JPS6383603A - ねじリ−ド測定装置 - Google Patents

ねじリ−ド測定装置

Info

Publication number
JPS6383603A
JPS6383603A JP22917886A JP22917886A JPS6383603A JP S6383603 A JPS6383603 A JP S6383603A JP 22917886 A JP22917886 A JP 22917886A JP 22917886 A JP22917886 A JP 22917886A JP S6383603 A JPS6383603 A JP S6383603A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screw
plate
spindle
measured
measuring element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22917886A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazumasa Wakao
若尾 一正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP22917886A priority Critical patent/JPS6383603A/ja
Publication of JPS6383603A publication Critical patent/JPS6383603A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明は、ねじり一ド測定装置に関する。詳しくは、被
測定ねじのり−ド誤差を自動的かつ+!% 続的にml
+定する測定装置において、被測定ねじの支持および被
測定ねじに接触される測定子並びにその測定子の支持構
造に関する。
〔ず−テ景技術とその問題点] 近年、工作機械、半導体関連機器、情報N器等の高精度
化に伴い、ねし送り精度の高いねし、つまり単一リード
誤差や累積リード誤差の少ないねしが欠かせなくなって
いる。同時に、高精度ねじの加工技術を支え、かつ品質
を保証するためには、これらリード誤差の測定技術の向
上も要望されている。
従来、このような単一リード誤差および累積リード誤差
の測定は、被測定ねじの両端をセンタにより支持する一
方、被測定ねじの軸線と平行に移動台を摺動自在に設け
、この移動台に被測定ねじのフランクに接触する球状の
測定子を取り付け、被測定ねじを回転させることにより
被測定ねし・の回転に追従して測定子および移動台を被
測定ねじの軸線方向へ移動させ、この移動台の移動量と
被測定ねじの回転角とから被測定ねじのり一ド誤差をン
則定するものであった。
このような装置では、回転軸線に対して被測定ねじの中
心軸線がずれていると、被測定ねじが偏心回転するので
、正確な測定は期待できない。すなわち、第11図(A
)のように被測定ねし1の軸心が回転軸心に対して偏心
量δで偏心していると、被測定ねじ1が90度回転した
第11図(B)の状態では、測定子2が被測定ねじ1の
軸心に対して下方に位置するので、被測定ねじlのリー
ド角をαとすると、 X=δ・tanα の誤差を生じる。同様に、被測定ねじ1が90度回転し
た第11図(C)の状態から被測定ねじ1がさらに90
度回転した第11図(D)の状態でも、誤差Xを生しる
。しかも、被測定ねじ1が偏心回転することは、測定子
2による押圧力つまり測定圧が変動することになるので
、この点からも正確な測定は期待できない。
しかし、従来の装置にあっては、被測定ねじの両端をセ
ンタで支持する構造であるため、両センタを完全に一敗
させておいても、被7!′1+1定ねじの両端にセンタ
穴を被測定ねじの中心軸上に正確に穿設することが困難
なことから、回転軸線と被測定ねじの中心軸線とを一敗
させることが困難であった。
一方、仮に回転軸線に対して被測定ねじの中心軸線が一
致しても、その被測定ねじの中心軸線と測定子の移動方
向、つまり移動台の移動方向との平行度が保たれていな
いと、測定子が被測定ねじの軸方向へ移動するのに伴っ
て測定誤差を生じる。
そこで、被測定ねじの中心軸線が測定子の移動方向に一
