JPH0240488Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、互いに直交するＸ，Ｙ及びＺ軸線方
向に変位可能とされたスピンドルに取付けられた
測定子を基台上に載置された被測定物に関与さ
せ、この測定子の移動変位から被測定物の形状等
を計測する三次元測定機に関する。

従来の三次元測定機においては、Ｚ軸線（鉛
直）方向に移動可能とされたスピンドルの上端は
カバーに覆われており、その下端にのみ測定子が
取付けられ、この測定子を下方に移動させて基台
上に載置された被測定物に当接させて被測定物の
形状等の測定を行なつている。

しかし、大型の中空の被測定物のような場合に
は、被測定物の上下に被測定箇所があるため、こ
れらの測定にあたつては上部の測定と下部の測定
とでは、被測定物の天地を逆にして基台上に取付
け直して測定を行なわねばならず、測定操作が非
常に煩雑になるという欠点があつた。

このため、スピンドルを支持するスピンドル支
持部を、Ｘ方向スライダにＹ軸線を回動中心とし
て反転可能に設け、被測定物の取付けをそのまま
にして上下の被測定箇所を測定可能にした測定機
が本考案者によつて提案されている（特開昭58−
90116号公報）。

この測定機においては、従来の測定機に比べ作
業性は大巾に改善されてはいるが、被測定物の上
下を交互に計測するような場合には、いちいちス
ピンドルを反転させねばならず、作業能率は必ず
しも良くなく、より作業能率の改善が望まれてい
る。また、反転することによりスピンドルに加わ
る重力の方向が反対となるため、重量バランスを
調整しなければならないが、この調整も難しいと
いう問題点もある。

本考案の目的は、上下に被測定箇所がある被測
定物の測定を迅速に行なえ、かつ、重重バランス
の調整の心配もない三次元測定機を提供するにあ
る。

本考案は、Ｘ軸線方向に移動可能なスライダに
スピンドル支持体を取付けるとともに、このスピ
ンドル支持体に該スピンドル支持体を貫通してＺ
軸線方向変位可能にスピンドルを取付け、このス
ピンドルのスピンドル支持体から突出された両端
部にそれぞれ測定子を取付け、これらの両測定子
により被測定物の上下の被測定箇所を、スピンド
ル支持体の反転等を必要とせず、スピンドルの移
動によつてのみ測定可能とし、かつ、スピンドル
に重量バランス手段を取付けてスピンドルの操作
を軽快にさせ、この重量バランス手段の調整は、
スピンドルを反転させないことにより不要にして
前記目的を達成しようとするものである。

以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図の全体構造図において、略直方体に形成
された石定盤からなる基台２１は、複数の被測定
物取付用ねじ穴２２をその上面を有するととも
に、長手方向に直交する前後の端面に断面Ｌ字形
の把手２３をそれぞれ有している。この基台２１
の左右の両側面には複数の穴２４が設けられてお
り、この穴２４は図示してないが第１図中基台２
１の向う側の面にも設けられていて、かつ、Ｙ軸
線方向に一直線状に配列されている。これらの穴
２４には接着剤を介して支持軸２５が固定され、
これらの基台２１の両側の支持軸２５にはそれぞ
れＹ軸線方向案内部を構成する各１本の案内レー
ル３１，３２が着脱可能に取付けられている。こ
れらの案内レール３１，３２は、基台２１の長手
方向（Ｙ軸線方向）の長さより長く形成されると
ともに、基台２１の上面より下方であつてこの上
面に平行かつ基台２１の側面から突出して設けら
れている。この際、案内レール３１，３２が基台
２１の上面より下方であるということは、案内レ
ール３１，３２の上面が基台２１の上面と同一以
下の位置にあるという意味である。また、両案内
レール３１，３２は、円柱の両側を平行に削り落
して長手方向に直交する断面形状が円弧部分及び
直線部分からなる略小判形となるようにされ、さ
らに、一方すなわち第１図中手前の案内レール３
１の外側面には案内レール３１の長手方向に沿つ
てほぼその全長にわたつて凹溝（図示せず）が形
成されている。この凹溝内にはスケール３３が貼
付され、このスケール３３は、例えばステンレス
板の表面にμｍオーダーの縦目盛を形成された反
射型スケールとされている。

