießformschalen zur Brillenlinsenherstellung
DE102016004328A1 (de) * 2016-04-13 2017-10-19 Satisloh Ag Werkzeugspindel für eine Vorrichtung zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an Werkstücken
DE102016006741A1 (de) * 2016-06-06 2017-12-07 Schneider Gmbh & Co. Kg Werkzeug, Vorrichtung und Verfahren zum Polieren von Linsen
CN106002521A (zh) * 2016-07-19 2016-10-12 苏州誉衡昌精密机械有限公司 一种自动抛光轮机构
CN107322411B (zh) * 2017-06-09 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种大口径非球面光学元件抛光装置
CN107186572B (zh) * 2017-06-09 2023-04-11 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种非球面光学元件抛光装置
JP2019000957A (ja) * 2017-06-16 2019-01-10 株式会社春近精密 レンズ研磨装置およびレンズ研磨方法
CN109514384A (zh) * 2018-11-07 2019-03-26 西安工业大学 非球面光学元件的抛光方法和装置
CN109202709A (zh) * 2018-11-21 2019-01-15 中国科学院光电技术研究所 一种气压控制恒定压力自适应抛光磨头
EP3663039A1 (de) 2018-12-03 2020-06-10 Carl Zeiss Vision International GmbH Poliermaschine zur bearbeitung einer optischen fläche eines brillenglases, aufnahmevorrichtung zur verwendung in der poliermaschine, verfahren zur polierbearbeitung von optischen flächen von brillengläsern und verfahren zum herstellen eines brillenglases
JP7354879B2 (ja) * 2020-03-05 2023-10-03 トヨタ自動車株式会社 自動水研装置
CN111906672B (zh) * 2020-07-21 2021-05-07 温州大学 一种基于气压砂轮的自动化抛光装置
CN113618542A (zh) * 2021-07-13 2021-11-09 中国兵器科学研究院宁波分院 一种抛光设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1239211B (de) * 1964-10-14 1967-04-20 Wilhelm Lot K G Optikmaschinen Kardanisch gelagertes Optik-Schleif- oder Polierwerkzeug
JPS63232948A (ja) * 1987-03-19 1988-09-28 Canon Inc 加圧回転装置
JPH04244372A (ja) * 1991-01-31 1992-09-01 Canon Inc 研磨工具保持装置および該研磨工具保持装置を備えた研磨ヘッド

Family Cites Families (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE318561C (de) *
US2836939A (en) * 1955-03-24 1958-06-03 White Arthur Howard Machine for producing spherical surfaces
US2821813A (en) * 1956-06-28 1958-02-04 Siemens Ag Albis Machine for the production of a paraboloidal body
US2916857A (en) * 1958-02-14 1959-12-15 American Optical Corp Lens surfacing machines
US2994164A (en) * 1960-07-08 1961-08-01 American Optical Corp Method and apparatus for simultaneously grinding lenses
AT240722B (de) † 1961-09-28 1965-06-10 Philips Nv Schleif- und Polierwerkzeug zur Bearbeitung von Glasgegenständen, deren Oberfläche nach verschiedenen Radien gekrümmt ist
US3226887A (en) * 1962-03-07 1966-01-04 Univis Inc Method and apparatus for processing of ophthalmic lens
US3330075A (en) * 1964-07-01 1967-07-11 Coburn Mfg Company Inc Sphere polisher
US3589078A (en) * 1968-07-26 1971-06-29 Itek Corp Surface generating apparatus
US3624969A (en) * 1970-07-15 1971-12-07 American Optical Corp Lens generating apparatus
US3968598A (en) † 1972-01-20 1976-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Workpiece lapping device
JPS5321159B2 (de) * 1972-07-17 1978-06-30
DE2252503C3 (de) 1972-10-26 1975-12-18 Wilhelm Loh Kg Optikmaschinenfabrik, 6330 Wetzlar Futter für optische Linsen zur Verwendung in Linsenschleif- oder Poliermaschinen
US3900971A (en) * 1972-10-26 1975-08-26 Loh Kg Optik W Machine for producing surfaces of optical lenses, for example toric surfaces
CH556719A (de) 1973-06-29 1974-12-13 Studer Rudolf Motorisch, insbesondere elektromotorisch, angetriebener schlagbohrhammer.
