JP3564637B2 - 粗さ測定装置 - Google Patents
粗さ測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3564637B2 JP3564637B2 JP2000056875A JP2000056875A JP3564637B2 JP 3564637 B2 JP3564637 B2 JP 3564637B2 JP 2000056875 A JP2000056875 A JP 2000056875A JP 2000056875 A JP2000056875 A JP 2000056875A JP 3564637 B2 JP3564637 B2 JP 3564637B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- stylus
- roughness
- measuring device
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は粗さ測定装置に係り、特にワークに形成された孔の内周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ワークに形成された孔の内周面を粗さ測定する粗さ測定装置は、従来、図8に示すように、触針1を備えたピックアップ(検出器)2と、該ピックアップ2を回転させる回転駆動部3と、該回転駆動部3を支持するコラム4と、ワーク5を載置して位置調節する微動台6と、から構成されている。この粗さ測定装置は、まず、ワーク5を微動台6に載置し、微動台6の位置を調節して、ワーク5の孔7と回転駆動部3の回転軸とを芯合わせする。次いで、ピックアップ2の触針1をワーク5の孔7の内周面に接触させ、回転駆動部3によってピックアップ2を回転させる。そして、このときの触針1の振れ(変位)を測定することによって、孔7の内周面を周方向に粗さ測定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の粗さ測定装置は、回転駆動部3の回転軸とワーク5の孔7の芯とがずれていた場合、触針の振れが大きくなり、粗さ測定を行うことができないという欠点があった。このため、孔7と回転駆動部3とを高い精度で芯合わせしなければならず、芯出し作業に時間がかかるという問題があった。特に、孔7の径が小さい場合には、より注意深く芯出しを行う必要があるため、芯出し作業に多大な時間を要していた。
【0004】
また、従来の粗さ測定装置は、ピックアップ2自体の変位によって触針1が振れることを防止するため、ピックアップ2の回転精度を高く設定するとともに、ピックアップ2を保持する構造体の剛性を高くする必要があった。したがって、回転駆動部3が高剛性化によって大型化したり、高価な回転駆動部3を用いる必要があるという欠点があった。
【0005】
さらに、従来の粗さ測定装置は、ピックアップ2が回転駆動部3の駆動軸に固定されていたため、鉛直方向に形成された孔の粗さ測定しかできず、例えば、大型ワークの側壁に形成された孔の粗さ測定を行うことができなかった。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、芯出し作業等の準備作業を短時間で容易に行うことができ、且つ、孔の大きさや姿勢に関係なく測定することのできる粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、ワークに形成された周面に検出器の触針を接触させ、前記検出器を回転させることにより、前記周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置において、前記検出器と前記検出器を回転させる回転軸部材との間には、前記検出器を前記回転軸部材に揺動自在に支持するとともに、前記検出器を揺動させて前記検出器の測定方向と回転中心との母線のずれを補正する母線調節機構が設けられ、前記検出器は、前記触針とともに前記ワークの周面に接触して前記触針を案内するスキッドを設けたことを特徴とする。また、ワークに形成された周面に検出器の触針を接触させ、前記検出器を回転させることにより、前記周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置において、前記粗さ測定装置本体には、回転自在であると共に所望の角度位置で固定される固定部材からなる前記検出器の回転量調節機構が設けられ、前記検出器を回転させる回転軸部材の端部に固定された回動部材を前記固定部材に当接させることで前記検出器の回転を終了し、前記検出器は、前記触針とともに前記ワークの周面に接触して前記触針を案内するスキッドを備えたことを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、母線調節機構が設けられているので、検出器の測定方向と回転中心との母線のずれを補正することができる。また、検出器にスキッドが設けられ、このスキッドによって触針を案内するので、触針の振れが大きくなることを抑制することができる。即ち、検出器の回転軸とワークの周面の中心とが若干ずれている場合であっても、スキッドによって触針の振れを小さくすることができる。したがって、触針を破損させることなく、周面の粗さを測定することができる。これにより、検出器の回転軸とワークの周面との芯合わせを高精度で行う必要がなくなり、芯出し作業を短時間で簡単に行うことができる。また、検出器の回転量を調節する回転量調節機構を設けているので、所望の角度に調節される。
【0009】
また、本発明によれば、検出器の回転を高精度で行う必要もなくなるため、検出器の回転駆動手段を小型化、軽量化することができるとともに、低コストの回転駆動手段を使用することができる。
【0010】
また、本発明によれば、検出器を回転軸部材に揺動自在に取り付け、バランスウェイトで釣り合わせるようにしたので、検出器の姿勢によらず、前記スキッドをワークの周面に当接させることができる。これにより、検出器は、あらゆる姿勢で測定することが可能となり、様々なワーク形状を測定することができる。例えば、水平方向や斜め方向に形成された孔の周面も粗さ測定することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る粗さ測定装置の好ましい実施の形態について説明する。
【0012】
図1及び図2は、本実施の形態の粗さ測定装置の正面図及び側面図である。
【0013】
これらの図に示すように、粗さ測定装置10は、駆動部12と調整部14とから構成されている。ここで、図1の奥行き方向をX軸方向、左右方向をY軸方向、高さ方向をZ軸方向とする。
【0014】
