DE102004010688A1 - Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, Bearbeitungssgegenstands-Bearbeitungsverfahren, Drucksteuerverfahren, Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren, und Transporteinrichtung - Google Patents

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Abstract

Eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung ermöglicht die Durchführung mehrerer Prozesse in wirksamer Weise. Mehrere Behandlungssysteme sind verbindbar zusammen entlang einer Linie verbunden, entlang welcher die zu bearbeitenden Gegenstände bearbeitet werden. Ein Ladeschleusensystem ist verbindbar an die Behandlungssysteme angeschlossen und weist einen Transportmechanismus auf, der die zu bearbeitenden Gegenstände in jede der Behandlungssysteme hinein und aus diesen heraus transportiert. Zumindest eines der Behandlungssysteme ist ein Vakuumbehandlungssystem, und das Ladeschleusensystem ist an einer solchen Position angeordnet, dass es auf einer Linie mit dem Behandlungssystem liegt.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, ein Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahren, ein Drucksteuerverfahren, ein Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren, und eine Transporteinrichtung, und betrifft insbesondere eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, welche CVD (chemische Dampfablagerung) oder COR (chemische Oxidentfernung) als Alternative zum Trockenätzen oder Nassätzen durchführt, und betrifft spezieller eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die mehrere Behandlungssysteme aufweist, ein Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren zum Transportieren des Bearbeitungsgegenstands dort hindurch, und ein Drucksteuerverfahren zum Steuern des Drucks beim Durchgang.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Bislang wurde Ätzung dazu durchgeführt, Dünnfilme unter Einsatz einer chemischen Reaktion in eine Form zu bringen. Im allgemeinen bildet der Ätzvorgang eine Gruppe mit einem Lithographievorgang; bei dem Lithographievorgang wird ein Resistmuster erzeugt, und dann wird in dem Ätzvorgang der Dünnfilm entsprechend dem Resistmuster, das hergestellt wurde, in eine Form gebracht.
  • Es gibt zwei Arten der Ätzung, Trockenätzung, und Nassätzung. Die üblichste Art der Trockenätzung ist reaktive Ionenätzung mit einer parallelen Platte. Bei reaktiver Ionenätzung mit einer parallelen Platte wird eine Vakuumbehandlungskammer einer Vakuumbehandlungseinrichtung (Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung) in den Vakuumzustand versetzt, wird ein Wafer, der einen zu bearbeitenden Gegenstand darstellt, in die Vakuumbehandlungskammer eingebracht, und wird dann ein Ätzgas in die Vakuumbehandlungskammer eingelassen.
  • Innerhalb der Vakuumbehandlungskammer sind eine Stufe, auf welche der Wafer aufgesetzt wird, und eine obere Elektrode vorgesehen, die parallel zu einer Waferanordnungsoberfläche der Stufe angeordnet ist, und dieser gegenüberliegt. Eine Hochfrequenzspannung wird an die Stufe angelegt, worauf das Ätzgas in ein Plasma umgewandelt wird. Geladene Teilchen wie beispielsweise positive und negative Ionen sowie Elektronen, neutrale aktive Arten, die als Ätzarten wirken, und dergleichen sind im Plasma verstreut vorhanden. Wenn eine Ätzart auf einen Dünnfilm auf der Waferoberfläche absorbiert wird, tritt eine chemische Reaktion an der Waferoberfläche auf, und dann trennen sich so erzeugte Erzeugnisse von der Waferoberfläche und werden nach außerhalb der Vakuumbehandlungskammer ausgestoßen, wodurch die Ätzung weitergeht. Weiterhin kann, abhängig von den Bedingungen, die Ätzart auf die Waferoberfläche gesputtert werden, wodurch die Ätzung über eine physikalische Reaktion vor sich geht.
  • Hierbei wird das elektrische Hochfrequenzfeld an die Waferoberfläche senkrecht zu dieser angelegt, so dass sich die Ätzart (Radikale) ebenfalls in Richtung senkrecht zur Waferoberfläche bewegen. Die Ätzung breitet sich so in Richtung senkrecht zur Waferoberfläche aus, anstatt sich isotrop über die Waferoberfläche auszubreiten. Daher breitet sich die Ätzung nicht seitlich über die Waferoberfläche aus. Trockenätzung ist daher für Mikrobearbeitung geeignet.
  • Um mittels Trockenätzung eine Mikrobearbeitung mit hoher Genauigkeit entsprechend einem Resistmuster durchzuführen, ist es allerdings erforderlich, das Verhältnis zwischen der Ätzrate für das zu ätzende Material und der Ätzrate für das Resistmaterial hoch zu wählen, und dafür zu sorgen, dass Beschädigungen infolge zu starker Ätzung, hervorgerufen durch Verunreinigung mit Verunreinigungen, das Auftreten von Kristalldefekten und dergleichen verhindert werden.
  • Beim Nassätzen gibt es andererseits ein Eintauchverfahren, bei welchem der Wafer in ein Ätzbad eingetaucht wird, das eine flüssige Chemikalie enthält, sowie ein Schleuderverfahren, bei welchem eine flüssige Chemikalie auf den Wafer gesprüht wird, während der Wafer gedreht wird. In beiden Fällen breitet sich die Ätzung isotrop aus, so dass Ätzung in Seitenrichtung auftritt. Daher kann Nassätzung nicht bei der Mikrobearbeitung eingesetzt werden. Allerdings wird darauf hingewiesen, dass selbst heutzutage Nassätzung für Vorgänge wie beispielsweise die vollständige Entfernung eines Dünnfilms eingesetzt wird.
  • Weiterhin ist ein Beispiel für ein Verfahren zur Ausbildung eines Dünnfilms unter Verwendung einer chemischen Reaktion CVD (chemische Dampfablagerung). Bei CVD werden zwei oder mehr Gasreaktionspartner in der Dampfphase oder in der Nähe der Oberfläche eines Wafers oder dergleichen zur Reaktion gebracht, und wird ein Erzeugnis, das durch die Reaktion hergestellt wird, auf der Waferoberfläche als Dünnfilm ausgebildet. Hierbei wird der Wafer erwärmt, so dass Aktivierungsenergie den Gasreaktionspartnern durch Wärmeabstrahlung von dem erwärmten Wafer zugeführt wird, wodurch die Reaktion der Gasreaktionspartner angeregt wird.
  • Herkömmlich wurden bei der Herstellung integrierter Schaltungen und anderer elektronischer Bauelemente für Flachbildschirme und dergleichen Vakuumbehandlungseinrichtungen dazu eingesetzt, verschiedene Arten von Behandlungen durchzuführen, beispielsweise Filmherstellung einschließlich CVD wie voranstehend beschrieben, Oxidation, Diffusion, Ätzung zur Formgebung wie voranstehend beschrieben, und Wärmebehandlung. Eine derartige Vakuumbehandlungseinrichtung weist im allgemeinen zumindest eine Ladeschleusenkammer auf, zumindest eine Transportkammer, und zumindest eine Behandlungskammer. Es sind zumindest zwei Arten derartiger Vakuumbehandlungseinrichtungen bekannt.
  • Eine Art ist eine Vakuumbehandlungseinrichtung des Mehrkammertyps. Eine derartige Vakuumbehandlungseinrichtung weist drei bis sechs Prozesskammern als Vakuumbehandlungskammern auf, eine Vakuumvorbereitungskammer (Ladeschleusenkammer), die einen Transportmechanismus zum Übertragen von Halbleiterwafern, also zu bearbeitenden Objekten, in jede Prozesskammer hinein und aus dieser heraus aufweist, eine mehreckige Transportkammer, um welche herum die Prozesskammern angeordnet sind, und die Ladeschleusenkammer, und die in ihren Umfangswänden mehrere Verbindungsöffnungen zur gasdichten Verbindung mit den Prozesskammern und der Ladeschleusenkammer über Absperrschieber aufweist, und einen Transportarm, der innerhalb der Transportkammer vorgesehen ist, und sich drehen, verlängern und zusammenziehen kann (vgl. beispielsweise die japanische Veröffentlichung eines offengelegten Patents (Kokai) Nr. H08-46013).
  • Die andere Art ist eine Vakuumbehandlungseinrichtung, die Kammern entlang einer geraden Linie aufweist. Eine derartige Vakuumbehandlungseinrichtung weist eine Vakuumbehandlungskammer auf, in welcher Ätzung auf Halbleiterwafern durchgeführt wird, und eine Ladeschleusenkammer, in welche ein Transportarm mit einzelner Aufnehmung oder mit Doppelaufnehmung des skalaren Typs als Transportvorrichtung zur Durchführung der Übergabe der Wafer zwischen der Ladeschleusenkammer und der Vakuumbehandlungskammer eingebaut ist. Daher werden eine Vakuumbehandlungskammer und eine Ladeschleusenkammer, in welche ein Transportarm eingebaut ist, als ein Modul angesehen (vgl. beispielsweise die japanische Veröffentlichung eines offengelegten Patents (Kokai) Nr. 2001-53131 und die japanische Veröffentlichung eines offengelegten Patents (Kokai) Nr. 2000-150618).
  • Bei jeder der Arten der voranstehend beschriebenen Vakuumbehandlungseinrichtungen wird eine Umschaltung zwischen einem Vakuumzustand und einem Zustand mit Atmosphärendruck in der Ladeschleusenkammer durchgeführt, und wird ein glatter Wafertransport zwischen einem Lader, der die in einen Waferträger eingesetzten Wafer transportiert, und einer Vakuumbehandlungskammer durchgeführt.
  • Im Falle der Ätzbehandlung trat es bei jeder dieser Arten von Vakuumbehandlungseinrichtungen auf, dass eine Hochfrequenzspannung an ein Ätzgas (reaktives Behandlungsgas) angelegt wurde, das in eine Vakuumbehandlungskammer eingelassen wurde, wodurch das reaktive Behandlungsgas in ein Plasma umgewandelt wird, mit welchem die Ätzung durchgeführt wird. Bei dieser Trockenätzung wird die Ätzbehandlung mit hervorragender senkrechter Anisotropie durchgeführt, da die Ätzart entsprechend der angelegten Spannung gesteuert wird, so dass die Ätzung entsprechend der geforderten Linienbreite für Lithographie durchgeführt werden kann.
  • Es gab allerdings Fortschritte in Bezug auf die Entwicklung der Mikrobearbeitungstechnik in Bezug auf einen Photolithographievorgang des Einbrennens von Schaltungsmustern auf Waferoberflächen, und hierbei wurde ein Vorgang in die Praxis umgesetzt, bei welchem die Belichtung mit Ultraviolettstrahlung von einem KrF-Excimerlaser (Wellenlänge 248 nm) als Lichtquelle für die Photolithographie durchgeführt wurde, und ist weiterhin ein Vorgang dabei, in die Praxis umgesetzt zu werden, bei welchem ein ArF-Excimerlaser mit einer noch kürzeren Wellenlänge (193 nm) eingesetzt wird. Weiterhin wurde Photolithographie unter Verwendung eines F2-Lasers (Wellenlänge 157 nm), der die Ausbildung eines feinen Musters der Linienbreite von 70 nm oder weniger ermöglicht, zum Hauptwettbewerber für den Prozess der nächsten Generation im Jahr 2005. Allerdings wurde bislang noch kein Resistmaterial entwickelt, das eine feine Musterung von Linien und Raum von 1:1 mit einer Linienbreite von 65 nm oder weniger bei einer Filmdicke von 150 bis 200 nm ohne Verlust an Trockenätzungswiderstand ermöglicht, und tritt bei herkömmlichen Resistmaterialien in der Praxis ein Problem der Teilchenverschmutzung infolge von Ausgasen auf, so dass die Feinmusterung durch anisotropes Trockenätzen sich ihrer Grenze nähert.
  • Es bestehen daher Hoffnungen in Bezug auf COR (chemische Oxidentfernung) als Feinätzungs-Behandlungsverfahren als Alternative zum Trockenätzen oder Nassätzen. Bei COR wird mit Gasmolekülen eine chemische Reaktion durchgeführt, und haften hergestellte Erzeugnisse an einem Oxidfilm auf einem bearbeitenden Gegenstand (Wafer) an, und wird dann der Wafer erwärmt, um das Erzeugnis zu entfernen, wodurch eine Linienbreite erreicht werden kann, die feiner ist als jene eines Lithographiemusters. Weiterhin tritt bei COR eine leicht isotrope Ätzung auf; die Ätzrate wird gesteuert über Parameter wie beispielsweise den Druck, die Gaskonzentrationen, das Gaskonzentrationsverhältnis, die Behandlungstemperatur, die Gasflussraten, und das Gasflussratenverhältnis, und hört die Ätzung auf infolge von Sättigung nach einem bestimmten Behandlungszeitraum. Die gewünschte Ätzrate kann daher durch Steuern des Sättigungspunkts erreicht werden.
  • Eine derartige COR ist geeignet für die Herstellung eines Metalloxid-Feldeffekttransistor-Halbleiterbauelements von 0,1 μm, das eine Polyverarmungsschicht minimaler Dicke aufweist, Source/Drainübergänge, auf denen eine Metallsilizidschicht vorgesehen ist, und Poly-Gates mit sehr niedrigem Schichtwiderstand, wobei bei der Herstellung ein Prozess zur Ausbildung eines damaszierten Gates eingesetzt wird, der Source/Drain-Diffusionsaktivierungswärmebehandlung umfasst, und eine Metallsilizierung, die unmittelbar dann auftritt, bevor ein Attrappen-Gatebereich entsteht, der danach entfernt und durch einen Polysilizium-Gatebereich ersetzt wird (vgl. beispielsweise den Text des US-Patents Nr. 6440808).
  • Bei Vakuumbehandlungseinrichtungen, die herkömmliche Ätzbehandlungen durchführen, besteht das Bedürfnis, dass ermöglicht wird, mehrere Prozesse wirksamer durchzuführen. Weiterhin ist bei Vakuumbehandlungseinrichtungen, die eine COR-Behandlung oder CVD-Behandlung durchführen, eine Behandlung zum Kühlen von Wafern erforderlich, die durch die COR-Behandlung oder die CVD-Behandlung erwärmt wurden, so dass das Bedürfnis besteht, dass ermöglicht wird, mehrere Prozesse wirksamer durchzuführen. Allerdings wird bei herkömmlichen Vakuumbehandlungseinrichtungen, wie voranstehend geschildert, eine Umschaltung zwischen einem Vakuumzustand und einem Zustand mit Atmosphärendruck in einer Ladeschleusenkammer durchgeführt, wobei die Ladeschleusenkammer sowohl einen Transportarm und einen Kühlmechanismus zum Kühlen von Wafern enthält, so dass das Volumen der Ladeschleusenkammer unvermeidlich groß wird, und daher die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Zustand mit Atmosphärendruck viel Zeit benötigt. Weiterhin ist ein Wafer, der in die Ladeschleusenkammer transportiert wurde, Luftkonvexion infolge der Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Zustand mit Atmosphärendruck über lange Zeit ausgesetzt, so dass das Risiko besteht, dass infolge der Konvexion anhaftende Teilchen auffliegen.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in der Bereitstellung einer Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, eines Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahrens, eines Drucksteuerverfahrens, eines Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahrens, und einer Transporteinrichtung, die es ermöglichen, dass mehrere Prozesse wirksam durchgeführt werden.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen wird gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung zur Verfügung gestellt, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, und mehrere Behandlungssysteme aufweist, die miteinander verbindbar entlang einer Linie angeschlossen sind, und in welchen die zu bearbeitenden Gegenstände bearbeitet werden, sowie ein Ladeschleusensystem, das verbindbar mit den Behandlungssystemen verbunden ist, wobei das Ladeschleusensystem einen Transportmechanismus aufweist, der die zu bearbeitenden Gegenstände in jede der Behandlungssysteme und aus jedem dieser Systeme heraus transportiert, wobei zumindest eines der Behandlungssysteme ein Vakuumbehandlungssystem ist, und das Ladeschleusensystem an einer solchen Position angeordnet ist, dass es eine Linie mit den Behandlungssystemen bildet.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung zur Verfügung gestellt, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, und ein COR-Behandlungssystem aufweist, bei welchem die zu bearbeitenden Gegenstände einer COR-Behandlung unterworfen werden, zumindest ein Vakuumbehandlungssystem, in welchem die zu bearbeitenden Gegenstände einer anderen Behandlung unterworfen werden, wobei das COR-Behandlungssystem und das zumindest eine Vakuumbehandlungssystem miteinander verbindbar in einer Linie verbunden sind, und ein Ladeschleusensystem, das verbindbar mit dem COR-Behandlungssystem und dem zumindest einen Vakuumbehandlungssystem verbunden ist, wobei das Ladeschleusensystem einen Transportmechanismus aufweist, der die zu bearbeitenden Gegenstände in sowohl das COR-Behandlungssystem als auch das zumindest eine Vakuumbehandlungssystem hinein als auch aus diesen heraus transportiert.
  • Vorzugsweise ist das zumindest eine Vakuumbehandlungssystem ein Wärmebehandlungssystem, das an das COR-Behandlungssystem angeschlossen ist, und in welchem eine Wärmebehandlung bei zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, bei welchen die COR-Behandlung durchgeführt wurde.