敗するように調整すると、回転軸線に対して被測定ねじ
の中心軸線がずれるので、結局前述した問題が生じる。
〔発明の目的〕
ここに、本発明の目的は、被測定ねじの偏心回転および
被測定ねじの中心軸線と測定子の移動方向との平行度に
関連する問題を共に解消し、被測定ねじのリード誤差を
高精度に測定できるねしリード測定装置を提供すること
にある。
〔問題点を解決するための手段および作用〕そのため、
本発明は、被測定ねじの一端を支持する一方の支持手段
とこれに回転を与えるスピンドルとの間および被測定ね
じの他端を支持する他方の支持手段とベースとの間の少
なくとも一方の間に、スピンドルの回転軸線に対して直
交しかつ互いに直交する二軸方向へ支持手段を変位可能
かつ固定可能に保持する姿勢調整手段を設け、この姿勢
調整手段によりスピンドルの回転軸線に対して被測定ね
じの中心軸線を一致させる。また、測定子をスピンドル
の回転軸線と平行な面内でかつその回転軸線と交差する
方向へ延びる柱状体とするとともに、スピンドルの回転
軸線および測定子の軸線に対して直交する方向へ測定子
の往復移動を許容し、かつ測定子の姿勢を保持する測定
子保持手段を設けることにより、被測定ねじの中心軸線
と測定子の移動方向との平行度が保たれていない場合で
も、被測定ねじのり一ド誤差を高精度に測定できるよう
にしたものである。
具体的には、駆動手段によって回転されるスピンドルに
設けられ被測定ねじの一端を支持する一方の支持手段と
、被測定ねじの他端を支持するベースに設けられた他方
の支持手段と、この両支持手段に支持された被測定ねじ
のフランクに接触される測定子を保持する測定子保持手
段と、この測定子保持手段を前記スピンドルの回転軸線
と平行な方向へ移動可能に案内する案内手段と、前記駆
動手段、スピンドルまたは被測定ねじの回転角を検出す
る回転角検出器および前記測定子保持手段の移動量を検
出する送り量検出器を含み、この量検出器からの18号
を基に被測定ねじのリード誤差を測定する演算手段と、
を備え、前記一方の支持手段とスピンドルとの間および
前記他方の支持手段とベースとの間の少なくとも一方の
間に、前記スピンドルの回転軸線に対して直交しかつ互
いに直交する二軸方向へ支持手段を変位可能かつ固定可
能に保持する姿勢調整手段を設けるとともに、前記測定
子を、前記スピンドルの回転軸線と平行な面内でかつそ
の回転軸線と交差する方向へ延びる柱状体とするととも
に、前記測定子保持手段を、前記スピンドルの回転軸線
および測定子の軸線に対して直交する方向へ測定子の往
復移動を許容する往復動許容手段と、測定子の姿勢を保
持する傾斜防止手段とを含んで構成した、ことを特徴と
する。
〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本実施例の測定装置全体の平面を示している。
同図において、ベース11の上面には、軸受12を介し
て中空軸状のエアースピンドル13が水平にかつ回転自
在に支持されている。スピンドル13の一端には、プー
リ14と、スピンドル13の回転角を検出する回転角検
出器としてのロータリーエンコーダ15とがそれぞれ取
り付けられている。プーリ14にはベルト16を介して
駆動手段であるモータ17が連結されている。従って、
モータ17の回転によってスピンドル13が回転すると
、そのスピンドル13の回転角がロークリエンコーダ1
5で検出される。
スピンドル13の他端には、姿勢調整手段18を介して
被測定ねしlの一端を支持する一方の支持手段としての
コレフトチャノク19が取り付けられている。姿勢調整
手段18は、前記スピンドル13の回転軸線に対して直
交しかつ互いに直交する2軸方向ヘコレツトチヤツク1
9を変位可能かつ固定可能に保持するよう構成されてい
る。
一方、ベース11の上面において、スピンドル13の他
端側には、スピンドル13の回転軸線方向と平行なガイ
ドレール21を有する固定台22が設けられている。固
定台22のガイドレール21には摺動台23が摺動可能
に設けられ、この摺動台23上には姿勢調整手段24を
介して被測定ねし1の他端を支持する他方の支持手段と
しての支軸25が前記スピンドル13の回転軸線上に設
けられている。支軸25は、その先端に被測定ねじ1の
他端面に穿設されるテーパ穴と係合する鋼球26を備え
