JPS5890116A - 多次元測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、被測定物に測定子が二次元あるいは三次元的
に関与可能な多次元測定機に関する。

従来のこの種測定機においては、ユニバーサルプローブ
などといわれ、測定子先端部分がその本体部に対して傾
斜可能にされた測定子（プローブ）が知られている。こ
の測定子は、その本体部に一体に形成されたシャンク部
分でＺ　１ｌｌｌｂスピンドルに取付けられ、このスピ
ンドルの軸線方向に対して前記先端部分が傾斜できるよ
うにされている。

しかし、このような従来の測定子にあっては、傾斜面に
設けられた穴の内壁に接触させることにできでも、スピ
ンドルそのものに傾斜せずにＺ　軸方向すなわち鉛直方
向ｌ；・のみ動くものであるから、測定子の接触に伴な
う測足値の処理は、あ〈１で二次元的あるいは三次元的
に行なわねばならず、必ず演算を会費としていた。

このため、傾斜面に形成された穴の深さ等を演算するこ
となく一次元的に処理できる多次元測定機が望まれてい
た。

本発明の目的は、傾斜面に形成された穴の深さ、直径等
を一次元的、すなわち測定子全保持するスピンドルのみ
の動きとして測定しうる多次元測定機を提供するにある
。

本発明は、基台の上方に支柱尋を介して横架さレタスラ
イダ案内レールにスライダを摺動自在に取付けるととも
に、このスライダにスピンドル支持体を回動可能に取付
け、このスピンドル支持体には測定子を有するスピンド
ル全その軸方向移動自在に支持し、前記スピンドル支持
体の同動の回転軸線は、スライダの移動方向及びスピン
ドルの移動方向の両者に直角な方向、換言するとスライ
ダの移動方向とスピンドルの移動方向とを含む面に直角
な方向になるように形成し、これによシスピンドルの移
動方向を傾斜可能とし、この傾斜を被測定面と平行ある
いは直角等に設定できるようにして前記目的を達成しよ
うとするものである。

以下、本発明全三次元測定機に適用した一実施例を図面
に基づいて説明する７、 第１図の全体構造図において、略直方体に形成された石
定盤からなる基台２１は、複数の被測足物取付用ねじ穴
２２をその上面に有するとともに、長手方向に直交する
前後の端面に断面り字形の把手２３をそれぞれ有してい
る。この基台２１の左右の両側面には複数の穴２４が設
けられており、この穴２４は図示してないが第１図中基
台２１の向う側の面にも設けられていて、かつ、Ｘ軸線
方向に直列に配列されている。これらの穴２４には接着
剤を介して支持軸２５が固定され、これらの基台２１の
両側の支持軸２５にはそれぞれＸ軸線方向案内部を構成
する各１本の案内レール３１゜３２が着脱可能に取付け
られている。これらの案内レール３１．３２は、基台２
１の長手方向（Ｘ軸線方向）の長さより長く形成される
とともに、基台２１の上面よシ下方であってこの上面に
平行かつ基台２１の側面から突出して設けられている。

この際、案内レール３１．３２が基台２１の上面より下
方であるということは、案内レール３１゜３２０上面が
基台２１の上面と同一以下の位置にあるという意味であ
る。また、両案内レール３１゜３２は、円柱の両側を平
行に削シ落して長手方向に直交する断面形状が円弧部分
及び直線部分からなる略小判形となるようにされ、さら
に、一方すなわち第１図中手前の案内レール３１の外側
面には案内レール３１の長手方向に沿ってほぼその全長
にわたって凹溝が形成されている。この凹溝内にはスケ
ール３３が貼付され、このスケール３３は、例えばステ
ンレス板の表面にＰオーダーの縦目盛を形成された反射
型スケールとされている。

前記両側の案内レール３１．３２には角柱状の支柱４１
．４２がそれぞれ案内レール３１．３２の長手方向（Ｘ
軸線方向）に沿って移動自在に支持されている。これら
の両側の支柱４１．４２のうち一方の支柱４１内には図
示しない検出器が収納され、この検出器と前記スケール
３３とによシ支柱４１の移動量が検出できるようにされ
ている。