  • Bevorzugter befinden sich das COR-Behandlungssystem und das Wärmebehandlungssystem ständig im Vakuumzustand.
  • Noch bevorzugter ist das Ladeschleusensystem an einem solchen Ort angeordnet, dass es auf einer Linie mit dem zumindest einen Vakuumbehandlungssystem liegt.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahren für eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung zur Verfügung gestellt, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, ein COR-Behandlungssystem, in welchem zu bearbeitende Gegenstände mit einer COR-Behandlung behandelt werden, ein Wärmebehandlungssystem, in welchem eine Wärmebehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, bei denen eine COR-Behandlung durchgeführt wurde, und ein Lademodul, das verbindbar mit dem Ladeschleusensystem verbunden ist, wobei das Verfahren einen ersten Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt aufweist, bei welchem ein erster zu behandelnder Gegenstand in das Ladeschleusensystem transportiert wird, einen ersten Evakuierungsschritt, bei welchem das Ladeschleusensystem nach Ausführung des ersten Ladeschleusensystem-Hereintransportschritts evakuiert wird, einen ersten COR-Behandlungssystem-Hereintransportschritt, bei welchem der erste zu bearbeitende Gegenstand in das COR-Behandlungssystem transportiert wird, nachdem die Evakuierung in dem ersten Evakuierungsschritt beendet ist, einen COR-Behandlungs-Beendigungsschritt, in welchem die COR-Behandlung des ersten zu bearbeitenden Gegenstands beendet wird, einen zweiten Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt, bei welchem ein zweiter zu bearbeitender Gegenstand in das Ladeschleusensystem während der COR-Behandlung des ersten zu bearbeitenden Gegenstands transportiert wird, einen zweiten Evakuierungsschritt zum Evakuieren des Ladeschleusensystems nach Ausführung des zweiten Ladeschleusensystem-Hereintransportschritts, einen ersten Transportschritt, in welchem der erste zu bearbeitende Gegenstand von dem COR-Behandlungssystem in das Wärmebehandlungssystem transportiert wird, nachdem die Evakuierung bei dem zweiten Evakuierungsschritt beendet ist, und nachdem die COR-Behandlung des ersten zu bearbeitenden Gegenstands beendet wurde, einen zweiten Transportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand von dem Ladeschleusensystem in das COR-Behandlungssystem transportiert wird, einen Schritt der gleichzeitigen Beendigung der Behandlung, in welchem die COR-Behandlung des zweiten zu bearbeitenden Gegenstands in dem COR-Behandlungssystem beendet wird, und eine Wärmebehandlung des ersten zu bearbeitenden Gegenstands in dem Wärmebehandlungssystem beendet wird, einen dritten Transportschritt, in welchem der ersten zu bearbeitende Gegenstand von dem Wärmebehandlungssystem in das Ladeschleusensystem transportiert wird, nachdem die Wärmebehandlung des ersten zu bearbeitenden Gegenstands beendet ist, und einen Austauschschritt, in welchem das Ladeschleusensystem und das Lademodul miteinander verbunden werden, um den ersten zu bearbeitenden Gegenstand in dem Ladeschleusensystem durch einen dritten zu bearbeitenden Gegenstand auszutauschen, der in dem Lademodul wartet.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Drucksteuerverfahren für eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung zur Verfügung gestellt, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, ein COR-Behandlungssystem, in welchem bei zu bearbeitenden Gegenständen eine COR-Behandlung durchgeführt wird, ein Wärmebehandlungssystem, in welchem bei zu bearbeitenden Gegenständen eine Wärmebehandlung durchgeführt wird, bei denen die COR-Behandlung durchgeführt wurde, und ein Lademodul, von welchem die zu bearbeitenden Gegenstände in das Ladeschleusensystem transportiert werden, sowie aus diesem heraus, wobei das Verfahren einen Hereintransportschritt aufweist, in welchem das Ladeschleusensystem in einen Zustand unter Atmosphärendruck versetzt wird, und ein zu bearbeitender Gegenstand, mit dem keine COR-Behandlung durchgeführt wurde, von dem Lademodul in das Ladeschleusensystem transportiert wird, während das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, eine Ladeschleusensystem-Evakuierungsschritt, in welchem die Evakuierung des Wärmebehandlungssystems beendet wird, und das Ladeschleusensystem herunter auf einen vorgegebenen Druck evakuiert wird, einen Wärmebehandlungssystem-Evakuierungsschritt, in welchem die Evakuierung des Ladeschleusensystems beendet wird, nachdem das Ladeschleusensystem den eingestellten Druck erreicht hat, und das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, um die Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des Ladeschleusensystems, und einen ersten Verbindungsschritt, in welchem das Ladeschleusensystem mit dem Wärmebehandlungssystem verbunden wird, während weiterhin das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, nachdem die Bedingung erfüllt ist, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des Ladeschleusensystems.
  • Vorzugsweise weist das Drucksteuerverfahren gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung weiterhin einen ersten Drucküberwachungsschritt auf, in welchem der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems überwacht wird, nach Ausführung des ersten Verbindungsschrittes, einen COR-Behandlungssystem-Evakuierungsschritt, in welchem das COR-Behandlungssystem evakuiert wird, während weiterhin das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, um die Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems, sowie einen zweiten Verbindungsschritt, in welchem die Evakuierung des COR-Behandlungssystems beendet wird, wenn die Bedingung erfüllt wurde, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems, und das Wärmebehandlungssystem mit dem COR-Behandlungssystem verbunden wird, während weiterhin das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird.
  • Bevorzugter umfasst das Drucksteuerverfahren gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung weiterhin einen Zufuhrschritt, bei welchem Fluid in das Ladeschleusensystem und das COR-Behandlungssystem eingelassen wird, nach Ausführung des zweiten Verbindungsschrittes.
  • Noch bevorzugter sind die Flussrate des Fluids von dem Ladeschleusensystem in das Wärmebehandlungssystem sowie die Flussrate des Fluids von dem COR-Behandlungssystem in das Wärmebehandlungssystem gleich.
  • Weiterhin weist bevorzugt das Drucksteuerverfahren gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung einen Evakuierungsschritt auf, in welchem das Wärmebehandlungssystem und das COR-Behandlungssystem evakuiert werden, wodurch der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems auf einen statischen Eliminierungsdruck zum Eliminieren des restlichen ESC-Ladung eingestellt wird, nachdem ein Gegenstand, der bearbeitet werden soll, und mit dem die COR-Behandlung durchgeführt wurde, aus dem COR-Behandlungssystem heraus transportiert wurde.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Drucksteuerverfahren für eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung zur Verfügung gestellt, die zumindest ein COR-Behandlungssystem aufweist, bei welchem mit zu bearbeitenden Gegenständen eine COR-Behandlung durchgeführt wird, und ein Wärmebehandlungssystem, in welchem eine Wärmebehandlung bei zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, nachdem bei ihnen die COR-Behandlung durchgeführt wurde, wobei das Verfahren einen Drucküberwachungsschritt aufweist, in welchem der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems überwacht wird, während das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, einen COR-Behandlungssystem-Evakuierungsschritt, in welchem das COR-Behandlungssystem evakuiert wird, um die Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems, und einen Verbindungsschritt, in welchem das Evakuieren des COR-Behandlungssystems beendet wird, nachdem die Bedingung erfüllt wurde, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems, und in welchem das Wärmebehandlungssystem mit dem COR-Behandlungssystem verbunden wird.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem sechsten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung zur Verfügung gestellt, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, und ein erstes Behandlungssystem aufweist, in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine erste Behandlung durchgeführt wird, in zweites Behandlungssystem, das verbindbar mit dem ersten Behandlungssystem verbunden ist, und in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine zweite Behandlung durchgeführt wird, und
    ein Ladeschleusensystem, das zwischen dem ersten Behandlungssystem und dem zweiten Behandlungssystem angeordnet ist, und verbindbar sowohl mit dem ersten Behandlungssystem als auch dem zweiten Behandlungssystem verbunden ist, wobei das Ladeschleusensystem einen Transportmechanismus aufweist, der die zu Bearbeitungen Gegenstände sowohl in das erste Behandlungssystem als auch in das zweite Behandlungssystem sowie aus diesen Systemen heraus transportiert.
  • Vorzugsweise ist das zweite Behandlungssystem ein Kühlbehandlungssystem, in welchem eine Kühlbehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, mit denen die erste Behandlung durchgeführt wurde.
  • Noch bevorzugter ist das erste Behandlungssystem immer im Vakuumzustand, und befindet sich das zweite Behandlungssystem immer im Zustand auf Atmosphärendruck.
  • Noch bevorzugter ist das Ladeschleusensystem an einer solchen Position angeordnet, dass es eine Linie mit dem ersten Behandlungssystem und dem zweiten Behandlungssystem bildet.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahren zur Verfügung gestellt, für eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, ein Vakuumbehandlungssystem, in welchem zu bearbeitende Gegenstände unter Vakuum behandelt werden, ein Atmosphärenbehandlungssystem, in welchem eine Kühlbehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, mit denen die Vakuumbehandlung durchgeführt wurde, und ein Lademodul, wobei das Verfahren einen Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt umfasst, in welchem ein zu bearbeitender Gegenstand von dem Lademodul in das Ladeschleusensystem transportiert wird, einen ersten Umschaltschritt von Vakuum auf Atmosphärendruck, in welchem das Ladeschleusensystem nach Durchführung des Ladeschleusensystem-Hereintransportschritts evakuiert wird, einen Vakuumbehandlungssystem-Hereintransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand in das Vakuumbehandlungssystem transportiert wird, nach Ausführung des ersten Umschaltschritts von Vakuum auf Atmosphärendruck, einen Vakuumbehandlungsschritt, in welchem eine Vakuumbehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der in das Vakuumbehandlungssystem transportiert wurde, einen Ladeschleusensystem-Heraustransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand, mit dem die Vakuumbehandlung durchgeführt wurde, in das Ladeschleusensystem transportiert wird, einen zweiten Umschaltschritt von Vakuum auf Atmosphärendruck, in welchem das Innere des Ladeschleusensystems der Atmosphärenluft ausgesetzt wird, nach Durchführung des Ladeschleusensystem-Heraustransportschritts, einen Atmosphärenbehandlungssystem-Heraustransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand von dem Ladeschleusensystem in das Atmosphärenbehandlungssystem transportiert wurde, einen Atmosphärenbehandlungschritt, in welchem eine Kühlbehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der aus dem Atmosphärenbehandlungssystem heraus transportiert wurde, und einen Lademodul-Heraustransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand, mit welchem die Kühlbehandlung durchgeführt wurde, aus dem Lademodul transportiert wird.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren zur Verfügung gestellt, zum Transportieren in einer Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, welches die Transportvorrichtung aufweist, die zu bearbeitende Gegenstände transportiert, ein Vakuumsystem, in welchem die zu bearbeitenden Gegenstände mit einer Vakuumbehandlung behandelt werden, ein Wärmebehandlungssystem, in welchem eine Wärmebehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, mit welchen die Vakuumbehandlung durchgeführt wurde, und ein Lademodul, das verbindbar mit dem Ladeschleusensystem verbunden ist, wobei das Verfahren einen Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt aufweist, in welchem ein zu bearbeitender Gegenstand in das Ladeschleusensystem transportiert wird, einen Evakuierungsschritt, in welchem das Ladeschleusensystem evakuiert wird, nach Durchführung des Ladeschleusensystem-Hereintransportschritts, einen Vakuumbehandlungssystem-Hereintransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand in das Vakuumbehandlungssystem transportiert wird, nachdem die Evakuierung in dem Evakuierungsschritt beendet wurde, einen Vakuumbehandlungsbeendigungsschritt, in welchem die Vakuumbehandlung nach Durchführung des Vakuumbehandlungssystem-Hereintransportschritts beendet wurde, einen ersten Transportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand von dem Vakuumbehandlungssystem in das Wärmebehandlungssystem transportiert wird, nachdem die Vakuumbehandlung beendet ist, einen Wärmebehandlungsbeendigungsschritt, in welchem die Wärmebehandlung in dem Wärmebehandlungssystem beendet wird, einen zweiten Transportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand von dem Wärmebehandlungssystem in das Ladeschleusensystem transportiert wird, nachdem die Wärmebehandlung beendet wurde, und einen Lademodul-Heraustransportschritt, in welchem das Ladeschleusensystem und das Lademodul miteinander verbunden werden, und der zu bearbeitende Gegenstand aus dem Lademodul transportiert wird.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren für eine Transportvorrichtung in einer Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung zur Verfügung gestellt, welche ein Wärmebehandlungssystem aufweist, das eine erste Stufe aufweist, und in welchem eine Wärmebehandlung bei einem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, das auf der ersten Stufe angeordnet wurde, ein Vakuumbehandlungssystem, das eine zweite Stufe aufweist, und in welchem eine Wärmebehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der auf die zweite Stufe aufgesetzt wurde, ein Ladeschleusensystem, das so angeordnet ist, dass es mit dem Wärmebehandlungssystem und dem Vakuumbehandlungssystem verbunden werden kann, und welches die Transportvorrichtung aufweist, die den zu bearbeitenden Gegenstand transportiert, und eine Steuerung, welche die Transportvorrichtung steuert, wobei die Transportvorrichtung ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil aufweist, das den zu bearbeitenden Gegenstand haltert, und das frei durch das Wärmebehandlungssystem und das Vakuumbehandlungssystem bewegt werden kann, wobei das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil eine erste Detektorvorrichtung aufweist, zum Detektieren von Information in Bezug darauf, ob der zu bearbeitende Gegenstand vorhanden ist oder nicht, wobei zumindest entweder die erste Stufe oder die zweite Stufe eine zweite Detektorvorrichtung zu dem Zweck aufweist, Information zu detektieren, die in Bezug dazu steht, ob der zu bearbeitende Gegenstand vorhanden ist oder nicht, und die Steuerung eine Position des zu bearbeitenden Gegenstands auf Grundlage der festgestellten Information detektiert, wobei das Verfahren einen ersten Positionsbeziehungsdetektorschritt aufweist, in welchem eine erste Relativpositionsbeziehung zwischen dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in eine Anfangsposition und einem Zentrum entweder der ersten Stufe oder der zweiten Stufe festgestellt wird, einen Transportschritt, in welchem eine Transportrichtung für den zu bearbeitenden Gegenstand festgelegt wird, auf Grundlage der festgestellten, ersten Relativpositionsbeziehung, und der zu bearbeitende Gegenstand entlang dem festgestellten Transportweg bewegt wird, einen zweiten Positionsbeziehungsdetektorschritt, in welchem eine zweite Relativpositionsbeziehung zwischen dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands, nachdem er entweder zur ersten Stufe oder zur zweiten Stufe transportiert wurde, und dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in der Anfangsposition festgestellt wird, und einen Positionskorrekturschritt, in welchem die Position des zu bearbeitenden Gegenstands korrigiert wird, auf Grundlage einer Differenz zwischen der ersten Relativpositionsbeziehung und der zweiten Relativpositionsbeziehung.
  • Vorzugsweise weist das Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren gemäß dem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung weiterhin einen Bearbeitungsgegenstands-Halteteil-Drehschritt auf, in welchem das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil gedreht wird, während das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil immer noch den zu bearbeitenden Gegenstand haltert, um so die Position einer Bezugsebene des zu bearbeitenden Gegenstands, mit welchem die Positionskorrektur durchgeführt wurde, zu einer vorbestimmten Position auszurichten.
  • Weiterhin ist vorzugsweise das Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in der Anfangsposition das Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in dem Ladeschleusensystem vor dem Transport.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen, wird gemäß einem zehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren zur Verfügung gestellt, für eine Transportvorrichtung in einer Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die ein Ladeschleusensystem aufweist, das verbindbar mit einem Wärmebehandlungssystem verbunden ist, das eine erste Stufe aufweist, in welcher eine Wärmebehandlung bei einem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der auf der ersten Stufe angeordnet wurde, wobei das Ladeschleusensystem verbindbar über das Wärmebehandlungssystem mit einem Vakuumbehandlungssystem verbunden ist, das eine zweite Stufe aufweist, in welcher eine Vakuumbehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der an der zweiten Stufe angeordnet wurde, wobei das Ladeschleusensystem die Transportvorrichtung aufweist, welche den zu bearbeitenden Gegenstand transportiert, und die Transportvorrichtung einen Transportarm aufweist, der zumindest zwei armförmige Teile aufweist, wobei die armförmigen Teile drehbar jeweils an einem ihrer Enden miteinander verbunden sind, und ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil mit einem andere Ende eines der armförmigen Teile verbunden ist, und den zu bearbeitenden Gegenstand haltert, wobei das Verfahren einen Bearbeitungsgegenstands-Bewegungsschritt aufweist, in welchem das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil in einer Ebene parallel zu einer Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende des einen der armförmigen Teile gedreht wird, das eine der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das eine Ende des einen der armförmigen Teile gedreht wird, und das andere der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende des anderen armförmigen Teils gedreht wird.
  • Vorzugsweise werden bei dem Bearbeitungsgegenstands-Bewegungsschritt die armförmigen Teile und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil in Zusammenarbeit miteinander gedreht, damit der zu bearbeitende Gegenstand entlang der Anordnungsrichtung der ersten Stufe und der zweiten Stufe bewegt wird.