、この鋼球26によって被測定ねし1の他端を回転自在
に支持する。また、姿勢調整手段24は、前記一方の姿
勢調整手段18と同様に、前記スピンドル13の回転軸
線に対して直交しかつ互いに直交する2軸方向へ支軸2
5を変位可能かつ固定可能に保持するよう構成されてい
る。
なお、これら姿勢調整手段18.24の詳細については
、後述する。
姿勢調整手段24の前記摺動台23と連結される部材(
後述する固定板51)には、第2図にも示す如く、前記
ベース11に突設されたブラケット27にスピンドル1
3の回転軸線と平行に螺合された長さ調整ねじ軸28が
挿通されている。調整ねじ軸2日には前記部材を挟んだ
両側位置に鍔28A、28Bが形成され、この外側の鍔
28Aと前記部材との間にはその部材を介して摺動台2
3をコレットチャック19側へ付勢するばね29が介装
されている。従って、調整ねし軸28を螺合、調整する
と、摺動台23つまりその上に設けられた姿勢調整手段
24および支軸25をコレットチャック19に対して進
退させることができ、かつ被測定ねじ1の他端を押す力
をばね29によって一定に保つことができる。
また、ベース11の上面後部側には、前記スピンドル1
3の回転軸線と平行にガイドバー31が設けられ、この
ガイドバー31に沿って可動枠32が移動可能に設けら
れている。ガイドバー31の上面および前後面とこれら
の面に対向する可動枠32の各面との間には、エアーヘ
アリング機構が設けられている。エアーヘアリング機構
は、ガイドバー31側からエアーを噴出させ、このエア
ーを可動枠32の各面で受ける形式である。本実施例で
は、このエアーベアリング機構、ガイドバー31および
可動枠32から案内手段33を構成している。
可動枠32の上面には、一対のガイド34を介して支持
プレート35が水平にかつ前記スピンドル13の回転軸
線に対して直角方向へ進退自在に設けられている。支持
プレート35の後端にはL型金具36が取り付けられ、
このL型金具36には可動枠32上のブラケット37に
回動自在に支持された調整ねし38が螺合され−でいる
。従って、調整ねし38の螺合調整により支持プレート
35を被測定ねじ1に対して直角方向へ進退させること
ができる。
支持プレート35の前端には、測定子保持手段39を介
して被測定ねじ1のフランクに接触される測定子40を
有するアーム41が取り付けられている。測定子40は
、断面円形の円柱状体で、アーム41にスピンドル13
の回転軸線と平行な面内でかつその回転軸線と直交する
軸線に対して被測定ねじ1のリード周分傾斜して取り付
けられている。測定子保持手段39は、スピンドル13
の回転軸線および測定子の軸線に対して直交する方向、
つまりスピンドル13の回転軸線に対して直角でかつ水
平方向へ測定子40の往復移動を許容するとともに、測
定子40の姿勢を保持するよう構成されている。
また、可動枠32の後面とベース11に固定されたブラ
ケット42との間には、可動枠32の移動量つまり被測
定ねじ1の軸方向移動量を検出する送り51検出器43
が設けられている。送り量検出器43は、可動枠32の
後面に取り付けられかつその移動方向に光反射部と非光
反射部とが所定ピッチ間隔で交互に設けられたに光学格
子を存するメインスケール44と、前記ブラケット42
にメインスケール44と一定の間隙をもって対向配置さ
れかつ光透過部と非光i3過部とが所定ピンチ間隔で交
互に設けられた光学格子を有するインデックススケール
45と、このインデックススケール45の前記メインス
ケール44とは反対側でこれらスケール44.45に光
を照射するとともに反射光を受光する図示しない投光器
および受光器とを含む。
送り量検出器43からの信号は、第3図に示す如く、増
幅器46を通じて演算回路47へ入力されている。演算
回路47は、前記送り量検出器43からの信号と前記ロ
ータリーエンコーダ5からの信号を基に被測定ねじ1の
リード誤差を演算し、その結果をプリンタや表示器等の
出力装置48から出力させる。本実施例では、ロータリ
ーエンコーダ15、送り量検出器46、増幅器46およ
び演算回路47から演算手段49を構成している。
第4図から第6図は前記一方の姿勢調整手段18の具体
的構成を示している。なお、他方の姿勢調整手段24に
ついては、基本的構成が同一のため、異なる点のみ文中
