JPH1029149A

JPH1029149A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH1029149A
Application number: JP20306596A
Authority: JP
Inventors: Nobuo Nagata; 暢男永田; Hiroyuki Yoshizawa; 博行吉澤
Original assignee: Nagata Seisakusho Co Ltd; Nitto Optical Co Ltd
Current assignee: Nagata Seisakusho Co Ltd; Nitto Optical Co Ltd
Priority date: 1996-07-12
Filing date: 1996-07-12
Publication date: 1998-02-03

Abstract

(57)【要約】【課題】上軸揺動式研磨装置において、上軸の動作を
改善することによって研磨精度及び研磨の均一性を向上
させることができるとともに、研磨を中断することな
く、精度良く研磨量を検出することができる研磨装置を
実現する。【解決手段】揺動アーム２５は水平方向に揺動するよ
うに構成され、この揺動アームに対して上軸２０が上下
動可能に取り付けられている。上軸２０はコイルスプリ
ング３０によって下方に所定の弾性力で付勢されてい
る。設定ダイヤル２８は上軸２０の上端に取り付けられ
た支持部２７に固定され、検出ゲージ２９は揺動アーム
２５の先端に設けられた取付部２６に固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は研磨装置に係り、特
に、揺動動作と回転動作とによって光学レンズ等の光学
部品を研磨する場合に好適な研磨装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光学レンズその他の光学部品の研
磨には、上軸揺動式（オスカー式）研磨機と呼ばれるレ
ンズ研磨装置が使用されている。この種の研磨機は、例
えば、図５に示すように、揺動部材としてカンザシと呼
ばれる上軸（揺動部材）１０の球状の嵌合部１０ａを研
磨皿（第１研磨治具）１１の嵌合穴１１ａに嵌合させる
ことによって角度自在に連結し、この研磨皿１１を、回
転可能に構成された下軸１２の上端に設置された研磨治
具（第２研磨治具）１３に取付けられたレンズ基材１４
（被研磨材）の表面に摺接させたものである。

【０００３】研磨皿１１の内面には研磨面が形成され、
研磨されるレンズ基材１４は研磨治具１３に樹脂等によ
って固着される。上軸１０はカンザシ受けと呼ばれる取
付部材１５を介して揺動アーム１６に接続され、揺動ア
ーム１６の揺動動作に伴って図示左右に揺動するように
構成されている。また、揺動アーム１６は簡略化して示
す回動軸１６ａを中心に図示しないフレームに対して上
下に回動自在に取付けられているとともに、フレームと
の間に取付けられた所定エア圧を有するエアシリンダや
弾性部材等から成る付勢手段１８によって常時下方に、
すなわち研磨皿１１を研磨治具１３に押し付ける方向に
付勢するようになっている。

【０００４】一方、研磨治具１３を取付けた下軸１２は
図示しないモータ等の駆動手段によってその軸線を中心
に回転するように構成されている。

【０００５】このような構成において、レンズ基材１４
を挟持する研磨皿１１と研磨治具１３とから成る研磨部
に研磨液を供給しながら、研磨治具１３を回転させつつ
研磨皿１１を揺動させることによって、両者の間に配置
されたレンズ基材１４の表面が研磨され、光学面が形成
される。

【０００６】この種の研磨機においては、揺動アーム１
６が前後（図示の左右）に揺動することによって研磨皿
１１が研磨治具１３に対して姿勢を回動させながらレン
ズ基材１４の研磨が行われるようになっている。ここ
で、研磨皿１１がレンズ基材１４の表面に沿って回動す
ると、嵌合部１０ａと嵌合穴１１ａとの接合部を介して
上軸１０が上下に移動し、揺動アーム１６も研磨皿１１
の軌跡に沿って上記回動軸１６ａを中心にして上下に振
動しながら揺動する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の上軸揺動式
研磨機においては、上述のように、揺動アーム１６を前
後方向に揺動させるとともに、揺動動作に同期して上下
方向にも僅かではあるが移動するように動作させるよう
になっており、レンズ基材１４の上方にある各部材、す
なわち、上軸１０、研磨皿１１、かんざし受け１５、及
び揺動アーム１６が一体に構成されているため、これら
全体が複雑な揺動動作を行うようになっている。