また、両側の支柱４１．４２の途中ＶＣｉｄ、両支柱４
１．４２間のＸ軸線方向の間隔を所定寸法に設定するた
めＶｃ１本の丸棒からなる横部材４３が渡設され、さら
に両支柱４１．４２の」二端部間にはそれぞれ連結部４
４．４５’（ｒ介して２本の丸棒からなるスライダ案内
レール４６．４７及び１本の丸棒からなるスライダ微動
レール４８が前記案内レール３１．３２に直交しかつ基
台２１の上面に平行な方向、ｊなわちＸ軸線方向に掛は
渡されている。これらのスライダ案内レール４６．４７
には箱状のスライダ４９がスライダ案内レール４６゜４
７１Ｃ沿ってＸ軸線方向移動自在に支持され、このスラ
イダ４９１Ｃは角度計測手段５０を介して箱状のスピン
ドル支持体５１がＹ軸線全回動中心として傾斜可能に支
持されている。このスピンドル支持体５１にはスピンド
ル５２がその中心軸方向に摺動自在に支持されるととも
に、このスピンドル５２の下端には測定子５３が取付け
られている。

この際、スピンドル５２にスピンドル支持体５１の傾斜
が零のとき、丁度Ｚ４＠線方向（上下方向）に移動でき
るように設定され、これにより前記スライダ４９のＸ軸
線方向の移動及び支柱４１．４２のＸ軸線方向の移動と
相俟って測定子５３は基台２１及びこの基台２１上に載
置される被測定物５４に対し互いに直交するｘ、ｙ、ｚ
軸線方向に任意に移動できるようにされている。また、
これらの支柱４１，４２、横部材４３、連結部４４，４
５、スライダ案内レール４６．４７、スライダ４θ、角
度計測手段５０、スピンドル支持体５１及びスピンドル
５２により測定子支持部拐４０が構成されている。

前記連結部４４．４５Ｈ１第２図に拡大して示されるよ
うに、側面に突出部が形成された連結ブロックｌｉｔ、
１１２’にそれぞれ備え、これらの連結ブロック１１１
．１１２は、図示しない調整手段を介して各支柱４１．
４２に支持されている。この調整手段は、前記各支柱４
１．４２にねじ込み位置調整可能に螺合された位置決め
ブツシュなどからなり、スライダ案内レール４６．４７
ひいては測定子５３のＸ、Ｙ及び２軸線方向の位を調整
ができるようになっている。

また、連結部４４の構造に、＠２図に示されるように、
支柱４１の前後の側壁間の間隔より狭く形成され、両側
壁間に隙間をもって挿入された前記連結ブロック１１１
と、このブロック１１１にＸ軸線方向に貫通して取付け
られるとともにスライダ案内レール４６．４７の端部小
径部が挿入されるブツシュ１１３．１１４と、これらの
各ブツシュ１１３．１１４内に一部が挿入されるととも
につば部が係１Ｆ、されるつば付ブツシュ１１５．１１
６と、これらの各ブッシュ１１５．１１１Ｎ通しで各案
内レール４６，４γの端部にねじ適寸れ両案内レール４
６゜４γと連結ブロック１１１との連結を行なうボルト
１１７，１１８と、前記図示し外い調整手段とから構成
されている。

なお、他方の連結部４５は、第１図に連結ブロック１１
２のみが示されているが、他の構造は連結部４４と同様
であり、ｘ、ｙ、ｚ各軸線方向の位置調整も同様に行な
えるようＫなっている。

第２図ないし第７図において、前記両連結Ｋ（Ｓ４４゜
４５の連結ブロック１１１，１１２の上端部間に掛は渡
された前記スライダ微動レール４８は、その軸方向に移
動可能にされるとともに、連結ブロック１１１に挿通さ
れた部分には図示しない微細ねじが設けられ、この微細
ねじに螺合されるとともに連結ブロック１１１により軸
方向移動不可能に支持された調整ナツト１４１を回すこ
とにより微動レール４８が軸方向に微量づつ移動できる
ようにされている。また、微動レール４８の途中は、ス
ライダ４９の上面に立設された一対のブラケット１４２
．１４３に摺動自在に挿入されるとともに、一方のブラ
ケット１４２にねじ込まれた締付ねじ１４４で微動レー
ル４８を締付けることによりレール４８とスライダ４９
とが一体化され、この状態で調整ナツト１４１を回すこ
とによシスライダ４９をＸ軸方向に微動送りできるよう
にされている。

また、上方のスライダ案内レール４６にはスケール１４
５が固定され、このスケール１４５とスライダ４９内に
設けられた検出型１８１（第４図参照）との作用により
スライダ４９ひいては測定子５３のＸ軸線方向の移動量
を検出できるようになっている。