US3874123A (en) 1973-10-11 1975-04-01 Mwa Company Metal conditioning planetary grinder
US3897703A (en) 1974-02-08 1975-08-05 Olin G Phipps Universal socket
US4068413A (en) * 1975-10-02 1978-01-17 Suddarth Jack M Adjustable lens grinding apparatus
DE2734650C2 (de) * 1976-08-03 1983-05-26 Kabushiki Kaisha Seikosha, Tokyo Maschine zum Polieren von Schwingquarzen
US4128968A (en) * 1976-09-22 1978-12-12 The Perkin-Elmer Corporation Optical surface polisher
FR2366912A1 (fr) * 1976-10-06 1978-05-05 Essilor Int Tete de travail pour machine a surfacer les lentilles, notamment les lentilles ophtalmiques en matiere organique, et machine comportant une telle tete de travail
IT1098048B (it) * 1977-08-13 1985-08-31 Dollond Aitchison Service Apparecchio e procedimento per levigare o lucidare superfici curve,in particolare lenti
US4166342A (en) * 1977-11-21 1979-09-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Toroidal polisher
US4201018A (en) * 1978-10-23 1980-05-06 Clarence Pool Cabbing device for gemstones
JPS55115745U (de) * 1979-02-10 1980-08-15
JPS55115745A (en) * 1979-02-28 1980-09-05 Toshiba Corp Portable telephone unit
DE2937977C2 (de) * 1979-09-20 1984-06-14 Prontor-Werk Alfred Gauthier Gmbh, 7547 Wildbad Maschine zum Schleifen oder Fräsen von konvexen und/oder konkaven sphärischen Flächen
JPS5884845A (ja) * 1981-11-17 1983-05-21 Asahi Chem Ind Co Ltd 成形用アクリロニトリル系重合体組成物
JPS5884845U (ja) * 1981-12-03 1983-06-08 有限会社佐野光学 レンズ研磨装置
JPS6299065A (ja) 1985-10-22 1987-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 球面研削装置
US4956944A (en) * 1987-03-19 1990-09-18 Canon Kabushiki Kaisha Polishing apparatus
US4974368A (en) * 1987-03-19 1990-12-04 Canon Kabushiki Kaisha Polishing apparatus
FR2629746B1 (fr) † 1988-04-06 1991-01-25 Bertin & Cie Procede et dispositif de polissage d'un composant optique
US5076683A (en) † 1988-09-14 1991-12-31 Allergan, Inc. Spuncast compound contact lens
US5069081A (en) 1990-01-16 1991-12-03 Nippon Thompson Co., Ltd. Multi-mode splined ball screw assembly
JP2894766B2 (ja) * 1990-01-30 1999-05-24 日東光学株式会社 球面レンズ研磨機
JPH0761606B2 (ja) * 1990-03-01 1995-07-05 株式会社春近精密 光学レンズ・ミラー等球面加工装置
JPH04201054A (ja) * 1990-11-29 1992-07-22 Nippon Electric Glass Co Ltd ブラウン管用パネルの表面研磨方法及び装置
US5579509A (en) 1991-02-08 1996-11-26 International Business Machines Corporation Apparatus and method for verifying compatibility of system components
JP3078093B2 (ja) * 1992-03-18 2000-08-21 宇部気密ハウジング株式会社 排気フード
DE4214266A1 (de) † 1992-05-01 1993-11-04 Loh Engineering Ag Oensingen Vorrichtung zur fuehrung eines werkstuecks oder werkzeugs bei der bearbeitung torischer oder sphaerischer flaechen optischer linsen auf schleif- oder poliermaschinen
JPH0588859U (ja) * 1992-05-13 1993-12-03 株式会社春近精密 レンズ・鏡等研磨装置
JP3304168B2 (ja) * 1993-06-11 2002-07-22 オリンパス光学工業株式会社 レンズ研磨方法
JPH077846U (ja) * 1993-07-09 1995-02-03 オリンパス光学工業株式会社 レンズ研磨機上軸機構
US5577950A (en) † 1993-11-29 1996-11-26 Coburn Optical Industries, Inc. Conformal tool operating apparatus and process for an ophthalmic lens finer/polisher
DE4442181C1 (de) * 1994-11-26 1995-10-26 Loh Optikmaschinen Ag Werkzeug zur Feinbearbeitung optischer Flächen
EP0727280B1 (de) 1995-02-14 1997-09-17 Opto Tech GmbH Vorrichtung zum Polieren sphärischer Linsenoberfläche
US5759457A (en) * 1995-02-24 1998-06-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing an optical element
GB9512262D0 (en) † 1995-06-16 1995-08-16 Bingham Richard G Tool for computer-controlled machine for optical polishing and figuring
DE29521396U1 (de) † 1995-09-08 1997-02-27 Maier Dieter Prof Dr Ing Schleifkopf zum Bearbeiten von Glasscheiben
DE29517615U1 (de) 1995-11-07 1995-12-21 Festo Kg Fluidbetätigter Arbeitszylinder
JPH10545A (ja) * 1996-06-12 1998-01-06 Nikon Corp 研磨ヘッド