  • Um das voranstehende Ziel zu erreichen wird bei einem elften Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Transporteinrichtung zur Verfügung gestellt, die in einem Ladeschleusensystem vorgesehen ist, das verbindbar mit einem Wärmebehandlungssystem verbunden ist, das eine erste Stufe aufweist, in welcher eine Wärmebehandlung bei einem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, das auf der ersten Stufe angeordnet wurde, wobei das Ladeschleusensystem verbindbar, über das erste Wärmebehandlungssystem, mit einem Vakuumbehandlungssystem verbunden ist, das eine zweite Stufe aufweist, in welcher eine Vakuumbehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der an der zweiten Stufe angeordnet wurde, wobei die Transporteinrichtung einen Transportarm aufweist, der zumindest zwei armförmige Teile aufweist, die drehbar miteinander an einem ihrer Enden verbunden sind, und ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil, das mit dem anderen Ende eines der armförmigen Teile verbunden ist, und dem zu verarbeitenden Gegenstand haltert, wobei das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil so angeordnet ist, dass es in einer Ebene parallel zu einer Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende des einen der armförmigen Teile gedreht wird, und das eine der armförmigen Teile so angeordnet ist, dass es in einer Ebene parallel zu der Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende des einen der armförmigen Teile gedreht wird, wobei das andere der armförmigen Teile so angeordnet ist, dass es in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende des anderen der armförmigen Teile gedreht wird.
  • Vorzugsweise sind die armförmigen Teile und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil so angeordnet, dass sie zusammenwirkend miteinander gedreht werden, um den zu bearbeitenden Gegenstand entlang der Anordnungsrichtung der ersten Stufe und der zweiten Stufe zu bewegen.
  • Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind mehrere Behandlungssysteme, in welchen zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet werden, verbindbar aneinander angeschlossen, und ist zumindest eines der Behandlungssysteme ein Vakuumbehandlungssystem. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transportierens der zu bearbeitenden Gegenstände zwischen den Behandlungssystemen vereinfacht werden kann, und daher mehrere Prozesse einschließlich zumindest einer Vakuumbehandlung effizient durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind ein COR-Behandlungssystem, in welchem mit zu bearbeitenden Gegenständen eine COR-Behandlung durchgeführt wird, und zumindest ein Vakuumbehandlungssystem, in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine Behandlung durchgeführt wird, verbindbar aneinander angeschlossen, und ist ein Ladeschleusensystem verbindbar an das COR-Behandlungssystem und das zumindest eine Vakuumbehandlungssystem angeschlossen. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transports der zu bearbeitenden Gegenstände zwischen dem COR-Behandlungssystem und dem anderen Behandlungssystem bzw. den anderen Behandlungssystemen vereinfacht werden kann, so dass mehrere Prozesse effizient durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt ist ein Wärmebehandlungssystem zur Durchführung einer Wärmebehandlung vorzugsweise an das COR-Behandlungssystem angeschlossen. Dies führt dazu, dass eine Wärmebehandlung wirksam nach der COR-Behandlung durchgeführt werden kann.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt befinden sich das COR-Behandlungssystem und das Wärmebehandlungssystem vorzugsweise ständig im Vakuumzustand. Dies führt dazu, dass die jeweilige Behandlung in dem COR-Behandlungssystem und in dem Wärmebehandlungssystem nacheinander durchgeführt werden kann, ohne dass der Vakuumzustand aufgehoben ist, so dass es keine Adsorption von Feuchtigkeit auf der Oberfläche eines zu bearbeitenden Gegenstands nach der COR-Behandlung gibt, wodurch verhindert werden kann, dass bei einem Oxidfilm auf dem zu bearbeitenden Gegenstand eine chemische Reaktion nach der COR-Behandlung auftritt.
  • Gemäß dem zweiten Aspekt ist das Ladeschleusensystem vorzugsweise an einer solchen Position angeordnet, dass das COR-Behandlungssystem und das Wärmebehandlungssystem auf einer Linie liegen. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transportierens der zu bearbeitenden Gegenstände hinein und heraus weiter vereinfacht werden kann, so dass mehrere Prozesse, einschließlich der COR-Behandlung und der Wärmebehandlung, effizienter durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung kann gleichzeitig mit der Durchführung der COR-Behandlung in dem COR-Behandlungssystem bei einem zu bearbeitenden Gegenstand eine Wärmebehandlung in dem Wärmebehandlungssystem eines zu bearbeitenden Gegenstands durchgeführt werden, mit dem bereits die COR-Behandlung durchgeführt wurde, und kann darüber hinaus ein zu bearbeitender Gegenstand, mit dem noch keine COR-Behandlung durchgeführt wurde, vorbereitet werden, während er auf die Beendigung der COR-Behandlung wartet. Dies führt dazu, dass die COR-Behandlung und die Wärmebehandlung effizient durchgeführt werden können, ohne Zeitverschwendung während der Abfolge der Prozesse.
  • Gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird, bevor das Ladeschleusensystem und das Wärmebehandlungssystem miteinander verbunden werden, das Wärmebehandlungssystem evakuiert, um so die Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems niedriger ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems, und werden dann das Wärmebehandlungssystem und das COR-Behandlungssystem miteinander verbunden, während das Wärmebehandlungssystem weiter evakuiert wird. Dies führt dazu, dass nicht nur verhindert werden kann, dass die Atmosphäre in dem Wärmebehandlungssystem in das Ladeschleusensystem hineingelangt, sondern auch verhindert werden kann, dass die Atmosphäre in dem Wärmebehandlungssystem in das COR-Behandlungssystem hineingelangt.
  • Gemäß dem vierten Aspekt wird vorzugsweise ein Fluid in das Ladeschleusensystem und das COR-Behandlungssystem eingelassen. Dies führt dazu, dass das Auftreten von Konvexion und dergleichen verhindert werden kann, wenn das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird.
  • Gemäß dem vierten Aspekt sind die Flussrate des Fluids von dem Ladeschleusensystem in das Wärmebehandlungssystem und die Flussrate des Fluids von dem COR-Behandlungssystem in das Wärmebehandlungssystem vorzugsweise gleich. Dies führt dazu, dass ein Druckgleichgewicht in dem Wärmebehandlungssystem aufrecht erhalten werden kann, und darüber hinaus die Richtung des Evakuierungsflusses festgelegt werden kann.
  • Gemäß dem vierten Aspekt werden, nachdem ein zu bearbeitender Gegenstand, mit welchem die COR-Behandlung durchgeführt wurde, aus dem COR-Behandlungssystem transportiert wurde, das Wärmebehandlungssystem und das COR-Behandlungssystem vorzugsweise evakuiert, wodurch der Druck im Inneren des COR-Behandlungssystems auf einen statischen Eliminierungsdruck zum Eliminieren einer restlichen ESC-Ladung eingestellt wird. Dies führt dazu, dass eine statische Eliminierung in Bezug auf ESC durchgeführt werden kann, ohne dass die Atmosphäre innerhalb des Wärmebehandlungssystems in das COR-Behandlungssystem hineingelangt.
  • Gemäß dem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung wird, bevor das Wärmebehandlungssystem und das COR-Behandlungssystem miteinander verbunden werden, das Wärmebehandlungssystem evakuiert, um die Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems niedriger ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems. Dies führt dazu, dass verhindert werden kann, dass die Atmosphäre in dem Wärmebehandlungssystem in das COR-Behandlungssystem hineingelangt.
  • Gemäß dem sechste Aspekt der vorliegenden Erfindung werden ein erstes Behandlungssystem, in welchem mit zu bearbeitenden Gegenständen eine erste Behandlung durchgeführt wird, und ein zweites Behandlungssystem, in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine zweite Behandlung durchgeführt wird, verbindbar miteinander verbunden, und ist darüber hinaus ein Ladeschleusensystem zwischen dem ersten Behandlungssystem und dem zweiten Behandlungssystem angeordnet, und ist verbindbar sowohl mit dem ersten Behandlungssystem als auch mit dem zweiten Behandlungssystem verbunden. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transports der zu bearbeitenden Gegenstände zwischen dem ersten Behandlungssystem und dem zweiten Behandlungssystem vereinfacht werden kann, so dass mehrere Prozesse effizient durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem sechsten Aspekt ist ein Kühlbehandlungssystem zur Durchführung einer Kühlbehandlung vorzugsweise an das erste Behandlungssystem über das Ladeschleusensystem angeschlossen.
  • Dies führt dazu, dass eine Kühlbehandlung effizient nach der ersten Behandlung durchgeführt werden kann.
  • Gemäß dem sechsten Aspekt wird die Kühlbehandlung vorzugsweise in dem zweiten Behandlungssystem immer im Zustand unter Atmosphärendruck durchgeführt. Dies führt dazu, dass es nicht erforderlich ist, eine Umschaltung zwischen einem Vakuumzustand und einem Atmosphärendruckzustand in dem zweiten Behandlungssystem durchzuführen, so dass die Kühlbehandlung in einem kurzen Zeitraum durchgeführt werden kann; darüber hinaus muss das Ladeschleusensystem, in welchem eine Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand durchgeführt wird, keinen Kühlmechanismus aufweisen, so dass das Volumen des Ladeschleusensystems verkleinert werden kann, und daher die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand in einem kurzen Zeitraum durchgeführt werden kann. Dies führt dazu, dass die mehreren Prozesse effizienter durchgeführt werden können. Weiterhin wird, nachdem er in das Ladeschleusensystem transportiert wurde, ein zu bearbeitender Gegenstand (Wafer) nicht einer Luftkonvexion infolge der Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand über einen langen Zeitraum ausgesetzt, so dass das Risiko anhaftender Teilchen, die durch diese Konvexion zum Herauffliegen veranlasst werden, verringert werden kann.
  • Gemäß dem sechsten Aspekt ist das Ladeschleusensystem vorzugsweise an einer solchen Position angeordnet, dass es auf einer Linie mit dem ersten Behandlungssystem und dem zweiten Behandlungssystem liegt. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transportierens der zu bearbeitenden Gegenstände hinein und heraus weiter vereinfacht werden kann, so dass mehrere Prozesse einschließlich der ersten Behandlung und der zweiten Behandlung effizienter durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem siebten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind der zweite Umschaltschritt von Vakuum auf Atmosphärendruck und der Atmosphärenbehandlungsschritt, der durchgeführt wird, nachdem mit dem zu bearbeitenden Gegenstand (Wafer) die Vakuumbehandlung durchgeführt wurde, getrennt. Dies führt dazu, dass die gesamte, für diese Schritte benötigte Zeit verringert werden kann, und daher die mehreren Prozesse effizient durchgeführt werden können. Nachdem der zu bearbeitende Gegenstand (Wafer) einer Vakuumbehandlung unterzogen wurde, wird darüber hinaus der Atmosphärenbehandlungsschritt nur nach dem Ladeschleusensystem-Heraustransportschritt erreicht, dem zweiten Umschaltschritt von Vakuum auf Atmosphärendruck, und dem Atmosphärenbehandlungssystem-Heraustransportschritt, so dass die Kühlung des zu bearbeitenden Gegenstands (Wafer) selbst vor dem Atmosphärenbehandlungsschritt weitergeht, so dass die Kühlbehandlung in dem Atmosphärenbehandlungsschritt effizienter durchgeführt werden kann.
  • Gemäß dem achten Aspekt der vorliegenden Erfindung transportiert die Transportvorrichtung einen zu bearbeitenden Gegenstand in das Ladeschleusensystem, und transportiert dann, nachdem die Evakuierung des Ladeschleusensystems beendet ist, den zu bearbeitenden Gegenstand in das Vakuumbehandlungssystem, und transportiert dann, nachdem die Vakuumbehandlung beendet wurde, den zu bearbeitenden Gegenstand von dem Vakuumbehandlungssystem in das Wärmebehandlungssystem, und transportiert schließlich, nachdem die Wärmebehandlung beendet wurde, den zu bearbeitenden Gegenstand in das Ladeschleusensystem, und transportiert dann den zu bearbeitenden Gegenstand heraus in das Lademodul. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transports des zu bearbeitenden Gegenstands zwischen den Behandlungssystemen vereinfacht werden kann, so dass mehrere Prozesse einschließlich zumindest einer Vakuumbehandlung effizient durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem neunten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird für jede Stufe eine erste Relativpositionsbeziehung zwischen dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in einer Anfangsposition und dem Zentrum der Stufe detektiert, wird ein Transportweg für den zu bearbeitenden Gegenstand auf Grundlage der festgestellten ersten Relativpositionsbeziehung bestimmt, und wird der zu bearbeitende Gegenstand entlang dem ermittelten Transportweg transportiert. Dies führt dazu, dass der Transportweg zu der Stufe kurz sein kann. Weiterhin wird eine zweite Relativpositionsbeziehung zwischen dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands, nachdem er an die Stufe transportiert wurde, und dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in der Anfangsposition detektiert, und wird die Position des zu bearbeitenden Gegenstands korrigiert auf Grundlage der Differenz zwischen der ersten Relativpositionsbeziehung und der zweiten Relativpositionsbeziehung. Dies führt dazu, dass der zu bearbeitende Gegenstand an einer exakten Position auf der Stufe angeordnet werden kann, so dass der Wirkungsgrad des Transportvorgangs verbessert werden kann, und daher mehrere Prozesse effizient durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem neunten Aspekt wird das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil vorzugsweise gedreht, während das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil immer noch den zu bearbeitenden Gegenstand haltert. Daher kann die Position einer Bezugsebene des zu bearbeitenden Gegenstands relativ zur Stufe einfach zu einer vorbestimmten Position ausgerichtet werden, so dass der Wirkungsgrad des Transportvorgangs weiter verbessert werden kann.
  • Gemäß dem neunten Aspekt ist das Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in der Anfangsposition vorzugsweise das Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in dem Ladeschleusensystem vor dem Transport. Dies führt dazu, dass der Transportweg zu jeder Stufe kürzer eingestellt werden kann.
  • Gemäß dem zehnten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist die Transportvorrichtung, die bei dem Ladeschleusensystem vorhanden ist, das verbindbar mit einem Wärmebehandlungssystem und einem Vakuumbehandlungssystem verbunden ist, einen Transportarm auf, der zumindest zwei armförmige Teile aufweist, die drehbar miteinander jeweils an einem ihrer Enden verbunden sind, und ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil, das mit dem anderen Ende eines der armförmigen Teile verbunden ist, und einen zu bearbeitenden Gegenstand haltert; wird das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil in einer Ebene parallel zu einer Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands gedreht, um das andere Ende des einen der armförmigen Teile, und wird das eine der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands gedreht, um das eine Ende des einen der armförmigen Teile, und wird das andere der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands gedreht, um das andere Ende des anderen der armförmigen Teile. Der zu bearbeitende Gegenstand kann daher frei entlang eines frei gewählten Transportweges zu einer frei gewählten Position in dem Wärmebehandlungssystem oder dem Vakuumbehandlungssystem transportiert werden, so dass der Wirkungsgrad des Transportvorgangs verbessert werden kann, und daher mehrere Prozesse effizient durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem zehnten Aspekt werden die armförmigen Teile und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil vorzugsweise zusammenwirkend miteinander gedreht, um so den zu bearbeitenden Gegenstand entlang der Richtung der Anordnung der ersten Stufe und der zweiten Stufe zu bewegen. Dies führt dazu, dass der Bearbeitungsgegenstands-Transportweg kürzer gewählt werden kann, und daher der Wirkungsgrad des Transportvorgangs weiter verbessert werden kann.
  • Gemäß dem elften Aspekt der vorliegenden Erfindung weist die Transportvorrichtung, die in einem Ladeschleusensystem vorgesehen ist, das verbindbar mit einem Wärmebehandlungssystem und einem Vakuumbehandlungssystem verbunden ist, einen Transportarm auf, der zumindest zwei armförmige Teile aufweist, die drehbar miteinander an jeweils einem ihrer Enden verbunden sind, und ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil, das mit dem anderen Ende eines der armförmigen Teile verbunden ist, und einen zu bearbeitenden Gegenstand haltert; hierbei wird das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil in einer Ebene parallel zu einer Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands gedreht, um das andere Ende des einen der armförmigen Teile, und wird das eine der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des bearbeitenden Gegenstands gedreht, um das andere Ende des einen der armförmigen Teile, und wird das andere Ende der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands gedreht, um das andere Ende des anderen der armförmigen Teile. Dies führt dazu, dass der zu bearbeitende Gegenstand entlang einem frei gewählten Transportweg zu einer frei gewählten Position in dem Wärmebehandlungssystem oder dem Vakuumbehandlungssystem transportiert werden kann, wodurch der Wirkungsgrad des Transportvorgangs verbessert werden kann, und daher mehrere Prozesse effizient durchgeführt werden können.
  • Gemäß dem elften Aspekt werden die armförmigen Teile und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil vorzugsweise in Zusammenarbeit miteinander gedreht, damit der zu bearbeitende Gegenstand entlang der Richtung der Anordnung der ersten Stufe und der zweiten Stufe bewegt wird. Dies führt dazu, dass der Bearbeitungsgegenstands-Transportweg kürzer ausgebildet werden kann, und daher der Wirkungsgrad des Transportvorgangs weiter verbessert werden kann.