前記スライダ４９の両ブラケツｌ−１４２，１４３間に
は支持体角度微調整ねじ１５１が回転目在かつ軸方向移
動不可能に支持され、この微調整ねじ１５１にはナツト
部材１５２が螺合され、このナツト部材１５２の下部に
形成されたＵ字溝１５２Ａ（第４図参照）には固定ねじ
１５３が挿入され、この固定ねじ１５３は回動アーム１
５４の横腕１５４Ａの先端にねじ込寸れている。従って
、この固定ねじ１５３がゆるめられているときけ、ナツ
ト部材１５２は微調整ねじ１５１の回転に伴ない移動さ
れ、一方、締付けられているときは微調整ねじ１５１の
回転ができないようにされている。

また、前記回動アーム１５４の下端部はスピンドル支持
体５１の回転中心軸１８２に摺動駒１８３を介して係合
きれ、この回動アーム１５４内に挿入された締付ねじ１
５５をねじ込むことにより摺動駒１８３が中心軸１８２
に圧接されて回動アーム１５４と前記回転中心軸１８２
とが一体に固定されるようになっている。

このため、締付ねじ１５５をゆるめた状態ではスピンド
ル支持体５１はスライダ４９に傾斜自在にされ、一方、
締付ねじ１５５を締付ければスピンドル支持体５１を任
意の角度で固定できるようにされ、さらに、この締付ね
じ１５５の締付状態で、かつ固定ねじ１５３をゆるめ、
微調整ねじ１５１を回転させれば、支持体５１の角度を
微調整できるようＶＣされている。また、このときの支
持体５１の傾斜角度は、前記角度計測手段５０の主尺１
５６及び副尺１５７により正確に読取れるようになって
いる。この際、主尺１５６ｉｄ例えばスライダ４９側に
、副尺１５７はスピンドル支持体５１側に設けられてお
り、これば逆でもよい。また、摺動駒１８３と回動アー
ム１５４円の凹部との間には、圧縮ばね１８４が介装さ
れ、このばね１８４の付勢力により摺動駒１８３と中心
軸１８２との間に所定の摩擦力を伺与し、この摩擦力に
よって締付ねじ１５５がゆるめられてもすぐにはスピン
ドル支持体５１が回動しない、しりにされている。

前記スライダ４９内には、第５図に示されるように、ロ
ーラ支持フレーノ、１８５，１８６が固定され、支持フ
レーム１８５には４個のローラ１８７，１８８゜１８９
．１９０が、支持フレーム１８６には２個のローラ１９
１．１９２がそれぞれ回転自在に支持されている。

これらのうち上方の６個のローラ１８７，１８８゜１８
９は上方のスライダ案内レール４６の周面に互いに１２
０度方向から当接され、下方の３個のローラ１９０，１
９１，１９２Ｆｊ、下方のスライダ案内レール４７の周
面に同じ＜１２０度方向から当接され、スライダ４９の
動きが円滑になるようにされている。

この際、ローラ１８７ば」三方のレール４Ｔの直線部分
すなわちスケール１４５が設けられている面に当接され
、スケール１４５と前記検出器１８１に設けられるイン
デックススケール（図示せず）とが平行移動できるよう
にされている。まだ、各ｏ−ラ１Ｂ７〜１９２は偏心軸
あるいは偏心ブツシュに被嵌宮れ、各レール４６．４７
との当接が調整できるようにされており、上方６個のロ
ーラ１８７〜１８９で主にスケール１４５との位置出し
が、下方３個のローラ１９０〜１９２で主にスライダ４
９の重量保持がなされている。

前記スピンドル５２には軸方向に沿ってスケール１６１
が設けられ、このスクール１６１はスピンドル支持体５
１内に設けられた土下各６個のローラによりその軸方向
に摺動自在に支持されている。これらのうち、上方の６
個のローラ２０１゜２０２．２０１ｊ：、第６図に示さ
れるように、互いにその法線方向が１２０度をなすよう
にされ、下方の３個のローラは第４図に１個のロー２２
０４のみが示されているが、上方のローラ２０１〜２０
３と同様に１２０度等配位置に設けられている。また、
これらの各ローラ２０１〜２０３も偏心軸あるいは偏心
ブツシュに被嵌され、スピンドル５２への当接調整がで
きるようにされている。