で説明するが、他の構成についての説明は省略する。
同姿勢調整手段18は、前記スピンドル13の他端にそ
の回転軸線に対して直角に取り付けられた略四角形状の
固定板5Iと、この固定板51に平行板ばね52を介し
て前記スピンドル13の回転軸線に対して直交する方向
へ変位可能に設けられた第1の可動板53と、この第1
の可動板53を固定板51に対してその変位方向の任意
の位置で固定する第1の固定手段54と、前記第1の可
動板53に平行板ばね55を介して前記スピンドル13
の回転軸線および第1の可動板53の変位方向に対して
それぞれ直交する方向へ変位可能に設けられかつ前記コ
レットチャック19のシャンクを保持するスリーブを有
する第2の可動板56と、この第2の可動板56を第1
の可動板53に対してその変位方向の任意の位置で固定
する第2の固定手段57と、から構成されている。なお
、他方の姿勢調整手段24の場合には、固定板51の下
端が摺動台23に固定され、かつ第2の可動板56に支
軸25がスピンドル13の回転軸線上に取り付けられて
いる。
前記平行板ばね52は、前記固定板51と第1の可動板
53との互いに平行な面間に固定金具61.62を介し
て固定されている。一方の固定金具61の中央には、や
や外方へ突出した後、他方の固定金具62の外側までL
字型に延びる支持アーム63が一体的に形成されている
。支持アーム63の自由端部には、前記他方の固定金具
62に当接する調整ねじ64が螺合されているとともに
、この調整ねじ64を通るスリット65をまたいで締付
ねじ66が螺合されている0本実施例では、支持アーム
63、調整ねじ64、スリット65および締付ねじ66
から前記第1の固定手段54を構成している。
また、前記平行板ばね55は、前記第1の可動板53と
第2の可動板56との互いに平行な面間に固定金具71
.72を介して固定されている。
一方の固定金具71の中央には、やや外方へ突出した後
、他方の固定金具72の外側までL字型に延びる支持ア
ーム73が一体的に形成されている。
支持アーム73の自由端部には、前記他方の固定金具7
2に当接する調整ねじ74が螺合されているとともに、
この調整ねじ74を通るスリット75をまたいで締付ね
じ76が螺合されている。本実施例では、支持アーム7
3、調整ねじ74、スリット75および締付ねじ76か
ら前記第2の固定手段57を構成している。
第7図および第8図は前記測定子保持手段39の具体的
構成を示している。
同測定子保持手段39は、前記支持プレート35の前端
部下面に固定された固定板81と、この固定板81に平
行板ばね82を介して前記スピンドル13の回転軸線に
対して直交する方向でかつ水平方向へ変位可能に設けら
れかつ前記アーム41を有する可動板83と、各平行板
ばね82の両面側に固定されかつ上下端縁を各平行板ば
ね82の上下端固定部材、つまり固定板81と固定金具
84および可動板83と固定金具85とにそれぞれ線接
触するようにくさび状に切欠いたエツジ部86としたス
ペーサ87と、可動板83を被測定ねし1へ向かつて付
勢するとともにその付勢力を可変可能な測定圧調整a横
88と、から構成されている。なお、アーム41に設け
られる前記測定子40は、アーム41の切欠41A内に
かつ平行板ばね82の幅方向中央位置に設けられている
従って、可動板83は、平行板ばね82の作用によって
スピンドル13の回転軸線および測定子40の軸線に対
して直交する方向、つまりスピンドル13の回転軸線に
たいして直交しかつ水平方向への往復動が許容される。
本実施例では、固定板81、平行板ばね82および可動
板83により往復動許容手段89が構成されている。ま
た、可動板83の往復動時にあっても、スペーサ87の
エツジ部86が固定板81、可動板83および固定金具
84.85に対して線接触しているので、スペーサ87
のエツジ部86によって往復動許容手段89で許容され
ている以外の方向への測定子40の移動が阻止される、
つまり測定子4oの姿勢が保持される傾斜防止手段9o
が構成されている。
測定圧調整機構88は、前記固定板81に固定された取
付部材91と、この取付部材91に被測定ねじ1の方向
へかつそれと直角に螺合された調整ねじ92と、この調
整ねじ92と可動板83に突設された受部材93との間
に挿入されたばね94とから構成されている。
