CN107953623A - 阻气膜及其制造方法、阻气膜层叠体、电子装置用构件、以及电子装置 - Google Patents

阻气膜及其制造方法、阻气膜层叠体、电子装置用构件、以及电子装置 Download PDF

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CN107953623A
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resin
resin layer
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岩屋涉
藤本泰史
田矢直纪
伊藤雅春
近藤健
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Abstract

本发明为阻气膜及其制造方法、将2片以上所述阻气膜层叠而成的阻气膜层叠体、包含所述阻气膜或阻气膜层叠体的电子装置用构件、和具备该电子装置用构件的电子装置,所述阻气膜为具有固化树脂层与该固化树脂层的至少单面上的阻气层的阻气膜,其中,所述固化树脂层是包含含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化物的层,阻气膜的水蒸汽透过率在40℃、相对湿度90%气氛下为1g/m2/day以下。本发明的阻气膜和阻气膜层叠体的耐热性、耐溶剂性、层间密合性、和阻气性优异,并且双折射率低、光学各向同性优异,因而可适宜地用作电子装置用构件。

Description

阻气膜及其制造方法、阻气膜层叠体、电子装置用构件、以及 电子装置
本申请是基于申请日为2012年11月2日、申请号为201280054008.5、发明名称为“阻气膜及其制造方法、阻气膜层叠体、电子装置用构件、以及电子装置”的申请所提交的分案申请。
技术领域
本发明涉及可优选用作液晶显示器或电致发光(EL)显示器等电子装置用构件等的阻气膜、其制造方法、将2片以上所述阻气膜层叠而成的阻气膜层叠体、包含所述阻气膜或阻气膜层叠体的电子装置用构件、以及具备该电子装置用构件的电子装置。
背景技术
近年来,为了在液晶显示器或电致发光(EL)显示器等显示器中实现薄型化、轻量化、挠性化等,对使用透明塑料膜来代替玻璃板进行了研究。
然而,通常与玻璃板相比,塑料膜会使水蒸汽或氧等透过,因而若将透明塑料膜用作显示器的基板,则存在显示器内部的元件容易劣化的问题。
为了解决该问题,提出了将具有抑制水蒸汽或氧透过的特性的膜(以下,将该特性称为“阻气性”,将具有阻气性的膜称为“阻气膜”)用作显示器的基板。
例如,专利文献1中记载了在透明塑料膜表面通过蒸镀法、离子镀覆法、溅射法等层叠由金属氧化物形成的透明阻气层的挠性显示器基板。
此外,专利文献2中记载了在基材的至少单面具有对聚硅氮烷膜实施等离子体处理而形成的阻气层的阻气膜。
近年来,性能更高的显示器等受到需求,对于用作电子装置用构件等的阻气膜,除了优异的阻气性之外,也不断被要求耐热性、耐溶剂性、层间密合性优异,双折射率低且光学各向同性优异等各种特性优异。
然而,以往的阻气膜并不是上述所有特性均优异的阻气膜。
因此,期望上述所有特性均优异的阻气膜或阻气膜层叠体。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2000-338901号公报
专利文献2:日本特开2007-237588号公报。
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明是鉴于上述实际情况而完成的发明,其目的是提供耐热性、耐溶剂性、层间密合性和阻气性优异、双折射率低且光学各向同性优异阻气膜、其制造方法、将2片以上所述阻气膜层叠而成的阻气膜层叠体、包含所述阻气膜或阻气膜层叠体的电子装置用构件、以及具备该电子装置用构件的电子装置。
用于解决技术问题的手段