前記スケール１６１とスピンドル支持体５１内に設けら
れた検出器２０５との作用によりスピンドル５２ひいて
は測定子５３の軸方向の移動量すなわち支持体５１の傾
斜が零のときはＺ軸線方向の移染量が計測できるように
されている。才た、スピンドル５２の下端と支持体５１
との間には、薄肉、巾広のばね材からなり、一端をぜん
まいばね状に巻込まれて形成された定圧げね１６２が張
設され、この定圧ばね１６２によりスピンドル５２は自
重とのバランスによりわずかな速度で上昇するように付
勢され、かつ、スケール１６１０表面保護も行なえるよ
うにされている。

前記スピンドル５２の下端部には、第２図に示されるよ
うに、スピンドル５２と平行なスピンドル微動軸１６３
が軸方向移動可能に支持され、この微動軸１６３に設け
られた微細ねじ（図示せず）に螺合された調整ナツト１
６４はスピンドル５２の下部に回転自在かつ軸方向移動
不可能に支持されており、この調整ナツト１６４を回す
ことによってスピンドル５２と微動軸１６３とは軸方向
に相対移動するようにされている。また、支持体５１の
側面には前記微動軸１６３を支持体５１に固定する締付
ねじ１６５がねじ適才れ、この締付ねじ１６５により微
動軸１６３を支持体５１に固定した状態で調整ナツト１
６４を回転することによりスピンドル５２をその軸方向
に微動できるようになっている。

さらに、スピンドル５２の下端には測定子取付ブツシュ
１７１が止めねじ１７２により着脱可能に取付けられ、
この取付ブツシュ１７１には測定子５３が止めねじ１７
３により着脱可能に取付けられている。また、取付ブツ
シュ１７１にはスピンドル５２の軸線と直交する方向に
も取付孔１７１Ａが穿設され、この取付孔１７１Ａに測
定子５３を挿入して止めねじ１７３で固定することによ
り、スピンドル５２の軸線と９０度切外る方向に測定子
５３の先端を向けうるようにされている。なお、取付ブ
ツシュ１７１を用いないことにより、取付ブツシュ１７
１と同じ太さの測定子５３を使用することもできるよう
になっている。

前記スライダ４９の下面には、第４図及び第７図に示さ
れるように、スピンドル支持体５１をスライダ４９に対
して所定角度、例えばスピンドル５２の軸線が丁度鉛直
方向（Ｚ　＋＋１１線方向）になるよう位置出しする位
１１出し装［２１０が設けられている。この位置出し装
置２１０ｆｄ、スライダ４９にボルト２１１で固定され
る軸受部拐２１２と、この軸受部材２１２に水平方向摺
動自在に支持されるとともに、一端部にねじ部としての
雄ねじ２１３Ａ及びテーバ部としてのテーパ軸２１３Ｂ
を一体に形成された係合軸２１３と、この係合軸２１３
の雄ねじ２１３Ａ及びテーパ軸２１３Ｂにそれぞれ螺合
及び係合されるねじ部としての雌ねじ２１４Ａ及びテー
パ部としてのテーパ孔２１４Ｂを一体に形成されるとと
もにスピンドル支持体５１に接着剤２１５を介して位置
決めして固定された係合ブツシュ２１４と、前記係合軸
２１３の他端に固定されたつまみ２１６と、このつまみ
２１６と軸受部材２１２との間に介装され係合軸２１３
を前記係合ブツシュ２１４から離れる方向に付勢する圧
縮コイルばね２１７と、前記係合軸２１３のテーパ軸２
１３Ｂの近傍において取付けられ前記ばね２１７による
図中右方への付勢力によって係合軸２１３が軸受部材２
１２から脱出するのを防止するストッパ２１８と、前記
軸受部材２１２に設けられるとともに係合軸２１３の途
中に係合され係合軸２１３の軸受部材２１２内でのガタ
つきを防止して保合軸２１３が常に一定の位置で摺動す
るように規制する位置規制手段２２０とから構成されて
いる。