調整部14は、駆動部12を取り付ける取付台16と、該取付台16の位置をX軸方向に調整するX軸調整機構18と、取付台16の位置をY軸方向に調整するY軸調整機構20と、取付台16の位置をZ軸方向に調整するZ軸調整機構22と、取付台16の傾きを調整する傾き調整機構24と、から構成されている。
【0015】
X軸調整機構18は、アリ溝がX軸方向に形成されたアリ溝部材26と、前記アリ溝に係合するアリが下面に突出形成されたアリ部材28とから構成される。アリ部材28のアリの下端には、ラック(不図示)が形成され、このラックに噛み合うピニオン(不図示)が、アリ溝部材26に回動自在に支持されている。前記ピニオンは、X軸調節つまみ30を回動操作することによって回動し、これによって、ラックが形成されたアリ部材28がX軸方向に移動する。即ち、X軸調節つまみ30を回動操作することによって、アリ部材28がX軸方向に移動し、取付台16がX軸方向に調整される。
【0016】
アリ溝部材26には、X軸クランプつまみ32が設けられており、このX軸クランプつまみ32を回動操作することによって、アリ部材28がアリ溝部材26に固定される。
【0017】
Y軸調整機構20は、X軸調整機構18と同様に構成され、アリ溝がY軸方向に形成されたアリ溝部材36と、前記アリ溝に係合するアリが上面に突出形成されたアリ部材38とから構成される。アリ部材38のアリの上端には、ラック(不図示)が形成され、このラックに噛み合うピニオン(不図示)が、アリ溝部材36に回動自在に支持されている。前記ピニオンは、Y軸調節つまみ40を回動操作することによって回動し、これによって、アリ溝部材36がY軸方向に移動する。即ち、Y軸調節つまみ40を回動操作することによって、アリ溝部材36がY軸方向に移動し、取付台16がY軸方向に調整される。なお、アリ部材38とアリ溝部材36とは、Y軸クランプつまみ42を回動操作することによって固定される。
【0018】
Z軸調整機構22も、X軸調整機構18及びY軸調整機構20と同様に構成され、アリ溝がZ軸方向に形成されたアリ溝部材46と、アリが突出形成されたアリ部材48(X軸調整機構18のアリ溝部材26と一体成形品)とから構成される。アリ部材48のアリには、ラック(不図示)が形成され、このラックに噛み合うピニオン(不図示)が、アリ溝部材46に回動自在に支持されている。前記ピニオンは、Z軸調節つまみ50を回動操作することによって回動し、これによって、ラックが形成されたアリ溝部材46がZ軸方向に移動する。即ち、Z軸調節つまみ50を回動操作することによって、アリ部材48がZ軸方向に移動し、取付台16がZ軸方向に調整される。なお、アリ部材48とアリ溝部材46とは、Z軸クランプつまみ52を回動操作することによって固定される。
【0019】
傾き調整機構24は、ベース54と、該ベースに正面側(図2中、左側)で揺動自在に連結された揺動台56とから構成される。ベース54には、背面側(図2中、右側)に、ねじ58が鉛直にねじ込まれており、ねじ58の先端が揺動台56に当接されている。ねじ58の先端は、レベリングツマミ60を回動することによって高さが調節され、これによって、揺動台56の傾きが調節され、取付台16がX軸に対して角度調節される。ベース54の下面には、ピン59、59が設けられており、このピン59、59が定盤(不図示)に形成された孔に挿入されて、粗さ測定装置10が定盤に位置決めされる。
【0020】
一方、駆動部12は、図3に示すように、回転駆動機構部62、バランス機構部64、ピックアップ(検出器)66とから構成されている。
【0021】
回転駆動機構部62は、本体68の内部にモータ70を有しており、このモータ70の出力軸にプーリ72が取り付けられている。また、モータ70の上方には、中空状の回転軸74が軸受76、76を介して回動自在に支持されている。回転軸74には、プーリ78が取り付けられ、このプーリ78と前記プーリ72との間に無端状のベルト79が掛けられている。したがって、モータ70を駆動させると、モータ70の回転駆動力が回転軸74に伝達し、回転軸74が回転する。
【0022】
回転軸74の後端部(図3中、右側)には、回転軸74の回転量を調節する回転量調節機構80が設けられている。回転量調節機構80は、図4に示すように、回転軸74に固定される回動駒82と、本体68に固定される固定駒84と、本体68に突出形成された円筒部68Aとから構成される。
【0023】
回転駒82は、クランプネジ88によって回転軸74に固定されており、クランプネジ88を緩めることによって回転軸74に対して回動させることができる。また、回転駒82には、駆動ピン86が取り付けられている。駆動ピン86は、回転軸74の径方向に配設され、回転軸74を回転させることにより、回転軸74の回りを周回する。
【0024】
前記円筒部68Aの端面には、開始ピン90が回転軸74と平行に配設され、前記回転軸74の回りを周回する駆動ピン86に当接した点が測定開始点となる。
【0025】
固定駒84は、円筒部68Aに外嵌され、クランプネジ92を締めることによって円筒部68Aに固定される。この固定駒84の内周面には、溝84Aが全周にわたって形成されており、この溝84Aの内側を前記駆動ピン86が周回する。また、固定駒84には、終了ピン94が溝84Aに突出するように設けられており、前記回転軸74の回りを周回する駆動ピン86がこの終了ピン94に当接した点が測定終了点となる。
【0026】
このように構成された回転量調節機構80は、駆動ピン86が開始ピン90又は終了ピン94に当接するまで、回転軸74を回転させることができる。即ち、開始ピン90と終了ピン94との角度の分だけ、回転軸74を回転させることができる。なお、開始ピン90と終了ピン94の角度は、クランプネジ92を緩めて固定駒84を回動させることによって所望の角度に調節される。また、駆動ピン86と回転軸74との相対角度を調節することにより、測定開始点の角度を自在に設定することができる。
【0027】
図3に示したバランス機構部64は、前記回転軸74の先端に固定された円筒状のアーム96と、該アーム96の先端に揺動自在に連結された揺動部材98と、揺動部材98に取り付けられたスキッド力調整機構100と、から構成されている。揺動部材98は、揺動ピン102を支点としてアーム96の先端に揺動自在に取り付けられるとともに、先端側(図3中、左側)にピックアップ66が連結され、後端側(図3中、右側)にバランスウェイト104が連結されている。バランスウェイト104は、凹の字を逆さにした形状に形成され、アーム96に覆い被さるように取り付けられている。このアーム96とバランスウェイト104は、若干の隙間を持って配設され、揺動部材98が僅かに揺動しても接触しないようになっている。また、バランスウェイト104は、揺動ピン102を支点とした両側のバランスが前後上下左右に釣り合うように構成されている。なお、スキッド力調整機構100については後述する。