本发明人为了解决上述课题而对具有阻气层的阻气膜进行了深入研究,结果发现:使用由具有特定组成的固化性树脂组合物的固化物形成的固化树脂层,在该固化树脂层的至少单面形成了阻气层的阻气膜是耐热性、耐溶剂性、层间密合性和阻气性均优异,而且双折射率低且光学各向同性优异的阻气膜。
此外还发现:利用溶液浇铸法,在工程片材上形成由固化性树脂组合物形成的固化性树脂层,接着使该固化性树脂层固化而形成固化树脂层后,进而在所得固化树脂层上形成阻气层,由此可以效率良好地得到该阻气膜。
进而还发现:通过将2片以上的该阻气膜通过接合层层叠,可以得到具有高阻气性,耐热性、耐溶剂性、层间密合性和双折射率低且光学各向同性也优异的阻气膜层叠体,从而完成了本发明。
这样,根据本发明的第1方面,提供下述(1)~(11)的阻气膜。
(1)阻气膜,其是具有固化树脂层、和该固化树脂层的至少单面上的阻气层的阻气膜,其中
所述固化树脂层是包含固化物的层,所述固化物是含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化物;
阻气膜的水蒸汽透过率在40℃、相对湿度90%气氛下为1g/m2/day以下。
(2)(1)所述的阻气膜,其中,热塑性树脂(A)为非晶性热塑性树脂。
(3)(1)所述的阻气膜,其中,热塑性树脂(A)具有芳香族环结构或脂环式结构。
(4)(1)所述的阻气膜,其中,热塑性树脂(A)为选自聚砜系树脂、聚芳酯系树脂、聚碳酸酯系树脂和脂环式烃系树脂中的热塑性树脂。
(5)(1)所述的阻气膜,其中,固化性单体(B)的至少一种为多官能(甲基)丙烯酸衍生物。
(6)(1)所述的阻气膜,其中,所述固化性树脂组合物中的热塑性树脂(A)与固化性单体(B)的含量以热塑性树脂(A)与固化性单体(B)的质量比计为热塑性树脂(A):固化性单体(B)=30:70~90:10。
(7)(1)所述的阻气膜,其中,所述固化树脂层是凝胶分数为90%以上的层。
(8)(1)所述的阻气膜,其中,所述阻气层是将离子注入含有含硅高分子化合物的层而形成的层。
(9)(8)所述的阻气膜,其中,所述含硅高分子化合物为聚硅氮烷。
(10)(1)所述的阻气膜,其中,所述阻气层是包含无机膜的层。
(11)(1)所述的阻气膜,其中,具有工程片材。
根据本发明的第2方面,提供下述(12)的阻气膜的制造方法。
(12)前述(1)~(11)中任一项所述的阻气膜的制造方法,其具有以下的步骤1~3,
步骤1:在工程片材上形成包含含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化性树脂层的步骤;
步骤2:使步骤1中所得的固化性树脂层固化而形成固化树脂层的步骤;
步骤3:在步骤2中所得的固化树脂层上形成阻气层的步骤。
根据本发明的第3方面,提供下述(13)或(14)的阻气膜层叠体。
(13)阻气膜层叠体,其是将2片以上前述(1)~(11)中任一项所述的阻气膜通过接合层层叠而成的。
(14)(13)所述的阻气膜层叠体,其中,所述2片以上的阻气膜的固化树脂层的厚度均为0.5~10μm。
根据本发明的第4方面,提供下述(15)或(16)的电子装置用构件。
(15)电子装置用构件,其包含前述(1)~(11)中任一项所述的阻气膜。
(16)电子装置用构件,其包含前述(13)或(14)所述的阻气膜层叠体。
根据本发明的第5方面,提供下述(17)的电子装置。
(17)电子装置,其具备前述(15)或(16)所述的电子装置用构件。
发明效果
本发明的阻气膜是耐热性、耐溶剂性、层间密合性和阻气性均优异,并且双折射率低,光学各向同性优异的阻气膜。本发明的阻气膜可适宜地用作太阳能电池、触控面板、电子纸、显示器等电子装置用构件。
根据本发明的阻气膜的制造方法,可以效率良好地制造本发明的阻气膜。本发明的制造方法特别适宜于制造厚度非常薄的阻气膜。
本发明的阻气膜层叠体具有高阻气性,耐热性、耐溶剂性、层间密合性优异以及双折射率低,光学各向同性也优异。
本发明的电子装置用构件包含耐热性、耐溶剂性、层间密合性和阻气性均优异、并且双折射率低、光学各向同性优异的阻气膜或阻气膜层叠体,因而可适宜地用于触控面板、电子纸、有机・无机EL的挠性显示器、太阳能电池等电子装置等。