位置規制手段２２０ば、第７図に示されるように、前記
軸受部材２１２内において係合軸２１３が挿通される軸
孔２１２Ａに一部交差するように設けられた係合部材挿
通孔２１２Ｂと、この挿通孔２１２Ｂ内に摺動自在に収
納されるとともに挿通孔２１２Ｂ内に一部露出した前記
保合軸２１３の外周面に当接される斜切面２２１Ａ、２
２２Ａをそれぞれ形成された一対の係合部材２２１，２
２２と、これらの保合部材２２１，２２２の一方の係合
部材２２１を摺動自在に貫通し、他方の係合部材２２２
にその先端をねじ込まれた連結ボルト２２３と、この連
結ボルト２２３の頭部２２３Ａと前記一方の係合部材２
２１との間に介装され両係合部材２２１．２２２を互い
に近接する方向に付勢して両係合部材２２１゜２２２の
斜切面２２１Ａ、２２２Ａをそれぞれ係合軸２１３の周
面−側に押圧しこの結果係合軸２１３の周面の他側を軸
孔２１２Ａの壁面−側に常時押圧して係合軸２１３と軸
孔２１２Ａとのガタを除去する付勢手段としての圧縮げ
ね２２４とから構成されている。

次に本実施例の使用法につき第８図ないし第１１図をも
参照して説明する。

使用開始にあたり、スピンドル支持体５１の傾斜を許容
する締付ねじ１５５を除き、他の締付ねじ８７，１４４
及び１６５をゆるめ、支柱４１、スライダ４９及びスピ
ンドル５２の動きを自由にし、測定子５３をｘ、　ｙ、
　ｚ軸線の任意位置に動きうるようにしておき、この状
態で測定子支持部材４０を第１図に示されるように基台
２１の一端側に移動させておく。

ついで、基台２１上に被測定物５４を搬入し、基台２１
上の適宜な被測定物取付用ねじ穴２２及び図示しない取
付治具を用いて基台２１に固定する。

基台２１上に固定された被測定物５４は、従来の三次元
測定機と同様にして各部の寸法、形状等が計測される。

すなわち、スピンドル５２の下部を把持し、測定子５３
の先端を順次被測定物５４の所定位置に接触させ、この
ときの測定子５３のＸ、Ｙ及びＺ軸線方向の移動量を、
支柱４１の下部に取付けられた図示しない検出器並びに
スライダ４９及びスピンドル支持体５１内にそれぞれ設
けられた検出器１８１，２０５と各スケール３３，１４
５゜１６１とによシ読取り、図示しない表示器等へ表示
し、さらには常用のデータ処理装置でデータ処理してプ
リントアウトされる。

また、必要に応じて、前述でゆるめた各締付ねじ８７，
１４４及び１６５を締付け、支柱４１．４２のＸ軸線方
向への、スライダ４９のＸ軸線方向への及びスピンドル
５２の２軸線方向への微動送シを行なっでもよい。

前記測定子支持部拐４０の移動操作中に測定子支持部材
４０が前後に大きく移動してショックアブゾーバ９０に
当った場合には、ショックアブゾーバ９０内の図示しな
い圧縮ばねが撓み、これにより測定子支持部材４０への
衝撃が緩和され、測定子支持部拐４０に変形等が生じる
ことが有効に防止される。

また、Ｚ　１ｌＴｈ線に対し所定角度を有する被測定箇
所は、この角度に一致するようにスピンドル支持体５１
を傾斜させて行なう。この支持体５１の傾斜は、位置出
し装置２１０の係合軸２１３と係合ブツシュ２１４との
係合をとくとともに、締付ねじ１５５をゆるめて支持体
５１を傾斜自在とし、この状態でほぼ所望の角度となる
ように角度計測手段５０を見ながら支持体５１を傾斜設
定して締付ねじ１５５を締付け、その位置で固定する。

ついで、固定ねじ１５３をゆるめた状態で角度調整ねじ
１５１を回して角度の微調整を行なう。

第８図ないし第１１図にはこのような所定角度を有する
測定箇所の測定を行なう場合などの例が示されている。

すなわち、第８図に示される被測定物４５４は、水平面
に対し角度θを有する傾斜１１１′Ｙ４５４Ａを有し、
この傾斜面４５４ＡＫ直角に段付き穴４５４Ｂが形成゛
　　された例である。この穴４５４Ｂの各段部の深さを
測定するには、スピンドル５２の軸線が傾斜面４５４Ａ
と直交するようにスピンドル支持体５１を傾斜させて固
定し、この状態でＸ軸線方向の動きを固定し、Ｙ及び２
軸線方向に動かして測定子５３を順次穴４５４Ｂの各段
部に当接させれば、この穴４５４Ｂの各段部の深さ寸法
はスピンドル５２の軸方向のみの移動量、すなわち、−
次元的な値として読取れることとなる。