【0028】
前記揺動部材98とピックアップ66は、母線調節機構106を介して連結されている。母線調節機構106は、図5に示すように、V字形状の溝(以下、V溝と称す)108Aが形成された一対の取付部材108、108を、V溝108A、108Aが対向するように配置し、さらに、対向するV溝108A、108A同士の間に円柱状のピン部材110を介在して構成される。一対の取付部材108、108同士は、ねじ112、112によって連結されており、このねじ112、112の締め込み量を変えることによって、ピン部材110を支点としてピックアップ66が左右に揺動する。これにより、ピックアップ66の先端がXY面上で移動し、ピックアップ66の測定方向と回転中心との母線のずれを補正することができる。なお、一方のV溝108Aとピン部材110とを接着又はロウ付けし、ピン部材110の脱落を防止してもよい。
【0029】
図6は、ピックアップ66の内部構造を示す断面図である。同図に示すように、ピックアップ66の内部には、アーム114が支点116を介して揺動自在に支持されている。アーム114の後端部(図6中、右端部)には、コア118が取り付けられており、このコア118とボビン119とから成る差動トランス120によってアーム114の揺動量を測定することができるようになっている。なお、図6の符号121は、測定力設定用ばねであり、この測定力設定用ばねによって、測定力が所定の値に調節される。
【0030】
また、アーム114の先端部(図6中、左端部)には、触針122が取り付けられている。触針122の先端には、図7に示すように、例えばダイヤモンド製のコンタクト124が下向きに取り付けられ、測定時にはこのコンタクト124がワーク表面をトレースする。
【0031】
また、ピックアップ66の先端部には、図6及び図7に示すように、スキッド126が取り付けられている。このスキッド126は、板ばね130を介してピックアップ66に取り付けられており、調節ねじ132の締め込み量を調節することによってスキッド126の角度を調節することができる。また、スキッド126の先端の下面には、ルビーボール128が固定されている。測定時には、このルビーボール128がワーク表面に押圧され、該ルビーボール128とコンタクト124との相対変位が粗さの測定値となる。なお、φ0.5mm程度のルビーボール128を切り出してスキッド126に接着して使用することにより、ピックアップ66の先端部の全高さhを小さく(例えば0.7mm程度に)抑えつつ、粗さ成分のみを測定することができる。これにより、小径(例えばφ1mm)の孔の内面の粗さを測定することができる。
【0032】
ルビーボール128がワーク表面を押圧する力(スキッド力)は、図3に示したバランス機構部64内のスキッド力調整機構100によって調節される。スキッド力調整機構100は、アーム96を上方に付勢するばね134と、このばね134が取り付けられる直動部材136とから構成される。直動部材136は、ねじ棒であり、ナット138を回動することによってZ軸方向に直動し、これによって、ばね134の伸び量が変位してスキッド力が調節される。スキッド力は、例えば、触針122のコンタクト124が4mNでワーク表面を押圧する場合、20mN程度に設定される。なお、ピックアップ66の自重は、バランスウェイト104により揺動ピン回りにバランスされているので、測定方向が変化してもスキッド力は変化せず、常に精度の良い測定が可能となる。
【0033】
次に、上記の如く構成された粗さ測定装置10の作用について説明する。以下は、ワークの側面に形成された小径の孔の内周面を粗さ測定する例で説明する。
【0034】
まず、母線調節機構106によって、ピックアップ66の測定方向と回転中心との母線のずれを補正する。
【0035】
次に、調整部14の傾き調整機構24によって、ピックアップ66の先端が、ワークの孔と同じ方向を向くように傾きを調節する。そして、調整部14のX軸調整機構18、Y軸調整機構20、Z軸調整機構22によって、ピックアップ66の先端(即ち、スキッド126と触針122の先端)を孔の外部に配置する。次いで、ピックアップ66を180°毎に回転させながら、ピックアップ66の測定方向が孔の左右中心になるように、調整部14の各調整機構によって調節する。さらに、ピックアップ66を90°回転させて横向きにした後、ピックアップ66を180°毎に回転させながら、ピックアップ66の測定方向が孔の上下中心になるように、調整部14の各調整機構によって調節する。
【0036】
次に、回転量調節機構80のクランプネジ88、92を緩めて回転駒82を回動させ、測定開始を設定した後、クランプネジ88を締めて回転駒82を固定する。次いで、固定駒84と回転駒82とを回動させてピックアップ66先端のコンタクト124を測定終了点(例えば孔の下端)に合わせながら、駆動ピン86を終了ピン90に当接させ、クランプネジ92を締める。
【0037】
次に、調整部14のX軸調整つまみ30を回動操作して駆動部12をX軸方向に移動させ、ピックアップ66の先端部をワークの孔に挿入する。このとき、スキッド126を若干持ち上げて、ピックアップ66の先端部がワークの接触しないようにする。次いで、スキッド126を離して、スキッド126のルビーボール128と触針122先端のコンタクト124とを孔の内周面に当接させる。このとき、触針122の揺動量を差動トランス120で確認して、所定の測定範囲内であれば、測定の準備作業が終了する。
【0038】
次に、駆動部12のモータ70を駆動し、ピックアップ66を回転させる。これにより、触針122のコンタクト124がワーク表面に当接しながら円周方向に移動し、触針122の揺動量が差動トランス120によって測定される。このとき、ピックアップ66は、スキッド126によって案内されるので、触針122は粗さだけを検出する。また、ピックアップ66が揺動自在に、且つバランスウェイト104によって釣り合った状態に支持されているので、スキッド126は常に適切なスキッド力で孔の内周面を押圧する。したがって、孔の軸とピックアップ66の回転中心とが若干ずれている場合であっても、スキッド126が常に一定のスキッド力で孔の内周面を押圧しながら触針122をガイドする。これにより、スキッド力が変動することによってスキッド126のたわみの変動分を触針122が検出して大きく振れ過ぎることがない。また、触針122は、周囲をスキッド126で覆われているので、破損することがない。したがって、粗さ測定装置10によれば、孔の内周面を周方向に粗さ測定することができる。なお、粗さ測定は、回転量調節機構80の駆動ピン86が終了ピン94に当接することによって終了する。
【0039】