次に、本実施例の作用を説明する。
測定に当たって、コレットチャック19に被測定ねじ1
の一端をチャックし、被測定ねじ1の他端に支軸25の
鋼球26を当接させる。これには、長さ調整ねし軸2日
の螺合調整により摺動台23を固定台22のガイドレー
ル21に沿って進退させ、支軸25の鋼球26を被測定
ねし1の他端に当接させる。このとき、ばね29が僅か
圧縮される状態としておく。
ここで、被測定ねしlの中心軸線がスピンドル13の回
転軸線に対して偏心している場合には、両姿勢調整手段
18.24を調整する。姿勢調整手段18.24の調整
に当たっては、第1の固定手段54の調整ねし64を調
整して第1の可動板53をスピンドル13の回転軸線に
対して直交方向へ進退させるとともに、第2の固定手段
57の調整ねじ74を調整して第2の可動板56をスピ
ンドル13の回転軸線および第1の可動板53の変位方
向に対してそれぞれ直交する方向へ変位させ、被測定ね
じ1の中心軸線をスピンドル13の回転軸線に一致させ
る。この際、コレットチャック19および支軸25がス
ピンドル13の回転軸線に対して直交する面内で互いに
直交する2軸方向へ平行移動すると、平行板ばね52.
55の変形によってコレットチャック19および支軸2
5の軸方向位置が僅か変化するが、ばね29の作用によ
って摺動台23が軸方向へ移動するので、被測定ねじ1
の軸方向への押圧力は常に一定に保たれる。
次に、調整ねじ3日の螺合、調整により支持プレート3
5を被測定ねし1に対して進退させ、測定子40を被測
定ねじ1のフランクに接触させる。
この際、測定圧調整機構88の調整ねじ92を調整して
ばね94による測定圧を調整しておく。
さて、以上の準備作業終了後、測定を1始する。
モータ17を駆動させると、そのモータ17の回転がヘ
ルド16を介してスピンドル13に伝達すれる。すると
、被測定ねじ1が回転する。
被測定ねじ1が回転すると、その被測定ねじlのフラン
クに接触した測定子40を介して可動枠32がガイドバ
ー31に沿って移動する。すると、可動枠32の移動量
が送り量検出器43で検出されるとともに、スピンドル
13の回転角つまり被測定ねじ1の回転角がロータリー
エンコーダ15で検出されるので、演算回路47におい
て両信号から被測定ねし1のリード誤差が求められる。
従って、本実施例によれば、スピンドル13とコレット
チャック19との間および摺動台23と支軸25との間
にコレットチャック19および支軸25をスピンドル1
3の回転軸線に対して直交しかつ互いに直交する2軸方
向へ変位可能かつ固定可能に保持する姿勢調整手段18
.24をそれぞれ設けたので、被測定ねじ1の中心軸線
をスピンドル13の回転軸線に容易にかつ正確に−敗さ
セることができる。よって、測定誤差を生じることがな
いから高精度な測定を行える。しかも、被測定ねし1の
両端側に姿勢調整手段18.24を設けたことは、それ
ぞれの調整量が2で済み、単に一端側のみに設けた場合
に対して各姿勢調整手段18.24の変位量を2にする
ことができる。
特に、姿勢調整手段18.24は平行板ばね52.55
を利用したので、応力が比較的小さい状態で変位を大き
くとることができ、円滑かつ高精度な位置調整が期待で
きるとともに、小型化が可能で経済的にも有利である。
しかも、平行板ばね52.55の変形に伴うコレットチ
ャック19および支軸25の被測定ねし1の軸方向位置
の変化をばね29の作用による摺動台23の移動によっ
て対応させるようにしたので、被測定ねじ1に対して常
に一定の軸方向の押圧力を与えることができるとともに
、調整も極めて簡易である。
さらに、被測定ねじ1の一端を支持する一方の支持手段
をコレットチャック19としたので、小径の被測定ねじ
1でも正確かつ確実に支持することができる。
また、測定子40をスピンドル13の回転軸線と平行な
面内でかつその回転軸線と交差する方向へ延びる柱状体
とするとともに、スピンドル13の回転軸線および測定
子40の軸線に対して直交する方向へ測定子40の往復
移動を許容し、かつ測定子40の姿勢を保持する測定子
保持手段39を設けたので、被測定ねし1の中心軸線と
測定子40の移動方向との平行度が保たれていない場合
でも、その被測定ねし1のリード誤差を高精度に1測定
できる。
特に、測定子40の往復動を平行板ばね82を利用して