  • Die voranstehenden und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der folgenden, detaillierten Beschreibung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen noch deutlicher.
    •
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Aufsicht, die schematisch die Konstruktion einer Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 ist eine Seitenansicht, die schematisch den Aufbau der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß 1 zeigt;
  • 3A und 3B sind Darstellungen der ersten Hälfte einer Bearbeitungsgegenstands-Transportfolge für die in 1 gezeigte Vakuumbehandlungseinrichtung;
  • 4A und 4B sind Darstellungen der zweiten Hälfte der Transportfolge, deren erste Hälfte in den 3A und 3B gezeigt ist;
  • 5 ist eine schematische Darstellung eines Zeitablaufdiagramms zur Drucksteuerung bei der in 1 gezeigten Vakuumbehandlungseinrichtung;
  • 6 ist eine schematische Aufsicht auf die Konstruktion einer Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 7 ist eine Seitenansicht, welche schematisch den Aufbau der in 6 gezeigten Vakuumbehandlungseinrichtung zeigt; und
  • 8A und 8B sind Darstellungen einer Bearbeitungsgegenstands-Transportfolge für die in 6 gezeigte Vakuumbehandlungseinrichtung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die vorliegende Erfindung wird nachstehend im einzelnen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen geschildert, welche ihre bevorzugten Ausführungsformen zeigen.
  • 1 ist eine Aufsicht, die schematisch die Konstruktion der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. 2 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Konstruktion der Vakuumbehandlungseinrichtung von 1 zeigt.
  • In 1 weist die Vakuumbehandlungseinrichtung 100 eine erste Vakuumbehandlungskammer 10 auf, in welcher zu bearbeitende Gegenstände (nachstehend bezeichnet als "Bearbeitungsgegenstände"), beispielsweise Halbleiterwafer, bearbeitet werden, eine zweite Vakuumbehandlungskammer 30, die in einer Linie mit der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 und mit dieser verbindbar angeordnet ist, und in welcher die Bearbeitungsgegenstände bearbeitet werden, eine Ladeschleusenkammer 50, die verbindbar an die zweite Vakuumbehandlungskammer 30 an einer Position auf einer Linie mit der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 und der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 angeordnet ist, sowie ein Lademodul 70, das verbindbar mit der Ladeschleusenkammer 50 verbunden ist.
  • In der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 ist eine Stufe 11 angeordnet, auf welche ein Bearbeitungsgegenstand aufgesetzt wird, wenn eine Behandlung durchgeführt wird, sowie ein Bearbeitungsgegenstandshalter 12 zur Durchführung einer Übergabe des Bearbeitungsgegenstands. Wie in 1 gezeigt, ist ein Gasversorgungssystem 13 zum Liefern von N2-Gas oder dergleichen an die erste Vakuumbehandlungskammer 10 in deren oberen Abschnitt angeschlossen, und ist ein Auslasssystemdrucksteuerventil 14 an der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 in deren unterem Abschnitt angebracht. Weiterhin ist ein Druckmessinstrument (nicht gezeigt) zum Messen des Drucks innerhalb der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 in der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 vorgesehen.
  • Eine Transportöffnung (nicht gezeigt) zum Transportieren von Bearbeitungsgegenständen in die erste Vakuumbehandlungskammer 10 und aus dieser heraus ist in einer Seitenwand der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 vorgesehen. Eine erste Transportöffnung (nicht gezeigt) ist entsprechend bei der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 vorgesehen. Jener Abschnitt der ersten Vakuumbehandlungskammer 10, in welcher die Transportöffnung vorgesehen ist, und jener Abschnitt der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30, in welchem die erste Transportöffnung vorgesehen ist, sind miteinander durch eine Verbindungseinheit 20 verbunden. Die Verbindungseinheit 20 weist einen Absperrschieber 21 und eine erste Wärmeisolierungseinheit 22 auf, zum Isolieren des Inneren der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 und der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 gegenüber der Umgebungsatmosphäre.
  • In der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 ist eine Stufe 31 vorgesehen, auf welche ein Bearbeitungsgegenstand aufgesetzt wird, wenn eine Bearbeitung durchgeführt wird, sowie ein Bearbeitungsgegenstandshalter 32 zur Durchführung einer Übergabe des Bearbeitungsgegenstands. Wie in 2 gezeigt, ist ein Gasversorgungssystem 33 zum Liefern von N2-Gas oder dergleichen an die erste Vakuumbehandlungskammer 30 in deren oberen Abschnitt angeschlossen, und ist ein Auslasssystemdrucksteuerventil 34 an der ersten Vakuumbehandlungskammer 30 in deren unterem Abschnitt angebracht. Weiterhin ist ein Druckmessinstrument (nicht gezeigt) zum Messen des Druckes innerhalb der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 in der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 vorgesehen.
  • Zusätzlich zu der voranstehend geschilderten, ersten Transportöffnung ist auch eine zweite Transportöffnung (nicht gezeigt) in der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 vorgesehen. Eine erste Transportöffnung (nicht gezeigt) ist entsprechend in der Ladeschleusenkammer 50 vorgesehen. Der Abschnitt der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30, in welchem die zweite Transportöffnung vorgesehen ist, und der Abschnitt der Ladeschleusenkammer 50, in welchem die erste Transportöffnung vorgesehen ist, sind miteinander durch eine Verbindungseinheit 40 verbunden. Die erste Vakuumbehandlungskammer 10, die zweite Vakuumbehandlungskammer 30, und die Ladeschleusenkammer 50 sind daher entlang einer Linie angeordnet. Die Verbindungseinheit 40 weist einen Absperrschieber 41 und eine Wärmeisoliereinheit 42 auf, zum Isolieren des Inneren der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 und der Umgebung in der Ladeschleusenkammer 50 gegenüber der Umgebungsatmosphäre.
  • In der Ladeschleusenkammer 50 ist ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 vorgesehen, das einen Bearbeitungsgegenstand während des Transports haltert, so dass eine Übergabe des Bearbeitungsgegenstands durchgeführt werden kann, sowie ein Transportmechanismus 52 zum Transportieren des Bearbeitungsgegenstands-Halteteils 51 in die erste Vakuumbehandlungskammer 10, die zweite Vakuumbehandlungskammer 30, und das Lademodul 70. Über den Transportmechanismus 52 zum Transportieren des Bearbeitungsgegenstands-Halteteils 51, das einen Bearbeitungsgegenstand haltert, kann der Bearbeitungsgegenstand zwischen der ersten Vakuumbehandlungskammer 10, der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 und dem Lademodul 70 transportiert werden, und kann eine Übergabe des Bearbeitungsgegenstands durchgeführt werden.
  • Wie in 2 gezeigt, ist ein Gasversorgungssystem 53 zum Liefern von N2-Gas oder dergleichen an die Ladeschleusenkammer 50 an deren oberem Abschnitt angeschlossen, und ist ein Auslasssystem 80 an die Ladeschleusenkammer 50 an deren unterem Abschnitt angeschlossen. Weiterhin ist ein Druckmessinstrument (nicht gezeigt) zum Messen des Drucks innerhalb der Ladeschleusenkammer 50 in der Ladeschleusenkammer 50 angebracht.
  • Zusätzlich zu der voranstehend geschilderten, ersten Transportöffnung ist eine zweite Transportöffnung (nicht gezeigt) ebenfalls in der Ladeschleusenkammer 50 vorgesehen. Eine Transportöffnung (nicht gezeigt) ist entsprechend in dem Lademodul 70 vorgesehen. Jener Abschnitt der Ladeschleusenkammer 50, in welchem die zweite Transportöffnung vorgesehen ist, und jener Abschnitt des Lademoduls 70, in welchem die Transportöffnung vorgesehen ist, sind miteinander durch eine Verbindungseinheit 60 verbunden. Die Verbindungseinheit 60 weist ein Türventil 61 und eine Wärmeisoliereinheit 62 auf, zum Isolieren des Inneren der Ladeschleusenkammer 50 und der Umgebung in dem Lademodul 70 gegenüber der Umgebungsatmosphäre.
  • Bei der voranstehend geschilderten Konstruktion der Vakuumbehandlungseinrichtung 100 sind zwei Vakuumbehandlungskammern vorgesehen, nämlich eine erste Vakuumbehandlungskammer 10 und eine zweite Vakuumbehandlungskammer 30, die miteinander entlang einer Linie verbunden sind. Allerdings ist die Anzahl an Vakuumbehandlungskammern nicht auf zwei beschränkt, so dass auch drei oder mehr Vakuumbehandlungskammern zusammen entlang einer Linie verbunden sein können.
  • Bei der voranstehend geschilderten Vakuumbehandlungseinrichtung 100 wird eine Bearbeitungsgegenstands-Transportsequenz so durchgeführt, wie dies nachstehend erläutert wird; wenn jedoch ein Bearbeitungsgegenstand nicht ordnungsgemäß transportiert wird, muss die Bearbeitungsgegenstands-Transportsequenz sofort unterbrochen werden, um zu verhindern, dass mit dem Bearbeitungsgegenstand eine falsche Behandlung durchgeführt wird. Die Vakuumbehandlungseinrichtung 100 muss daher die Fähigkeit aufweisen, exakt die Positionen der transportierten Bearbeitungsgegenstände zu erfassen. Daher weist die Vakuumbehandlungseinrichtung 100 mehrere Positionssensoren auf, wie dies nachstehend erläutert wird.
  • Bei Bauteilen, mit welchen jeder Bearbeitungsgegenstand in direkte Berührung gelangt, im einzelnen der Stufe 31 (oder dem Bearbeitungsgegenstandshalter 32), dem Transportmechanismus 52 (oder dem Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51), und einer Stufe (nicht gezeigt), die innerhalb der Ladeschleusenkammer 50 vorgesehen ist, um zeitweilig die Bearbeitungsgegenstände zu haltern, wobei diese Bauteile jeweils einen Positionssensor aufweisen, wird unter Verwendung dieser Positionssensoren festgestellt, ob ein Bearbeitungsgegenstand vorhanden ist oder nicht. Weiterhin wird die Tatsache, ob ein Bearbeitungsgegenstand vorhanden ist oder nicht, entsprechend dem Status einer ESC-Spannvorrichtung festgestellt, die in der Stufe 11 innerhalb der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 vorgesehen ist, oder unter Verwendung eines Positionssensors. Die Erzeugung von Software zur Erfassung der Positionen von Bearbeitungsgegenständen auf Grundlage von Information, die durch diese Erfassung erhalten wird, ist für einen Fachmann auf dem Gebiet von Vakuumbehandlungseinrichtungen einfach; mit Hilfe derartiger Software kann beispielsweise eine Steuerung (nicht gezeigt), welche den Betrieb des Transportmechanismus 52 und dergleichen steuert, die Positionen von Bearbeitungsgegenständen feststellen, die durch die Vakuumbehandlungseinrichtung 100 transportiert werden.
  • Weiterhin sind in der ersten Vakuumbehandlungskammer 10, der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 und der Ladeschleusenkammer 50 Positionssensoreinheiten 90, 91, 92, 93, 94 und 95 entlang dem Transportweg des Bearbeitungsgegenstands an Positionen auf beiden Seiten jedes der Absperrschieber 21 und 41 und des Türventils 61 vorgesehen. Jede der Positionssensoreinheiten besteht aus drei Positionssensoren, beispielsweise Lasersensoren, die zu einem Außenumfang des Bearbeitungsgegenstands hin weisen; die Lasersensoren sind radial so angeordnet, dass sie dem Außenumfang des Bearbeitungsgegenstands gegenüberliegen, oder sind an Positionen entsprechend dem Außenumfang des Bearbeitungsgegenstands angeordnet, und stellen nicht nur die Position des Bearbeitungsgegenstands fest, sondern auch die Zentrumsposition des Bearbeitungsgegenstands.
  • Die Steuerung erfasst eine erste Relativpositionsbeziehung zwischen der Zentrumsposition eines Bearbeitungsgegenstands in der Ladeschleusenkammer 50 vor dem Transport (nachstehend bezeichnet als "Anfangsposition"), und der Zentrumsposition der Stufe 11 oder 31, bestimmt einen Transportweg für den Bearbeitungsgegenstand auf Grundlage der festgestellten ersten Relativpositionsbeziehung, transportiert den Bearbeitungsgegenstand entlang dem festgelegten Transportweg, und stellt dann eine zweite Relativpositionsbeziehung zwischen der Zentrumsposition des Bearbeitungsgegenstands, der zur Stufe 11 oder 31 transportiert wurde, und der Anfangsposition fest, und korrigiert die Position des Bearbeitungsgegenstands auf der Stufe 11 oder 31 auf Grundlage der Differenz zwischen der ersten und der zweiten Relativpositionsbeziehung. Dies führt dazu, dass der Transportweg zu jeder Stufe kurz gewählt werden kann, und darüber hinaus jeder Bearbeitungsgegenstand an einer exakten Position auf jeder der Stufen 11 und 31 angeordnet werden kann, so dass der Wirkungsgrad des Transportvorgangs verbessert werden kann, und daher die mehreren Prozesse effizient durchgeführt werden können.
  • Der Transportmechanismus 52 ist ein Transportarm, der aus einem Gelenkarm eines skalaren Einzelaufnehmertyps, eines skalaren Doppelaufnehmertyps oder dergleichen besteht. Eine Verbindungsriemenscheibe ist an einem Basisabschnitt des Transportarms angeordnet, und diese Verbindungsriemenscheibe ist mit einer Halterungsriemenscheibe, die an einer Verbindung des Arms angeordnet ist, über einen Synchronriemen verbunden, wodurch eine Drehantriebskraft auf die Halterungsriemenscheibe übertragen wird. Weiterhin ist die Verbindungsriemenscheibe darüber hinaus über einen anderen Synchronriemen an eine Drehwinkelriemenscheibe angeschlossen, die einen Kodierer aufweist, der den Drehwinkel des Arms erfasst.
  • Der Kodierer speichert elektrisch die Drehstartposition der Drehwinkelriemenscheibe, also die Ausgangsposition für die Bewegung des Transportarms, als Ursprung, und stellt darüber hinaus die bewegte Entfernung des Transportarms dadurch fest, dass er den Drehwinkel der Drehwinkelriemenscheibe erfasst, die zur Drehung durch den anderen Synchronriemen angetrieben wird, in Form eines Digitalsignals unter Verwendung eines Drehwinkelsensors, und gibt die festgestellte Bewegungsentfernung als Lerndaten heraus, die beim Transport eines Bearbeitungsgegenstands verwendet werden, beispielsweise zur Beurteilung dazu, ob die Positionierung des Bearbeitungsgegenstands exakt durchgeführt wurde oder nicht.
  • Die Vakuumbehandlungseinrichtung 100 beurteilt, ob die Positionierung eines Bearbeitungsgegenstands, insbesondere die Positionierung eines Bearbeitungsgegenstands auf der Stufe 11 oder 13, exakt durchgeführt wurde oder nicht, durch Vergleichen der Position des Bearbeitungsgegenstands, die von den Positionssensoren erfasst wird, mit den Lerndaten, die von dem Kodierer ausgegeben werden.
  • Weiterhin weist der Transportarm, der als der Transportmechanismus 52 dient, zumindest zwei armförmige Teile auf. Die beiden armförmigen Teile sind drehbar miteinander an einem ihrer Enden verbunden, und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 ist mit dem anderen Ende eines der beiden armförmigen Teile verbunden. Weiterhin dreht sich das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 in einer Ebene parallel zur Oberfläche des Bearbeitungsgegenstands um das andere Ende des einen der armförmigen Teile, und darüber hinaus dreht sich das eine der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des Bearbeitungsgegenstands um das eine Ende des einen der armförmigen Teile, und dreht sich das andere armförmige Teil in einer Ebene parallel zur Oberfläche des Bearbeitungsgegenstands um das andere Ende des anderen armförmigen Teils. Dies führt dazu, dass jeder Bearbeitungsgegenstand entlang einem frei gewählten Transportweg zu einer frei gewählten Position in der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 oder der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 transportiert werden kann, so dass der Wirkungsgrad des Transportvorgangs verbessert werden kann, und daher die mehreren Prozesse effizient durchgeführt werden können.
  • Die beiden armförmigen Teile und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 drehen sich in Zusammenarbeit miteinander so, dass jeder Bearbeitungsgegenstand entlang einem frei gewählten Transportweg bewegt wird, beispielsweise entlang der Richtung der Anordnung der Stufen 11 und 13. Dies führt dazu, dass der Bearbeitungsgegenstands-Transportweg noch kürzer ausgebildet werden kann, und daher der Betriebswirkungsgrad noch weiter verbessert werden kann.
  • Weiterhin dreht sich über der Stufe 11 oder 31 das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51, während es immer noch den Bearbeitungsgegenstand haltert, um so die Position einer Orientierungsebene (Bezugsebene) des Bearbeitungsgegenstands (Wafer) zu einer vorbestimmten Position auszurichten. Dies führt dazu, dass die Position der Orientierungsebene des Wafers relativ zur Stufe 11 oder 31 einfach zur vorbestimmten Position ausgerichtet werden kann, und daher der Betriebswirkungsgrad noch weiter verbessert werden kann.