このように本実施の形態の粗さ測定装置10によれば、ルビーボール128と触針122との相対位置を測定しているので、回転軸74と孔とを高精度で芯合わせしなくても、粗さ測定を行うことができる。したがって、回転軸74と孔との芯合わせを始めとする準備作業を容易、且つ短時間で行うことができる。特に、本実施例では、X軸調整機構18、Y軸調整機構20、Z軸調整機構22、及び傾き調整機構24を備えた調整部14に駆動部12を取り付けたので、回転軸74と孔との芯合わせを迅速に行うことができる。
【0040】
同様に、本実施の形態の粗さ測定装置10によれば、ルビーボール128と触針122との相対位置を測定しているので、ピックアップ66を高精度で回転させなくても、粗さを測定することができる。したがって、ピックアップ66の回転駆動機構部62を小型化することができ、軸受76にアンギュラ玉軸受を使用できる。これにより、粗さ測定装置10全体を小型化、軽量化することができ、さらにコストも削減することができる。
【0041】
また、粗さ測定装置10によれば、ピックアップ66を揺動自在に支持するとともに、揺動ピン102においてピックアップ66と釣り合うバランスウェイト104を設けたので、あらゆる姿勢において精度良く測定を行うことができるようになり、水平方向に形成された孔や斜め方向に形成された孔も測定することができる。
【0042】
さらに、本実施の形態の粗さ測定装置10によれば、ピックアップ66の先端が細く形成されているので、径の小さい孔も測定することができる。
【0043】
なお、上述した実施の形態は、ワークの側壁に形成された孔を測定する例で説明したが、これに限定するものではなく、円柱状や円筒状に形成されたワークの外周面の粗さを測定することができる。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る粗さ測定装置によれば、触針を案内するスキッドを設けて、触針の振れ過ぎを防止するので、検出器の回転軸とワークの周面との芯合わせを高精度で行わなくても、粗さ測定することができる。また、本発明によれば、検出器が揺動自在に、且つバランスウェイトによって釣り合った状態に支持されるので、あらゆる方向で粗さ測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る粗さ測定装置の実施の形態を示す正面図
【図2】図1に示した測定装置の側面図
【図3】図1に示した駆動部の構造を示す断面図
【図4】図3に示した回転量調節機構の構造を示す分解図
【図5】図3に示した母線調節機構の構造を示す分解図
【図6】図3に示したピックアップの断面図
【図7】図6に示したピックアップの先端部分の断面図。
【図8】従来装置の構造を示す概略構造図
【符号の説明】
10…粗さ測定装置、12…駆動部、14…調整部、18…X軸調整機構、20…Y軸調整機構、22…Z軸調整機構、24…傾き調整機構、66…ピックアップ、70…モータ、74…回転軸、80…回転量調節機構、98…揺動部材、100…スキッド力調整機構、102…揺動ピン、104…バランスウェイト、106…母線調節機構、122…触針、124…コンタクト、126…スキッド、128…ルビーボール
【発明の属する技術分野】
本発明は粗さ測定装置に係り、特にワークに形成された孔の内周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ワークに形成された孔の内周面を粗さ測定する粗さ測定装置は、従来、図8に示すように、触針1を備えたピックアップ(検出器)2と、該ピックアップ2を回転させる回転駆動部3と、該回転駆動部3を支持するコラム4と、ワーク5を載置して位置調節する微動台6と、から構成されている。この粗さ測定装置は、まず、ワーク5を微動台6に載置し、微動台6の位置を調節して、ワーク5の孔7と回転駆動部3の回転軸とを芯合わせする。次いで、ピックアップ2の触針1をワーク5の孔7の内周面に接触させ、回転駆動部3によってピックアップ2を回転させる。そして、このときの触針1の振れ(変位)を測定することによって、孔7の内周面を周方向に粗さ測定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の粗さ測定装置は、回転駆動部3の回転軸とワーク5の孔7の芯とがずれていた場合、触針の振れが大きくなり、粗さ測定を行うことができないという欠点があった。このため、孔7と回転駆動部3とを高い精度で芯合わせしなければならず、芯出し作業に時間がかかるという問題があった。特に、孔7の径が小さい場合には、より注意深く芯出しを行う必要があるため、芯出し作業に多大な時間を要していた。
【0004】
また、従来の粗さ測定装置は、ピックアップ2自体の変位によって触針1が振れることを防止するため、ピックアップ2の回転精度を高く設定するとともに、ピックアップ2を保持する構造体の剛性を高くする必要があった。したがって、回転駆動部3が高剛性化によって大型化したり、高価な回転駆動部3を用いる必要があるという欠点があった。
【0005】
さらに、従来の粗さ測定装置は、ピックアップ2が回転駆動部3の駆動軸に固定されていたため、鉛直方向に形成された孔の粗さ測定しかできず、例えば、大型ワークの側壁に形成された孔の粗さ測定を行うことができなかった。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、芯出し作業等の準備作業を短時間で容易に行うことができ、且つ、孔の大きさや姿勢に関係なく測定することのできる粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、ワークに形成された周面に検出器の触針を接触させ、前記検出器を回転させることにより、前記周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置において、前記検出器と前記検出器を回転させる回転軸部材との間には、前記検出器を前記回転軸部材に揺動自在に支持するとともに、前記検出器を揺動させて前記検出器の測定方向と回転中心との母線のずれを補正する母線調節機構が設けられ、前記検出器は、前記触針とともに前記ワークの周面に接触して前記触針を案内するスキッドを設けたことを特徴とする。また、ワークに形成された周面に検出器の触針を接触させ、前記検出器を回転させることにより、前記周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置において、前記粗さ測定装置本体には、回転自在であると共に所望の角度位置で固定される固定部材からなる前記検出器の回転量調節機構が設けられ、前記検出器を回転させる回転軸部材の端部に固定された回動部材を前記固定部材に当接させることで前記検出器の回転を終了し、前記検出器は、前記触針とともに前記ワークの周面に接触して前記触針を案内するスキッドを備えたことを特徴とする。
【0008】