第９図の被測定物５５４は、水平面に対し角度θの方向
に配置された穴５５４Ａを有し、これらの穴５５４Ａ間
のピッチを測定する場合も第８図の場合と同様に計測で
きる。この際、測定子５５３は先端に円錐部５５３Ａを
有するものを用い、この測定子５５３を測定子取付ブツ
シュ１７１の横方向の取付孔１７１Ａに取付けて行なえ
ば計測を迅速に行なえる。

第１０図の被測定物６５４ば、水平面に対し角度θを有
する傾斜面６５４Ａを有し、この傾斜面６５４Ａの角度
を測定する場合は、スピンドル５２の先端にテストイン
ジケータ６５３を取付け、スピンドル５２を軸方向に動
かしてもこのテストインジケータ６５３の指針が振れな
くなる貰でスピンドル支持体５１を傾け、このときの角
度計測手段５０の目盛を読取れば、その角度が傾斜面６
５４Ａの角度θである。

第１１図は、被測定物（正確には被罫１：き物）γ５４
の一側面に所定角度の罫書き線γ５４Ａを設ける場合を
示し、スピンドル５２の先端に取付ブツシュ１７１を介
して罫書き針７５３を取付けるとともに、スピンドル支
持体５１を所定角度に設定し、スピンドル５２を＋ｔｌ
＋方向に移動させて罫書きを行なう。

上述のような本実施例によれば、次のような効果がある
。

すなわち、スライダ４９に対しスピンドル支持体５１を
傾斜可能、すなわち、いわゆるＺ軸スピンドル５２を傾
斜可能としたから、傾斜面４５４Ａに穴４５４Ｂを有す
る被測定物４５４の穴径、穴深さ等を一次元的に簡易に
測定でき、いわゆる輪郭測定機的機能をも付加できる。

筐だ、この傾斜面４５４Ａ等の測定にあたり、従来のよ
うに被測定物４５４側を傾斜させる必要がなく、この点
からも測定の簡易化を図ることができる。壕だ、適当な
形状の測定子５５３、テストインジケータ６５３、罫書
き針７５３等を用いることにより学なる測定に限らず、
種々の傾斜方向の作業が行なえる。この場合、基台２１
上に回転テーブルを介して被測定物５４を載置すれば、
被測定物５４の各面の傾斜等の測定を容易に行なうこと
ができる。

さらに、測定子支持部材４０の案内レール３１゜３２は
基台２１の側方に設けられ、基台２１上には何の邪魔物
もなく、かつ、スピンドル支持体５１が傾斜可能である
から、基台２１から突出した被測定物５４の測定も可能
であり、測定範囲の拡大がなされる。

また、スピンドル支持体５１とスピンドル５２との間に
は定圧げね１６２が張設されているから、スピンドル５
２の操作を非常に軽い力で行なうことができる。この定
圧げね１６２けスピンドル５２の引出しとどもに引出さ
れ、スケール１６１の表面を覆うから、被測定物５４、
その他の物に触れやすいスケール１６１の下方突出側の
表面保護を有効に行なうことができる。

サラに、スピンドル支持体５１の傾斜角度は角度計測手
段５０により読取ることができ、かつ、主尺１５６と副
尺１５７との作用により精密に計測できる。捷だ、スピ
ンドル支持体５１を垂直状態に戻す、すなわち、原点復
帰させる場合、この角度計測手段５０を用いて行なうこ
とができるとともに、位置出し装ｆ１２１０を７１−１
いて行なうこともでき、この位置出し装置２１０を用い
れば、迅速かつ正確に原点復帰させることができる。

さらに、やや特殊な使い方であるが、スピンドル支持体
５１を１８０度回転させて反転することにより、高い位
置にある被測定点の測定を行なうこともできる。

第１２図には本発明の他の実施例が示され、本実施例で
は基台に対し固定的に立設された支持台上に案内レール
が設けられた例である。ここにおいて、本実施例と前記
実施例との同一もしくは相当構成部分は同一もしくは和
尚符号を用い説明を簡略にする。