JPH1019058A (ja) 1996-07-01 1998-01-20 Kayseven Co Ltd クラッチ及びそれを用いた変速装置
JPH1029149A (ja) * 1996-07-12 1998-02-03 Nagata Seisakusho:Kk 研磨装置
DE19633855A1 (de) * 1996-08-16 1998-02-19 Mannesmann Ag Verfahren und Vorrichtung zum Nachschleifen der in Warmbandwalzgerüsten eingebauten Walzen
JPH10175148A (ja) * 1996-10-14 1998-06-30 Nikon Corp プラスチックレンズ用基材及びその製造装置及び製造方法
DE19701312A1 (de) 1997-01-16 1998-07-23 Zeiss Carl Fa Brillenglas mit sphärischer Vorderseite und multifokaler Rückseite, sowie Verfahren zu seiner Herstellung
CN1249703A (zh) * 1997-02-20 2000-04-05 国际科技资源公司 组装镜片成形结构的方法和装置
DE19756960B4 (de) 1997-12-20 2011-06-09 Asphericon Gmbh Verfahren zum Bearbeiten von rotationssymmetrischen Funktionsflächen
DE29803158U1 (de) † 1998-02-23 1998-08-06 Schneider Gmbh & Co Kg Mehrspindel-Poliermaschine mit verschiedenen Polierwerkzeugen
US6165057A (en) * 1998-05-15 2000-12-26 Gill, Jr.; Gerald L. Apparatus for localized planarization of semiconductor wafer surface
CN100372648C (zh) * 1998-12-01 2008-03-05 伦敦大学学院 抛光的设备和方法
EP1251997B2 (de) 2000-02-03 2011-06-08 Carl Zeiss Vision GmbH Polierkopf für eine poliermaschine
DE10164628A1 (de) 2001-02-09 2002-09-05 Optotech Optikmasch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Polieren von Linsen
JP2002346895A (ja) 2001-05-29 2002-12-04 Olympus Optical Co Ltd レンズ研磨機の上軸機構
JP4019058B2 (ja) 2001-07-17 2007-12-05 株式会社日立国際電気 電子装置用冷却装置及び冷却装置付電子装置
JP4244372B2 (ja) 2002-01-11 2009-03-25 日本精機株式会社 半導体センサ装置
JP3990205B2 (ja) 2002-06-21 2007-10-10 オリンパス株式会社 研磨装置
JP4201054B2 (ja) 2007-02-16 2008-12-24 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ及びその製造方法及び液晶表示装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1239211B (de) * 1964-10-14 1967-04-20 Wilhelm Lot K G Optikmaschinen Kardanisch gelagertes Optik-Schleif- oder Polierwerkzeug
JPS63232948A (ja) * 1987-03-19 1988-09-28 Canon Inc 加圧回転装置
JPH04244372A (ja) * 1991-01-31 1992-09-01 Canon Inc 研磨工具保持装置および該研磨工具保持装置を備えた研磨ヘッド

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 013, no. 022 (M - 786) 19 January 1989 (1989-01-19) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 017, no. 018 (M - 1352) 13 January 1993 (1993-01-13) *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1779967A2 (de) * 2005-11-01 2007-05-02 Satisloh GmbH Gestaltung der Schlittenführung einer Fast-tool-anordnung, insbesondere für Drehmaschinen zur Bearbeitung von optischen Werkstücken
DE102005052314A1 (de) * 2005-11-01 2007-05-03 Satisloh Gmbh Fast-Tool-Anordnung, insbesondere für Drehmaschinen zur Bearbeitung von optischen Werkstücken
JP2007125690A (ja) * 2005-11-01 2007-05-24 Satisloh Gmbh 高速工具装置
EP1779967A3 (de) * 2005-11-01 2007-10-31 Satisloh GmbH Gestaltung der Schlittenführung einer Fast-tool-anordnung, insbesondere für Drehmaschinen zur Bearbeitung von optischen Werkstücken
US8056453B2 (en) 2005-11-01 2011-11-15 Satisloh Gmbh Fast tool servo
DE102017102094A1 (de) 2017-02-02 2018-08-02 Steffen Nitschke Werkzeugmodul zur Feinbearbeitung
DE102017102094B4 (de) 2017-02-02 2019-07-11 Steffen Nitschke Werkzeugmodul zur Feinbearbeitung

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Publication number Publication date
WO2001056740A1 (de) 2001-08-09
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US20080020691A1 (en) 2008-01-24
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JP2003525756A (ja) 2003-09-02
DE50101982D1 (de) 2004-05-19
EP1251997B2 (de) 2011-06-08
US7588480B2 (en) 2009-09-15
DE10100860A1 (de) 2001-08-23
EP1386694B2 (de) 2013-01-09
DE50114907D1 (de) 2009-07-02
EP1386694B1 (de) 2009-05-20
US20050037695A1 (en) 2005-02-17
JP4945771B2 (ja) 2012-06-06
TW558477B (en) 2003-10-21

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CH669925A5 (de)
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