CN102506712A - 一种激光检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及真空等离子体设备技术领域,具体涉及一种应用于真空等离子体设备的激光检测装置。所述激光检测装置,包括激光器筒体和设置在所述激光器筒体下方的激光器,所述激光器筒体下端设有透光玻璃;所述激光检测装置设置在真空室下部。本发明设置在真空室外部,实现动态检测载片台位置和移动速度,在等离子体工艺中可以保持真空腔室对真空度的要求;保持激光器结构和信号采集不会受等离子电磁场的干扰;等离子体启辉条件下,不会污染激光检测装置,同时便于操作和维护。
Description
技术领域
本发明涉及真空等离子体设备技术领域,具体涉及一种应用于真空等离子体设备的激光检测装置。
背景技术
在淀积和溅射等等离子体工艺中,所用的载片台需要转动,使薄膜的厚度均匀一致。通常在腔室内底部加上一个磁性开关或接近开关,当载片台到达预定位置时,产生一个到位信号,使载片台固定在指定位置,取放芯片。传统的方法,测量和定位精度差、拆装维护不方便,在等离子工艺条件下,易产生反应物污染。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光检测装置,在淀积和溅射等等离子体工艺中,实现高精度、快速检测和定位。
为了达到上述目的,本发明采用的技术方案为:
一种激光检测装置,包括激光器筒体和设置在所述激光器筒体下方的激光器,所述激光器筒体下端设有透光玻璃;所述激光检测装置设置在真空室下部。
上述方案中,所述激光器筒体为圆柱筒状。
上述方案中,所述激光器筒体通过激光器支架与所述激光器连接。
上述方案中,所述激光器与真空室载片台的距离为5~5000mm。
上述方案中,所述透光玻璃厚度为1~20mm,直径为1~200mm。
上述方案中,所述透光玻璃的材料为石英或聚碳酸酯。
上述方案中,所述激光器筒体和激光器支架的材质为金属材料,所述金属材料为铝合金或不锈钢。
上述方案中,所述激光器检测移动物体精度的速度为0.01~10mm/s,所述激光器检测固定物体的检测精度0.001~10mm。
与现有技术方案相比,本发明采用的技术方案产生的有益效果如下:
本发明设置在真空室外部,实现动态检测载片台位置和移动速度,在等离子体工艺中可以保持真空腔室对真空度的要求;保持激光器结构和信号采集不会受等离子电磁场的干扰;等离子体启辉条件下,不会污染激光检测装置,同时便于操作和维护。
附图说明
图1为本发明实施例提供的进气结构的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明技术方案进行详细描述。
如图1所示,本发明实施例提供一种激光检测装置,安装在真空室2的下部,包括圆柱筒状的激光器筒体3和设置在激光器筒体3下方的激光器8。激光器筒体3通过激光器支架4与激光器8连接,激光器8包括发射器6和接收器7;激光器筒体3下端设有透光玻璃5,透光玻璃的材料为石英或聚碳酸酯,透光玻璃厚度为1~20mm,直径为1~200mm。激光器8与真空室载片台1的距离为5~5000mm。激光器筒体3和激光器支架4的材质为铝合金或不锈钢等金属材料。激光器8检测移动物体精度的速度为0.01~10mm/s,激光器8检测固定物体的检测精度0.001~10mm。
本发明在工作时,发射器6发射光通过透光玻璃5,到达载片台1上的被检测物体,激光被反射由接收器7接受,获得信号,接入计算机实现检测和控制。当载片台1在预定位置停止,然后取放芯片,为工艺实验做好准备。激光器8检测距离在1~5000mm范围,检测精度由激光器8和安装支架4的精度、以及测量的距离决定,为0.01~10mm。激光器支架4安装时,确保激光检测的位置在筒体的中间部分,可保证测量的清晰度和精度,以及测量的重复性。
本发明可以在真空腔室外部安装,激光器支架的安装距离可以调整,实现动态检测载片台位置和移动速度。本发明还可以保持真空腔室对真空度的要求,保持激光器结构和信号采集不会受等离子电磁场的干扰,在等离子体启辉条件下,不会污染激光检测装置。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种激光检测装置,其特征在于:包括激光器筒体和设置在所述激光器筒体下方的激光器,所述激光器筒体下端设有透光玻璃;所述激光检测装置设置在真空室下部。
2.如权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于:所述激光器筒体为圆柱筒状。
3.如权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于:所述激光器筒体通过激光器支架与所述激光器连接。
4.如权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于:所述激光器与真空室载片台的距离为5~5000mm。
5.如权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于:所述透光玻璃厚度为1~20mm,直径为1~200mm。
6.如权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于:所述透光玻璃的材料为石英或聚碳酸酯。
7.如权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于:所述激光器筒体和激光器支架的材质为金属材料,所述金属材料为铝合金或不锈钢。
8.如权利要求1所述的激光检测装置,其特征在于:所述激光器检测移动物体精度的速度为0.01~10mm/s,所述激光器检测固定物体的检测精度0.001~10mm。
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