附图说明
[图1] 本发明的阻气膜的层构成截面图。
[图2] 本发明的阻气膜层叠体的层构成截面图。
[图3] 本发明的阻气膜层叠体的层构成截面图。
[图4] 本发明的阻气膜层叠体的层构成截面图。
[图5] 本发明的阻气膜层叠体的层构成截面图。
[图6] 制造本发明的阻气膜层叠体的步骤截面图。
具体实施方式
以下,将本发明按照1)阻气膜、2)阻气膜的制造方法、3)阻气膜层叠体、以及4)电子装置用构件和电子装置分项进行详细说明。
1)阻气膜
本发明的阻气膜是具有固化树脂层和该固化树脂层的至少单面上的阻气层的阻气膜,其中,前述固化树脂层是包含含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化物的层,并且阻气膜的水蒸汽透过率在40℃、相对湿度90%气氛下为1g/m2/day以下。
(I)固化树脂层
本发明的阻气膜的固化树脂层包含含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化物的。固化树脂层可以为单层,也可是多层层叠。
〔热塑性树脂(A)〕
本发明中使用的热塑性树脂(A)是玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上、优选150℃以上的热塑性树脂。通过使用玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂,可得到耐热性优异的阻气膜。
这里,玻璃化转变温度(Tg)是指通过粘弹性测定(以频率11Hz、升温速度3℃/分钟在0~250℃的范围通过拉伸模式来测定)而得的tanδ(损耗弹性模量/储藏弹性模量)的最大点的温度。
热塑性树脂(A)的重均分子量(Mw)通常为100000~3000000、优选200000~2000000、更优选500000~2000000的范围。此外,分子量分布(Mw/Mn)优选为1.0~5.0、更优选为2.0~4.5的范围。重均分子量(Mw)和分子量分布(Mw/Mn)是通过凝胶渗透色谱(GPC)法测定的聚苯乙烯换算的值。
作为热塑性树脂(A),优选为非晶性热塑性树脂。通过使用非晶性热塑性树脂,容易得到透明性优异的阻气膜。此外,由于非晶性热塑性树脂易溶于有机溶剂,因而如后所述,利用溶液浇铸法可效率良好地形成固化树脂层。
这里,非晶性热塑性树脂是指在差示扫描热量测定中未观测到熔点的热塑性树脂。
此外,从耐热性的观点出发,作为热塑性树脂(A)优选为具有芳香族环结构或脂环式结构等环结构的热塑性树脂,更优选为具有芳香族环结构的热塑性树脂。
作为热塑性树脂(A)的具体例,可举出:聚砜系树脂、聚芳酯系树脂、聚碳酸酯系树脂和脂环式烃系树脂等。其中,从耐热性的观点出发,优选聚砜系树脂。
聚砜系树脂是在主链中具有砜基(-SO2-)的高分子。聚砜系树脂并无特别限定,可以使用公知的聚砜系树脂。聚砜系树脂可举出例如:聚醚砜树脂、聚砜树脂、聚苯基砜树脂等。此外,本发明中使用的聚砜系树脂可以是改性聚砜系树脂。聚砜系树脂具体可举出包含具有下述(a)~(h)所示的重复单元的高分子化合物的树脂。
[化1]
[化2]
其中,作为聚砜系树脂,优选聚醚砜树脂或聚砜树脂。
聚芳酯系树脂是包含由芳香族二元醇和芳香族二羧酸或其卤化物反应而得的高分子化合物的树脂。聚芳酯系树脂并无特别限定,可以使用公知的聚芳酯系树脂。
作为芳香族二元醇,可举出例如:双(4-羟基苯基)甲烷〔双酚F〕、双(3-甲基-4-羟基苯基)甲烷、1,1-双(4’-羟基苯基)乙烷、1,1-双(3’-甲基-4’-羟基苯基)乙烷、2,2-双(4’-羟基苯基)丙烷〔双酚A〕、2,2-双(3’-甲基-4’-羟基苯基)丙烷、2,2-双(4’-羟基苯基)丁烷、2,2-双(4’-羟基苯基)辛烷等双(羟基苯基)烷烃类;1,1-双(4’-羟基苯基)环戊烷、1,1-双(4’-羟基苯基)环己烷〔双酚Z〕、1,1-双(4’-羟基苯基)-3,3,5-三甲基环己烷等双(羟基苯基)环烷烃类;双(4-羟基苯基)苯基甲烷、双(3-甲基-4-羟基苯基)苯基甲烷、双(2,6-二甲基-