本発明によれば、母線調節機構が設けられているので、検出器の測定方向と回転中心との母線のずれを補正することができる。また、検出器にスキッドが設けられ、このスキッドによって触針を案内するので、触針の振れが大きくなることを抑制することができる。即ち、検出器の回転軸とワークの周面の中心とが若干ずれている場合であっても、スキッドによって触針の振れを小さくすることができる。したがって、触針を破損させることなく、周面の粗さを測定することができる。これにより、検出器の回転軸とワークの周面との芯合わせを高精度で行う必要がなくなり、芯出し作業を短時間で簡単に行うことができる。また、検出器の回転量を調節する回転量調節機構を設けているので、所望の角度に調節される。
【0009】
また、本発明によれば、検出器の回転を高精度で行う必要もなくなるため、検出器の回転駆動手段を小型化、軽量化することができるとともに、低コストの回転駆動手段を使用することができる。
【0010】
また、本発明によれば、検出器を回転軸部材に揺動自在に取り付け、バランスウェイトで釣り合わせるようにしたので、検出器の姿勢によらず、前記スキッドをワークの周面に当接させることができる。これにより、検出器は、あらゆる姿勢で測定することが可能となり、様々なワーク形状を測定することができる。例えば、水平方向や斜め方向に形成された孔の周面も粗さ測定することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る粗さ測定装置の好ましい実施の形態について説明する。
【0012】
図1及び図2は、本実施の形態の粗さ測定装置の正面図及び側面図である。
【0013】
これらの図に示すように、粗さ測定装置10は、駆動部12と調整部14とから構成されている。ここで、図1の奥行き方向をX軸方向、左右方向をY軸方向、高さ方向をZ軸方向とする。
【0014】
調整部14は、駆動部12を取り付ける取付台16と、該取付台16の位置をX軸方向に調整するX軸調整機構18と、取付台16の位置をY軸方向に調整するY軸調整機構20と、取付台16の位置をZ軸方向に調整するZ軸調整機構22と、取付台16の傾きを調整する傾き調整機構24と、から構成されている。
【0015】
X軸調整機構18は、アリ溝がX軸方向に形成されたアリ溝部材26と、前記アリ溝に係合するアリが下面に突出形成されたアリ部材28とから構成される。アリ部材28のアリの下端には、ラック(不図示)が形成され、このラックに噛み合うピニオン(不図示)が、アリ溝部材26に回動自在に支持されている。前記ピニオンは、X軸調節つまみ30を回動操作することによって回動し、これによって、ラックが形成されたアリ部材28がX軸方向に移動する。即ち、X軸調節つまみ30を回動操作することによって、アリ部材28がX軸方向に移動し、取付台16がX軸方向に調整される。
【0016】
アリ溝部材26には、X軸クランプつまみ32が設けられており、このX軸クランプつまみ32を回動操作することによって、アリ部材28がアリ溝部材26に固定される。
【0017】
Y軸調整機構20は、X軸調整機構18と同様に構成され、アリ溝がY軸方向に形成されたアリ溝部材36と、前記アリ溝に係合するアリが上面に突出形成されたアリ部材38とから構成される。アリ部材38のアリの上端には、ラック(不図示)が形成され、このラックに噛み合うピニオン(不図示)が、アリ溝部材36に回動自在に支持されている。前記ピニオンは、Y軸調節つまみ40を回動操作することによって回動し、これによって、アリ溝部材36がY軸方向に移動する。即ち、Y軸調節つまみ40を回動操作することによって、アリ溝部材36がY軸方向に移動し、取付台16がY軸方向に調整される。なお、アリ部材38とアリ溝部材36とは、Y軸クランプつまみ42を回動操作することによって固定される。
【0018】
Z軸調整機構22も、X軸調整機構18及びY軸調整機構20と同様に構成され、アリ溝がZ軸方向に形成されたアリ溝部材46と、アリが突出形成されたアリ部材48(X軸調整機構18のアリ溝部材26と一体成形品)とから構成される。アリ部材48のアリには、ラック(不図示)が形成され、このラックに噛み合うピニオン(不図示)が、アリ溝部材46に回動自在に支持されている。前記ピニオンは、Z軸調節つまみ50を回動操作することによって回動し、これによって、ラックが形成されたアリ溝部材46がZ軸方向に移動する。即ち、Z軸調節つまみ50を回動操作することによって、アリ部材48がZ軸方向に移動し、取付台16がZ軸方向に調整される。なお、アリ部材48とアリ溝部材46とは、Z軸クランプつまみ52を回動操作することによって固定される。
【0019】
傾き調整機構24は、ベース54と、該ベースに正面側(図2中、左側)で揺動自在に連結された揺動台56とから構成される。ベース54には、背面側(図2中、右側)に、ねじ58が鉛直にねじ込まれており、ねじ58の先端が揺動台56に当接されている。ねじ58の先端は、レベリングツマミ60を回動することによって高さが調節され、これによって、揺動台56の傾きが調節され、取付台16がX軸に対して角度調節される。ベース54の下面には、ピン59、59が設けられており、このピン59、59が定盤(不図示)に形成された孔に挿入されて、粗さ測定装置10が定盤に位置決めされる。
【0020】
一方、駆動部12は、図3に示すように、回転駆動機構部62、バランス機構部64、ピックアップ(検出器)66とから構成されている。
【0021】
回転駆動機構部62は、本体68の内部にモータ70を有しており、このモータ70の出力軸にプーリ72が取り付けられている。また、モータ70の上方には、中空状の回転軸74が軸受76、76を介して回動自在に支持されている。回転軸74には、プーリ78が取り付けられ、このプーリ78と前記プーリ72との間に無端状のベルト79が掛けられている。したがって、モータ70を駆動させると、モータ70の回転駆動力が回転軸74に伝達し、回転軸74が回転する。
【0022】
回転軸74の後端部(図3中、右側)には、回転軸74の回転量を調節する回転量調節機構80が設けられている。回転量調節機構80は、図4に示すように、回転軸74に固定される回動駒82と、本体68に固定される固定駒84と、本体68に突出形成された円筒部68Aとから構成される。
【0023】
回転駒82は、クランプネジ88によって回転軸74に固定されており、クランプネジ88を緩めることによって回転軸74に対して回動させることができる。また、回転駒82には、駆動ピン86が取り付けられている。駆動ピン86は、回転軸74の径方向に配設され、回転軸74を回転させることにより、回転軸74の回りを周回する。
【0024】
前記円筒部68Aの端面には、開始ピン90が回転軸74と平行に配設され、前記回転軸74の回りを周回する駆動ピン86に当接した点が測定開始点となる。
【0025】