【０００８】しかしながら、揺動アーム１６は回動軸１
６ａを中心にして回動自在に取付けられているため、上
軸１０と下軸１２との位置調整が煩雑になるとともに、
上軸１０の嵌合部１０ａが下軸１３の直上に位置する場
合（揺動アーム１６が上方にある場合）と、下軸１３の
直上から外れた場合（揺動アーム１６が下方に下りてい
る場合）とでは、付勢手段１８の付勢力が変わってしま
うため、レンズ基材１４の表面を均一に研磨することが
できないという問題点がある。

【０００９】また、レンズ基材１４の上方にある揺動ア
ームその他の各部材に上記のような複雑な動作を行わせ
ているために、研磨中にレンズ基材１４の厚さを測定す
るのは非常に困難であり、研磨量を精度良く検出するこ
とは不可能であった。

【００１０】このため、従来は途中で研磨を中断してレ
ンズ基材１４を取り出し、直接レンズ基材１４の厚さを
測定することによって研磨量を制御していた。しかしな
がらこの方法では研磨量の検出精度を高めることはでき
るものの、リアルタイムで研磨量を測定できるわけでは
ないので、推定やカンにより最終的な研磨量を決めるこ
とが必要であり、しかも、正確に研磨を行おうとすると
研磨の中断頻度が多くなってしまい、作業効率が落ちる
という問題点がある。さらに、研磨の中断によって研磨
剤の量や研磨圧力等の条件が変わるために研磨速度が変
化し、いずれにしても精度の高い研磨を行うことは困難
である。

【００１１】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、上軸の動作を改善することによっ
て研磨精度及び研磨の均一性を向上させることができる
とともに、研磨を中断することなく、精度良く研磨量を
検出することのできる研磨装置を実現することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が講じた手段は、第１研磨治具と、該第１研磨
治具に角度自在に連結された揺動部材と、前記第１研磨
治具に対して被研磨材を介して摺動自在に対向する第２
研磨治具と、前記揺動部材を揺動させる揺動駆動手段
と、前記第２研磨治具をその軸線周りに回転させる回転
駆動手段とを有し、前記被研磨材を研磨するための研磨
装置において、前記揺動駆動手段により前記被研磨材の
研磨方向と略垂直に往復駆動される駆動部材を設け、該
駆動部材に対して前記揺動部材を前記研磨方向に移動自
在にかつ前記研磨方向に付勢された状態に取付けたこと
を特徴とする。

【００１３】この手段によれば、研磨方向と略垂直に往
復駆動される駆動部材を設け、この駆動部材に対して揺
動部材を研磨方向に移動自在にかつ付勢された状態に取
付けたので、駆動部材と揺動部材のそれぞれの動作が単
純になり、駆動部材と揺動部材の動作精度を容易に得る
ことができるとともに、揺動部材は駆動部材に対して常
に研磨方向に付勢されているため、研磨圧を一定に保持
し易く、研磨の均一性を高めることが可能になる。

【００１４】ここで、前記駆動部材と前記揺動部材との
間に、前記駆動部材に対する前記揺動部材の前記研磨方
向の付勢力を前記揺動部材の前記研磨方向への移動動作
に対抗して略一定に保持する付勢力保持手段を設けるこ
とがことが好ましい。この手段によれば、揺動部材の研
磨方向への移動によって変化しようとする付勢力を一定
に保持する付勢力保持手段を設けたので、揺動動作に伴
う研磨圧の変化を抑制でき、研磨の均一性をさらに高め
ることができる。なお、付勢力保持手段としては、例え
ば、流体圧シリンダ等の印加圧を一定に制御することに
よって、揺動部材の移動動作に対して生ずる付勢力の変
動を吸収し、若しくは緩和するように構成された手段が
考えられる。

【００１５】また、前記駆動部材に対し固定された第１
検出部と、前記揺動部材に対し固定された第２検出部
と、前記第１検出部と前記第２検出部との相対的な位置
関係に応じて検出信号を出力する検出センサと、該検出
センサの検出信号に基づいて前記研磨量を検出する検出
処理部とを設けることが好ましい。この手段によれば、
駆動部材と揺動部材とにそれぞれ設けられた第１検出部
及び第２検出部の相対的位置を検出することによって、
揺動部材の駆動部材に対する研磨方向への移動量が得ら
れるので、従来の間接的な検出方法や複雑な揺動動作を
する揺動部材の動きを検出する方法に較べて容易かつ正
確な研磨量測定を行うことができる。