  • Als nächstes erfolgt eine Beschreibung eines Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahrens, das von der Vakuumbehandlungseinrichtung 100 ausgeführt wird, und einer Bearbeitungsgegenstands-Transportsequenz, die bei diesem Verfahren eingesetzt wird.
  • Die 3A und 3B zeigen schematisch die erste Hälfte der Bearbeitungsgegenstands-Transportsequenz für die in 1 gezeigte Vakuumbehandlungseinrichtung 100. Die 4A und 4B zeigen schematisch die zweite Hälfte der Transportsequenz, deren erste Hälfte in den 3A und 3B angegeben ist.
  • In der folgenden Beschreibung erfolgt ein Beispiel, bei welchem die Vakuumbehandlungseinrichtung 100 COR (chemische Oxidentfernung) und PHT (Wärmenachbehandlung) bei Bearbeitungsgegenständen als Alternative zur herkömmlichen Ätzbehandlung (Trockenätzung oder Nassätzung) durchführt. COR ist eine Behandlung, bei welcher mit Gasmolekülen eine chemische Reaktion durchgeführt wird, und die erzeugten Erzeugnisse an einem Oxidfilm auf einem Bearbeitungsgegenstand anhaften, und PHT ist eine Behandlung, bei welcher der Bearbeitungsgegenstand, mit welchem COR durchgeführt wurde, erwärmt wird, so dass bei den Erzeugnissen, die auf dem Bearbeitungsgegenstand durch die chemische Reaktion bei der COR erzeugt werden, eine Verdampfung und Wärmeoxidation durchgeführt wird, und daher diese Erzeugnisse von dem Bearbeitungsgegenstand entfernt werden.
  • Bei der COR, die auf dem Bearbeitungsgegenstand durchgeführt wird, der aus einem Substrat besteht, das eine Grundlage bildet, und einer vorbestimmten Schicht, die auf dem Substrat vorgesehen ist, wird eine Oxidschicht (Oxidfilm) oder Polysilizium, die bzw. das nach Entfernen einer Polysiliziumschicht in Gatebereichen der vorbestimmten Schicht freiliegt, selektiv geätzt; bei dieser COR wird die Ätzrate so gesteuert, dass der Vorgang der Ätzung an der Oberfläche des Substrats anhält. Weiterhin umfasst diese COR einen chemischen Oxidentfernungsprozess in der Dampfphase zur Ausbildung von Gateöffnungen, der bei niedrigem Druck durchgeführt wird, unter Verwendung eines Dampfes aus HF und NH3 als Ätzgas.
  • Nachstehend wird die erste Vakuumbehandlungskammer 10 als eine COR-Behandlungskammer 10 gewählt, in welcher die COR bei den Bearbeitungsgegenständen durchgeführt wird, und wird die zweite Vakuumbehandlungskammer 30 als eine PHT-Behandlungskammer 30 gewählt, bei welcher PHT bei den Bearbeitungsgegenständen durchgeführt wird. Hierbei ist das Gasversorgungssystem 13 der COR-Behandlungskammer 10 vorzugsweise ein Duschkopf, wobei in diesem Fall das eingelassene Gas gleichförmig über die COR-Behandlungskammer 10 zugeführt werden kann.
  • Das Volumen der COR-Behandlungskammer 10 beträgt annähernd 30 Liter, der Druck innerhalb der COR-Behandlungskammer 10 liegt im Bereich von 0,5 bis 30 mTorr, die Temperatur innerhalb der COR-Behandlungskammer 10 liegt im Bereich von 15 bis 50 °C, und das eingelassene Gas ist ein fluorhaltiges, reaktives Gas, ein reduzierendes Gas, ein Inertgas oder dergleichen. Inertgase umfassen die Gase Ar, He, Ne, Kr und Xe, jedoch ist Ar-Gas vorzuziehen.
  • Weiterhin beträgt das Volumen der PHT-Behandlungskammer 30 annähernd 50 Liter, und wird der Druck innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 in zwei Stufen verringert, wobei sich der Druck während der Bearbeitung von dem Druck während des Transports unterscheidet. Weiterhin ist keine Einschränkung in Bezug auf Verringerung des Drucks in zwei Stufen vorhanden, sondern kann auch eine mehrstufige Druckverringerung, bei welcher der Druck in mehr als zwei Stufen verringert wird, entsprechend den Prozessbedingungen durchgeführt werden. Weiterhin liegt die Temperatur innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 im Bereich von 80 bis 200 °C, und liegt die Vakuumpumpensaugrate im Bereich von 1600 bis 1800 l/min (auf 200 mTorr), und im Bereich von 0 bis 100 l/min, wenn die Bearbeitung beendet ist (auf 0,5 mTorr), obwohl dann, sobald das gewünschte Vakuum in der PHT-Behandlungskammer 30 erreicht wurde, die Pumpe nicht betrieben wird. Das in die PHT-Behandlungskammer 30 eingelassene Gas dient zum Verhindern von Streuen von Teilchen und zum Kühlen, und ist ein herunterfließendes Gas (N2).
  • Wie unter (1) in den 3A und 3B gezeigt, befindet sich zuerst ein Bearbeitungsgegenstand W1 in dem Lademodul 70, und sind die Verbindungseinheiten 20 und 40 im geschlossenen Zustand, so dass die COR-Behandlungskammer 10 und die PHT-Behandlungskammer 30 gegeneinander isoliert sind. Andererseits befindet sich die Verbindungseinheit 60 im geöffneten Zustand. Auf dem Bearbeitungsgegenstand W1 wurde bereits auf einer seiner Oberflächen unter Verwendung einer herkömmlichen Behandlung ein vorbestimmtes Muster ausgebildet. Wie in (2) gezeigt, wird der erste Bearbeitungsgegenstand W1 von dem Lademodul 70 in die Ladeschleusenkammer 50 transportiert, und dann wird das Türventil 61 der Verbindungseinheit 60 geschlossen. Als nächstes wird das Absaugsystemdrucksteuerventil 34 geschlossen, und wird die Ladeschleusenkammer 50 evakuiert. Nachdem die Evakuierung der Ladeschleusenkammer 50 beendet ist wird, wie in (3) gezeigt, das Absaugsystemdrucksteuerventil 34 geöffnet, und wird der Absperrschieber 41 der Verbindungseinheit 40 geöffnet. Danach wird der Absperrschieber 21 der Verbindungseinheit 20 geöffnet.
  • Dann wird, wie bei (4) gezeigt, der Bearbeitungsgegenstand W1, der von dem Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 gehaltert wird, in die COR-Behandlungskammer 10 durch den Transportmechanismus 52 transportiert, und dann werden, wie bei (5) gezeigt, nachdem das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 und der Transportmechanismus 52 in die Ladeschleusenkammer 50 zurückgekehrt sind, die Absperrschieber 21 und 41 geschlossen, und wird mit COR begonnen. Während dieser Behandlung wird das Innere der Ladeschleusenkammer 50 zur Atmosphärenluft hin geöffnet.
  • Dann wird, wie bei (6) und (7) gezeigt, ein zweiter Bearbeitungsgegenstand W2 von dem Lademodul 70 in die Ladeschleusenkammer 50 transportiert, und wird dann das Türventil 61 geschlossen, und darüber hinaus das Absaugsystemdrucksteuerventil 34 geschlossen, und wird mit der Evakuierung der Ladeschleusenkammer 50 begonnen. Nachdem die Evakuierung der Ladeschleusenkammer 50 beendet ist, werden das Absaugsystemdrucksteuerventil 34 und der Absperrschieber 41 geöffnet, und wird darauf gewartet, dass die COR beendet ist.
  • Wie bei (8) und (9) gezeigt wird, nachdem die COR beendet ist, der Absperrschieber 21 geöffnet, und wird der Bearbeitungsgegenstand W1 von der COR-Behandlungskammer 10 in die PHT-Behandlungskammer 30 bewegt.
  • Dann wird, wie bei (10) und (11) gezeigt, der Bearbeitungsgegenstand W2 von der Ladeschleusenkammer 50 in die COR-Behandlungskammer 10 bewegt, und dann werden, wie bei (12) gezeigt, nachdem das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 und der Transportmechanismus 52 in die Ladeschleusenkammer 50 zurückgekehrt sind, die Absperrschieber 21 und 41 geschlossen, und wird mit der COR in der COR-Behandlungskammer 10 begonnen, während PHT in der PHT-Behandlungskammer 30 eingeleitet wird.
  • Nachdem die PHT beendet ist, wird, wie bei (13) gezeigt, der Absperrschieber 41 geöffnet, und wird der Bearbeitungsgegenstand W1 in der PHT-Behandlungskammer 30 in die Ladeschleusenkammer 50 bewegt.
  • Dann wird, wie bei (14) bis (16) gezeigt ist, der Absperrschieber 41 geschlossen, und wird der Innenraum der Ladeschleusenkammer 50 der Atmosphärenluft ausgesetzt, und dann wird der Bearbeitungsgegenstand W1 in der Ladeschleusenkammer 50 durch einen dritten Bearbeitungsgegenstand W3 ausgetauscht, der in dem Lademodul 70 wartet. Danach wird, wie bei (17) gezeigt, die Ladeschleusenkammer 50 evakuiert. Der Absperrschieber 41 wird dann geöffnet, und es wird auf die Beendigung der COR bei dem Bearbeitungsgegenstand W2 gewartet. Die voranstehend geschilderte Transportsequenz wird von einer Drucksteuerung begleitet. Die voranstehend geschilderte Transportsequenz wird wiederholt, bis die Bearbeitung des gesamten Postens aus Bearbeitungsgegenständen beendet ist.
  • Bei jedem der Schritte (1) bis (16) in der voranstehend beschriebenen Transportsequenz kann die Beurteilung der Positionierung jedes Bearbeitungsgegenstands auf Grundlage des Vergleichs zwischen der Position des Bearbeitungsgegenstands, die von den voranstehend geschilderten Positionssensoren erfasst wird, und den Lerndaten durchgeführt werden, und kann dann, falls die Positionierung eines Bearbeitungsgegenstands in einem bestimmten Schritt nicht exakt durchgeführt wurde, der Transport des Bearbeitungsgegenstands unterbrochen werden, und können der Schritt sowie die Position des Bearbeitungsgegenstands in diesem Schritt gespeichert werden, wodurch die gespeicherten Daten als Basisdaten für ein Rezept für eine erneute Behandlung verwendet werden können.
  • Voranstehend wurde nur ein Beispiel für das Transportverfahren angegeben, jedoch sind auch andere Transportmuster möglich, beispielsweise Ladeschleusenkammer 50 → erste Behandlungskammer 10 → Ladeschleusenkammer 50, Ladeschleusenkammer 50 → zweite Vakuumbehandlungskammer 30 → Ladeschleusenkammer 50, und Ladeschleusenkammer 50 → zweite Vakuumbehandlungskammer 30 → erste Vakuumbehandlungskammer 10 → Ladeschleusenkammer 50.
  • Weiterhin ist, falls erforderlich, auch eine Rückwärts- und Vorwärtsbewegung zwischen der ersten Vakuumbehandlungskammer 10 und der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 möglich. Durch Bewegen eines Bearbeitungsgegenstands rückwärts und vorwärts zwischen der COR-Behandlungskammer 10 (erste Vakuumbehandlungskammer 10) und der PHT-Behandlungskammer 30 (zweite Vakuumbehandlungskammer 30) und dadurch wiederholtes Ausführen von COR und PHT, kann theoretisch die Linienbreite des auf dem Bearbeitungsgegenstand erzeugten Musters feiner ausgebildet werden. Hierdurch kann eine Anpassung an eine Musterverkleinerung erreicht werden.
  • Bei der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß der voranstehend geschilderten, ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung transportiert der Transportmechanismus 52 den Bearbeitungsgegenstand W1 in die Ladeschleusenkammer 50, und transportiert, nachdem die Evakuierung der Ladeschleusenkammer 50 beendet ist, den Bearbeitungsgegenstand W1 in COR-Behandlungskammer 10, und bewegt, nachdem die COR beendet ist, den Bearbeitungsgegenstand W1 von der COR-Behandlungskammer 10 in die PHT-Behandlungskammer 30, und bewegt, nachdem die PHT beendet ist, den Bearbeitungsgegenstand W1 in der PHT-Behandlungskammer 30 in die Ladeschleusenkammer 50, und transportiert dann den Bearbeitungsgegenstand W1 heraus in das Lademodul 70. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transportierens des Bearbeitungsgegenstands W1 zwischen den mehreren Behandlungskammern vereinfacht werden kann, und daher die mehreren Prozesse einschließlich zumindest einer COR-Behandlung effizient durchgeführt werden können.
  • Weiterhin kann bei der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß der ersten Ausführungsform in jenem Fall, in welchem die folgende Prozessbedingung erfüllt ist, eine Abfolge aus zwei Behandlungen effizient durchgeführt werden, ohne dass die erste Vakuumbehandlungskammer 10 warten muss.
  • Prozessbedingung: (Dauer der ersten Behandlung) ≥ (Dauer der zweiten Behandlung) + (Dauer der ersten Umschaltung) + (Dauer der zweiten Umschaltung) + (Dauer der Gaszufuhr bzw. des Gasabpumpens für die Ladeschleusenkammer 50).
  • Hierbei ist:
    Dauer der ersten Behandlung = Dauer der Behandlung in der ersten Vakuumbehandlungskammer 10
    Dauer der zweiten Behandlung = Dauer der Behandlung in der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30
    Dauer der ersten Umschaltung = Zeitraum, der benötigt wird, um Bearbeitungsgegenstände zwischen der Ladeschleusenkammer 50 und der zweiten Vakuumbehandlungskammer 30 auszutauschen
    Dauer der zweiten Umschaltung: Zeitraum, der benötigt wird, um Bearbeitungsgegenstände zwischen der Ladeschleusenkammer 50 und dem Lademodul 70 umzuschalten
  • Die erste Vakuumbehandlungskammer 10 und die zweite Vakuumbehandlungskammer 30 können aus einer geeigneten Kombination erforderlicher Module bestehen, die ausgewählt sind aus Ätzsystemen, Filmherstellungssystemen, Beschichtungssystemen, Messsystemen, Wärmebehandlungssystemen, usw., ohne dass es eine Einschränkung auf das voranstehend geschilderte Beispiel gibt.
  • Weiterhin gibt es in jenem Fall, in welchem sich die erste Vakuumbehandlungskammer 10 und die zweite Vakuumbehandlungskammer 30 ständig im Vakuumzustand befinden, keine Fälle, in welchen die zweite Vakuumbehandlungskammer 30 und die Ladeschleusenkammer 50 gleichzeitig evakuiert werden, so dass sich in diesem Fall die zweite Vakuumbehandlungskammer 30 und die Ladeschleusenkammer 50 dasselbe Absaugsystem 80 teilen können.
  • Als nächstes erfolgt eine Beschreibung der Drucksteuerung während des Betriebs der Vakuumbehandlungseinrichtung 100.
  • 1 zeigt schematisch als Zeitablaufdiagramm die Drucksteuerung in der Vakuumbehandlungseinrichtung 100.
    • 1) Während die PHT-Behandlungskammer 30 evakuiert wird, wird das Innere der Ladeschleusenkammer 50 der Atmosphärenluft ausgesetzt, und wird ein Bearbeitungsgegenstand, mit dem keine COR durchgeführt wurde, von dem Lademodul 70 in die Ladeschleusenkammer 50 transportiert, und dann wird das Absaugsystemdrucksteuerventil 34 (nachstehend bezeichnet als "PHT-Absaugventil 34"), das an der PHT-Behandlungskammer 30 vorgesehen ist, geschlossen, wodurch mit der Evakuierung der Ladeschleusenkammer 50 begonnen wird. Sobald die Ladeschleusenkammer 50 einen eingestellten Druck erreicht hat, wird ein Absaugventil der Ladeschleusenkammer 50 (LLM-Absaugventil, nicht in 1 oder 2 gezeigt) geschlossen, wird das PHT-Absaugventil 34 geöffnet, und wird eine solche Steuerung durchgeführt, dass der Druck innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 kleiner wird als der Druck innerhalb der Ladeschleusenkammer 50; sobald bestätigt wurde, dass diese Steuerung beendet ist, wird der Absperrschieber 41 (nachstehend bezeichnet als "PHT-seitiger Absperrschieber 41") zwischen der Ladeschleusenkammer 50 und der PHT-Behandlungskammer 30 geöffnet, wodurch die PHT-Behandlungskammer 30 mit der Ladeschleusenkammer 50 verbunden wird.
    • Das PHT-Absaugventil 34 wird selbst dann offen gehalten, nachdem der PHT-seitige Absperrschieber 41 geöffnet wurde, wodurch die PHT-Behandlungskammer 30 evakuiert wird, und daher verhindert wird, dass die PHT-Atmosphäre in die Ladeschleusenkammer 50 hineingelangt. Weiterhin kann ein Fluid (N2) absichtlich dazu veranlasst werden, von der Ladeschleusenkammer 50 aus hineinzufließen, um das Auftreten einer Konvexion und dergleichen zu verhindern.