固定駒84は、円筒部68Aに外嵌され、クランプネジ92を締めることによって円筒部68Aに固定される。この固定駒84の内周面には、溝84Aが全周にわたって形成されており、この溝84Aの内側を前記駆動ピン86が周回する。また、固定駒84には、終了ピン94が溝84Aに突出するように設けられており、前記回転軸74の回りを周回する駆動ピン86がこの終了ピン94に当接した点が測定終了点となる。
【0026】
このように構成された回転量調節機構80は、駆動ピン86が開始ピン90又は終了ピン94に当接するまで、回転軸74を回転させることができる。即ち、開始ピン90と終了ピン94との角度の分だけ、回転軸74を回転させることができる。なお、開始ピン90と終了ピン94の角度は、クランプネジ92を緩めて固定駒84を回動させることによって所望の角度に調節される。また、駆動ピン86と回転軸74との相対角度を調節することにより、測定開始点の角度を自在に設定することができる。
【0027】
図3に示したバランス機構部64は、前記回転軸74の先端に固定された円筒状のアーム96と、該アーム96の先端に揺動自在に連結された揺動部材98と、揺動部材98に取り付けられたスキッド力調整機構100と、から構成されている。揺動部材98は、揺動ピン102を支点としてアーム96の先端に揺動自在に取り付けられるとともに、先端側(図3中、左側)にピックアップ66が連結され、後端側(図3中、右側)にバランスウェイト104が連結されている。バランスウェイト104は、凹の字を逆さにした形状に形成され、アーム96に覆い被さるように取り付けられている。このアーム96とバランスウェイト104は、若干の隙間を持って配設され、揺動部材98が僅かに揺動しても接触しないようになっている。また、バランスウェイト104は、揺動ピン102を支点とした両側のバランスが前後上下左右に釣り合うように構成されている。なお、スキッド力調整機構100については後述する。
【0028】
前記揺動部材98とピックアップ66は、母線調節機構106を介して連結されている。母線調節機構106は、図5に示すように、V字形状の溝(以下、V溝と称す)108Aが形成された一対の取付部材108、108を、V溝108A、108Aが対向するように配置し、さらに、対向するV溝108A、108A同士の間に円柱状のピン部材110を介在して構成される。一対の取付部材108、108同士は、ねじ112、112によって連結されており、このねじ112、112の締め込み量を変えることによって、ピン部材110を支点としてピックアップ66が左右に揺動する。これにより、ピックアップ66の先端がXY面上で移動し、ピックアップ66の測定方向と回転中心との母線のずれを補正することができる。なお、一方のV溝108Aとピン部材110とを接着又はロウ付けし、ピン部材110の脱落を防止してもよい。
【0029】
図6は、ピックアップ66の内部構造を示す断面図である。同図に示すように、ピックアップ66の内部には、アーム114が支点116を介して揺動自在に支持されている。アーム114の後端部(図6中、右端部)には、コア118が取り付けられており、このコア118とボビン119とから成る差動トランス120によってアーム114の揺動量を測定することができるようになっている。なお、図6の符号121は、測定力設定用ばねであり、この測定力設定用ばねによって、測定力が所定の値に調節される。
【0030】
また、アーム114の先端部(図6中、左端部)には、触針122が取り付けられている。触針122の先端には、図7に示すように、例えばダイヤモンド製のコンタクト124が下向きに取り付けられ、測定時にはこのコンタクト124がワーク表面をトレースする。
【0031】
また、ピックアップ66の先端部には、図6及び図7に示すように、スキッド126が取り付けられている。このスキッド126は、板ばね130を介してピックアップ66に取り付けられており、調節ねじ132の締め込み量を調節することによってスキッド126の角度を調節することができる。また、スキッド126の先端の下面には、ルビーボール128が固定されている。測定時には、このルビーボール128がワーク表面に押圧され、該ルビーボール128とコンタクト124との相対変位が粗さの測定値となる。なお、φ0.5mm程度のルビーボール128を切り出してスキッド126に接着して使用することにより、ピックアップ66の先端部の全高さhを小さく(例えば0.7mm程度に)抑えつつ、粗さ成分のみを測定することができる。これにより、小径(例えばφ1mm)の孔の内面の粗さを測定することができる。
【0032】
ルビーボール128がワーク表面を押圧する力(スキッド力)は、図3に示したバランス機構部64内のスキッド力調整機構100によって調節される。スキッド力調整機構100は、アーム96を上方に付勢するばね134と、このばね134が取り付けられる直動部材136とから構成される。直動部材136は、ねじ棒であり、ナット138を回動することによってZ軸方向に直動し、これによって、ばね134の伸び量が変位してスキッド力が調節される。スキッド力は、例えば、触針122のコンタクト124が4mNでワーク表面を押圧する場合、20mN程度に設定される。なお、ピックアップ66の自重は、バランスウェイト104により揺動ピン回りにバランスされているので、測定方向が変化してもスキッド力は変化せず、常に精度の良い測定が可能となる。
【0033】
次に、上記の如く構成された粗さ測定装置10の作用について説明する。以下は、ワークの側面に形成された小径の孔の内周面を粗さ測定する例で説明する。
【0034】
まず、母線調節機構106によって、ピックアップ66の測定方向と回転中心との母線のずれを補正する。
【0035】
次に、調整部14の傾き調整機構24によって、ピックアップ66の先端が、ワークの孔と同じ方向を向くように傾きを調節する。そして、調整部14のX軸調整機構18、Y軸調整機構20、Z軸調整機構22によって、ピックアップ66の先端(即ち、スキッド126と触針122の先端)を孔の外部に配置する。次いで、ピックアップ66を180°毎に回転させながら、ピックアップ66の測定方向が孔の左右中心になるように、調整部14の各調整機構によって調節する。さらに、ピックアップ66を90°回転させて横向きにした後、ピックアップ66を180°毎に回転させながら、ピックアップ66の測定方向が孔の上下中心になるように、調整部14の各調整機構によって調節する。
【0036】
次に、回転量調節機構80のクランプネジ88、92を緩めて回転駒82を回動させ、測定開始を設定した後、クランプネジ88を締めて回転駒82を固定する。次いで、固定駒84と回転駒82とを回動させてピックアップ66先端のコンタクト124を測定終了点(例えば孔の下端)に合わせながら、駆動ピン86を終了ピン90に当接させ、クランプネジ92を締める。