【００１６】この場合にはさらに、前記検出処理部は、
前記検出信号に基づいて得られた検出値が設定値に達し
た回数を計数値として計数し、該計数値が設定回数に達
した場合に、前記研磨量が前記設定値に達したとして処
理することが望ましい。この手段によれば、研磨中の振
動等によって検出値が振れていても、検出値の設定値に
達した回数が設定回数に達したことによって所定量の研
磨が完了したと判定するため、誤検出を抑制でき、確実
な研磨量測定を行うことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る光学部品の研磨装置の実施形態について説明す
る。

【００１８】（第１実施形態）この実施形態において
は、図１に示すように、揺動部材である上軸２０の下端
に設けられた球状の嵌合部２０ａと、第１研磨治具であ
る研磨皿２１の上部に形成された嵌合穴２１ａとが嵌合
して自在継手を構成し、上軸２０と研磨皿２１とが角度
自在に連結されている。研磨皿２１の内面には光学曲面
を構成する研磨面が形成され、この研磨面は、下軸２２
の上端に取付けられた第２研磨治具である研磨治具２３
に固着されたレンズ基材２４の表面に摺接している。

【００１９】ここで、研磨面を有する研磨皿を下軸２２
に取付け、レンズ基材２４を固着させる研磨治具２３を
上軸２０に角度自在に連結してもよい。また、レンズ基
材２４を研磨治具に固着することなく、研磨皿と研磨治
具との間に挟持する状態で研磨してもよい。

【００２０】上軸２０は、駆動部材である揺動アーム２
５に対し直線的に上下動可能に取付けられている。ま
た、揺動アーム２５は、図示しない揺動駆動機構によっ
て前後方向（図１の左右方向）に水平に（直線的に）揺
動するように構成されている。一方、下軸２２は、図示
しない回転駆動機構によって、下軸２２の軸線を中心と
して回転されるようになっている。

【００２１】揺動アーム２５の先端部には取付部２６が
設けられ、この取付部２６の内部には、垂直方向に伸び
る取付孔が形成されている。一方、上軸２０の上部には
水平方向に突出する支持部２７が設けられ、この支持部
２７の先端寄りに取付孔が形成されている。

【００２２】支持部２７の取付孔には設定ダイヤル軸２
８が挿通固定され、この設定ダイヤル軸２８において
は、その上部に設けられたダイヤル部２８ａを回転させ
ることにより、支持部２７の下方に突出した設定端部２
８ｂ（第１の検出部に対応する。）が上下に出没するよ
うに構成されている。

【００２３】上記取付部２６の取付孔には検出ゲージ２
９が挿通固定され、この検出ゲージ２９は、取付部２６
の上に出没自在に突出した検出部２９ａ（第２の検出部
に対応する。）と、この検出部２９ａの没入量を表示す
る表示部２９ｂとが設けられている。この検出ゲージ２
９は検出部２９ａの没入量が所定の設定値を越えると電
気信号を出力するように構成されている。この設定値
は、側面に設けられた設定部２９ｃを回転させることに
よって調節できるようになっている。

【００２４】上記揺動アーム２５の先端部には垂直方向
に貫通した取付孔２５ａが設けられ、この取付孔２５ａ
に上軸２０が挿通されている。取付孔２５ａの内周面に
はフランジ部２５ｂが内側に突出するように設けられ、
このフランジ部２５ｂを、上軸２０の外周面にリング状
に形成された凹部２０ｂの中に収容するようにして組み
立てられている。凹部２０ｂの内部にはコイルスプリン
グ３０が、フランジ部２５ｂの下面と凹部２０ｂの下側
面との間に圧縮状態で収容されている。

【００２５】このような構造により、上軸２０は、揺動
アーム２５に対して所定範囲内で上下に摺動自在に取り
付けられていることとなり、しかも、上軸２０は常に揺
動アーム２５により下方に付勢されていることとなる。