    • 2) Der Druck innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 wird überwacht, während die PHT-Behandlungskammer 30 evakuiert wird, und der Druck innerhalb der COR-Behandlungskammer 10 wird so gesteuert, dass der Druck innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 niedriger ist als der Druck innerhalb der COR-Behandlungskammer 10. Sobald der Druck innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 niedriger geworden ist als der Druck innerhalb der COR-Behandlungskammer 10, wird das Absaugsystemdrucksteuerventil 14 (nachstehend bezeichnet als "COR-Absaugventil 14"), das an der COR-Behandlungskammer 10 vorgesehen ist, geschlossen, und wird der Absperrschieber 21 (nachstehend bezeichnet als "COR-seitiger Absperrschieber 21") zwischen der PHT-Behandlungskammer 30 und der COR-Behandlungskammer 10 geöffnet. Das PHT-Absaugventil 34 wird selbst dann offen gehalten, nachdem der COR-seitige Absperrschieber 21 geöffnet wurde, wodurch die PHT-Behandlungskammer 30 evakuiert wird, und daher verhindert wird, dass die Atmosphäre innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 in die COR-Behandlungskammer 10 hineingelangt. Darüber hinaus kann ein Fluid (N2) absichtlich dazu veranlasst werden, von der COR-Behandlungskammer 10 aus hereinzufließen, um das Auftreten einer Konvexion und dergleichen zu verhindern.
    • 3) Der PHT-seitige Absperrschieber 41 wird geöffnet unter Verwendung der voranstehend unter 1) geschilderten Sequenz, und dann wird, wobei die Ladeschleusenkammer 50 und die PHT-Behandlungskammer 30 als ein einziges Modul angesehen werden, der COR-seitige Absperrschieber 21 geöffnet, unter Verwendung der voranstehend unter 2) geschilderten Sequenz. Das PHT-Absaugventil 34 bleibt selbst dann geöffnet, nachdem der PHT-seitige Absperrschieber 41 und der COR-seitige Absperrschieber 21 geöffnet wurden, wodurch die PHT-Behandlungskammer 30 evakuiert wird, und daher verhindert wird, dass die Atmosphäre innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 in die Ladeschleusenkammer 50 oder die COR-Behandlungskammer 10 hineingelangt. Darüber hinaus kann ein Fluid (N2) absichtlich dazu veranlasst werden, in die Ladeschleusenkammer 50 und die COR-Behandlungskammer 10 hineinzufließen, um das Auftreten einer Konvexion und dergleichen zu verhindern, und kann dadurch das Auftreten eines Rückflusses verhindert werden, dass die Flussrate des Fluids von der Ladeschleusenkammer 50 in die PHT-Behandlungskammer 30 gleich jener von der COR-Behandlungskammer 10 gewählt wird.
    • 4) Bei der voranstehend unter 3) geschilderten Sequenz wird, nachdem der Bearbeitungsgegenstand, mit welcher die COR durchgeführt wurde, aus der COR-Behandlungskammer 10 heraus transportiert wurde, der Druck innerhalb der COR-Behandlungskammer 10 unter Verwendung des PHT-Absaugventils 34 auf einen statischen Eliminierungsdruck gesteuert, um eine restliche ESC-Ladung auszuschalten. Dies führt dazu, dass eine statische ESC-Eliminierung durchgeführt werden kann, ohne dass die Atmosphäre innerhalb der PHT-Behandlungskammer 30 in die COR-Behandlungskammer 10 hineingelangt.
  • Darüber hinaus können die Behandlung in der PHT-Behandlungskammer 30 und die Behandlung in der COR-Behandlungskammer 10 kontinuierlich ständig im Vakuumzustand durchgeführt werden, so dass das Auftreten einer chemischen Reaktion verhindert werden kann, bei welcher der Oxidfilm auf dem Bearbeitungsgegenstand nach der COR Feuchtigkeit aus der Atmosphäre oder dergleichen absorbiert.
  • Bei dem voranstehend geschilderten Transportverfahren wurden Wafer, die als Erzeugnisse (also Wafererzeugnisse) verwendet werden sollen, als die Bearbeitungsgegenstände transportiert; allerdings sind die transportierten Bearbeitungsgegenstände nicht auf Wafererzeugnisse beschränkt, sondern können auch Attrappenwafer zur Untersuchung des Betriebs der Behandlungskammern und Vorrichtungen der Vakuumbehandlungseinrichtung 100 sein, oder andere Attrappenwafer, die bei der Alterung der Behandlungskammern eingesetzt werden.
  • Als nächstes erfolgt eine Beschreibung einer Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen.
  • 6 ist eine Aufsicht, die schematisch die Konstruktion der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. 7 ist eine Seitenansicht, die schematisch die Konstruktion der in 6 dargestellten Vakuumbehandlungseinrichtung zeigt.
  • In 6 weist die Vakuumbehandlungseinrichtung 600 eine Vakuumbehandlungskammer 601 auf, in welcher mit Bearbeitungsgegenständen eine Vakuumbehandlung durchgeführt wird, eine Atmosphärenbehandlungskammer 602, die in einer Linie mit der Vakuumbehandlungskammer 601 angeordnet und mit dieser verbindbar ist, und in welcher mit den Bearbeitungsgegenständen eine andere Behandlung durchgeführt wird, eine Ladeschleusenkammer 603, die zwischen der Vakuumbehandlungskammer 601 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 angeordnet ist, und verbindbar an die Vakuumbehandlungskammer 601 und die Atmosphärenbehandlungskammer 602 angeschlossen ist, an einem solchen Ort, dass eine Linie mit der Vakuumbehandlungskammer 601 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 gebildet wird, sowie ein Lademodul 604, das verbindbar an die Atmosphärenbehandlungskammer 602 angeschlossen ist.
  • In der Vakuumbehandlungskammer 601 ist eine Stufe 605 vorgesehen, die sowohl als Plattform dient, auf welcher ein Bearbeitungsgegenstand angeordnet werden soll, als auch als untere Elektrode, an welcher eine Hochfrequenzspannung zur Erzeugung eines Plasmas innerhalb der Vakuumbehandlungskammer 601 angelegt wird, wenn eine Behandlung durchgeführt wird, wobei eine Heizvorrichtung 606 vorgesehen ist, die in die Stufe 605 eingebaut ist, und den auf der Stufe 605 angeordneten Bearbeitungsgegenstand erwärmt, ein Duschkopf 607, der sowohl als Versorgungssystem dient, welches ein reaktives Gas der Vakuumbehandlungskammer 601 zuführt, als auch als obere Elektrode zur Erzeugung eines elektrischen Hochfrequenzfeldes innerhalb der Vakuumbehandlungskammer 601 in Zusammenarbeit mit der Stufe 605, die als die untere Elektrode dient, eine Auslassöffnung 608, die ein frei zu öffnendes und zu schließendes Ventil (nicht gezeigt) aufweist, und aus welcher das Plasma und Erzeugnisreste, die innerhalb der Vakuumkammer 601 erzeugt werden, ausgestoßen werden, sowie ein Druckmessinstrument (nicht gezeigt) zum Messen des Drucks innerhalb der Vakuumbehandlungskammer 601. Das Innere der Vakuumbehandlungskammer 601 wird ständig im Vakuumzustand gehalten, so dass ein Zustand vorhanden ist, in welchem eine Vakuumbehandlung durchgeführt werden kann.
  • Eine Transportöffnung (nicht gezeigt) zum Transportieren von Bearbeitungsgegenständen in die erste Vakuumbehandlungskammer 601 und aus dieser heraus ist in einer Seitenwand der Vakuumbehandlungskammer 601 vorgesehen. Eine Transportöffnung (nicht gezeigt) ist entsprechend in einer Seitenwand der Ladeschleusenkammer 603 vorgesehen, die neben der Vakuumbehandlungskammer 601 angeordnet ist. Jene Abschnitte der Vakuumbehandlungskammer 601 und der Ladeschleusenkammer 603, in welchen die Transportöffnungen vorgesehen sind, sind miteinander durch eine Verbindungseinheit 611 verbunden. Die Verbindungseinheit 611 weist einen Absperrschieber 612 und eine Wärmeisoliereinheit 613 zum Isolieren der Innenräume der Vakuumbehandlungskammer 601 und der Ladeschleusenkammer 603 gegenüber der Umgebungsatmosphäre auf.
  • In der Atmosphärenbehandlungskammer 602 ist eine Stufe 609 vorgesehen, auf welche ein Bearbeitungsgegenstand aufgesetzt wird, sowie ein Halter 610, der den Bearbeitungsgegenstand haltert, der auf die Stufe 609 aufgesetzt ist. In die Stufe 609 ist eine Kühlschaltung (nicht gezeigt) als Kühlmechanismus eingebaut, durch den ein Kühlmittel umlaufen kann, wodurch der auf der Stufe 609 angeordnete Bearbeitungsgegenstand gekühlt wird. Weiterhin ist der Innenraum der Atmosphärenbehandlungskammer 602 ständig zur Atmosphärenluft hin geöffnet. Eine Kühlbehandlung, bei welcher ein Bearbeitungsgegenstand, der während CVD oder dergleichen erwärmt wurde, gekühlt wird, kann daher unter Atmosphärendruck in der Atmosphärenbehandlungskammer 602 durchgeführt werden.
  • Weiterhin kann, als Kühlmechanismus, zusätzlich zu der voranstehend geschilderten Kühlschaltung, die Atmosphärenbehandlungskammer 602 eine Einlassöffnung aufweisen, durch welche ein herunterfließendes Gas zum Kühlen, beispielsweise ein Inertgas wie N2, Ar oder He, in die Atmosphärenbehandlungskammer 602 eingelassen wird.
  • Eine Transportöffnung (nicht gezeigt) zum Transportieren von Bearbeitungsgegenständen in die Atmosphärenbehandlungskammer 602 hinein und aus dieser heraus, ist in einer Seitenwand der Atmosphärenbehandlungskammer 602 vorgesehen. Zusätzlich zu der voranstehend geschilderten Transportöffnung ist eine andere Transportöffnung (nicht gezeigt) entsprechend in einer Seitenwand der Ladeschleusenkammer 603 vorgesehen, die in der Nähe der Atmosphärenbehandlungskammer 602 angeordnet ist. Jene Abschnitte der Atmosphärenbehandlungskammer 602 und der Ladeschleusenkammer 603, in welchen die Transportöffnungen vorgesehen sind, sind miteinander durch eine Verbindungseinheit 614 verbunden. Dies führt dazu, dass die Vakuumbehandlungskammer 601, die Ladeschleusenkammer 603 und die Atmosphärenbehandlungskammer 602 so angeordnet sind, dass sie in dieser Reihenfolge eine Linie bilden. Die Verbindungseinheit 614 weist einen Absperrschieber 615 und eine Wärmeisoliereinheit 616 auf, zum Isolieren der Innenräume der Atmosphärenbehandlungskammer 602 und der Ladeschleusenkammer 603 gegenüber der Umgebungsatmosphäre.
  • In der Ladeschleusenkammer 603 ist ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 617 vorgesehen, das einen Bearbeitungsgegenstand während des Transports haltert, so dass eine Übergabe des Bearbeitungsgegenstands durchgeführt werden kann, sowie ein Transportmechanismus 618, zum Transportieren des Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 617 in die Vakuumbehandlungskammer 601 und die Atmosphärenbehandlungskammer 602. Mit Hilfe des Transportmechanismus 618 zum Transportieren des Bearbeitungsgegenstands-Halteteils 617, das einen Bearbeitungsgegenstand haltert, kann der Bearbeitungsgegenstand zwischen der Vakuumbehandlungskammer 601 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 transportiert werden, und kann die Übergabe des Bearbeitungsgegenstands durchgeführt werden. Weiterhin ist das Volumen im Inneren der Ladeschleusenkammer 603 so gewählt, dass der minimale Raum sichergestellt wird, der dazu erforderlich ist, dass der Betrieb des Transportmechanismus 618 nicht gestört wird.
  • Wie in 7 gezeigt, ist ein Rohr 619, welches das Innere der Ladeschleusenkammer 603 mit der Außenseite verbindet, in der Ladeschleusenkammer 603 in deren unterem Abschnitt vorgesehen. Eine Vakuumpumpe 623, beispielsweise eine Turbomolekularpumpe, und ein Ventil 624, das es ermöglicht, das Innere der Ladeschleusenkammer 603 und der Vakuumpumpe 623 miteinander zu verbinden bzw. voneinander zu trennen, sind in dem Rohr 619 vorgesehen. Weiterhin ist ein Druckmessinstrument (nicht gezeigt) zum Messen des Drucks innerhalb der Ladeschleusenkammer 603 in der Ladeschleusenkammer 603 angeordnet. Weiterhin ist ein Gasversorgungssystem 620 zum Liefern von N2-Gas oder dergleichen an die Ladeschleusenkammer 603 an deren unterem Abschnitt angeschlossen. Die Ladeschleusenkammer 603 weist daher eine solche Konstruktion auf, dass ihr Inneres zwischen einem Vakuumzustand und Atmosphärendruck umgeschaltet werden kann, unter Verwendung des Rohrs 619 und des Gasversorgungssystems 620.
  • In dem Lademodul 604 ist ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 625 und ein Transportmechanismus 626 vorgesehen, entsprechend dem Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 617 und dem Transportmechanismus 618, die voranstehend beschrieben wurden. Unter Verwendung des Bearbeitungsgegenstands-Halteteils 625 und des Transportmechanismus 626 kann ein Bearbeitungsgegenstand zwischen einem Bearbeitungsgegenstandsträger (nicht gezeigt), der in dem Lademodul 604 angebracht ist, und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 transportiert werden, und kann die Übergabe des Bearbeitungsgegenstands durchgeführt werden.
  • Eine Transportöffnung (nicht gezeigt) ist einer Seitenwand des Lademoduls 604 vorgesehen. Weiterhin ist, zusätzlich zu der voranstehend geschilderten Transportöffnung, eine andere Transportöffnung (nicht gezeigt) entsprechend in einer Seitenwand der Atmosphärenbehandlungskammer 602 vorgesehen, die in der Nähe des Lademoduls 604 angeordnet ist. Jene Abschnitte des Lademoduls 604 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602, in welchen die Transportöffnungen vorgesehen sind, sind miteinander durch eine Verbindungseinheit 627 verbunden.
  • Bei der voranstehend geschilderten Konstruktion der Vakuumbehandlungseinrichtung 600 sind zwei Behandlungskammern, nämlich eine Vakuumbehandlungskammer 601 und eine Atmosphärenbehandlungskammer 602, vorgesehen, die entlang einer Linie angeordnet sind. Wie bei der Vakuumbehandlungseinrichtung 100 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist jedoch die Anzahl an Behandlungskammern nicht auf zwei beschränkt, so dass auch drei oder mehr Behandlungskammern zusammen entlang einer Linie verbunden werden können.
  • Als nächstes erfolgt eine Beschreibung eines Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahrens, das von der Vakuumbehandlungseinrichtung 600 durchgeführt wird, sowie einer Bearbeitungsgegenstands-Transportsequenz, die bei diesem Verfahren eingesetzt wird.
  • Die 8A und 8B zeigen schematisch die Bearbeitungsgegenstands-Transportsequenz für die in 6 gezeigte Vakuumbehandlungseinrichtung 600.
  • In der nachstehenden Beschreibung erfolgt ein Beispiel, bei welchem die Vakuumbehandlungseinrichtung 600 eine CVD und eine Kühlung von Bearbeitungsgegenständen durchführt.
  • Nachstehend wird die Vakuumbehandlungskammer 601 als eine CVD-Behandlungskammer 601 ausgewählt, in welcher CVD bei den Bearbeitungsgegenständen durchgeführt wird, und wird in der Atmosphärenbehandlungskammer 602 eine Kühlung der Bearbeitungsgegenstände als Atmosphärenbehandlung durchgeführt. In den 8A und 8B bezeichnet, wie in den 3A bis 4B, eine weiße Verbindungseinheit, dass der Absperrschieber sich im geöffneten Zustand befindet, und eine schwarze Verbindungseinheit, dass sich der Absperrschieber im geschlossenen Zustand befindet.
  • Zuerst wird, wie bei (1) in den 8A und 8B gezeigt, ein Bearbeitungsgegenstand W1 in dem Lademodul 604 in die Atmosphärenbehandlungskammer 602 transportiert. Zu diesem Zeitpunkt befindet sich der Absperrschieber 612 im geschlossenen Zustand, so dass die Ladeschleusenkammer 603 und die CVD-Behandlungskammer 601 voneinander isoliert sind. Andererseits befindet sich der Absperrschieber 615 im geöffneten Zustand, so dass die Atmosphärenbehandlungskammer 602 und die Ladeschleusenkammer 603 miteinander in Verbindung stehen.
  • Dann wird, wie bei (2) gezeigt, der Bearbeitungsgegenstand W1 von der Atmosphärenbehandlungskammer 602 in die Ladeschleusenkammer 603 transportiert, und dann wird, wie bei (3) gezeigt, der Absperrschieber 615 geschlossen, und darüber hinaus das Ventil 624 im Rohr 619 geöffnet, und wird dann die Evakuierungspumpe 623 in Betrieb genommen, wodurch die Ladeschleusenkammer 603 evakuiert wird.