行うようにしたので、測定子40の姿勢を常に同一姿勢
に保つことができる。よって、測定子40と被測定ねし
1のフランクとの接触が常に同一条件に保たれているの
で、高精度な測定が達成できる。しかも、平行板ばね8
2の変形に伴って測定子40が僅か上下動しても、測定
子40は円柱状体であるので、測定誤差を生じることが
ない。このことは、径の異なる被測定ねじ1についても
高精度な測定が達成できる利点がある。
しかも、各平行板ばね82の両面にスペーサ87を固定
し、このスペーサ87の両端部を各平行板ばね82の固
定端に対して線接触するエツジ部86としたので、各平
行板ばね82にねじれが生じることがないから、この点
からも高精度測定を保証できる。さらに、支持プレート
35を調整ねじ38によって被測定ねじ1に対して進退
させるようにしたので、容易に径の異なる被測定ねじ1
に対応させることができ、また、測定圧の調整も可能で
ある。
さらに、可動枠32とガイドバー31との間にエアーベ
アリング機構を用いたので、可動枠32の円滑かつ正確
な移動を保障できる。よって、可動枠32の抵抗のない
移動、つまり正確な測定が可能である。しかも、可動枠
32とブラケット42との間に光学反射式の送り量検出
器43を設けたので、従来のレーザ干渉計等と比べ安価
にでき、特に可動枠32に余計な部材を搭載する必要が
ないので、この点からも高精度測定を保障できる。
なお、実施に当たって、被測定ねじ1の一端を支持する
一方の支持手段としては、上記実施例で述べたコレット
チャック19でなくてもよく、要するに被測定ねじ1の
一端を支持しつつ回転を伝達させるものであればいずれ
でもよい。同様に、他方の支持手段についても、上記例
に限られるものでなく、逆にコレットチャックあるいは
■ブロック等でもよい。
また、姿勢調整手段18.24としては、上記実施例の
構成に限られるものでなく、例えば固定板51に対して
第1の可動板53を送りねじ等により摺動自在に設け、
この第1の可動板53に第2の可動板56を送りねじ等
により第1の可動板53の摺動方向とは直角方向へ摺動
自在に設けたものでもよい。
また、案内手段33としては、上記実施例で述べたエア
ーベアリング機構を用いるものに限られるものでなく、
要するに測定子保持手段39をスピンドル13の回転軸
線方向へ円滑に移動できるものであればよい。
また、上記実施例では、スピンドル13の回転角をロー
タリーエンコーダ15によって検出するようにしたが、
モータ17または被測定ねじ1の回転角を直接検出する
ようにしてもよい。
また、第9図に示す如く、支持プレート35と測定子保
持手段39との間に、往復CJ許容手段89で許容され
る測定子40の移動方向と平行な軸線、つまりスピンド
ル13の回転軸線と直交しかつ水平方向の軸線を中心と
して測定子保持手段39側を回動させる回動機構101
を設けるようにしてもよい。この回動機構101は、支
持プレート35に固定された筒体102と、この筒体1
02に回動可能かつ締付ねじ103によって固定可能に
挿入され前記測定子保持手段39を有する軸体104と
から構成されている。このようにすると、第10図に示
す如く、測定子40をスピンドル13の回転軸線と平行
な面内において傾斜させることができるので、リード角
の異なる種々の被測定ねし、特に比較的ピンチが大きい
被測定ねじlの測定も可能である。
〔発明の効果〕
以上の通り、本発明によれば、被測定ねじの偏心回転お
よび被測定ねじの中心軸線と測定子の移動方向との平行
度に関連する問題を共に解消し、被測定ねじのリード誤
差を高精度に測定できるねじり一ド測定装置を従供でき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図から第8図は本発明の一実施例を示すもので、第
1図は全体を示す平面図、第2図は他方の姿勢調整手段
と摺動台との連結部を示す正面図、第3図は測定装置の
回路構成を示すブロック図、第4図は姿勢調整手段を示
す斜視図、第5図は同上手段の平面図、第6図は同上手
段の正面図、第7図は測定子保持手段を示す斜視図、第
8図は同上手段の側面図である。第9図は本発明の他の
実施例を示す斜視図、第10図はその測定状態を示す正
面図である。第11図は従来の測定装置による問題点を