【００２６】上記実施形態においては、下軸１２を回転
させながら、揺動アーム１６を揺動（往復動）させるこ
とによって、研磨治具１３に固着されたレンズ基材１４
の表面が研磨皿１１の研磨面によって研磨される。

【００２７】従来の上軸揺動式研磨装置においては、揺
動アームそのものが研磨方向にほぼ垂直に揺動すると同
時に回動軸を中心として回動することによって研磨皿と
の接続部分の上下動に追従することができるように構成
されているが、本実施形態では揺動アーム２５は研磨方
向（上下方向）と垂直な方向にのみ揺動するように構成
され、この揺動アーム２５に対して上軸２０が研磨方向
に摺動自在に取り付けられ、かつ、コイルスプリング３
０が揺動アーム２５に対して上軸２０を下方、すなわ
ち、研磨方向に付勢している。

【００２８】このような構成によれば、揺動部材２５は
１方向にのみ往復動すればよいために精度良くしかも剛
性を高く形成できるとともに、上軸２０を研磨方向に摺
動自在としているため、揺動アーム２５の研磨動作に伴
う研磨方向への追従性が向上する。したがって、研磨皿
２１の回動動作に対して付勢力を平均化することが比較
的容易になり、研磨の均一性を高めることが可能とな
る。

【００２９】また、研磨量を測定するためには、揺動ア
ーム２５と上軸２０との相対的な移動量を検出すればよ
く、本実施形態では揺動アーム２５が研磨方向には殆ど
動作しないため、精度良く研磨量を測定することができ
る。

【００３０】従来においては、揺動アームが複雑な動き
をしているために研磨量の測定データに大きな振れが発
生し、測定が困難であるとともに、測定値の誤差も大き
くなっていた。本実施形態では、検出ゲージ２９の検出
信号は揺動アーム２５の揺動動作に同期して上下に振れ
るものの、その振れ幅は従来の１／１０未満であり、測
定精度も大きく向上している。

【００３１】（第２実施形態）次に、図２を参照して本
発明に係る研磨装置の第２実施形態について説明する。
この実施形態においては、揺動アーム４８に対して軸受
体４７が固定されており、この軸受体４７に対して上下
方向に摺動自在に上軸４０が挿通されている。上軸４０
は揺動アーム４８よりも上方に配置された支持板４９に
挿通固定されている。

【００３２】この支持板４９には上記第１実施形態と同
様の設定ダイヤル２８が取付けられている。また、揺動
アーム４８には上記第１実施形態と同様の取付部２６が
設けられ、この取付部２６に上記と同様の検出ゲージ２
９が取付けられている。

【００３３】上軸４０の下端にはコ字状に形成された伝
達アーム４１が連結され、この伝達アーム４１は後方に
迂回して二股に分かれ、その下側の先端部は研磨皿４６
の左右位置（図示前後位置）にそれぞれ突出した状態と
なる。伝達アーム４１の２つの先端部には連結アーム４
２が回動自在に連結され、この連結アーム４２は研磨治
具４３に取付けられている。研磨治具４３には、真空吸
着によりレンズ基材４４が吸着保持されるようになって
いる。

【００３４】揺動アーム４８が図示左右に揺動すると、
上軸４０、伝達アーム４１、及び連結アーム４２を介し
て研磨治具４３が連結アーム４２とともに前後に回動
し、研磨治具４３に保持されたレンズ基材４４は下軸４
５によって回転されている研磨皿４６の内面上を前後に
移動しながら研磨されるようになっている。

【００３５】この実施形態においては、揺動アーム４８
に取付けられたエアシリンダ５０のピストン軸５１が支
持板４９に固定されていることによって、エアシリンダ
５０のエア圧によって上軸４０に所定の上下方向の圧力
を付与できるように構成されている。ここでは、エアシ
リンダ５０のピストン軸５１は上下両方向に適宜の圧力
を印加することができるようになっており、この実施形
態では、レンズ基材４４に下方へ約２ｋｇ／ｃｍ²の圧
力が加わるようにエアシリンダ５０のエア圧を制御して
いる。なお、上軸４０に連結された各部材の総重量が大
きい場合には、エアシリンダ５０は支持板４９を下方へ
押し下げているのではなく、逆に支持板４９を上方へ引
き上げている状況が生じ得る。