  • Dann wird, wie bei (4) gezeigt, der Absperrschieber 612 geöffnet, und wird dann der Bearbeitungsgegenstand W1, der durch das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 617 gehaltert wird, in die CVD-Behandlungskammer 601 durch den Transportmechanismus 618 transportiert. Dann wird, wie bei (5) gezeigt, nachdem das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 617 und der Transportmechanismus 618 in die Ladeschleusenkammer 603 zurückgekehrt sind, der Absperrschieber 612 geschlossen, und wird mit dem Bearbeitungsgegenstand W1 eine CVD in der CVD-Behandlungskammer 601 durchgeführt.
  • Dann wird, wie bei (6) gezeigt, nachdem die CVD fertiggestellt wurde, der Absperrschieber 612 geöffnet, und wird der Bearbeitungsgegenstand W1, mit welchem die CVD durchgeführt wurde, von der CVD-Behandlungskammer 601 in die Ladeschleusenkammer 603 transportiert.
  • Dann wird, wie bei (7) gezeigt, nachdem der Bearbeitungsgegenstand W1 in die Ladeschleusenkammer 603 heraustransportiert wurde, der Absperrschieber 612 geschlossen, wird das Ventil 625 in dem Rohr 619 geschlossen, und wird mit der Zufuhr von N2-Gas oder dergleichen von dem Gasversorgungssystem 620 begonnen, wodurch das Innere der Ladeschleusenkammer 603 wieder zur Atmosphärenluft freigegeben wird. Sobald der Druck innerhalb der Ladeschleusenkammer 603 Atmosphärendruck erreicht hat, so wird, wie bei (8) gezeigt, der Absperrschieber 615 geöffnet, und wird dann der Bearbeitungsgegenstand W1 von dem Transportmechanismus 618 in die Atmosphärenbehandlungskammer 602 transportiert, auf die Stufe 609 aufgesetzt, und durch den Halter 610 gehaltert.
  • Dann kühlt, wie bei (9) gezeigt, die Stufe 609 dem Bearbeitungsgegenstand W1, und wird, sobald der Bearbeitungsgegenstand W1 auf eine vorbestimmte Temperatur (annähernd 70 °C) abgekühlt wurde, wie bei (10) gezeigt, der Bearbeitungsgegenstand W1 heraus in das Lademodul 604 transportiert.
  • Die Vakuumbehandlungseinrichtung 600 wiederholt dann die voranstehend geschilderte Transportsequenz, bis die Bearbeitung des gesamten Postens an Bearbeitungsgegenständen beendet ist.
  • In jedem der Schritte (1) bis (10) bei der voranstehend geschilderten Transportsequenz kann, wie in Bezug auf die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, eine Beurteilung der Positionierung jedes Bearbeitungsgegenstandes auf Grundlage des Vergleichs zwischen der Position des Bearbeitungsgegenstands, die von den Positionssensoren festgestellt wurde, und den Lerndaten durchgeführt werden, und kann in jenem Fall, in welchem die Positionierung eines Bearbeitungsgegenstands nicht exakt in einem bestimmten Schritt durchgeführt wurde, der Transport des Bearbeitungsgegenstands unterbrochen werden, und können der Schritt und die Position des Bearbeitungsgegenstands in diesem Schritt gespeichert werden, und können die gespeicherten Daten genutzt werden, wodurch die gespeicherten Daten als Basisdaten für ein Rezept für eine erneute Behandlung eingesetzt werden können.
  • Weiterhin ist es bei der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform, wie dies für die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, erneut möglich, eine erste Relativpositionsbeziehung zwischen der Zentrumsposition der Stufe 605 oder 609 und der Anfangsposition auf Grundlage der von den Positionssensoren erhaltenen Information festzustellen, einen Transportweg für den Bearbeitungsgegenstand auf Grundlage der erfassten, ersten Relativpositionsbeziehung festzulegen, den Bearbeitungsgegenstand entlang dem festgelegten Transportweg zu transportieren, und dann eine zweite Relativpositionsbeziehung zwischen der Zentrumsposition des Bearbeitungsgegenstands, der zur Stufe 605 oder 609 transportiert wurde, und der Anfangsposition zu erfassen, und die Position des Bearbeitungsgegenstands auf der Stufe 605 oder 609 auf Grundlage der Differenz zwischen der ersten und der zweiten Relativpositionsbeziehung zu korrigieren. Dies führt dazu, dass ähnliche Effekte wie voranstehend geschildert erzielt werden können.
  • Weiterhin können der Transportmechanismus 618 und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 617 denselben Aufbau aufweisen wie der Transportmechanismus 52 und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil 51 bei der ersten Ausführungsform, wodurch die gleichen Auswirkungen wie voranstehend beschrieben erzielt werden können.
  • Voranstehend wurde nur ein Beispiel für die Transportsequenz angegeben, und mit anderen Transportsequenzen kann eine Rückwärts- und Vorwärtsbewegung zwischen der Vakuumbehandlungskammer 601 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 durchgeführt werden, falls dies erforderlich ist. Durch Bewegen des Bearbeitungsgegenstands W1 rückwärts und vorwärts zwischen der CVD-Behandlungskammer 601 (Vakuumbehandlungskammer 601) und der Atmosphärenbehandlungskammer 602, und daher durch wiederholtes Durchführen der CVD und der Kühlung, können Schwankungen der Dicke des Dünnfilms unterdrückt werden, der auf der Oberfläche des Bearbeitungsgegenstands W1 erzeugt wird.
  • Weiterhin können die Vakuumbehandlungskammer 601 und die Atmosphärenbehandlungskammer 602 aus einer geeigneten Kombination aus erforderlichen Modulen bestehen, die ausgewählt sind aus Ätzsystemen, Filmerzeugungssystemen, Beschichtungs/Entwicklungssystemen, Messsystemen, Wärmebehandlungssystemen, usw., wobei es keine Einschränkung auf das voranstehend geschilderte Beispiel gibt.
  • Bei der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die voranstehend beschrieben wurde, sind die CVD-Behandlungskammer 601, in welcher mit dem Bearbeitungsgegenstand W1 eine CVD durchgeführt wird, und die Atmosphärenbehandlungskammer 602, in welcher der Bearbeitungsgegenstand W1 gekühlt wird, miteinander verbindbar aneinander angeschlossen, und ist die Ladeschleusenkammer 603 zwischen der CVD-Behandlungskammer 601 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 an einem solchen Ort angeordnet, dass eine Linie mit der Vakuumbehandlungskammer 601 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 gebildet wird, und ist verbindbar an die Vakuumbehandlungskammer 601 und die Atmosphärenbehandlungskammer 602 angeschlossen. Dies führt dazu, dass der Vorgang des Transports des Bearbeitungsgegenstands W1 zwischen der CVD-Behandlungskammer 601 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 vereinfacht werden kann, und daher die mehreren Prozesse einschließlich CVD-Behandlung und Kühlbehandlung effizient durchgeführt werden können, und insbesondere die Kühlbehandlung effizient nach der CVD-Behandlung des Bearbeitungsgegenstands W1 durchgeführt werden kann.
  • Weiterhin wird die Kühlbehandlung in der Atmosphärenbehandlungskammer 602 immer in dem Zustand auf Atmosphärendruck durchgeführt, so dass es nicht erforderlich ist, eine Umschaltung zwischen einem Vakuumzustand und einem Atmosphärendruckzustand in der Atmosphärenbehandlungskammer 602 durchzuführen, so dass die Kühlbehandlung in einem kurzen Zeitraum durchgeführt werden kann; darüber hinaus muss die Ladeschleusenkammer 603, in welcher eine Umschaltung zwischen einem Vakuumzustand und einem Atmosphärendruckzustand durchgeführt wird, keinen Kühlmechanismus aufweisen, so dass das Volumen der Ladeschleusenkammer 603 verkleinert werden kann, und daher die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand in einem kurzen Zeitraum durchgeführt werden kann. Dies führt dazu, dass die mehreren Prozesse einschließlich der Kühlbehandlung, die bei dem Bearbeitungsgegenstand W1 durchgeführt werden, sowie die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand effizienter durchgeführt werden können.
  • Wenn beispielsweise die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand und die Kühlbehandlung gleichzeitig durchgeführt werden, wie bei der herkömmlichen Vakuumbehandlungseinrichtung, muss die Ladeschleusenkammer nicht nur einen Transportmechanismus aufweisen, sondern auch einen Kühlmechanismus, so dass das Volumen der Ladeschleusenkammer vergrößert wird, wobei sich herausstellte, dass annähernd 126 Sekunden dazu benötigt werden, die Umschaltung zwischen einem Vakuumzustand und einem Atmosphärendruckzustand und der Kühlbehandlung durchzuführen; falls jedoch die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand und die Kühlbehandlung in getrennten Behandlungskammern durchgeführt werden, wie dies bei der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung der Fall ist, die voranstehend beschrieben wurde, muss nur die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand in der Ladeschleusenkammer durchgeführt werden, und muss nur die Kühlbehandlung in der Atmosphärenbehandlungskammer durchgeführt werden, so dass das Volumen der Ladeschleusenkammer verkleinert wird, und daher nur annähernd 20 Sekunden dazu erforderlich sind, die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand vorzunehmen, und nur annähernd 15 Sekunden für die Kühlbehandlung benötigt werden, so dass insgesamt nur annähernd 35 Sekunden für die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand und die Kühlbehandlung benötigt werden.
  • Weiterhin ist nach dem Transport in die Ladeschleusenkammer 603 der Bearbeitungsgegenstand W1 nicht einer Luftkonvexion infolge der Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand über einen langen Zeitraum ausgesetzt, so dass das Risiko verringert werden kann, dass anhaftende Teilchen sich infolge einer derartigen Konvexion ablösen.
  • Weiterhin sind bei dem Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahren gemäß der zweiten Ausführungsform die Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand sowie die Kühlbehandlung, nachdem der Bearbeitungsgegenstand W1 eine CVD-Behandlung erfahren hat, zwischen der Ladeschleusenkammer 603 und der Atmosphärenbehandlungskammer 602 aufgeteilt, so dass der Zeitraum, der für jeden dieser Prozesse erforderlich ist, verkürzt werden kann, und daher die mehreren Prozesse einschließlich der Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand und der Kühlbehandlung effizient durchgeführt werden können. Nachdem der Bearbeitungsgegenstand W1 die CVD-Behandlung erfahren hat, wird darüber hinaus die Kühlbehandlung in der Atmosphärenbehandlungskammer 602 durchgeführt, nach dem Prozess des Transportierens des Bearbeitungsgegenstands W1 in die Ladeschleusenkammer 603 hinein, dem Prozess der Umschaltung zwischen dem Vakuumzustand und dem Atmosphärendruckzustand in der Ladeschleusenkammer 603, und dem Prozess des Transports des Bearbeitungsgegenstands W1 in die Atmosphärenbehandlungskammer 602 hinein; die Kühlung des Bearbeitungsgegenstands W1 geht daher weiter, sogar bevor die Kühlbehandlung durchgeführt wird, beispielsweise in jenem Fall, in welchem die Temperatur des Bearbeitungsgegenstands W1 unmittelbar nach der CVD annähernd 650 °C beträgt, da sich herausgestellt hat, dass die Temperatur des Bearbeitungsgegenstands W1 nach dem Prozess des Transports des Bearbeitungsgegenstands W1 in die Atmosphärenbehandlungskammer 602 annähernd 400 °C beträgt. Dies führt dazu, dass die Kühlbehandlung, die bei dem Bearbeitungsgegenstand W1 in der Atmosphärenbehandlungskammer 602 durchgeführt werden kann, effizient durchgeführt werden kann.
  • Bei der Vakuumbehandlungseinrichtung gemäß der voranstehend geschilderten, zweiten Ausführungsform wurde CVD bei dem Bearbeitungsgegenstand durchgeführt; allerdings ist selbstverständlich die Vakuumbehandlung, die bei dem Bearbeitungsgegenstand mit der Vakuumbehandlungseinrichtung durchgeführt wird, nicht auf CVD beschränkt, sondern kann jede Vakuumbehandlung, die von einer Wärmebehandlung begleitet ist, durchgeführt werden, und können auch in diesem Fall die gleichen Auswirkungen wie voranstehend geschildert erzielt werden.

Claims (25)

  1. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, wobei vorgesehen sind: mehrere Behandlungssysteme, die verbindbar zusammen entlang einer Linie verbunden sind, und in denen die zu bearbeitenden Gegenstände bearbeitet werden; und ein Ladeschleusensystem, das verbindbar mit dem Behandlungssystem verbunden ist, wobei das Ladeschleusensystem einen Transportmechanismus aufweist, der die zu bearbeitenden Gegenstände in jedes der Behandlungssysteme und aus diesen heraus transportiert; wobei zumindest eines der Behandlungssysteme ein Vakuumbehandlungssystem ist, und das Ladeschleusensystem an einer solchen Position angeordnet ist, dass es eine Linie mit den Behandlungssystemen bildet.
  2. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, wobei vorgesehen sind: ein COR-Behandlungssystem, in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine COR-Behandlung durchgeführt wird; zumindest ein Vakuumbehandlungssystem, in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine andere Behandlung durchgeführt wird, wobei das COR-Behandlungssystem und das zumindest eine Vakuumbehandlungssystem miteinander entlang einer Linie verbindbar verbunden sind; und ein Ladeschleusensystem, das verbindbar mit dem COR-Behandlungssystem und dem zumindest einen Vakuumbehandlungssystem verbunden ist, wobei das Ladeschleusensystem einen Transportmechanismus aufweist, der die zu bearbeitenden Gegenstände sowohl in das COR-Behandlungssystem und das zumindest eine Vakuumbehandlungssystem hinein und aus diesen Systemen heraus transportiert.
  3. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 2, bei welchem das zumindest eine Vakuumbehandlungssystem ein Wärmebehandlungssystem ist, das an das COR-Behandlungssystem angeschlossen ist, eine Wärmebehandlung bei Gegenständen durchgeführt wird, die bearbeitet werden sollen, mit welchen die COR-Behandlung durchgeführt wurde.
  4. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 3, bei welcher das COR-Behandlungssystem und das Wärmebehandlungssystem sich ständig im Vakuumzustand befinden.
  5. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 2, bei welcher das Ladeschleusensystem an einer solchen Position angeordnet ist, dass eine Linie mit dem zumindest einen Vakuumbehandlungssystem gebildet wird.
  6. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungsverfahren für eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, ein COR-Behandlungssystem, in welchem bei zu bearbeitenden Gegenständen eine COR-Behandlung durchgeführt wird, ein Wärmebehandlungssystem, in welchem eine Wärmebehandlung bei zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, bei denen die COR-Behandlung durchgeführt wurde, und ein Lademodul, das verbindbar an das Ladeschleusensystem angeschlossen ist, wobei das Verfahren umfasst: einen ersten Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt, in welchem ein erster zu bearbeitender Gegenstand in das Ladeschleusensystem transportiert wird; einen ersten Evakuierungsschritt, in welchem das Ladeschleusensystem evakuiert wird, nach Durchführung des ersten Ladeschleusensystem-Hereintransportschrittes; einen ersten COR-Behandlungssystem-Hereintransportschritt, in welchem der erste zu bearbeitende Gegenstand in das COR-Behandlungssystem transportiert wird, nachdem die Evakuierung in dem ersten Evakuierungsschritt beendet wurde; einen COR-Behandlungsbeendigungsschritt, in welchem die COR-Behandlung des ersten zu bearbeitenden Gegenstands beendet wird; einen zweiten Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt, in welchem ein zweiter, zu bearbeitender Gegenstand in das Ladeschleusensystem während der COR-Behandlung des ersten, zu bearbeitenden Gegenstands transportiert wird; einen zweiten Evakuierungsschritt, in welchem das Ladeschleusensystem nach Durchführung des zweiten Ladeschleusensystem-Hereintransportschrittes evakuiert wird; einen ersten Transportschritt, in welchem der erste, zu bearbeitende Gegenstand von dem COR-Behandlungssystem in das Wärmebehandlungssystem transportiert wird, nachdem die Evakuierung in dem zweiten Evakuierungsschritt beendet wurde, und nachdem die COR-Behandlung des ersten, zu bearbeitenden Gegenstands beendet wurde; einen zweiten Transportschritt, in welchem der zweite, zu bearbeitende Gegenstand von dem Ladeschleusensystem in das COR-Behandlungssystem transportiert wurde; einen gleichzeitigen Behandlungsbeendigungsschritt, in welchem die COR-Behandlung des zweiten, zu behandelnden Gegenstands in dem COR-Behandlungssystem beendet wird, und die Wärmebehandlung des ersten, zu bearbeitenden Gegenstands in dem Wärmebehandlungssystem beendet wird; einen dritten Transportschritt, in welchem der erste Gegenstand, der bearbeitet werden soll, von dem Wärmebehandlungssystem in das Ladeschleusensystem transportiert wird, nachdem die Wärmebehandlung des ersten, zu bearbeitenden Gegenstands beendet wurde; und einen Austauschschritt, in welchem das Ladeschleusensystem und das Lademodul miteinander verbunden werden, um den ersten, zu bearbeitenden Gegenstand in dem Ladeschleusensystem durch einen dritten Gegenstand zu ersetzen, der bearbeitet werden soll, und in dem Lademodul wartet.