説明するための図である。 1・・・被測定ねじ、11・・・ベース、13・・・ス
ピンドル、15・・・ロータリーエンコーダ、17・・
・モータ、18.24・・・姿勢調整手段、19・・・
コレットチャック、25・・・支軸、32・・・可動枠
、33・・・案内手段、39・・・測定子保持手段、4
0・・・測定子、43・・・送り量検出器、49・・・
演算手段、51・・・固定板、52・・・平行板ばね、
53・・・第1の可動板、54・・・第1の固定手段、
55・・・平行板ばね、56・・・第2の可動板、57
・・・第2の固定手段、81・・・固定板、82・・・
平行板ばね、83・・・可動板、86・・・エツジ部、
87・・・スペーサ、89・・・往復動許容手段、90
・・・傾斜防止手段。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)駆動手段によって回転されるスピンドルに設けら
    れ被測定ねじの一端を支持する一方の支持手段と、 被測定ねじの他端を支持するベースに設けられた他方の
    支持手段と、 この両支持手段に支持された被測定ねじのフランクに接
    触される測定子を保持する測定子保持手段と、 この測定子保持手段を前記スピンドルの回転軸線と平行
    な方向へ移動可能に案内する案内手段と、前記駆動手段
    、スピンドルまたは被測定ねじの回転角を検出する回転
    角検出器および前記測定子保持手段の移動量を検出する
    送り量検出器を含み、この両検出器からの信号を基に被
    測定ねじのリード誤差を測定する演算手段と、を備え、 前記一方の支持手段とスピンドルとの間および前記他方
    の支持手段とベースとの間の少なくとも一方の間に、前
    記スピンドルの回転軸線に対して直交しかつ互いに直交
    する二軸方向へ支持手段を変位可能かつ固定可能に保持
    する姿勢調整手段を設けるとともに、 前記測定子を、前記スピンドルの回転軸線と平行な面内
    でかつその回転軸線と交差する方向へ延びる柱状体とす
    るとともに、前記測定子保持手段を、前記スピンドルの
    回転軸線および測定子の軸線に対して直交する方向へ測
    定子の往復移動を許容する往復動許容手段と、測定子の
    姿勢を保持する傾斜防止手段とを含んで構成した、 ことを特徴とするねじリード測定装置。
  2. (2)特許請求の範囲第1項において、前記姿勢調整手
    段は、前記スピンドルまたはベースに固定された固定板
    と、この固定板に平行板ばねを介して前記スピンドルの
    回転軸線に対して直交する方向へ移動可能に設けられた
    第1の可動板と、この第1の可動板を前記固定板に対し
    てその移動方向の任意の位置で固定する第1の固定手段
    と、前記第1の可動板に平行板ばねを介して前記スピン
    ドルの回転軸線および第1の可動板の移動方向に対して
    それぞれ直交する方向へ移動可能に設けられかつ前記支
    持手段を有する第2の可動板と、この第2の可動板を前
    記第1の可動板に対してその移動方向の任意の位置で固
    定する第2の固定手段とから構成されたことを特徴とす
    るねじリード測定装置。 (2)特許請求の範囲第1項または第2項において、前
    記測定子の形状を円柱状としたことを特徴とするねじリ
    ード測定装置。
  3. (3)特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに
    おいて、前記往復動許容手段は、前記案内手段によって
    移動可能に案内される可動枠に固定された固定板と、こ
    の固定板に平行板ばねを介して前記スピンドルの回転軸
    線および測定子の軸線に対して直交する方向へ変位可能
    に設けられかつ前記測定子を有する可動板とから構成さ
    れ、かつ、前記傾斜防止手段は前記各平行板ばねの両面
    側に固定されかつ両端のエッジ部が各板ばねの固定部材
    に線接触するスペーサにより構成された、ことを特徴と
    するねじリード測定装置。
