JP2001027501A - 座標測定機のフィーラーの重量を測定するための方法 - Google Patents
座標測定機のフィーラーの重量を測定するための方法Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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- B25J9/1628—Programme controls characterised by the control loop
- B25J9/1638—Programme controls characterised by the control loop compensation for arm bending/inertia, pay load weight/inertia
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
- G01B3/008—Arrangements for controlling the measuring force
-
- G—PHYSICS
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 走査ヘッドと結合されているフィーラーの重
量を測定するための他の簡潔な方法を提供すること。 【解決手段】 制御装置を有している座標測定機の、該
座標測定機の走査ヘッド（１）と結合されているフィー
ラーの重量を測定するための方法。フィーラー（３）の
重量を、座標測定機によるフィーラーの運動を能動的に
制御せずに、有利には静力学的に測定し、その際フィー
ラー（３）または走査ヘッド（１）から制御装置（５
１）に信号を送る。
量を測定するための他の簡潔な方法を提供すること。 【解決手段】 制御装置を有している座標測定機の、該
座標測定機の走査ヘッド（１）と結合されているフィー
ラーの重量を測定するための方法。フィーラー（３）の
重量を、座標測定機によるフィーラーの運動を能動的に
制御せずに、有利には静力学的に測定し、その際フィー
ラー（３）または走査ヘッド（１）から制御装置（５
１）に信号を送る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査ヘッドに結合
されている座標測定機のフィーラーの重量を測定するた
めの方法に関する。
されている座標測定機のフィーラーの重量を測定するた
めの方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえばドイツ連邦共和国特許公開第１
９７５３３０３Ａ号公報から、フィーラーの重量を考慮
して座標測定機を制御するための方法が知られている。
フィーラーの重量を測定するため、走査ヘッドの軌道加
速度が求められる。走査ヘッドの軌道加速度は、測定さ
れた走査ヘッドの位置の時間的変化を導出することから
求められ、或いは目標値を導出することから求められ
る。
９７５３３０３Ａ号公報から、フィーラーの重量を考慮
して座標測定機を制御するための方法が知られている。
フィーラーの重量を測定するため、走査ヘッドの軌道加
速度が求められる。走査ヘッドの軌道加速度は、測定さ
れた走査ヘッドの位置の時間的変化を導出することから
求められ、或いは目標値を導出することから求められ
る。
【０００３】この文献からは、フィーラーの重量を測定
するための別の動力学的方法が知られている。その方法
では、フィーラーが円軌道上を案内され、その際フィー
ラーを力で付勢することにより、フィーラーが静止状態
で占める静止位置でフィーラーは水平方向に関して保持
される。フィーラーを静止位置で保持するために必要な
力から、フィーラーの重量が測定される。
するための別の動力学的方法が知られている。その方法
では、フィーラーが円軌道上を案内され、その際フィー
ラーを力で付勢することにより、フィーラーが静止状態
で占める静止位置でフィーラーは水平方向に関して保持
される。フィーラーを静止位置で保持するために必要な
力から、フィーラーの重量が測定される。
【０００４】すでに前記ドイツ連邦共和国特許公開第１
９７５３３０３Ａ号公報に記載されているように、フィ
ーラーの重量の測定は取り付け状態で行なうのが有利で
ある。なぜなら、取り付け状態では一定の重量がすでに
系内に存在し、したがって利用者側の入力ミスが阻止さ
れているからである。他方フィーラーの重量は、作動の
ために設定された構成において決定される。しかし動力
学的方法の欠点は、検出された値に大きな測定ミスが伴
うことである。
９７５３３０３Ａ号公報に記載されているように、フィ
ーラーの重量の測定は取り付け状態で行なうのが有利で
ある。なぜなら、取り付け状態では一定の重量がすでに
系内に存在し、したがって利用者側の入力ミスが阻止さ
れているからである。他方フィーラーの重量は、作動の
ために設定された構成において決定される。しかし動力
学的方法の欠点は、検出された値に大きな測定ミスが伴
うことである。
【０００５】通常、座標測定機は、被測定物に依存して
選定される種々のフィーラーを使って作動させることが
できる。座標測定機の操作者自身はその必要性に適合す
るようにフィーラーを構成することが多い。座標測定機
または座標測定器の提供者の立場にたてば、座標測定機
を制御する時点ですでにフィーラーの重量を考慮するこ
とは原理的には可能であるが、これは操作者にとっては
かなりの制限を意味することになる。操作者は、座標測
定機の製造者から提供された限られた数量のフィーラー
を使用するしかない。しかしこのようなかなりの制限は
決して望ましいものではない。
選定される種々のフィーラーを使って作動させることが
できる。座標測定機の操作者自身はその必要性に適合す
るようにフィーラーを構成することが多い。座標測定機
または座標測定器の提供者の立場にたてば、座標測定機
を制御する時点ですでにフィーラーの重量を考慮するこ
とは原理的には可能であるが、これは操作者にとっては
かなりの制限を意味することになる。操作者は、座標測
定機の製造者から提供された限られた数量のフィーラー
を使用するしかない。しかしこのようなかなりの制限は
決して望ましいものではない。