  7. Drucksteuerverfahren für eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, ein COR-Behandlungssystem, in welchem mit zu bearbeitenden Gegenständen eine COR-Behandlung durchgeführt wird, ein Wärmebehandlungssystem, in welchem bei zu bearbeitenden Gegenständen, mit denen die COR-Behandlung durchgeführt wurde, eine Wärmebehandlung durchgeführt wird, sowie ein Lademodul, von welchem die zu bearbeitenden Gegenstände in das Ladeschleusensystem transportiert werden, und aus welchem diese Gegenstände in das Ladeschleusensystem transportiert werden, wobei das Verfahren umfasst: einen Hereintransportschritt, in welchem das Ladeschleusensystem in einen Atmosphärendruckzustand versetzt wird, und ein zu bearbeitender Gegenstand, mit dem keine COR-Behandlung durchgeführt wurde, von dem Lademodul in das Ladeschleusensystem transportiert wird, während das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird; einen Ladeschleusensystem-Evakuierungsschritt, in welchem die Evakuierung des Wärmebehandlungssystems beendet wird, und das Ladeschleusensystem herunter auf einen eingestellten Druck evakuiert wird; einen Wärmebehandlungssystem-Evakuierungsschritt, in welchem die Evakuierung des Ladeschleusensystems beendet wird, nachdem das Ladeschleusensystem den eingestellten Druck erreicht hat, und das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, um eine Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des Ladeschleusensystems; und einen ersten Verbindungsschritt, in welchem das Ladeschleusensystem mit dem Wärmebehandlungssystem verbunden wird, während weiterhin das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, nachdem die Bedingung erfüllt wurde, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems niedriger ist als der Druck innerhalb des Ladeschleusensystems.
  8. Drucksteuerverfahren nach Anspruch 7, bei welchem weiterhin vorgesehen sind: ein erster Drucküberwachungsschritt, in welchem der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems überwacht wird, nach Ausführung des ersten Verbindungsschrittes; ein COR-Behandlungssystem-Absaugschritt, in welchem das COR-Behandlungssystem evakuiert wird, während weiterhin das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird, um so die Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems niedriger ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems; und ein zweiter Verbindungsschritt, in welchem die Evakuierung des COR-Behandlungssystems beendet wird, wenn die Bedingung erfüllt ist, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems niedriger ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems, und das Wärmebehandlungssystem mit dem COR-Behandlungssystem verbunden wird, während weiterhin das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird.
  9. Drucksteuerverfahren nach Anspruch 8, welches einen Zuflussschritt aufweist, bei welchem ein Fluid in das Ladeschleusensystem und das COR-Behandlungssystem eingelassen wird, nach Ausführung des zweiten Verbindungsschrittes.
  10. Drucksteuerverfahren nach Anspruch 9, bei welchem eine Flussrate eines Fluids von dem Ladeschleusensystem in das Wärmebehandlungssystem und eine Flussrate eines Fluids von dem COR-Behandlungssystem in das Wärmebehandlungssystem gleich sind.
  11. Drucksteuerverfahren nach Anspruch 8, welches weiterhin einen Evakuierungsschritt aufweist, in welchem das Wärmebehandlungssystem und das COR-Behandlungssystem evakuiert werden, wodurch der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems auf einen statischen Eliminierungsdruck zum Eliminieren einer restlichen ESC-Ladung eingestellt wird, nachdem der zu bearbeitende Gegenstand, welcher mit der COR-Behandlung behandelt wurde, aus dem COR-Behandlungssystem heraus transportiert wurde.
  12. Drucksteuerverfahren für eine Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zumindest ein COR-Behandlungssystem aufweist, in welchem mit zu bearbeitenden Gegenständen eine COR-Behandlung durchgeführt wird, sowie ein Wärmebehandlungssystem, in welchem eine Wärmebehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, mit denen die COR-Bearbeitung durchgeführt wurde, wobei das Verfahren umfasst: einen Drucküberwachungsschritt, in welchem der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems überwacht wird, während das Wärmebehandlungssystem evakuiert wird; einen COR-Behandlungssystem-Evakuierungsschritt, in welchem das COR-Behandlungssystem evakuiert wird, um eine Bedingung zu erfüllen, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems; und einen Verbindungsschritt, in welchem die Evakuierung des COR-Behandlungssystems beendet wird, wenn die Bedingung erfüllt ist, dass der Druck innerhalb des Wärmebehandlungssystems kleiner ist als der Druck innerhalb des COR-Behandlungssystems, und in welchem das Wärmebehandlungssystem mit dem COR-Behandlungssystem verbunden wird.
  13. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zu bearbeitende Gegenstände bearbeitet, und aufweist: ein erstes Behandlungssystem, in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine erste Bearbeitung durchgeführt wird; ein zweites Behandlungssystem, das verbindbar an das erste Behandlungssystem angeschlossen ist, und in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine zweite Behandlung durchgeführt wird; und ein Ladeschleusensystem, das zwischen dem ersten Behandlungssystem und dem zweiten Behandlungssystem angeordnet ist, und verbindbar sowohl an das erste Behandlungssystem als auch an das zweite Behandlungssystem angeschlossen ist, wobei das Ladeschleusensystem einen Transportmechanismus aufweist, der die zu bearbeitenden Gegenstände sowohl in das erste Behandlungssystem als auch in das zweite Behandlungssystem als auch diesen Systemen heraus transportiert.
  14. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 13, bei welcher das zweite Behandlungssystem ein Kühlbehandlungssystem ist, in welchem eine Kühlbehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, mit denen die erste Behandlung durchgeführt wurde.
  15. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 14, bei welcher sich das erste Behandlungssystem ständig im Vakuumzustand befindet, und sich das zweite Behandlungssystem ständig im Atmosphärendruckzustand befindet.
  16. Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung nach Anspruch 15, bei, welcher das Ladeschleusensystem an einer solchen Position angeordnet ist, dass es auf einer Linie mit dem ersten Behandlungssystem und dem zweiten Behandlungssystem liegt.
  17. Bearbeitungsvorrichtungs-Bearbeitungsverfahren für eine Bearbeitungsvorrichtungs-Bearbeitungseinrichtung, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, ein Vakuumbehandlungssystem, in welchem mit zu bearbeitenden Gegenständen eine Vakuumbehandlung durchgeführt wird, ein Atmosphärenbehandlungssystem, in welchem eine Kühlbehandlung mit den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, mit denen die Vakuumbehandlung durchgeführt wurde, und ein Lademodul, wobei das Verfahren umfasst: einen Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt, in welchem ein zu bearbeitender Gegenstand von dem Lademodul in das Ladeschleusensystem transportiert wird; einen ersten Schritt der Umschaltung von Vakuum auf Atmosphärendruck, in welchem das Ladeschleusensystem evakuiert wird, nach Durchführung des Ladeschleusensystem-Hereintransportschrittes; einen Vakuumbehandlungssystem-Hereintransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand in das Vakuumbehandlungssystem transportiert wird, nach Ausführung des ersten Schrittes der Umschaltung von Vakuum auf Atmosphärendruck; einen Vakuumbehandlungsschritt, in welchem eine Vakuumbehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der in das Vakuumbehandlungssystem transportiert wurde; einen Ladeschleusensystem-Heraustransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand, bei dem die Vakuumbehandlung durchgeführt wurde, heraus in das Ladeschleusensystem transportiert wird; einen zweiten Schritt der Umschaltung von Vakuum auf Atmosphärendruck, in welchem das Innere des Ladeschleusensystems zur Atmosphärenluft hin geöffnet wird, nach Durchführung des Ladeschleusensystem-Heraustransportschrittes; einen Atmosphärenbehandlungssystem-Heraustransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand von dem Ladeschleusensystem heraus in das Atmosphärenbehandlungssystem transportiert wird; einen Atmosphärenbehandlungssystem, in welchem eine Kühlbehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der heraus in das Atmosphärenbehandlungssystem transportiert wurde; und einen Lademodul-Heraustransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand, mit dem die Kühlbehandlung durchgeführt wurde, heraus in das Lademodul transportiert wird.
  18. Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren für eine Transportvorrichtung in einer Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die zumindest ein Ladeschleusensystem aufweist, das die Transportvorrichtung aufweist, die zu bearbeitende Gegenstände transportiert, ein Vakuumbehandlungssystem, in welchem mit den zu bearbeitenden Gegenständen eine Vakuumbehandlung durchgeführt wird, ein Wärmebehandlungssystem, in welchem eine Wärmebehandlung bei den zu bearbeitenden Gegenständen durchgeführt wird, mit denen die Vakuumbehandlung durchgeführt wurde, und ein Lademodul, das verbindbar an das Ladeschleusensystem angeschlossen ist, wobei das Verfahren umfasst: einen Ladeschleusensystem-Hereintransportschritt, in welchem ein zu bearbeitender Gegenstand in das Ladeschleusensystem transportiert wird; einen Evakuierungsschritt, in welchem das Ladeschleusensystem nach Durchführung des Ladeschleusensystem-Hereintransportschrittes evakuiert wird; einen Vakuumbehandlungssystem-Hereintransportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand in das Vakuumbehandlungssystem transportiert wird, nachdem die Evakuierung in dem Evakuierungsschritt beendet ist; einen Vakuumbehandlungsbeendigungsschritt, in welchem die Vakuumbehandlung beendet wird, nach Ausführung des Vakuumbehandlungssystem-Hereintransportschrittes; einen ersten Transportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand von dem Vakuumsystem in das Wärmebehandlungssystem transportiert wird, nachdem die Vakuumbehandlung beendet ist; einen Wärmebehandlungsbearbeitungsschritt, in welchem die Wärmebehandlung in dem Wärmebehandlungssystem beendet wird; einen zweiten Transportschritt, in welchem der zu bearbeitende Gegenstand von dem Wärmebehandlungssystem in das Ladeschleusensystem transportiert wird, nachdem die Wärmebehandlung beendet wurde; und einen Lademodul-Heraustransportschritt, in welchem das Ladeschleusensystem und das Lademodul miteinander verbunden werden, und der zu bearbeitende Gegenstand heraus in das Lademodul transportiert wird.
  19. Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren für eine Transportvorrichtung in einer Bearbeitungsgegenstands-Bearbeitungseinrichtung, die ein Wärmebehandlungssystem aufweist, das mit einer ersten Stufe versehen ist, und in welcher eine Wärmebehandlung bei einem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, das auf der ersten Stufe angeordnet wurde, ein Vakuumbehandlungssystem, das eine zweite Stufe aufweist, und in welchem eine Vakuumbehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der auf der zweiten Stufe angeordnet wurde, ein Ladeschleusensystem, das so angeordnet ist, dass es in Verbindung mit dem Wärmebehandlungssystem und dem Vakuumbehandlungssystem steht, und die Transportvorrichtung aufweist, welche die zu bearbeitenden Gegenstände transportiert, sowie eine Steuerung, welche die Transportvorrichtung steuert, wobei die Transportvorrichtung ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil aufweist, das den zu bearbeitenden Gegenstand haltert, und frei durch das Wärmebehandlungssystem und das Vakuumbehandlungssystem bewegt werden kann, wobei das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil eine erste Detektorvorrichtung zur Erfassung von Information in Bezug darauf, ob der zu bearbeitende Gegenstand vorhanden ist oder nicht, aufweist, wobei zumindest entweder die erste Stufe oder die zweite Stufe eine zweite Detektorvorrichtung aufweist, um Information zu erfassen, welche in Bezug dazu steht, ob der zu bearbeitende Gegenstand vorhanden ist oder nicht, und die Steuerung eine Position des zu bearbeitenden Gegenstands auf Grundlage der erfassten Information feststellt, wobei das Verfahren umfasst: einen ersten Positionsbeziehungsdetektorschritt, in welchem eine erste Relativpositionsbeziehung zwischen einem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in einer Anfangsposition und einem Zentrum entweder der ersten Stufe oder der zweiten Stufe festgestellt wird; einen Transportschritt, in welchem ein Transportweg für den zu bearbeitenden Gegenstand festgelegt wird, auf Grundlage der erfassten ersten relativen Positionsbeziehung, und der zu bearbeitende Gegenstand entlang dem festgelegten Transportweg transportiert wird; einen zweiten Positionsbestimmungserfassungsschritt, in welchem eine zweite Relativpositionsbeziehung zwischen dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands, nachdem dieser entweder zur ersten Stufe oder der zweiten Stufe transportiert wurde, und dem Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in der Anfangsposition erfasst wird; und einen Positionskorrekturschritt, in welchem die Position des zu bearbeitenden Gegenstands korrigiert wird, auf Grundlage einer Differenz zwischen der ersten relativen Positionsbeziehung und der zweiten relativen Positionsbeziehung.
  20. Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren nach Anspruch 19, welches weiterhin einen Bearbeitungsgegenstands-Halteteil-Drehschritt aufweist, in welchem das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil gedreht wird, während das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil immer noch den zu bearbeitenden Gegenstand haltert, um so eine Position einer Bezugsebene des zu bearbeitenden Gegenstands, mit welchem die Positionskorrektur durchgeführt wurde, zu einer vorbestimmten Position auszurichten.
  21. Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren nach Anspruch 19, bei welchem das Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in der Anfangsposition das Zentrum des zu bearbeitenden Gegenstands in dem Ladeschleusensystem vor dem Transport ist.
  22. Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren für eine Transportvorrichtung in einer Bearbeitungsgegenstands-Transporteinrichtung, die ein Ladeschleusensystem aufweist, das verbindbar an ein Wärmebehandlungssystem angeschlossen ist, das eine erste Stufe aufweist, in welcher eine Wärmebehandlung bei einem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der auf der ersten Stufe angeordnet wurde, wobei das Ladeschleusensystem verbindbar über das Wärmebehandlungssystem an ein Vakuumbehandlungssystem angeschlossen ist, das eine zweite Stufe aufweist, in welchem eine Wärmebehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der auf der zweiten Stufe angeordnet wurde, wobei das Ladeschleusensystem die Transportvorrichtung aufweist, die den zu bearbeitenden Gegenstand transportiert, die Transportvorrichtung einen Transportarm aufweist, der zumindest zwei armförmige Teile aufweist, die armförmigen Teile drehbar miteinander an einem ihrer Enden verbunden sind, sowie ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil, das mit einem anderen Ende eines der armförmigen Teile verbunden ist, und den zu bearbeitenden Gegenstand haltert, wobei das Verfahren umfasst: einen Bearbeitungsgegenstands-Bewegungsschritt, in welchem das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil in einer Ebene parallel zu einer Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das eine Ende eines der armförmigen Teile gedreht wird, das eine der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das eine Ende des einen der armförmigen Teile gedreht wird, und das andere der armförmigen Teile in einer Ebene parallel zu der Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende des anderen der armförmigen Teile gedreht wird.
  23. Bearbeitungsgegenstands-Transportverfahren nach Anspruch 22, bei welchem in dem Bearbeitungsgegenstands-Bewegungsschritt die armförmigen Teile und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil zusammenwirkend miteinander gedreht werden, um so den zu bearbeitenden Gegenstand entlang der Richtung der Anordnung der ersten Stufe und der zweiten Stufe zu bewegen.
  24. Transporteinrichtung, die in einem Ladeschleusensystem vorgesehen ist, das verbindbar an ein Wärmebehandlungssystem angeschlossen ist, das eine erste Stufe aufweist, in welcher eine Wärmebehandlung bei einem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der auf der ersten Stufe angeordnet wurde, wobei das Ladeschleusensystem verbindbar über das Wärmebehandlungssystem an ein Vakuumbehandlungssystem angeschlossen ist, das eine zweite Stufe aufweist, in welcher eine Vakuumbehandlung bei dem zu bearbeitenden Gegenstand durchgeführt wird, der auf der zweiten Stufe angeordnet wurde, wobei die Transporteinrichtung aufweist: einen Transportarm, der zumindest zwei armförmige Teile aufweist, die drehbar miteinander an einem ihrer Enden verbunden sind; und ein Bearbeitungsgegenstands-Halteteil, das mit einem anderen Ende der armförmigen Teile verbunden ist, und den zu bearbeitenden Gegenstand haltert; wobei das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil so angeordnet ist, dass es in einer Ebene parallel zu einer Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende eines der armförmigen Teile gedreht wird, und das eine der armförmigen Teile so angeordnet ist, dass es in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das eine Ende des einen der armförmigen Teile gedreht wird, und das andere der armförmigen Teile so angeordnet ist, dass es in einer Ebene parallel zur Oberfläche des zu bearbeitenden Gegenstands um das andere Ende des anderen armförmigen Teils gedreht wird.
  25. Transporteinrichtung nach Anspruch 24, bei welcher die armförmigen Teile und das Bearbeitungsgegenstands-Halteteil so angeordnet sind, dass sie in Zusammenarbeit miteinander gedreht werden, um so den zu bearbeitenden Gegenstand entlang der Richtung der Anordnung der ersten Stufe und der zweiten Stufe zu bewegen.
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