【００３６】このエアシリンダ５０は図示しない圧力制
御装置に接続されたエア供給弁を備えた空気圧系からエ
ア圧の供給を受けており、その圧力制御装置は、揺動ア
ーム４８の揺動周期よりも充分に早い応答速度でエアシ
リンダ５０の加える圧力を一定に制御することができる
ようになっている。研磨中においては、揺動アーム４８
の揺動動作と同期して上軸４０が上下動し、この上下動
に伴ってエアシリンダ５０の印加圧力が変動しようとす
るが、上記圧力制御装置によって常時一定の圧力が加わ
るように制御することができるので、研磨圧を研磨治具
４３の姿勢変化に対してほぼ一定に保持することがで
き、研磨の均一性を向上させることができる。

【００３７】この実施形態においても、上記第１実施形
態と同様に、設定ダイヤル２８によって予め設定された
研磨量が研磨されると、検出ゲージ２９から出力された
検出信号によって研磨の完了が報知される。

【００３８】（第３実施形態）次に、図３を参照して本
発明に係る研磨装置の第３実施形態について説明する。
この実施形態は、上記第１実施形態又は第２実施形態の
研磨装置の具体的構造を備えた研磨装置において、さら
に、図３に示す研磨量の検出処理装置を構成したもので
ある。

【００３９】図３に示すように、検出ゲージ２９は、図
１に示す設定ダイヤル２８の設定端部２８ａが検出部２
９ａに接触することによって検出される。研磨が進行し
て設定端部２８ａが検出部２９ａを押し下げるようにな
ると、検出ゲージ２９はその押し下げ量を図１に示す表
示部２９ｂに表示する。また、この押し下げ量は、信号
変換部２９１にて検出電位に変換される。この検出電位
は、設定部２９ｃにて設定された設定値に対応して基準
電位発生部２９２から出力される基準電位と電位比較器
２９３にて比較される。

【００４０】検出部２９ａの押し下げ量が大きくなり、
検出電位が基準電位を上回ると、電位比較器２９３から
は検出パルスが出力され、カウンタ３００にてカウント
される。カウンタ３００では検出パルスの数を積算し、
その積算値をディジタル信号として数比較器３０２に出
力する。数比較器３０２では基準値に相当するディジタ
ル信号を出力する基準設定器３０１から常時信号を受け
ており、基準設定器３０１の基準値とカウンタ３００の
出力する積算値とを比較し、積算値が基準値に到達する
と、研磨装置本体に停止信号を送出する。このカウンタ
３００は研磨装置本体から出力される研磨開始信号によ
ってリセットされる。

【００４１】この実施形態では、検出電位が基準電位に
到達したことによって検出パルスを出力し、この検出パ
ルスを積算して所定の基準値に到達した場合には研磨が
終了したとして研磨装置を停止させるようになってい
る。検出電位は上述のようにある程度の振れを持って観
測されるため、検出電位が基準電位に一度到達した時点
で研磨が終了し、所定厚さに研磨されたと判断すると精
度の良い研磨量を得ることができない。しかし、ある程
度の回数を設定し、検出電位が基準電位にその回数到達
した場合に所定の研磨量がなされたと判断することによ
って、研磨量の精度を向上させることができる。

【００４２】上記基準電位及び基準値は、研磨量と精度
との兼ね合いによって適宜設定される。基準値は通常２
回から数回程度である。研磨の進行に伴って検出パルス
の発生間隔は短くなり、やがて連続的に検出パルスが発
生するようになるが、その発生間隔を測定して研磨量を
判定することもできる。

【００４３】また、カウンタ３００の積算を所定時間内
に限定して保持し、所定時間後にはそれ以前に入力され
た検出パルスのカウントを減算処理によって削除するよ
うに構成することもできる。このようにすることによっ
て、何らかの外部ノイズ等によって検出パルスが発生し
ても、所定時間内に積算値が基準値に達しなければ当該
検出パルスのカウントは考慮されずに判定を行うように
構成できるので、誤検出を防止することができ、検出精
度を向上させることができる。

【００４４】（第４実施形態）次に、上記第３実施形態
に付加機能を加えた研磨量検出制御装置の構成を示す第
４実施形態について図４を参照して説明する。この実施
形態においては、図４に示すように設定ダイヤル２８の
ダイヤル部２８ａの設定値を入力して設定信号を出力す
る設定値変換部２８０が設けられ、この設定値変換部２
８０からの設定信号は、制御装置４００に入力される。