【０００６】座標測定器の操作者の立場にたてば、自分
固有のフィーラーを使用できる自由があるのが望まし
い。しかしながら、座標測定機の高い測定精度を保証で
きるようにするには、特に被測定表面の発進速度が高速
の場合に高い測定精度を保証できるようにするには、現
在使用しているフィーラーの重量を可能な限り正確に検
知して、発進速度に応じて発生する遠心力を補正できる
ようにする必要がある。
固有のフィーラーを使用できる自由があるのが望まし
い。しかしながら、座標測定機の高い測定精度を保証で
きるようにするには、特に被測定表面の発進速度が高速
の場合に高い測定精度を保証できるようにするには、現
在使用しているフィーラーの重量を可能な限り正確に検
知して、発進速度に応じて発生する遠心力を補正できる
ようにする必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、走査
ヘッドと結合されているフィーラーの重量を測定するた
めの他の簡潔な方法を提供することである。
ヘッドと結合されているフィーラーの重量を測定するた
めの他の簡潔な方法を提供することである。
【０００８】さらに本発明の課題は、フィーラーの重量
を検出する際の精度を向上させることである。
を検出する際の精度を向上させることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記本発明の課題は、制
御装置を有している座標測定機の、該座標測定機の走査
ヘッドと結合されているフィーラーの重量を測定する方
法において、フィーラーの重量を、座標測定機によるフ
ィーラーの運動を能動的に制御せずに、静力学的に、或
いは自由動力学的に測定し、その際フィーラーまたは走
査ヘッドから制御装置に信号を送ることを特徴とする方
法により解決される。
御装置を有している座標測定機の、該座標測定機の走査
ヘッドと結合されているフィーラーの重量を測定する方
法において、フィーラーの重量を、座標測定機によるフ
ィーラーの運動を能動的に制御せずに、静力学的に、或
いは自由動力学的に測定し、その際フィーラーまたは走
査ヘッドから制御装置に信号を送ることを特徴とする方
法により解決される。
【００１０】フィーラーまたは走査ヘッドから制御装置
に供給される信号を用いてフィーラーの重量を測定する
という手段により、測定精度を向上させることができ
た。この場合、制御装置にフィーラーまたは走査ヘッド
から信号が送られ、重量を測定している間、フィーラー
は座標測定機により制御されて運動を実施することはな
い。
に供給される信号を用いてフィーラーの重量を測定する
という手段により、測定精度を向上させることができ
た。この場合、制御装置にフィーラーまたは走査ヘッド
から信号が送られ、重量を測定している間、フィーラー
は座標測定機により制御されて運動を実施することはな
い。
【００１１】高精度のフィーラー重量測定を保証できる
ようにするためには、フィーラーの重量を静力学的にま
たは自由動力学的に測定するのが有利であることが明ら
かとなった。静力学的な測定の場合、フィーラーは測定
中１つの位置に留まり、自由動力学的測定の場合には、
フィーラーは偏位位置から静止位置へ戻り、外部の力、
すなわち走査ヘッドによる力がフィーラーに作用するこ
とはない。
ようにするためには、フィーラーの重量を静力学的にま
たは自由動力学的に測定するのが有利であることが明ら
かとなった。静力学的な測定の場合、フィーラーは測定
中１つの位置に留まり、自由動力学的測定の場合には、
フィーラーは偏位位置から静止位置へ戻り、外部の力、
すなわち走査ヘッドによる力がフィーラーに作用するこ
とはない。
【００１２】フィーラーの重量を静力学的に測定する場
合、経時的に検出した値を考慮することができ、これに
より測定精度が向上する。また静力学的測定の場合、走
査ヘッドの構成に起因するような、温度に依存した緩衝
作用が発生することはない。
合、経時的に検出した値を考慮することができ、これに
より測定精度が向上する。また静力学的測定の場合、走
査ヘッドの構成に起因するような、温度に依存した緩衝
作用が発生することはない。
【００１３】走査ヘッドにより導入される力と静止位置
とは異なる占有位置（偏位とも呼ばれる）とを簡単に関
係づけることにより、力と距離の比からフィーラーの重
量を求めることができる。個々の有利な実施の形態で
は、フィーラーは所定の力で付勢され、これにより、占
有していた偏位位置から、校正曲線に関連して直接フィ
ーラーの重量を求めることができる。
とは異なる占有位置（偏位とも呼ばれる）とを簡単に関
係づけることにより、力と距離の比からフィーラーの重
量を求めることができる。個々の有利な実施の形態で
は、フィーラーは所定の力で付勢され、これにより、占
有していた偏位位置から、校正曲線に関連して直接フィ
ーラーの重量を求めることができる。
【００１４】フィーラーに、付勢力を電気信号に変換す
る素子を付設するのが有利であることが明らかとなっ
た。これに適切な素子としては、特に、安価で信頼性の
ある圧電素子であることが判明した。この圧電素子は内
部剛性が大きく、これにより、Ｚ成分に関する測定値の
望ましくない変造が生じることはない。
る素子を付設するのが有利であることが明らかとなっ
た。これに適切な素子としては、特に、安価で信頼性の
ある圧電素子であることが判明した。この圧電素子は内
部剛性が大きく、これにより、Ｚ成分に関する測定値の
望ましくない変造が生じることはない。
【００１５】前記変換素子を中間接続してフィーラーを
走査ヘッドと結合させるのが有利であることが明らかと
なった。このようにすると、フィーラーの取り付けの終
了とともにフィーラーの重量を特徴づける信号を制御装
置に送ることができる。この場合、変換素子は走査ヘッ
ドと走査ヘッド秤量ユニットの間に配置される。この変
換素子は、境界を接している構成部材とたとえば接着、
ねじ止め等により固定連結されているロードセルに付設
されている。
走査ヘッドと結合させるのが有利であることが明らかと
なった。このようにすると、フィーラーの取り付けの終
了とともにフィーラーの重量を特徴づける信号を制御装
置に送ることができる。この場合、変換素子は走査ヘッ
ドと走査ヘッド秤量ユニットの間に配置される。この変