前記両側の案内レール３１，３２には角柱状の
支柱４１，４２がそれぞれ案内レール３１，３２
の長手方向（Ｙ軸線方向）に沿つて移動自在に支
持されている。これらの両側の支柱４１，４２の
うち一方の支柱４１内には図示しないＹ方向検出
器が収納され、この検出器と前記スケール３３と
により支柱４１のＹ軸線方向の移動量が検出でき
るようにされている。

前記両側の支柱４１，４２の途中には、両支柱
４１，４２間のＹ軸線方向と同一平面内で略直交
する方向となるＸ軸線方向の間隔を所定寸法に設
定するために１本の丸棒からなる横部材４３が渡
設され、さらに両支柱４１，４２の上端部間には
それぞれ連結部４４，４５を介して２本の丸棒か
らなるスライダ案内レール４６，４７及び１本の
丸棒からなるスライダ微動レール４８が前記案内
レール３１，３２に直交しかつ基台２１の上面に
平行な方向、すなわちＸ軸線方向に掛け渡されて
いる。これらのスライダ案内レール４６，４７に
は箱状のスライダ４９がスライダ案内レール４
６，４７に沿つてＸ軸線方向移動自在に支持さ
れ、このスライダ４９には角度計測手段５０を介
して箱状のスピンドル支持体５１がＹ軸線を回動
中心として傾斜可能に支持されている。このスピ
ンドル支持体５１にはスピンドル５２がスピンド
ル支持体５１を貫通してその中心軸方向に摺動自
在に支持されるとともに、このスピンドル５２の
上端及び下端には測定子５３がそれぞれ取付けら
れている。この際、スピンドル５２はスピンドル
支持体５１の傾斜が零のとき、丁度Ｚ軸線方向
（鉛直上下方向）に移動できるように設定され、
これにより前記スライダ４９のＸ軸線方向の移動
及び支柱４１，４２のＹ軸線方向の移動と相俟つ
てスピンドル５２及び上下の測定子５３は基台２
１及びこの基台２１上に載置される被測定物５４
に対し互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ軸線方向に任意
に移動できるようにされている。また、これらの
支柱４１，４２、横部材４３、連結部４４，４
５、スライダ案内レール４６，４７、スライダ４
９、角度計測手段５０、スピンドル支持体５１及
びスピンドル５２により測定子支持部材４０が構
成されている。

前記連結部４４，４５は、第２図に拡大して示
されるように、側面に突出部が形成された連結ブ
ロツク１１１，１１２をそれぞれ備え、これらの
連結ブロツク１１１，１１２は、図示しない調整
手段を介して各支柱４１，４２に支持されてい
る。この調整手段は、前記各支柱４１，４２にね
じ込み位置調整可能に螺合された位置決めブツシ
ユなどからなり、スライダ案内レール４６，４７
ひいては測定子５３のＸ，Ｙ及びＺ軸線方向の位
置調整ができるようになつている。

また、連結部４４の構造は、第２図に示される
ように、支柱４１の前後の側壁間の間隔より狭く
形成され両側壁間に隙間をもつて挿入された前記
連結ブロツク１１１と、このブロツク１１１にＸ
軸線方向に貫通して取付けられるとともにスライ
ダ案内レール４６，４７の端部小径部が挿入され
るブツシユ１１３，１１４と、これらの各ブツシ
ユ１１３，１１４内に一部が挿入されるとともに
つば部が係止されるつば付ブツシユ１１５，１１
６と、これらの各ブツシユ１１５，１１６を貫通
して各案内レール４６，４７の端部にねじ込まれ
両案内レール４６，４７と連結ブロツク１１１と
の連結を行なうボルト１１７，１１８と、前記図
示しない調整手段とから構成されている。

なお、他方の連結部４５は、第２図に連結ブロ
ツク１１２のみが示されているが、他の構造は連
結部４４と同様であり、Ｘ，Ｙ，Ｚ各軸線方向の
位置調整も同様に行なえるようになつている。