第６図において、基台２１上の両側には大型の支持台４
２５Ａ、４２５Ｂが固定的に立設され、これらの支持台
４２５Ａ、４２５Ｂの上部にはそれぞれ案内レール４３
１．４３２がＹ軸線方向に沿って設けられ、これらの案
内レール４３１，４３２上にはそれぞれ支柱４４１，４
４２を介して連結部４４４，４４５がレール４３１，４
３２に沿って移動自在に設けられている。これらの支柱
４４１，４４２は前記実施例と同様に、レール４３１，
４３２上を摺動するための手段、例えばローラ、空気軸
受等、及びレール４３１．４３２に沿った移動量を計測
するＹ方向移動量計測手段を有し、各連結部４４４．４
４５も前記実施例と同様に構成されており、連結ブロッ
ク１１１．１１２が位置決めブツシュのようなねじ部材
により調整可能にされている。

前記両連結部４４４，４４５間には、横部材４３、スラ
イター案内レール４６．４７及びスライダ微動レール４
８がそれぞれ掛は渡され、両スライダ案同レール４６．
４７ＶＣはスライダ４９が摺動自在に支持されている。

このスライダ４ｇｖｃｐｓ角度計測手段を介してスピン
ドル支持体５１が取付けられ、この支持体５１　ｖｃは
下端に測定子５３を有するスピンドル５２が軸方向移動
自在に皮付されている。

このように構ｒＪｙ、された本実施例においても前記実
施例と同様な作用及び効果を奏することができる。

なお、前記各実施例では測定子５３は接触式の構造のも
のを図示したが、本発明でいう測定子はこれに限定され
ず、靜電容蓋を用いたもの、あるいはレーザ測長器等の
いわゆる非接触式の構造のものも含むものである。壕だ
、前記各実施例ではスライダ案内レール４６．４７は基
台２１のＹ軸線方向に移動可能とした三次元測定機に本
発明を適用した例につき説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、スライダ案内レール４６゜４７
をＹ軸線方向へに移動不可能として基台２１に固定した
、いわゆる二次元測定機にも適用できるものである。

上述のように本発明によれば、傾斜面に形成された穴の
深さ等を一次元的に処理できる多次元測定機を提供でき
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を三次元測定機ＶＣ適用した一実施例を
示す斜視図、第２図はそのスライダ部分を示す一部を切
欠いた拡大斜視図、第６図に同正面図、第４図は同断面
図、第５図はスライダの内部構造の一部を示す拡大側面
図、＠６図は第４図の■−■線断面図、第７図は第４図
の■−■線断面図、第８図ないし第１１図はそれぞれ本
発明の異なる使用態様を示す要部の概略斜視図、第１２
図は本発明の他の実施例を示す斜視図である。 ２１・・・基台、３１．３２・・・案内レール、４０・
・・測定子支持部材、４１．４２・・・支柱、４６゜４
７・・・スライダ案内レール、４９・・・スライダ、５
０・・・角度計測手段、５１・・・スピンドル支持体、
５２・・・スピンドル、５３，５５３・・・測定子、５
４゜４５４．５５４，６５４，７５４・・・被測定物、
１５６・・・主尺、１５γ・・・副尺、１６２・・・定
圧ばね、４５４Ａ、６５４Ａ・・・傾斜面、４５４Ｂ・
・・段付き穴、５５４Ａ・・・穴、７５４Ａ・・・罫書
き線。 代理人　弁理士　木　下　實　三

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　　基台上に横架されたスライダ案内レールに沿
   ってスライダ全移動可能に設けるとともに、このスライ
   ダに対しスピンドルを軸方向移動可能に設け、このスピ
   ンドルに取付けられた測定子全基台上に載置された被測
   定物に関与させ、この測定子の移動変位から被測定物の
   形状等全計測する多次元測定機において、前記スピンド
   ルをスピンドル支持体にスピンドルの軸方向移動自在に
   支持し、このスピンドル支持体を前記スライダの移動方
   向及びスピンドルの移動方向に直交する方向を回転軸線
   として回動可能に設けたことを特徴とする多次元測定機
   。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記スピンドル
   とスピンドル支持体との間には定圧ばねが張設され、こ
   の定圧ばねによりスピンドルは所定方向に付勢されたこ
   とを特徴とする多次元測定機。 （８）特許請求の範囲第１項寸たは第２項において、前
   記スピンドル支持体とスライダとの間にはスピンドル支
   持体の傾斜角度全計測する角度計測手段が設けられたこ
   と全特徴とする多次元測定機。 （４）特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれかに
   おいて、前記スライダ案内レールはスピンドル支持体の
   回転軸線と平行な方向に移動可能とされたことを特徴と
   する多次元測定機。