JP22917886A 1986-09-27 1986-09-27 ねじリ−ド測定装置 Pending JPS6383603A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22917886A JPS6383603A (ja) 1986-09-27 1986-09-27 ねじリ−ド測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22917886A JPS6383603A (ja) 1986-09-27 1986-09-27 ねじリ−ド測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6383603A true JPS6383603A (ja) 1988-04-14

Family

ID=16888016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22917886A Pending JPS6383603A (ja) 1986-09-27 1986-09-27 ねじリ−ド測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6383603A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005205572A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Mitsutoyo Corp ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005205572A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Mitsutoyo Corp ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機
JP4722400B2 (ja) * 2004-01-26 2011-07-13 株式会社ミツトヨ ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4991305A (en) Spectacle-lens-frame configuration measuring apparatus and article configuration measuring apparatus
US5219379A (en) Angular alignment assembly
US6677691B2 (en) Stage apparatus and method of using the same
JP2006194909A (ja) 表面性状測定機
JP5317549B2 (ja) カムプロファイル測定装置
US4228595A (en) Tool setting gage
JP3564637B2 (ja) 粗さ測定装置
US6622571B2 (en) Apparatus for measuring tension and stress capable of adjusting an angle of measurement
JP3256124B2 (ja) 形状測定機
US1389381A (en) Taper-gaging caliper
JP2723549B2 (ja) ねじリード測定装置
JPS6383603A (ja) ねじリ−ド測定装置
US4614038A (en) Head for measuring diameters of cylindrical parts
JPS6383601A (ja) ねじリ−ド測定装置
JPS6383602A (ja) ねじリ−ド測定装置
US3812591A (en) Multifunction thread gage
US2348530A (en) Gauge
GB2078902A (en) Feedscrew device
CN110686634A (zh) 一种回转轴线几何精度检测所用位移传感器微调装置
JPS5890101A (ja) 三次元測定機
US4112580A (en) Device for determining angles
JP3166464B2 (ja) 測尺装置
JPH0240488Y2 (ja)
JP4478278B2 (ja) ボールねじ検査装置
JPH0262901A (ja) 外径測定装置