換素子は、境界を接している構成部材とたとえば接着、
ねじ止め等により固定連結されているロードセルに付設
されている。
【００１６】フィーラーの重量を測定するためのゼロ位
置からの偏位が、フィーラーの重量に対する信号値の適
当な校正曲線を備えた制御装置にファイルされている
と、送られてくる信号に依存して直接フィーラーの重量
を求めることができる。なおゼロ位置とは、フィーラー
が受容されていないときに走査ヘッドが占める位置であ
る。
置からの偏位が、フィーラーの重量に対する信号値の適
当な校正曲線を備えた制御装置にファイルされている
と、送られてくる信号に依存して直接フィーラーの重量
を求めることができる。なおゼロ位置とは、フィーラー
が受容されていないときに走査ヘッドが占める位置であ
る。
【００１７】フィーラーの固有重量を補正するための補
正ばねを備えた走査ヘッドの場合には、フィーラーの重
量を測定するために補正ばねの偏位量を考慮するのが有
利であることが判明した。この種の補正ばねは第１の懸
架点を有し、この第１の懸架点はたとえば付設の電動機
を制御することにより鉛直方向に移動可能であり、その
際、第２の懸架点はフィーラーと作用結合している。特
に、標準部品として入手可能な、増分検出器を備えた電
動機を設けることができるので、フィーラーの固有重量
を補正するために電動機を制御する際に検出される増分
によりフィーラーの重量が測定される。
正ばねを備えた走査ヘッドの場合には、フィーラーの重
量を測定するために補正ばねの偏位量を考慮するのが有
利であることが判明した。この種の補正ばねは第１の懸
架点を有し、この第１の懸架点はたとえば付設の電動機
を制御することにより鉛直方向に移動可能であり、その
際、第２の懸架点はフィーラーと作用結合している。特
に、標準部品として入手可能な、増分検出器を備えた電
動機を設けることができるので、フィーラーの固有重量
を補正するために電動機を制御する際に検出される増分
によりフィーラーの重量が測定される。
【００１８】或いは、電動機が調整距離を検知するセン
サ装置を有していない場合には、フィーラーの重量を測
定するため、フィーラーの重力によるｚ方向の偏位を検
知し、フィーラーの重力によるｚ方向の偏位を、設けら
れた位置調整装置を電流で付勢することによって短時間
補正し、これにより、偏位を特徴づける電流が検出され
る。校正曲線があれば、電流からフィーラーの重量を求
めることができる。
サ装置を有していない場合には、フィーラーの重量を測
定するため、フィーラーの重力によるｚ方向の偏位を検
知し、フィーラーの重力によるｚ方向の偏位を、設けら
れた位置調整装置を電流で付勢することによって短時間
補正し、これにより、偏位を特徴づける電流が検出され
る。校正曲線があれば、電流からフィーラーの重量を求
めることができる。
【００１９】ｚ方向に関する走査ヘッドのばね定数が既
知であれば、すなわち重力の作用方向が既知であれば、
フィーラー受容後の走査ヘッドの偏位を検知することに
より直接フィーラーの重量を求めることができる。
知であれば、すなわち重力の作用方向が既知であれば、
フィーラー受容後の走査ヘッドの偏位を検知することに
より直接フィーラーの重量を求めることができる。
【００２０】フィーラーの重量を自由動力学的に測定す
る場合には、まずフィーラーは静止位置またはゼロ位置
から偏位し、この場合フィーラーはこの偏位位置から解
放されて静止位置へ戻り、すなわち座標測定機側からの
作用なしに戻り振動する。制御装置には、自由振動系の
固有振動数を特徴づける信号が送られる。検出した固有
振動数からフィーラーの重量を導出することができる。
これにより、フィーラーの重量を測定するための極めて
簡潔な方法が提供される。この方法では、占有された偏
位位置が既知である必要はなく、偏位に必要な力を検知
することが必要である。偏位の大きさは、自由振動系の
振動時間を所要の精度で決定できる程度で、場合によっ
てはいくつかの振動時間を検出することにより所要の精
度で決定できる程度で十分である。
る場合には、まずフィーラーは静止位置またはゼロ位置
から偏位し、この場合フィーラーはこの偏位位置から解
放されて静止位置へ戻り、すなわち座標測定機側からの
作用なしに戻り振動する。制御装置には、自由振動系の
固有振動数を特徴づける信号が送られる。検出した固有
振動数からフィーラーの重量を導出することができる。
これにより、フィーラーの重量を測定するための極めて
簡潔な方法が提供される。この方法では、占有された偏
位位置が既知である必要はなく、偏位に必要な力を検知
することが必要である。偏位の大きさは、自由振動系の
振動時間を所要の精度で決定できる程度で、場合によっ
てはいくつかの振動時間を検出することにより所要の精
度で決定できる程度で十分である。
【００２１】この振動系においては、フィーラーを設け
ていない振動系の固有振動数を考慮し、フィーラーを取
り付けたときの固有振動数の変化からフィーラーの重量
を推定することにより、フィーラーの重量を求めるのが
有利であることが判明した。固有振動数の変化から、有
利には制御装置に付設されたデータメモリにファイルさ
れている校正曲線を用いて、フィーラーの重量を決定す
る。校正曲線がファイルされていることにより、特に、
重量測定に必要な演算コストを削減できる。
ていない振動系の固有振動数を考慮し、フィーラーを取
り付けたときの固有振動数の変化からフィーラーの重量
を推定することにより、フィーラーの重量を求めるのが
有利であることが判明した。固有振動数の変化から、有
利には制御装置に付設されたデータメモリにファイルさ
れている校正曲線を用いて、フィーラーの重量を決定す
る。校正曲線がファイルされていることにより、特に、
重量測定に必要な演算コストを削減できる。
【００２２】フィーラーの重量を可能な限り正確に測定
できるようにするには、固有振動数における振動時間Ｔ
がフィーラーの重量に依存して可能な限り大きく変化す
る必要がある。適当なばね定数はＣ＝Ｃ0±１０％であ
ることが明らかとなった。ここでＣ0＝２ｇ0／ｌ、ｌ＝
自由振動系の長さ、ｇ0＝フィーラーのない振動系の重
量である。
できるようにするには、固有振動数における振動時間Ｔ
がフィーラーの重量に依存して可能な限り大きく変化す
る必要がある。適当なばね定数はＣ＝Ｃ0±１０％であ
ることが明らかとなった。ここでＣ0＝２ｇ0／ｌ、ｌ＝
自由振動系の長さ、ｇ0＝フィーラーのない振動系の重
量である。
【００２３】有利な実施の形態では、振動系のばね定数
を選定するにあたって、フィーラーの評価重量ｇTが算
入される。したがってｇ＝ｇ0＋ｇTであり、
を選定するにあたって、フィーラーの評価重量ｇTが算
入される。したがってｇ＝ｇ0＋ｇTであり、
【００２４】
【数２】 および Ｃ＝Ｃ0±１０％ である。
【００２５】走査ヘッドを９０゜水平位置へ回動させる
ことにより走査ヘッドのばね定数を決定するのが有利で
あることが明らかとなった。この場合走査ヘッドは水平
面内を偏位し、その際偏位と必要な力との比からばね定
数が明らかになる。
ことにより走査ヘッドのばね定数を決定するのが有利で
あることが明らかとなった。この場合走査ヘッドは水平
面内を偏位し、その際偏位と必要な力との比からばね定
数が明らかになる。
【００２６】重量を測定するための優れた方法とは別に
他の利点もあり、すなわち使用されるフィーラーの重量
が既知である場合は、フィーラーの重量が最大値を越え
れば座標測定機による測定作業を行なわないようにする
ことによって、特に走査ヘッド内のばねシステムの過負
荷も阻止されるという利点もある。これにより同時に、
使用しているフィーラーがこの座標測定機の作業には適
していないことが利用者に知らされる。
他の利点もあり、すなわち使用されるフィーラーの重量
が既知である場合は、フィーラーの重量が最大値を越え
れば座標測定機による測定作業を行なわないようにする
ことによって、特に走査ヘッド内のばねシステムの過負
荷も阻止されるという利点もある。これにより同時に、
使用しているフィーラーがこの座標測定機の作業には適
していないことが利用者に知らされる。
【００２７】他の有利な処置は他の従属項に記載されて
いる。
いる。
【００２８】
【発明の実施の形態】次に、本発明を実施の形態を用い
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２９】まず図１を用いて、フィーラー３と固定連
結されている走査ヘッド１の基本構成を詳細に説明す
る。フィーラー３は、たとえば星形に配置される一連の
フィーラーピン５を有しており、４つの板ばね１３を有
しているばね平行四辺形部１５を介して板１１と結合さ
れている。板１１は、他の側で別のばね平行四辺形部９
を介してアングル部材１７に固定されており、前記別の
ばね平行四辺形部９の板ばね７は板ばね１３に対し９０
゜ずれて板１１に係合している。
結されている走査ヘッド１の基本構成を詳細に説明す
る。フィーラー３は、たとえば星形に配置される一連の
フィーラーピン５を有しており、４つの板ばね１３を有
しているばね平行四辺形部１５を介して板１１と結合さ
れている。板１１は、他の側で別のばね平行四辺形部９
を介してアングル部材１７に固定されており、前記別の
ばね平行四辺形部９の板ばね７は板ばね１３に対し９０
゜ずれて板１１に係合している。
【００３０】アングル部材１７は、水平方向に位置する
板ばね１９を有する第３のばね平行四辺形部２１を介し
て結合部材２３に懸架されている。結合部材２３は上部
部分２５に固定連結され、またはアングル部材１７に係
合している。遊びのない且つ摩擦のない３つの直線ガイ
ドシステムをこのようにねじれがないように連設するこ
とにより、デカルト座標系ｘ,ｙ,ｚが形成される。この
場合、たとえばアングル部材１７はｚ方向に平行に可動
で、板１１はｚ方向およびｘ方向に平行に可動であり、
フィーラー３を含めたフィーラーピックアップ４はｘ方
向、ｙ方向およびｚ方向に平行に可動である。
板ばね１９を有する第３のばね平行四辺形部２１を介し
て結合部材２３に懸架されている。結合部材２３は上部
部分２５に固定連結され、またはアングル部材１７に係
合している。遊びのない且つ摩擦のない３つの直線ガイ
ドシステムをこのようにねじれがないように連設するこ
とにより、デカルト座標系ｘ,ｙ,ｚが形成される。この
場合、たとえばアングル部材１７はｚ方向に平行に可動
で、板１１はｚ方向およびｘ方向に平行に可動であり、
フィーラー３を含めたフィーラーピックアップ４はｘ方
向、ｙ方向およびｚ方向に平行に可動である。
【００３１】走査ヘッド１の上部部分２５にはたとえば
３つの可動コイルシステム２８,３０,３２が配置され、
その環状隙間型磁石２７,２９,３１は上部部分で位置固
定して支持され、その可動コイル２８,３０,３２は中央
のゼロ位置から、可動コイル２８,３０,３２に供給され
る電流の電流方向に応じて磁石２７,２９,３１の環状隙
間内へ引き込まれ、或いはそこから引き出される。個々
の可動コイル２８,３０,３２への電流供給は選択的にオ
ンオフされ、或いは適宜電子的に制御装置５１により制
御され、付勢力を目的に応じて導入できるようになって
いる。可動コイル２８,３０,３２の運動は、上部部分２
５内で軸線３５のまわりに回転可能に支持されているレ
バー３３と、互いに弾性的に結合されている他の伝動要
素３７とを用いてフィーラーピックアップ４へ伝えられ
る。符号２７ないし３７で示した構成要素により、可動
コイルシステム３９が形成される。この可動コイルシス
テム３９により、コイル２８,３０,３２のうちの少なく
とも１つのコイルを予め決定される電流で付勢すること
によって、フィーラー３の付勢力を目的に応じてて導入
することができる。
３つの可動コイルシステム２８,３０,３２が配置され、
その環状隙間型磁石２７,２９,３１は上部部分で位置固
定して支持され、その可動コイル２８,３０,３２は中央
のゼロ位置から、可動コイル２８,３０,３２に供給され
る電流の電流方向に応じて磁石２７,２９,３１の環状隙
間内へ引き込まれ、或いはそこから引き出される。個々
の可動コイル２８,３０,３２への電流供給は選択的にオ
ンオフされ、或いは適宜電子的に制御装置５１により制
御され、付勢力を目的に応じて導入できるようになって
いる。可動コイル２８,３０,３２の運動は、上部部分２
５内で軸線３５のまわりに回転可能に支持されているレ
バー３３と、互いに弾性的に結合されている他の伝動要
素３７とを用いてフィーラーピックアップ４へ伝えられ
る。符号２７ないし３７で示した構成要素により、可動
コイルシステム３９が形成される。この可動コイルシス
テム３９により、コイル２８,３０,３２のうちの少なく
とも１つのコイルを予め決定される電流で付勢すること
によって、フィーラー３の付勢力を目的に応じてて導入
することができる。
【００３２】フィーラー３の運動は、走査ヘッド１内に
設けられているセンサ５３によって検知される。この実
施の形態では、センサとして、フィーラー３の運動を導
入するための可動コイルシステム３９に対応して、コイ
ル５５と磁石５７とを含む誘導性システムがセンサ５３
として設けられている。
設けられているセンサ５３によって検知される。この実
施の形態では、センサとして、フィーラー３の運動を導
入するための可動コイルシステム３９に対応して、コイ
ル５５と磁石５７とを含む誘導性システムがセンサ５３
として設けられている。
【００３３】走査ヘッド１には、被測定対象物に整合さ
せて選定される種々のフィーラー３を使用できる。これ
らのフィーラー３は、通常重量が異なっている。この重
量により生じるｚ方向への偏位を補正するため、走査ヘ
ッド１は補正ばね４１を備えている。補正ばね４１は、
フィーラーピックアップ４に係合している第１の懸架点
４３を有している。反対側の第２の懸架点４５は、鉛直
方向に移動可能な構成部材４４に係合している。図示し
た実施の形態では、この第２の懸架点４５は、走査ヘッ
ド１の上部部分２５内に位置固定して配置されるモータ
４７により駆動可能なねじスピンドル４９と作用結合し
ている。このねじスピンドル４９の回転運動から懸架点
４５の鉛直方向（ここではｚ方向）の運動が生じる。こ
の補正ばね４１はばね平行四辺形部２１に平行に接続さ
れている。
せて選定される種々のフィーラー３を使用できる。これ
らのフィーラー３は、通常重量が異なっている。この重
量により生じるｚ方向への偏位を補正するため、走査ヘ
ッド１は補正ばね４１を備えている。補正ばね４１は、
フィーラーピックアップ４に係合している第１の懸架点
４３を有している。反対側の第２の懸架点４５は、鉛直
方向に移動可能な構成部材４４に係合している。図示し
た実施の形態では、この第２の懸架点４５は、走査ヘッ
ド１の上部部分２５内に位置固定して配置されるモータ
４７により駆動可能なねじスピンドル４９と作用結合し
ている。このねじスピンドル４９の回転運動から懸架点
４５の鉛直方向（ここではｚ方向）の運動が生じる。こ
の補正ばね４１はばね平行四辺形部２１に平行に接続さ
れている。
【００３４】次に図２を用いて、その都度使用されるフ
ィーラー３の重量を測定するための方法について詳細に
説明する。
ィーラー３の重量を測定するための方法について詳細に
説明する。
【００３５】図示していない座標測定機が始動すると、
コイル２８,３０,３２の１つを制御または電流付勢する
ことにより、所定の力が導入され、この力によりフィー
ラー３が静止位置２から偏位する。この偏位はセンサ５
３により検知される。各運動方向に対して設けられてい
るばね平行四辺形部９,１５,２１により、フィーラー
３、すなわち被測定物の重心ＣＭは、偏位の際に図２に
示すような半径Ｒの円弧を描く。フィーラー３を通じて
作用する重力ＣＭは、垂直な成分Ｇと、ｘ,ｙ方向によ
り形成される面で延びる成分Ｆ1とに分解することがで
きる。小さな偏位角αに対しては、 ｔａｎλ≒λ＝Ｓ／Ｒ が適用される。ここでＲは、フィーラー３が偏位する円
弧の半径である。フィーラー３の重量から生じる復帰力
Ｆ1は、 Ｆ１＝Ｇ*ｔａｎλ＝Ｇ*Ｓ／Ｒ である。フィーラー３はばね平行四辺形部９,１５の１
つまたはいくつかのばね力に抗して偏位するので、さら
に、これらばね平行四辺形部９,１５の少なくとも１つ
の板ばね７,１３による弾性復帰力も作用する。この弾
性復帰力は Ｆc＝Ｃ＊Ｓ である。全復帰力は、 Ｆ＝Ｆ１＋Ｆc＝Ｇ＊Ｓ／Ｒ＋Ｃ＊Ｓ である。偏位点を占めると、フィーラー３の受容により
重量がΔＧだけ増大する。偏位Ｓを一定に保持するに
は、力をΔＦだけ増大させねばならない。
コイル２８,３０,３２の１つを制御または電流付勢する
ことにより、所定の力が導入され、この力によりフィー
ラー３が静止位置２から偏位する。この偏位はセンサ５
３により検知される。各運動方向に対して設けられてい
るばね平行四辺形部９,１５,２１により、フィーラー
３、すなわち被測定物の重心ＣＭは、偏位の際に図２に
示すような半径Ｒの円弧を描く。フィーラー３を通じて
作用する重力ＣＭは、垂直な成分Ｇと、ｘ,ｙ方向によ
り形成される面で延びる成分Ｆ1とに分解することがで
きる。小さな偏位角αに対しては、 ｔａｎλ≒λ＝Ｓ／Ｒ が適用される。ここでＲは、フィーラー３が偏位する円
弧の半径である。フィーラー３の重量から生じる復帰力
Ｆ1は、 Ｆ１＝Ｇ*ｔａｎλ＝Ｇ*Ｓ／Ｒ である。フィーラー３はばね平行四辺形部９,１５の１
つまたはいくつかのばね力に抗して偏位するので、さら
に、これらばね平行四辺形部９,１５の少なくとも１つ
の板ばね７,１３による弾性復帰力も作用する。この弾
性復帰力は Ｆc＝Ｃ＊Ｓ である。全復帰力は、 Ｆ＝Ｆ１＋Ｆc＝Ｇ＊Ｓ／Ｒ＋Ｃ＊Ｓ である。偏位点を占めると、フィーラー３の受容により
重量がΔＧだけ増大する。偏位Ｓを一定に保持するに
は、力をΔＦだけ増大させねばならない。
【数３】 及び
【数４】 したがって
【数５】 である。
【００３６】可動コイルを使用することにより、導入さ
れる力は、可動コイル２７がｘ方向に偏位するときに付
勢される電流Ｉまたは電圧Ｕに比例する。 ΔＦ＝Ｋ＊ΔＵ ここでＫは比例定数であり、よって ΔＧ＝Ｋ＊ΔＵ＊Ｒ／Ｓ である。Ｒは走査ヘッドの構成から既知であるので、一
定に偏位するように予め設定すると距離Ｓも定数であ
り、その結果、積Ｋ＊Ｒ／Ｓを１つの定数ｑにまとめる
ことができる。すなわち ΔＧ＝ｑ＊ΔＵ である。
れる力は、可動コイル２７がｘ方向に偏位するときに付
勢される電流Ｉまたは電圧Ｕに比例する。 ΔＦ＝Ｋ＊ΔＵ ここでＫは比例定数であり、よって ΔＧ＝Ｋ＊ΔＵ＊Ｒ／Ｓ である。Ｒは走査ヘッドの構成から既知であるので、一
定に偏位するように予め設定すると距離Ｓも定数であ
り、その結果、積Ｋ＊Ｒ／Ｓを１つの定数ｑにまとめる
ことができる。すなわち ΔＧ＝ｑ＊ΔＵ である。
【００３７】既知の重量をフィーラーピンピックアップ
４によって測定させるようにした校正測定により、この
定数ｇを決定することができる。したがって、測定され
る任意のフィーラー３による重量変化により、所定の偏
位点を維持させるために必要な電圧の変化に依存して、
直接フィーラー３の重量を求めることができる。
４によって測定させるようにした校正測定により、この
定数ｇを決定することができる。したがって、測定され
る任意のフィーラー３による重量変化により、所定の偏
位点を維持させるために必要な電圧の変化に依存して、
直接フィーラー３の重量を求めることができる。
【００３８】静止位置２からの偏位を、所定の力を導入
することにより求めるようにしてもよい。この場合に
は、偏位量Ｓが測定される。この測定量に基づいて、以
下に詳細に説明するようにフィーラーの重量ΔＧを決定
する。まず、１回の校正測定により、すべて同一に構成
され、空間的な調整方向だけが異なっているばね平行四
辺形部２１,１５,９のばね定数Ｃを決定する。特に、ば
ね平行四辺形部９のばね定数Ｃは簡単に決定でき、すな
わち走査ヘッド１を水平状態にし、１つの面または板上
で支持させて、たとえば可動コイル３２を電流で付勢す
ることによりｘ−ｙ平面に平行に偏位させれば前記ばね
定数Ｃを簡単に決定することができる。別のばね平行四
辺形部２１または１５のばね定数Ｃを決定するために、
水平面に平行な方向で偏位させてもよい。この場合、ば
ね平行四辺形部９,１５,２１に対するＣの値は、図示し
た実施の形態の場合、走査ヘッド１の構成によりすべて
の方向に対し同じ値であり、したがってばね定数の決定
は１つのばね平行四辺形部に関して行なえば十分であ
る。走査ヘッド１は水平面内を運動するので、フィーラ
ー３と走査ヘッド５の重量により水平支持面とフィーラ
ー３との間に生じる摩擦力を無視すれば、導入された力
に電流が比例しているので、可動コイル３１の電流付勢
から直接ばね定数を求めることができる。
することにより求めるようにしてもよい。この場合に
は、偏位量Ｓが測定される。この測定量に基づいて、以
下に詳細に説明するようにフィーラーの重量ΔＧを決定
する。まず、１回の校正測定により、すべて同一に構成
され、空間的な調整方向だけが異なっているばね平行四
辺形部２１,１５,９のばね定数Ｃを決定する。特に、ば
ね平行四辺形部９のばね定数Ｃは簡単に決定でき、すな
わち走査ヘッド１を水平状態にし、１つの面または板上
で支持させて、たとえば可動コイル３２を電流で付勢す
ることによりｘ−ｙ平面に平行に偏位させれば前記ばね
定数Ｃを簡単に決定することができる。別のばね平行四
辺形部２１または１５のばね定数Ｃを決定するために、
水平面に平行な方向で偏位させてもよい。この場合、ば
ね平行四辺形部９,１５,２１に対するＣの値は、図示し
た実施の形態の場合、走査ヘッド１の構成によりすべて
の方向に対し同じ値であり、したがってばね定数の決定
は１つのばね平行四辺形部に関して行なえば十分であ
る。走査ヘッド１は水平面内を運動するので、フィーラ
ー３と走査ヘッド５の重量により水平支持面とフィーラ
ー３との間に生じる摩擦力を無視すれば、導入された力
に電流が比例しているので、可動コイル３１の電流付勢
から直接ばね定数を求めることができる。
【００３９】フィーラー３を取り付ければばね平行四辺
形部のばね定数が既知であるので、ｚ方向において検知
した偏位に依存して直接フィーラー３の質量または重量
を求めることができる。可動コイル３１を電流付勢する
ことによりフィーラー３を短時間所定のゼロ位置６０に
位置決めするようにしてもよい。ゼロ位置６０は、フィ
ーラー３が受容されていなければ、フィーラーピックア
ップ４が占めるようにするのが有利である。このときに
必要な電流に依存してフィーラー３の重量を求めること
ができる。また、モータ４７を制御することによりフィ
ーラー３を所定のゼロ位置６０に位置決めするようにし
てもよい。この場合には、懸架点４５が移動した距離が
検出される。この距離を測定するため、増分検出器（図
示せず）を備えたモータを使用することができる。増分
検出器を備えたこの種のモータは標準部品として入手で
きる。
形部のばね定数が既知であるので、ｚ方向において検知
した偏位に依存して直接フィーラー３の質量または重量
を求めることができる。可動コイル３１を電流付勢する
ことによりフィーラー３を短時間所定のゼロ位置６０に
位置決めするようにしてもよい。ゼロ位置６０は、フィ
ーラー３が受容されていなければ、フィーラーピックア
ップ４が占めるようにするのが有利である。このときに
必要な電流に依存してフィーラー３の重量を求めること
ができる。また、モータ４７を制御することによりフィ
ーラー３を所定のゼロ位置６０に位置決めするようにし
てもよい。この場合には、懸架点４５が移動した距離が
検出される。この距離を測定するため、増分検出器（図
示せず）を備えたモータを使用することができる。増分
検出器を備えたこの種のモータは標準部品として入手で
きる。
【００４０】図３は、静止位置からの偏位と、これに必
要な力との関係を、重量の異なるフィーラー３に対し図
示したものである。
要な力との関係を、重量の異なるフィーラー３に対し図
示したものである。
【００４１】図４は、フィーラーの重量と必要な力との
関係を、偏位が一定（ここでは１．５ｍｍ）の場合に対
し図示したものである。
関係を、偏位が一定（ここでは１．５ｍｍ）の場合に対
し図示したものである。
【００４２】次に、図２と図５を参照して、システムの
固有振動数を用いてフィーラー３の重量を自由動力学的
に測定するための方法を詳細に説明する。
固有振動数を用いてフィーラー３の重量を自由動力学的
に測定するための方法を詳細に説明する。
【００４３】走査ヘッド１は複数のばね平行四辺形部
９,１５,２１を有しており、その際このようなばね平行
四辺形部に対しては、図５に図示した簡単な系を想定す
ることができる。ばね平行四辺形部の個々の構成要素の
質量を無視すると、水平運動方向に関しばね力が付加的
に作用する、図示したような振動系が得られる。この近
似系は、少なくとも偏位角αが小さければ十分正確なも
のであり、したがってｓｉｎα＝Ｓ／Ｒと想定すること
ができる。よって全系の作用力Ｆは Ｆ＝Ｆ１＋Ｆc＝Ｇ＊Ｓ／Ｒ＋Ｃ＊Ｓ と表わされ、したがって全系のばね定数Ｄは Ｄ＝Ｇ／Ｒ＋Ｃ と表わされる。ここでＣはばね平行四辺形部のばね定数
である。
９,１５,２１を有しており、その際このようなばね平行
四辺形部に対しては、図５に図示した簡単な系を想定す
ることができる。ばね平行四辺形部の個々の構成要素の
質量を無視すると、水平運動方向に関しばね力が付加的
に作用する、図示したような振動系が得られる。この近
似系は、少なくとも偏位角αが小さければ十分正確なも
のであり、したがってｓｉｎα＝Ｓ／Ｒと想定すること
ができる。よって全系の作用力Ｆは Ｆ＝Ｆ１＋Ｆc＝Ｇ＊Ｓ／Ｒ＋Ｃ＊Ｓ と表わされ、したがって全系のばね定数Ｄは Ｄ＝Ｇ／Ｒ＋Ｃ と表わされる。ここでＣはばね平行四辺形部のばね定数
である。
【００４４】したがって自由振動系の振動時間は、 Ｔ＝２πｍ／（Ｇ／Ｒ＋Ｃ） Ｇ＝ｍ＊ｇ で表わされる。ここでｍは質量で、ｇは重力であり、よ
ってＧは重量である。
ってＧは重量である。
【００４５】自由振動系の振動時間からフィーラーの重
量を測定するため、 Ｇ／Ｒ≪Ｃ が適用されるべきである。ここでＣは Ｃ≒２Ｇ／Ｒ である。
量を測定するため、 Ｇ／Ｒ≪Ｃ が適用されるべきである。ここでＣは Ｃ≒２Ｇ／Ｒ である。
【００４６】このような条件のもとでは、測定される重
量に依存する振動時間の変化は最大である。
量に依存する振動時間の変化は最大である。
【００４７】使用されたフィーラー３の重量を測定する
ため、求めた振動時間を、フィーラー３とフィーラーピ
ックアップ４とが設けられていない系の振動時間に関連
づける。この場合、フィーラーピックアップ４の重量は
重量の差を増大させるためだけに用い、よって測定精度
を向上させるためだけに寄与する。
ため、求めた振動時間を、フィーラー３とフィーラーピ
ックアップ４とが設けられていない系の振動時間に関連
づける。この場合、フィーラーピックアップ４の重量は
重量の差を増大させるためだけに用い、よって測定精度
を向上させるためだけに寄与する。
【００４８】ファイルされている校正曲線に基づいて、
求めた自由振動系の振動時間から直接フィーラーの質量
が得られる。
求めた自由振動系の振動時間から直接フィーラーの質量
が得られる。
【００４９】次に、自由振動系の振動時間を測定するた
めの可能な方法を詳細に説明する。
めの可能な方法を詳細に説明する。
【００５０】フィーラーは静止位置２から偏位する。こ
の偏位のために作用した力は急激に消失し、次にフィー
ラー３は静止位置へ戻るために自由振動する。フィーラ
ー３の運動を特徴づける信号がセンサ５３から制御装置
へ送られ、特にフィーラー３の運動の逆転を特徴づける
信号が送られる。
の偏位のために作用した力は急激に消失し、次にフィー
ラー３は静止位置へ戻るために自由振動する。フィーラ
ー３の運動を特徴づける信号がセンサ５３から制御装置
へ送られ、特にフィーラー３の運動の逆転を特徴づける
信号が送られる。
【００５１】運動の逆転時点の時間差から、すでに述べ
たように、使用されたフィーラーの重量を導出または決
定するための振動時間が得られる。
たように、使用されたフィーラーの重量を導出または決
定するための振動時間が得られる。
【００５２】図６に図示した走査ヘッド１は、フィーラ
ーの重量を測定するために設けられているロードセル６
５を有している。このロードセル６５は走査ヘッド１と
フィーラー交換ユニット６７の間に配置されている。ロ
ードセル６５は走査ヘッド１の構成部材と固定連結され
ているとともに、フィーラー交換ユニット６７とも、た
とえば接着、ねじ止め等により固定連結されている。ロ
ードセル６５は、変換素子６１としてたとえば圧電素子
６３を有している。圧電素子６３は、使用されたフィー
ラーの重量に依存して電圧値を送る。その都度一緒に測
定されるフィーラー交換ユニット６７の重量は、オフセ
ット値として減算される。
ーの重量を測定するために設けられているロードセル６
５を有している。このロードセル６５は走査ヘッド１と
フィーラー交換ユニット６７の間に配置されている。ロ
ードセル６５は走査ヘッド１の構成部材と固定連結され
ているとともに、フィーラー交換ユニット６７とも、た
とえば接着、ねじ止め等により固定連結されている。ロ
ードセル６５は、変換素子６１としてたとえば圧電素子
６３を有している。圧電素子６３は、使用されたフィー
ラーの重量に依存して電圧値を送る。その都度一緒に測
定されるフィーラー交換ユニット６７の重量は、オフセ
ット値として減算される。
【００５３】フィーラー交換ユニット６７と、３点支持
部を介してフィーラー交換ユニット６７に結合している
フィーラーピンディスク６とにより、１つのユニットが
形成される。
部を介してフィーラー交換ユニット６７に結合している
フィーラーピンディスク６とにより、１つのユニットが
形成される。
【００５４】以上説明した、使用されたフィーラー３の
重量を測定するための方法にすべて共通していること
は、フィーラー３が座標測定機側に設けられた運動軌道
上を能動的に案内されないことである。
重量を測定するための方法にすべて共通していること
は、フィーラー３が座標測定機側に設けられた運動軌道
上を能動的に案内されないことである。
【図１】座標測定機の走査ヘッドを示す図である。
【図２】振動系の概略図である。
【図３】重量の異なるフィーラーに対する、作用した力
とその結果生じる偏位との関係を示すグラフである。
とその結果生じる偏位との関係を示すグラフである。
【図４】所定の偏位に必要な力とフィーラーの重量との
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
【図５】ばね系の概略図である。
【図６】ロードセルを備えた走査ヘッドの概略図であ
る。
る。
１ 走査ヘッド ２ 静止位置 ３ フィーラー ４ フィーラーピックアップ ５ フィーラーピン ６ フィーラーピンディスク ７ 板ばね ９ ばね平行四辺形部 １１ 板 １３ 板ばね １５ ばね平行四辺形部 １７ アングル部材 １９ 板ばね ２１ ばね平行四辺形部 ２３ 結合部材 ２５ 上部部分 ２７ 環状隙間型磁石 ２８ 可動コイル ２９ 環状隙間型磁石 ３０ 可動コイル ３１ 環状隙間型磁石 ３２ 可動コイル ３３ レバー ３５ 軸線 ３７ 伝動要素 ３９ 可動コイルシステム ４１ 補正ばね ４３ 第１の懸架点 ４４ 鉛直方向に移動可能な構成部材 ４５ 第２の懸架点 ４７ モータ ４９ ねじスピンドル ５１ 制御装置 ５３ センサ ５５ コイル ５７ 磁石 ６０ ゼロ位置 ６１ 変換素子 ６３ 圧電素子 ６５ ロードセル ６７ フィーラー交換ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ラルフ・ベルンハルト ドイツ連邦共和国・73432・アーレン・ア ルプシュトラーセ・115
Claims (13)
- 【請求項１】 制御装置を有している座標測定機の、該
座標測定機の走査ヘッドと結合されているフィーラーの
重量を測定する方法において、フィーラー（３）の重量
を、座標測定機によるフィーラーの運動を能動的に制御
せずに、静力学的に、或いは自由動力学的に測定し、そ
の際フィーラー（３）または走査ヘッド（１）から制御
装置（５１）に信号を送ることを特徴とする方法。 - 【請求項２】 制御装置（５１）によりフィーラー
（３）を静止位置（２）から変位させ、導入された力と
検出した偏位との比からフィーラー（３）の重量を決定
することを特徴とする請求項１に記載のフィーラーの重
量を測定するための方法。 - 【請求項３】 フィーラー（３）に、付勢力を電気信号
に変換する素子（６１）を付設し、その信号を制御装置
（５１）に送ることを特徴とする請求項２に記載の方
法。 - 【請求項４】 変換素子（６１）が圧電素子（６３）で
あることを特徴とする請求項３に記載の方法。 - 【請求項５】 フィーラー（３）が変換素子（６１）を
中間接続して走査ヘッド（１）と結合されていることを
特徴とする請求項３に記載の方法。 - 【請求項６】 フィーラー（３）を静止位置（２）から
変位させるため、フィーラー（３）を所定の力で付勢す
ることを特徴とする請求項２に記載の方法。 - 【請求項７】 フィーラー（３）を変位させるために設
けられている駆動部（３１）を制御することにより、フ
ィーラー（３）を、該フィーラー（３）を受容する前に
走査ヘッドが占めていたゼロ位置（６０）に位置決め
し、その際導入された力からフィーラーの重量を決定す
ることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項８】 フィーラー（３）を、該フィーラー
（３）がないときに走査ヘッド（１）が占めていたゼロ
位置（６０）に位置決めし、その際走査ヘッド（１）
は、固有重量を補正するための補正ばね（４１）を備え
ており、補正ばね（４１）が、フィーラー（３）と結合
されない懸架点（４５）であってフィーラー（３）の受
容後再びゼロ位置（６０）を占めさせるために鉛直方向
に移動する前記懸架点（４５）と、フィーラー（３）と
作用結合している懸架点（４３）とを有し、この場合懸
架点（４５）の移動がフィーラー（３）の偏位（５）に
対応していることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項９】 静止位置から偏位可能で、走査ヘッドと
結合され、制御装置が付設されているフィーラーの重量
を測定する方法において、フィーラー（３）を、静止位
置（２）から偏位した位置を起点に自由運動させ、この
自由振動系の固有振動数を測定するために制御装置（５
１）に信号を送り、その際自由振動系の固有振動数から
フィーラー（３）の重量を測定することを特徴とする方
法。 - 【請求項１０】 自由振動系がばね定数Ｃを持った系で
あり、Ｃ＝Ｃ0±１０％であり、ここでＣ0＝２ｇ0／
ｌ、ｌ＝自由振動系の長さ、ｇ0＝フィーラーのない振
動系の重量であることを特徴とする請求項９に記載の方
法。 - 【請求項１１】 ばね定数Ｃがフィーラー（３）の評価
重量（ｇT）を含んでおり、 【数１】 であることを特徴とする請求項１０に記載の方法。 - 【請求項１２】 フィーラー（３）の重量測定を、少な
くともフィーラーを交換するたびに行い、有利には座標
測定機を始動するたびに行なうことを特徴とする、上記
請求項の少なくとも１つに記載の方法。 - 【請求項１３】 走査ヘッドと、該走査ヘッドに結合可
能なフィーラーとを備えた座標測定機において、走査ヘ
ッド（１）に、上記請求項の少なくとも１つに記載のフ
ィーラー（３）の重量を測定するための方法を実施する
ための制御装置（５１）を備えた装置が付設されている
ことを特徴とする座標測定機。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19929334.1 | 1999-06-26 | ||
| DE19929334 | 1999-06-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001027501A true JP2001027501A (ja) | 2001-01-30 |
| JP4743940B2 JP4743940B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=7912655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000190583A Expired - Lifetime JP4743940B2 (ja) | 1999-06-26 | 2000-06-26 | 座標測定機のフィーラーの重量を測定するための方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6622114B1 (ja) |
| EP (1) | EP1063063B1 (ja) |
| JP (1) | JP4743940B2 (ja) |
| DE (2) | DE10025480B4 (ja) |
Families Citing this family (6)
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