第２図ないし第４図において、前記両連結部４
４，４５の連結ブロツク１１１，１１２の上端部
間に掛け渡された前記スライダ微動レール４８
は、その軸方向に移動可能にされるとともに、連
結ブロツク１１１に挿通された部分には図示しな
い微細ねじが設けられ、この微細ねじに螺合され
るとともに連結ブロツク１１１により軸方向移動
不可能に支持された調整ナツト１４１を回すこと
により微動レール４８が軸方向に微量づつ移動で
きるようにされている。また、微動レール４８の
途中は、スライダ４９の上面に立設された一対の
ブラケツト１４２，１４３に摺動自在に挿入され
るとともに、一方のブラケツト１４２にねじ込ま
れた締付ねじ１４４で微動レール４８を締付ける
ことによりレール４８とスライダ４９とが一体化
され、この状態で調整ナツト１４１を回すことに
よりスライダ４９をＸ軸方向に微動送りできるよ
うにされている。また、上方のスライダ案内レー
ル４６にはスケール１４５が固定され、このスケ
ール１４５とスライダ４９内に設けられたＸ方向
検出器１８１（第４図参照）との作用によりスラ
イダ４９ひいては測定子５３のＸ軸線方向の移動
量を検出できるようになつている。

前記スライダ４９の両ブラケツト１４２，１４
３間には支持体角度微調整ねじ１５１が回転自在
かつ軸方向移動不可能に支持され、この微調整ね
じ１５１にはナツト部材１５２が螺合され、この
ナツト部材１５２の下部に形成されたＵ字溝１５
２Ａ（第４図参照）には固定ねじ１５３が挿入さ
れ、この固定ねじ１５３は回動アーム１５４の横
腕１５４Ａの先端にねじ込まれている。従つて、
この固定ねじ１５３がゆるめられているときは、
ナツト部材１５２は微調整ねじ１５１の回転に伴
ない移動され、一方、締付けられているときは微
調整ねじ１５１の回転ができないようにされてい
る。また、前記回動アーム１５４の下端部はスピ
ンドル支持体５１の回転中心軸１８２に摺動駒１
８３を介して係合され、この回動アーム１５４内
に挿入された締付ねじ１５５をねじ込むことによ
り摺動駒１８３が中心軸１８２に圧接されて回動
アーム１５４と前記回転中心軸１８２とが一体に
固定されるようになつている。

このため、締付ねじ１５５にをるめた状態では
スピンドル支持体５１はスライダ４９に傾斜自在
にされ、一方、締付ねじ１５５を締付ければスピ
ンドル支持体５１を任意の角度で固定できるよう
にされ、さらに、この締付ねじ１５５の締付状態
で、かつ固定ねじ１５３をゆるめ、微調整ねじ１
５１を回転させれば、支持体５１の角度を微調整
できるようにされている。また、このときの支持
体５１の傾斜角度は、前記角度計測手段５０の主
尺１５６及び副尺１５７により正確に読取れるよ
うになつている。この際、主尺１５６は例えばス
ライダ４９側に、副尺１５７はスピンドル支持体
５１側に設けられており、これは逆でもよい。ま
た、摺動駒１８３と回動アーム１５４内の凹部と
の間には、圧縮ばね１８４が介装され、このばね
１８４の付勢力により摺動駒１８３と中心軸１８
２との間に所定の摩擦力を付与し、この摩擦力に
よつて締付ねじ１５５がゆるめられてもすぐには
スピンドル支持体５１が回動しないようにされて
いる。

前記スライダ４９内には、図示しない計６個の
ローラが回転自在に支持され、各３個のローラに
より、上、下のスライダ案内レール４６，４７が
それらの周面120度方向から当接支持されている。
この際、上方のレール４６に当接されるローラの
うち１つのローラはレール４６の平面部分すなわ
ちスケール１４５が設けられている面に当接さ
れ、スケール１４５と前記検出器１８１に設けら
れるインデツクススケール（図示せず）とが平行
移動できるようにされている。