【0037】
次に、調整部14のX軸調整つまみ30を回動操作して駆動部12をX軸方向に移動させ、ピックアップ66の先端部をワークの孔に挿入する。このとき、スキッド126を若干持ち上げて、ピックアップ66の先端部がワークの接触しないようにする。次いで、スキッド126を離して、スキッド126のルビーボール128と触針122先端のコンタクト124とを孔の内周面に当接させる。このとき、触針122の揺動量を差動トランス120で確認して、所定の測定範囲内であれば、測定の準備作業が終了する。
【0038】
次に、駆動部12のモータ70を駆動し、ピックアップ66を回転させる。これにより、触針122のコンタクト124がワーク表面に当接しながら円周方向に移動し、触針122の揺動量が差動トランス120によって測定される。このとき、ピックアップ66は、スキッド126によって案内されるので、触針122は粗さだけを検出する。また、ピックアップ66が揺動自在に、且つバランスウェイト104によって釣り合った状態に支持されているので、スキッド126は常に適切なスキッド力で孔の内周面を押圧する。したがって、孔の軸とピックアップ66の回転中心とが若干ずれている場合であっても、スキッド126が常に一定のスキッド力で孔の内周面を押圧しながら触針122をガイドする。これにより、スキッド力が変動することによってスキッド126のたわみの変動分を触針122が検出して大きく振れ過ぎることがない。また、触針122は、周囲をスキッド126で覆われているので、破損することがない。したがって、粗さ測定装置10によれば、孔の内周面を周方向に粗さ測定することができる。なお、粗さ測定は、回転量調節機構80の駆動ピン86が終了ピン94に当接することによって終了する。
【0039】
このように本実施の形態の粗さ測定装置10によれば、ルビーボール128と触針122との相対位置を測定しているので、回転軸74と孔とを高精度で芯合わせしなくても、粗さ測定を行うことができる。したがって、回転軸74と孔との芯合わせを始めとする準備作業を容易、且つ短時間で行うことができる。特に、本実施例では、X軸調整機構18、Y軸調整機構20、Z軸調整機構22、及び傾き調整機構24を備えた調整部14に駆動部12を取り付けたので、回転軸74と孔との芯合わせを迅速に行うことができる。
【0040】
同様に、本実施の形態の粗さ測定装置10によれば、ルビーボール128と触針122との相対位置を測定しているので、ピックアップ66を高精度で回転させなくても、粗さを測定することができる。したがって、ピックアップ66の回転駆動機構部62を小型化することができ、軸受76にアンギュラ玉軸受を使用できる。これにより、粗さ測定装置10全体を小型化、軽量化することができ、さらにコストも削減することができる。
【0041】
また、粗さ測定装置10によれば、ピックアップ66を揺動自在に支持するとともに、揺動ピン102においてピックアップ66と釣り合うバランスウェイト104を設けたので、あらゆる姿勢において精度良く測定を行うことができるようになり、水平方向に形成された孔や斜め方向に形成された孔も測定することができる。
【0042】
さらに、本実施の形態の粗さ測定装置10によれば、ピックアップ66の先端が細く形成されているので、径の小さい孔も測定することができる。
【0043】
なお、上述した実施の形態は、ワークの側壁に形成された孔を測定する例で説明したが、これに限定するものではなく、円柱状や円筒状に形成されたワークの外周面の粗さを測定することができる。
【0044】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る粗さ測定装置によれば、触針を案内するスキッドを設けて、触針の振れ過ぎを防止するので、検出器の回転軸とワークの周面との芯合わせを高精度で行わなくても、粗さ測定することができる。また、本発明によれば、検出器が揺動自在に、且つバランスウェイトによって釣り合った状態に支持されるので、あらゆる方向で粗さ測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る粗さ測定装置の実施の形態を示す正面図
【図2】図1に示した測定装置の側面図
【図3】図1に示した駆動部の構造を示す断面図
【図4】図3に示した回転量調節機構の構造を示す分解図
【図5】図3に示した母線調節機構の構造を示す分解図
【図6】図3に示したピックアップの断面図
【図7】図6に示したピックアップの先端部分の断面図。
【図8】従来装置の構造を示す概略構造図
【符号の説明】
10…粗さ測定装置、12…駆動部、14…調整部、18…X軸調整機構、20…Y軸調整機構、22…Z軸調整機構、24…傾き調整機構、66…ピックアップ、70…モータ、74…回転軸、80…回転量調節機構、98…揺動部材、100…スキッド力調整機構、102…揺動ピン、104…バランスウェイト、106…母線調節機構、122…触針、124…コンタクト、126…スキッド、128…ルビーボール
Claims (3)
- ワークに形成された周面に検出器の触針を接触させ、前記検出器を回転させることにより、前記周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置において、
前記検出器と前記検出器を回転させる回転軸部材との間には、前記検出器を前記回転軸部材に揺動自在に支持するとともに、前記検出器を揺動させて前記検出器の測定方向と回転中心との母線のずれを補正する母線調節機構が設けられ、
前記検出器は、前記触針とともに前記ワークの周面に接触して前記触針を案内するスキッドを備えたことを特徴とする粗さ測定装置。 - ワークに形成された周面に検出器の触針を接触させ、前記検出器を回転させることにより、前記周面の粗さを周方向に測定する粗さ測定装置において、
前記粗さ測定装置本体には、回転自在であると共に所望の角度位置で固定される固定部材からなる前記検出器の回転量調節機構が設けられ、
前記検出器を回転させる回転軸部材の端部に固定された回動部材を前記固定部材に当接させることで前記検出器の回転を終了し、
前記検出器は、前記触針とともに前記ワークの周面に接触して前記触針を案内するスキッドを備えたことを特徴とする粗さ測定装置。 - 前記検出器は、駆動手段によって回転駆動される回転軸部材に揺動自在に支持されるとともに、揺動支点を中心に前記検出器と釣り合うバランスウェイトを設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の粗さ測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000056875A JP3564637B2 (ja) | 2000-03-02 | 2000-03-02 | 粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000056875A JP3564637B2 (ja) | 2000-03-02 | 2000-03-02 | 粗さ測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001241905A JP2001241905A (ja) | 2001-09-07 |