【００４５】制御装置４００は研磨装置本体から出力さ
れる研磨開始信号４０１を受けると、リセット信号４０
２をカウンタ３００に送出し、カウンタ３００の積算値
をリセットする。また、予め単位研磨量に対してかかる
標準時間を所持しており、設定ダイヤル２８から入力さ
れた設定値に応じて研磨に必要な標準時間を算出し、そ
の標準時間内に研磨が終了しない場合には異常事態が発
生したとして、警報信号４０３を出力するようになって
いる。

【００４６】上記各実施形態においては、揺動アームを
往復動作するように構成し、この揺動アームに対して上
軸を上下に摺動自在に、かつ、所定圧力で研磨方向に付
勢しているため、揺動アーム及び上軸のそれぞれの動作
が単純になり、動作精度を高めることができるととも
に、研磨圧の変動を抑制することができる。特に、揺動
アームと上軸との間の付勢力における上軸の上下動に伴
う変動をエアシリンダのエア圧を制御することによって
抑制したので、研磨圧をほぼ一定に保つことができ、研
磨の均一性を向上させることができる。

【００４７】上記のような構造は、特に、研磨量を測定
する上で効果的である。揺動アームと上軸との間の相対
移動は上下方向（研磨方向）になされるため、両者の相
対的な位置関係を検出することによって精度良く研磨量
を測定することができる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、研
磨方向と略垂直に往復駆動される駆動部材を設け、この
駆動部材に対して揺動部材を研磨方向に移動自在にかつ
付勢された状態に取付けたので、駆動部材と揺動部材の
それぞれの動作が単純になり、駆動部材と揺動部材の動
作精度を容易に得ることができるとともに、揺動部材は
駆動部材に対して常に研磨方向に付勢されているため、
研磨圧を一定に保持し易く、研磨の均一性を高めること
が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る研磨装置の第１実施形態の概略構
成を示す拡大側面図である。

【図２】本発明に係る研磨装置の第２実施形態の概略構
成を示す拡大側面図である。

【図３】本発明に係る研磨装置の第３実施形態の概略構
成図である。

【図４】本発明に係る研磨装置の第４実施形態の概略構
成図である。

【図５】従来の研磨装置における研磨部の構造を示す断
面図である。

【符号の説明】

２０上軸２１研磨皿２２下軸２３研磨治具２４レンズ基材２５揺動アーム２６取付部２７支持部２８設定ダイヤル２９検出ゲージ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１研磨治具と、該第１研磨治具に角度
自在に連結された揺動部材と、前記第１研磨治具に対し
て被研磨材を介して摺動自在に対向する第２研磨治具
と、前記揺動部材を揺動させる揺動駆動手段と、前記第
２研磨治具をその軸線周りに回転させる回転駆動手段と
を有し、前記被研磨材を研磨するための研磨装置におい
て、前記揺動駆動手段により前記被研磨材の研磨方向と略垂
直に往復駆動される駆動部材を設け、該駆動部材に対し
て前記揺動部材を前記研磨方向に移動自在にかつ前記研
磨方向に付勢された状態に取付けたことを特徴とする研
磨装置。
【請求項２】請求項１において、前記駆動部材と前記
揺動部材との間に、前記駆動部材に対する前記揺動部材
の前記研磨方向の付勢力を前記揺動部材の前記研磨方向
への移動動作に対抗して略一定に保持する付勢力保持手
段を設けたことを特徴とする研磨装置。
【請求項３】請求項１において、前記駆動部材に対し
固定された第１検出部と、前記揺動部材に対し固定され
た第２検出部と、前記第１検出部と前記第２検出部との
相対的な位置関係に応じて検出信号を出力する検出セン
サと、該検出センサの検出信号に基づいて前記研磨量を
検出する検出処理部とを設けたことを特徴とする研磨装
置。
【請求項４】請求項３において、前記検出処理部は、
前記検出信号に基づいて得られた検出値が設定値に達し
た回数を計数値として計数し、該計数値が設定回数に達
した場合に、前記研磨量が前記設定値に達したとして処
理することを特徴とする研磨装置。