前記スピンドル５２には軸方向に沿つてスケー
ル１６１が設けられるとともに、スピンドル５２
はスピンドル支持体５１内に設けられた上下各３
個のローラによりその軸方向に摺動自在に支持さ
れている。これらのうち、上方の３個のローラ２
０１（第４図では１個のみ示されている）は、互
いにその法線方向が120度をなすようにされ、下
方の３個のローラは第４図に１個のローラ２０４
のみが示されているが、上方のローラ２０１と同
様に120度等配位置に設けられている。また、こ
れらの各ローラ２０１，２０４は偏心軸あるいは
偏心ブツシユに被嵌され、スピンドル５２への当
接調整ができるようにされている。

前記スケール１６１とスピンドル支持体５１内
に設けられたＺ方向検出器２０５との作用により
スピンドル５２ひいては上下の測定子５３の軸方
向の移動量すなわち支持体５１の傾斜が零のとき
はＺ軸線方向の移動量が計測できるようにされて
いる。また、スピンドル５２の下端と支持体５１
との間には、薄肉、巾広の板ばね材からなり、一
端をぜんまいばね状に巻込まれて形成された定圧
ばね１６２が張設されている。この定圧ばね１６
２により重量バランス手段が構成されるととも
に、スピンドル５２は定圧ばね１６２の付勢力と
自重とのバランスによりわずかな速度で上昇する
ように付勢され、かつ、スケール１６１の表面保
護も行なえるようにされている。

また、スピンドル支持体５１を回転させてこの
スピンドル支持体５１をＸ軸線方向と一致させた
場合には、スピンドル５２、測定子５３には定圧
ばね１６２の張力と逆方向に変位しようとする力
はほとんど作用しないので、前記より速い速度で
スピンドル５２を所定の位置に移動させるよう構
成される。

前記スピンドル５２の下端部には、第２図に示
されるように、スピンドル５２と平行なスピンド
ル微動軸１６３が軸方向移動可能に支持され、こ
の微動軸１６３に設けられた微細ねじ（図示せ
ず）に螺合された調整ナツト１６４はスピンドル
５２の下部に回転自在かつ軸方向移動不可能に支
持されており、この調整ナツト１６４を回すこと
によつてスピンドル５２と微動軸１６３とは軸方
向に相対移動するようにされている。また、支持
体５１の側面には前記微動軸１６３を支持体５１
に固定する締付ねじ１６５がねじ込まれ、この締
付ねじ１６５により微動軸１６３を支持体５１に
固定した状態で調整ナツト１６４を回転すること
によりスピンドル５２をその軸方向に微動できる
ようになつている。

さらに、スピンドル５２の上端及び下端には測
定子取付ブツシユ１７１が止めねじ１７２により
着脱可能に取付けられ、この取付ブツシユ１７１
には測定子５３が止めねじ１７３により着脱可能
に取付けられている。また、取付ブツシユ１７１
には、第５図にも示されるように、スピンドル５
２の軸線と直交する方向にも取付孔１７１Ａが穿
設され、この取付孔１７１Ａに測定子５３を挿入
して止めねじ１７３で固定することにより、スピ
ンドル５２の軸線と90度異なる方向に測定子５３
の先端を向けうるようにされている。測定子５３
は、その両端部に異なる形状の接触部５３Ａ，５
３Ｂが形成され、一方の接触部５３Ａは尖鋭状に
されるとともに、他方の接触部５３Ｂは球状にさ
れている。なお、取付ブツシユ１７１を用いない
ことにより、取付ブツシユ１７１と同じ太さの測
定子５３０を使用することもできるようになつて
いる。

前記スライダ４９の下面には、第４図に示され
るように、スピンドル支持体５１をスライダ４９
に対して所定角度、例えばスピンドル５２の軸線
が丁度鉛直方向（Ｚ軸線方向）になるよう位置出
しする位置出し装置２１０が設けられている。こ
の位置出し装置２１０は、スライダ４９にボルト
（図示せず）で固定される軸受部材２１２と、こ
の軸受部材２１２の貫孔２１２Ａに水平方向摺動
自在に支持されるとともに一端部にねじ部として
の雄ねじ２１３Ａ及びテーパ部としてのテーパ軸
２１３Ｂを一体に形成された係合軸２１３と、こ
の係合軸２１３の雄ねじ２１３Ａ及びテーパ軸２
１３Ｂにそれぞれ螺合及び係合されるねじ部とし
ての雌ねじ２１４Ａ及びテーパ部としてのテーパ
孔２１４Ｂを一体に形成されるとともにスピンド
ル支持体５１に接着剤２１５を介して位置決めし
て固定された係合ブツシユ２１４と、前記係合軸
２１３の他端に固定されたつまみ２１６と、この
つまみ２１６と軸受部材２１２との間に介装され
係合軸２１３を前記係合ブツシユ２１４から離れ
る方向に付勢する圧縮コイルばね２１７と、前記
係合軸２１３のテーパ軸２１３Ｂの近傍において
取付けられ前記ばね２１７による図中右方への付
勢力によつて係合軸２１３が軸受部材２１２から
脱出するのを防止するストツパ２１８とから構成
されている。