JP3564637B2 true JP3564637B2 (ja) | 2004-09-15 |
Family
ID=18577749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000056875A Expired - Fee Related JP3564637B2 (ja) | 2000-03-02 | 2000-03-02 | 粗さ測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3564637B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4681779B2 (ja) * | 2001-09-25 | 2011-05-11 | キヤノン株式会社 | 表面性識別装置、及び画像形成装置 |
JP2006300556A (ja) * | 2005-04-15 | 2006-11-02 | Kenji Nomi | 位置測定方法 |
JP4783056B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2011-09-28 | 株式会社ミツトヨ | プローブのアプローチ方向設定方法、形状測定装置プログラム及び記憶媒体 |
JP4852264B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2012-01-11 | 株式会社アルバック | 表面形状測定用触針式段差計及びその針圧補正方法 |
JP4922577B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2012-04-25 | 株式会社アルバック | 触針式表面形状測定器及びそれの探針の取付け方法 |
JP4922583B2 (ja) * | 2005-08-15 | 2012-04-25 | 株式会社アルバック | 表面形状測定用触針式段差計の摩擦力補正方法 |
JP4848513B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2011-12-28 | 国立大学法人弘前大学 | 回転体測定方法および装置 |
EP2199732B1 (de) * | 2008-12-19 | 2017-10-11 | Klingelnberg AG | Vorrichtung mit Rauheitsmesstaster |
JP5544337B2 (ja) * | 2011-08-11 | 2014-07-09 | 株式会社桜井鉄工所 | 真円度測定機 |
JP6189153B2 (ja) | 2013-09-18 | 2017-08-30 | 株式会社ミツトヨ | 梃子式測定器 |
DE102017114552B4 (de) * | 2017-06-29 | 2019-02-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Taststift für Koordinatenmessgerät |
CN108955514B (zh) * | 2018-07-24 | 2024-06-11 | 太原科技大学 | 一种表面粗糙度在线测量装置 |
CN114674193B (zh) * | 2022-03-04 | 2024-05-07 | 海克斯康制造智能技术(青岛)有限公司 | 自定心测量装置及测量机 |
-
2000
- 2000-03-02 JP JP2000056875A patent/JP3564637B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001241905A (ja) | 2001-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3564637B2 (ja) | 粗さ測定装置 | |
EP1036300B1 (en) | Surface measuring apparatus | |
WO1992005405A1 (en) | Angular alignment assembly | |
US6755719B2 (en) | End surface polishing device and end surface polishing method | |
JP5538882B2 (ja) | 表面特性を測定するための測定器 | |
US20020040606A1 (en) | Apparatus for measuring tension and stress capable of adjusting an angle of measurement | |
CN104819899A (zh) | 刚度检测仪 | |
KR101768221B1 (ko) | 안경 렌즈 가공 장치의 교정 센서 유닛 | |
JPS6314882B2 (ja) | ||
JPH01277731A (ja) | 円筒状コネクタピン内に埋込まれた導波路の偏心度を測定する方法および装置 | |
JP3654744B2 (ja) | 真円度測定機 | |
JP2723549B2 (ja) | ねじリード測定装置 | |
JPH0729402U (ja) | 平行度測定装置 | |
JPS6314883B2 (ja) | ||
JP3259378B2 (ja) | チップ装着機のチップ吸着ノズル検査装置 | |
JPH0240488Y2 (ja) | ||
KR970000251B1 (ko) | 동심게이지 | |
JPS6383602A (ja) | ねじリ−ド測定装置 | |
KR0121148Y1 (ko) | 반도체 장치의 센터링 측정기구 | |
KR200159238Y1 (ko) | 원통연삭기의 테이퍼가공용 치구 | |
JP2709025B2 (ja) | 円筒の精度検査装置 | |
JPS6383601A (ja) | ねじリ−ド測定装置 | |
JPH09105601A (ja) | 寸法測定用基準器 | |
CN113624104A (zh) | 弧形弹簧的角度及垂直度的检测装置 | |
JPS6383603A (ja) | ねじリ−ド測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |