JPS63232948A - 加圧回転装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光学鏡面の研摩装置等に好適に利用される、加
圧回転装置に関する。

［従来の技術］ 一般に、光学鏡面、特に非球面等の研摩装置においては
、該研席面の微妙な凹凸に対し、研摩工具が正ｉ且つス
ムーズに追従する必要がある。

従来は上記要望に対処するために、研摩工具は第４図に
示す如くの加圧回転装置により保持されていた。

尚、第４図は従来の加圧回転装置の断面図である。

図において、２は研摩工具である。該研摩Ｔ几２の上端
部は円筒形状を有する回転体４に固着されている。該回
転体４の上端部には軸６が固着されている。

又、図示する８はシリンダである。該シリンダは円筒形
状を有しており、且つ前記回転体４を収容する様にされ
ている。シリンダ８の−Ｌ端部には支持部材１０が固着
されており、該支持部材の」一端部にはモータ１２が固
着されている。又、該モータ１２の下部にはモータ軸１
４が突設されており、該軸１４の下端部にはビン１６が
固設されている。該ピン１６は前述の軸６の−Ｆ端部に
設けられているビン溝１８に図示する様に、係合されて
いる。

又、シリンダ８には回転体４を下方に移動せしめるため
の空気の流入口である下方加圧空気流入［１２０が１浸
けられている＠　ｌｉ、Ａ：流入に２０はシリンダ室２
８に連通されている。又、同様に、シリンダ８には回転
体４を上方に移動せしめるための空気の流入口である上
方加圧空気流入口２２が１没けられている。該流入［１
２２はシリンダ室２９に連通されている。

又、シリンダ８には回転体４を円滑に回転させるだめの
軸受潤滑用空気流入口２４が設けられており、該流入「
」２４のシリンダ８の内壁部側には多孔性のパッド２６
が設けられている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上述の如き従来の加圧回転装置であると
、回転体４を図示するＢ方向に移動させるための駆動手
段である作動圧力流体が導入されるシリンダ室２８．２
９における圧力と、該回転体４の回転及び移動を支持す
る流体軸受部であるところの多孔性のパッド２６部にお
ける圧力との間で影響を及ぼし合う場合があり、研摩工
具に正確な加圧力を与えることができなくなるという問
題点を有する。

［目的］ 本発明は」−述従来技術の問題点に鑑みなされたもので
あり、その目的は被加工布に対する研摩工具の微小加圧
力を安定に作用させることを可能とする、加圧回転装置
を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的は本発明によれば、工具が固着されている軸状
の回転体と、該回転体を流体軸受により支持する支持手
段と、該回転体を回転せしめる手段と、該回転体の軸方
向の移動をシリンダ室に送入される流体圧により制御す
る手段とを有する加圧回転装置において； 前記波体軸受とシリンダ室の間に排気口を：没けたごと
を特徴とする、加圧回転装置によって達成される。

［実施例］ 以下、本発明に係る加圧回転装置の実施例を図面にノλ
づいて具体的且つ詳細に説明する。

第１図は本発明に係る加圧回転装置の一実施例を示す概
略断面図である。

図において、４０は研摩工具である。該研摩工具４０の
上端部は円筒形状を有する軸４２が固着されている。該
軸４２の外周−ヒには円筒形状を有する回転体が固着さ
れている。軸４２の回転体４４が設けられている位置よ
りも更にＬ方には、ロータマグネット４６が固着されて
いる。

又、図示する４８はシリンダである。該シリンダは円筒
形状を有しており、ｆｆ一つ前記回転体４４を収容する
様にされている。シリンダ４Ｂの上端部には、前記ロー
タマグネット４６に対応する様にコイル５０が固着して
設けられている。

又、シリンダ４８には回転体４４を下方に移動せしめる
ための空気の流入口である下方加圧空気流入［１５２が
設けられている。該流入口５２はシリンダ室５４に連通
されている。又シリンダ４８には回転体４４をＬ方に移
動せしめるための空気の流入口である上方加圧空気流入
口５６が設けられている。該流入口５６はシリンダ室５
８に連通されている。

又、シリンダ４８には回転体４４を円滑に回転させるた
めの軸受潤滑用空気流入口６０ａ。

６０ｂが設けられている。該流入口６０ａ。

６０ｂのシリンダ４８の内壁部側には、それぞれリング
形状を有する多孔性のパッド６２ａ。

６２ｂが設けられている。又、図示する様に、パッド６
２ａの上部には排気口６４ａが、役けられており、パッ
ド６２ａと６２ｂの間には排気１１６４ｂが設けられて
おり、パッド６２ｂの下部には排気口６４ｃが設けられ
ている。

本実施例の加圧回転装置は以北の様な構成を有する。

尚、−ｈ述の実施例において、回転部であるところの研
摩工具４０、軸４２、回転体４４及びロータマグネット
４６と、固定部であるところのシリンダ４８及びコイル
５０とは流体（この場合、空気）を介して完全に非接触
されている。

又１図示する様に、排気口６４ａ及び６４ｃは、それぞ
れシリンダ室５４及び５８と、パッド６２ａ及び６２ｂ
との間の位置に設けられているので、それぞれの加圧力
に影響を及ぼすことばない、従って、研摩工具４０の有
する位置を所望の位置に制御することができ、且つ該工
Ａ４０に被研摩面に対する適当な加圧力を加えることが
できる。

以ド、ト述の実施例の動作について説明する。

研摩工具４０、軸４２、回転体４４及びロータマグネッ
ト４６（以下「回転部」と称する）は、シリンダ４８及
びコイル５０（以下「固定部」と称する）と完全に非接
触であるため、前記回転部のＸ方向の回転はとてもスム
ーズなものとなる。

このＸ方向の回転は、ロータマグネット４６の発する磁
界と、コイル５０に流される電流との電磁作用による駆
動力によってなされる。

又、上記回転部を図示するＹ方向に移動させるには、次
の様にして行う。

今１回転部は上述の方法によりＸ方向に回転しているも
のとする。この状１ムのとき該回転部は下方加圧空気流
入１１５２　（及び上方加圧空気流入口５６より適宜の
空気圧が送り込まれて所望の加圧力を有する。この状態
から回転部に加圧力を負荷させたいときは、下方加圧空
気流入「１５２に送り込む空気圧を少し高めにすると、
回転体４４の下方向に加わる力が増大するので、回転部
全体として加圧力が高まる。逆に、回転部に加圧力を軽
減させたいときは、」一方加圧空気流入口５６に送り込
む空気圧を少し高めにすると、回転体４４の」一方向に
加わる力が増大するので、回転部全体として加圧力が軽
減するため、ワーク形状に応じて」三下にスムーズに移
動する。尚、回転部は非接触にされている。

次に、本発明の加圧回転装置を実際の研摩装置に利用し
た場合の実施例について説明する。

第２図は本発明の加圧回転装置を研摩装ｊｄに利用した
場合の実施例を示す概略構成図である。

第２図において、１５０は基台であり、該基台上には該
基台に対し相対的にＸ方向に往復移動可能なＸテーブル
１５２が取付けられている。

１５４はＭｙＸテーブル移動を駆動するためのモータで
あり、該モータにはエンコーダ１５６が付設されており
、該エンコーダにより」−記ｙテーブルのＸ方向移動量
が検出される。Ｘテーブル１５２上には該Ｘテーブルに
対しＸ方向に相対的に往復移動可能なＸテーブル１５８
が取付けられている。１６０は該Ｘテーブルの移動を駆
動するためのモータであり、該モータにはエンコーダ１
６２が付設されており、該エンコーダにより上記Ｘテー
ブルのＸ方向移動量が検出される。

Ｘテーブル１５８上には研摩槽１６４が固設されている
。該研摩槽中には支持体１６６が固定されており、該支
持体には軸１６８により被研摩物保持体１７０が取付け
られている。該保持体はＬ字形状をなしており、その垂
直面部分に輔１６８が接続されている。該軸はＸ方向を
向いていて、従って保持体１７０はＸ方向のまわりに回
動可能である。上記支持体１６６にはモータ１７２が取
付けられており、その駆動回転軸は上記軸１６８に結合
されている。

一方、上記Ｘテーブル１５８には上記研摩槽１６４の外
側に支持体１７４が固定されている。

該支持体には上下方向即ち２方向のガイド１７６が形成
されており、該ガイドに沿って上下方向に往復移動可能
な様に研摩工具保持体１７８が取付けられている。該保
持体にはＸ方向のまわりに回動可能な様にモータ１８０
が支持されている。該モータ１８０の回転軸１８２の下
端には研摩工具１８４が取付けられている。上記保持体
１７８にはモータ１８６が取付けられており、その駆動
回転軸は上記モータ１８０に接続されて、該モータ１８
０のＸ方向のまわりの回動を駆動することができる。１
８８は上記保持体１７８をガイド１７６に沿って上下方
向に移動させるための駆動手段たるエアーシリンダであ
り、該エアーシリンダのロッド１９０の先端が保持体１
７８と連結されている。

上記研摩装置を用いて研摩を行う際には、保持体７０上
に被研摩物１００を載置固定する。該被研摩物は前加工
により所定の表面粗さ及び形状に仕上げられている０本
実施例においては被研摩物１００の被研摩面の形状は凹
トーリック面とされている。

そしてト述の研摩装置において、研摩工具１Ｂ４及び回
転軸１８２の回転を支持するものとして、本発明の加圧
回転装置１９８が設けられている。試製ｇ！ｔｌ　９８
には４木の空気流入用のホース１９６が取り付けられて
いる。該ホースより適宜の空気圧を流入することにより
、研摩工具１８４の２方向の微妙な制御、及び回転軸１
８２のスムーズな回転を行うことができる。

従って、この様にされている研摩装はぼ研摩物１００の
表面を高精度に研摩することができる。

又、本発明の他の実施例として、ｗＳ３図に示す様に、
軸受潤滑用空気流入口６１ａ及び６１ｂの間に、シリン
ダ室５５及び５９を設けたものでも良い、尚、この場合
の実施例においては１図示する９０ａ及び９０ｂが、シ
リンダ室５５及び５９と、パッド９２ａ及び９２ｂの間
に設けられた排気口になるわけである。又、図示する９
４は、シリンダ室５５及び５９の干渉を防止するために
設けられた排気口である。

［発明の効果］ 以−に詳細１１つ具体的に説ＩｇＩ　した様に、本発明
によれば、被加工面に対する研摩工具の微小加圧力を安
定して作用させることができるので、高精度な研摩面を
提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る加圧口転装はの一実施例を示す概
略断面図、第２図は本発明の実施例を示す研摩装置の斜
視図、第３図は本発明の他の実施例を示す４Ｉ略断面図
、ＥｌｆｇＡ図は従来例を示す断面図である。 ４０・・・研摩工具 ４２・・・軸 ４４・・・回転体 ５４．５８・・・シリンダ室 ６２ａ、６２ｂ−・−パッド ６４ａ、６４ｃ・・・排気口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）工具が固着されている軸状の回転体と、該回転体
   を流体軸受により支持する支持手段と、該回転体を回転
   せしめる手段と、該回転体の軸方向の移動をシリンダ室
   に送入される流体圧により制御する手段とを有する加圧
   回転装置において；前記流体軸受とシリンダ室の間に排
   気口を設けたことを特徴とする、加圧回転装置。