第６図には、本実施例の制御系の概略ブロツク
図が示され、変位検出装置３００は、Ｘ方向検出
装置３０１、Ｙ方向検出装置３０２及びＺ方向検
出装置３０３を備えるとともに、Ｚ方向検出装置
３０３の出力を、上方の測定子５３が使用されて
いるか、下方の測定子５３が使用されているかで
補正する上下測定子間補正機能３０４を備え、こ
の補正機能３０４は、測定者が操作する切換スイ
ツチなどから構成される識別手段３１０によつて
作動され、もしくは作動されないようになつてい
る。すなわち、補正機能３０４は両測定子５３の
先端間寸法を記憶しており、今仮りに下方の測定
子５３を基準として測定を行なつている場合、こ
の下方の測定子５３による測定時には補正機能３
０４は作動されず、一方、上方の測定子５３によ
る測定時には作動されて両測定子５３間の寸法分
補正した値を出力するようになつている。

前記Ｘ，Ｙ，Ｚ方向検出装置３０１，３０２，
３０３は、それぞれ前記Ｘ方向検出器１８１、Ｙ
方向検出器（図示せず）及びＺ方向検出器２０５
を含む検出部を備えるとともに、これらの検出部
からの信号を増巾、波形整形、微分、その他の処
理をする信号処理部並びにこの信号処理部からの
信号を計数する計数部を備えており、一般的な検
出装置である。これらのＸ，Ｙ方向検出装置３０
１，３０２の出力及び補正機能３０４を介するＺ
方向検出装置３０３の出力は、それぞれ演算・制
御装置３２０に入力され、所定の演算処理等がな
されて表示装置３３０及びプリンタ等のデータ処
理装置３４０に出力され、表示及び記録されるよ
うになつている。

次に本実施例の使用法につき説明する。

使用開始にあたり、スピンドル支持体５１の傾
斜を許容する締付ねじ１５５を除き、他の締付ね
じ８７，１４４及び１６５をゆぬめ、支柱４１、
スライダ４９及びスピンドル５２の動きを自由に
し、上下の測定子５３をＸ，Ｙ，Ｚ軸線の任意位
置に動きうるようにしておき、この状態で測定子
支持部材４０を第１図に示されるように基台２１
の一端側に移動させておく。

ついで、基台２１上に被測定物５４を搬入し、
基台２１上の適宜な被測定物取付用ねじ穴２２及
び図示しない取付治具を用いて基台２１に固定す
る。

基台２１上に固定された被測定物５４は、従来
の三次元測定機と同様にして各部の寸法、形状等
が計測される。すなわち、スピンドル５２の下部
を把持し、一方、例えば下方の測定子５３の先端
を順次被測定物５４の下方の所定位置に接触さ
せ、このときの測定子５３のＸ，Ｙ及びＺ軸線方
向の移動量を、支柱４１の下部に取付けられた図
示しない検出器並びにスライダ４９及びスピンド
ル支持体５１内にそれぞれ設けられた検出器１８
１，２０５と各スケール３３，１４５，１６１と
により読取り、表示装置３３０等へ表示し、さら
には常用のデータ処理装置３４０でデータ処理し
てプリントアウトする。この際、識別手段３１０
は下方の測定子５３の使用モードとしておく。

このようにして被測定物５４の下方の被測定箇
所の測定が完了したら、識別手段３１０を上方の
測定子５３の使用モードに切換え、上方の測定子
５３を被測定物５４の上方の被測定箇所に順次接
触させて前述と同様に表示し、プリントアウトす
る。この際、変位検出装置３００から出力される
データは、上下測定子間補正機能３０４により予
め補正されているから、演算・制御装置３２０の
演算等は、前記下方の測定子５３の場合と全く同
様に行なえる。

また、必要に応じて、前述でゆるめた各締付ね
じ８７，１４４及び１６５を締付け、支柱４１，
４２のＹ軸線方向への、スライダ４９のＸ軸線方
向への及びスピンドル５２のＺ軸線方向への微動
送りを行なつてもよい。

前記測定子支持部材４０の移動操作中に測定子
支持部材４０が前後に大きく移動してシヨツクア
ブゾーバ９０に当つた場合には、シヨツクアブゾ
ーバ９０内の図示しない圧縮ばねが撓み、これに
より測定子支持部材４０への衝撃が緩和され、測
定子支持部材４０に変形等が生じることが有効に
防止される。

また、Ｚ軸線に対し所定角度を有する被測定箇
所は、この角度に一致するようにスピンドル支持
体５１を傾斜させて行なう。この支持体５１の傾
斜は、位置出し装置２１０の係合軸２１３と係合
ブツシユ２１４との係合を外すとともに、締付ね
じ１５５をゆるめて支持体５１を傾斜自在とし、
この状態でほぼ所望の角度となるように角度計測
手段５０を見ながら支持体５１を傾斜設定して締
付ねじ１５５を締付け、その位置で固定する。つ
いで、固定ねじ１５３をゆるめた状態で角度調整
ねじ１５１を回して角度の微調整を行なつて固定
し、傾斜方向の測定を行なう。

上述のような本実施例によれば、次のような効
果がある。

すなわち、スピンドル５２の上下両端に測定子
５３を取付けたから、スピンドル５２を反転させ
ることなく被測定物５４の上下の被測定箇所を測
定でき、作業能率を著しく改善できる。また、反
転させることがないから、スピンドル５２の重量
バランスが崩れることがなく、重量バランス手段
としての定圧ばね１６２の調整も必要でなく、こ
の点からも作業能率を向上できる。さらに、切換
スイツチなどからなる識別手段３１０の選択操作
をするだけで、上下の測定子５３の使い分けがで
き、この使い分けごとに各測定子５３の原点チエ
ツク（原点設定）を行なわなくともよく、測定を
簡易に行なえる。また、変位検出装置３００には
上下測定子間補正機能３０４が設けられているか
ら、演算・制御装置３２０での演算等が容易とな
り、かつ、従来と全く同一の装置を使用できる。

さらに、スライダ４９に対しスピンドル支持体
５１を傾斜可能、すなわち、いわゆるＺ軸スピン
ドル５２を傾斜可能としたから、傾斜面に穴を有
する被測定物５４の穴径、穴深さ等を一次元的に
簡易に測定でき、いわゆる輪郭測定機的機能をも
付加できる。また、この傾斜面等の測定にあた
り、従来のように被測定物５４側を傾斜させる必
要がなく、この点からも測定の簡易化を図ること
ができる。また、適当な形状の測定子５３並びに
測定子５３に代えてテストインジケータ、罫書き
針等を用いることにより単なる測定に限らず、
種々の傾斜方向の作業が行なえる。この場合、基
台２１上に回転テーブルを介して被測定物５４を
載置すれば、被測定物５４の各面の傾斜等の測定
を容易に行なうことができる。

さらに、測定子支持部材４０の案内レール３
１，３２は基台２１の側方に設けられ、基台２１
上には何の邪魔物もなく、かつ、スピンドル支持
体５１が傾斜可能であるから、基台２１から突出
した被測定物５４の測定も可能であり、測定範囲
の拡大がなされる。

また、スピンドル支持体５１とスピンドル５２
との間には定圧ばね１６２が張設されているか
ら、スピンドル５２の操作を非常に軽い力で行な
うことができる。この定圧ばね１６２はスピンド
ル５２の引出しとともに引出され、スケール１６
１の表面を覆うから、被測定物５４、その他の物
に触れやすいスケール１６１の下方突出側の表面
保護を有効に行なうことができる。

さらに、スピンドル支持体５１の傾斜角度は角
度計測手段５０により読取ることができ、かつ、
主尺１５６と副尺１５７との作用により精密に計
測できる。また、スピンドル支持体５１を垂直状
態に戻す、すなわち、基点復帰させる場合、この
角度計測手段５０を用いて行なうことができると
ともに、位置出し装置２１０を用いて行なうこと
もでき、この位置出し装置２１０を用いれば、迅
速かつ正確に基点復帰させることができる。

なお、前記実施例においては、切換スイツチな
どからなる識別手段３１０を用いて上下の測定子
５３の相違による補正を行なうようにしたが、測
定子５３が接触により自身で信号を発するいわゆ
るタツチ部材プローブであるような場合には、上
下の測定子５３毎に別個な電気回路を設け、いず
れかの回路に補正機能３０４を持たせるようにし
てもよい。また、スピンドル支持体５１は必ずし
も傾斜（回動）可能としなくともよいが、傾斜
（回動）可能とすれば前述の効果がある。さらに、
前記各実施例では測定子５３は接触式の構造のも
のを図示したが、本考案でいう測定子はこれに限
定されず、静電容量を用いたもの、あるいはレー
ザ測長器等のいわゆる非接触式の構造のものも含
むものである。また、前記各実施例では定圧ばね
１６２はスピンドル５２の下部に１個のみ設けた
が、スピンドル５２の上部とスピンドル支持体５
１との間にも設けてもよく、このようにすればス
ケール１６１の上部での保護がより確実にでき
る。この際、上方の定圧ばねは下方の定圧ばね１
６２より数段弱く設定し、スピンドル５２の自重
を含む重量バランスが適正となるように各ばね圧
を設定する。また、重量バランス手段はばねに限
らず、エア圧、流体圧を利用したもの、さらに重
錘を利用したものであつても良い。

上述のような本考案によれば、被測定物の上下
の被測定箇所を迅速に測定でき、かつ、重量バラ
ンスの調整の心配もない三次元測定機を提供でき
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図はそのスライダ部分を示す一部を切欠いた拡大
斜視図、第３図は同正面図、第４図は同断面図、
第５図は測定子取付部の構造を示す一部を断面し
た分解斜視図、第６図は本実施例の制御系統の概
略構成を示すブロツク図である。 ４０……測定子支持部材、４１，４２……支
柱、４６，４７……スライダ案内レール、４９…
…スライダ、５０……角度計測手段、５１……ス
ピンドル支持体、５２……スピンドル、５３……
測定子、５４……被測定物、１６２……定圧ば
ね、３０１……Ｘ方向検出装置、３０２……Ｙ方
向検出装置、３０３……Ｚ方向検出装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 鉛直上下方向となるＺ軸線方向に変位可能と
   されたスピンドルに取付けられた測定子を基台
   上に載置された被測定物に関与させ、この測定
   子の移動変位から被測定物の形状等を計測する
   三次元測定機において、Ｚ軸線方向と任意の平
   面内で直交する水平方向となるＸ軸線方向変位
   可能にされたスライダにスピンドル支持体を取
   付けるとともに、このスピンドル支持体に当該
   スピンドル支持体を貫通してＺ軸線方向変位可
   能にスピンドルを取付け、このスピンドルの両
   端にそれぞれ測定子を取付け、かつ、スピンド
   ルに重量バランス手段を連結し、さらに測定子
   のＸ軸線方向の変位量を検出するＸ方向検出装
   置と、このＸ軸線方向と同一平面内において直
   交する方向となるＹ軸線方向の測定子の変位量
   を検出するＹ方向検出装置と、測定子のＺ軸線
   方向の変位量を検出するＺ方向検出装置とを備
   えて構成されることを特徴とする三次元測定
   機。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、前
   記スピンドル支持体はＹ軸線方向を回動中心と
   して前記スライダに回動可能に取付けられたこ
   とを特徴とする三次元測定機。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項または第２項
   において、前記重量バランス手段は板ばねから
   なる定圧ばねを巻回し、この張力により前記ス
   ピンドルをこのスピンドルに取着される一方の
   測定子から他方の測定子側へ変位させるよう構
   成されたことを特徴とする三次元測定機。