4-羟基苯基)苯基甲烷、双(2,3,6-三甲基-4-羟基苯基)苯基甲烷、双(3-叔丁基-4-羟基苯基)苯基甲烷、双(3-苯基-4-羟基苯基)苯基甲烷、双(3-氟-4-羟基苯基)苯基甲烷、双(3-溴-4-羟基苯基)苯基甲烷、双(4-羟基苯基)-4-氟苯基甲烷、双(3-氟-4-羟基苯基)-4-氟苯基甲烷、双(4-羟基苯基)-4-氯苯基甲烷、双(4-羟基苯基)-4-溴苯基甲烷、双(3,5-二甲基-4-羟基苯基)-4-氟苯基甲烷、1,1-双(4’-羟基苯基)-1-苯基乙烷〔双酚P〕、1,1-双(3’-甲基-4’-羟基苯基)-1-苯基乙烷、1,1-双(3’-叔丁基-4’-羟基苯基)-1-苯基乙烷、1,1-双(3’-苯基-4’-羟基苯基)-1-苯基乙烷、1,1-双(4’-羟基苯基)-1-(4’-硝基苯基)乙烷、1,1-双(3’-溴-4’-羟基苯基)-1-苯基乙烷、1,1-双(4’-羟基苯基)-1-苯基丙烷、双(4-羟基苯基)二苯基甲烷、双(4-羟基苯基)二苄基甲烷等双(羟基苯基)苯基烷烃类;双(4-羟基苯基)醚、双(3-甲基-4-羟基苯基)醚等双(羟基苯基)醚类;双(4-羟基苯基)酮、双(3-甲基-4-羟基苯基)酮等双(羟基苯基)酮类;双(4-羟基苯基)硫醚、双(3-甲基-4-羟基苯基)硫醚等双(羟基苯基)硫醚类;双(4-羟基苯基)亚砜、双(3-甲基-4-羟基苯基)亚砜等双(羟基苯基)亚砜类;双(4-羟基苯基)砜〔双酚S〕、双(3-甲基-4-羟基苯基)砜等双(羟基苯基)砜类;9,9-双(4’-羟基苯基)芴、9,9-双(3’-甲基-4’-羟基苯基)芴等双(羟基苯基)芴类;等。
作为芳香族二羧酸或其卤化物,可举出例如:邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、4,4’-联苯二甲酸、二苯氧基乙烷二甲酸、二苯基醚4,4’-二甲酸、4,4’-二苯基砜二甲酸、1,5-萘二甲酸、2,6-萘二甲酸、和它们的卤化物等。此外,使用的聚芳酯系树脂可以是改性聚芳酯系树脂。其中,作为聚芳酯系树脂,优选为包含通过2,2-双(4’-羟基苯基)丙烷和间苯二甲酸的反应而得的高分子化合物的树脂。
聚碳酸酯系树脂是在主链中具有碳酸酯基(-O-C(=O)-O-)的高分子。作为聚碳酸酯系树脂,并无特别限定,可以使用公知的聚碳酸酯系树脂。作为聚碳酸酯系树脂,可举出芳香族聚碳酸酯树脂、脂肪族聚碳酸酯树脂等。其中,由于耐热性、机械强度、透明性等优异,优选芳香族聚碳酸酯树脂。
作为芳香族聚碳酸酯树脂,可通过下述方法得到:通过界面缩聚法或熔融酯交换法使芳香族二元醇和碳酸酯前体反应的方法、通过固相酯交换法使碳酸酯预聚物聚合的方法、或通过开环聚合法使环状碳酸酯化合物聚合的方法。
作为芳香族二元醇,可举出在聚芳酯系树脂中例示的那些。
作为碳酸酯前体,可举出例如,羰基卤化物、碳酸酯或卤代甲酸酯等,具体可举出光气、二苯基碳酸酯或二元酚的二卤代甲酸酯等。
脂环式烃系树脂是在主链中具有环状烃基的高分子。作为脂环式烃系树脂,没有特别限定,可以使用公知的脂环式烃系树脂。作为脂环式烃系树脂,可举出例如,单环的环状烯烃系聚合物、降冰片烯系聚合物、环状共轭二烯系聚合物、乙烯基脂环式烃聚合物、和它们的氢化物。作为其具体例,可举出:APEL(三井化学社制的乙烯-环烯烃共聚物)、ARTON(JSR社制的降冰片烯系聚合物)、ZEONOR(日本ZEON公司制的降冰片烯系聚合物)等。
热塑性树脂(A)可以单独使用1种,也可以2种以上组合使用。
〔固化性单体(B)〕
固化性单体(B)是具有聚合性不饱和键的单体,是可以参与聚合反应、或聚合反应和交联反应的单体。应予说明,本说明书中“固化”意指包括该“单体的聚合反应”、或“单体的聚合反应和后续的聚合物的交联反应”的宽广概念。通过使用固化性单体(B),可得到耐溶剂性优异的阻气膜。
固化性单体(B)的分子量通常为3000以下、优选为200~2000、更优选为200~1000。
固化性单体(B)中的聚合性不饱和键的数目没有特别限制。固化性单体(B)可以是具有1个聚合性不饱和键的单官能型的单体,也可以是具有多个的双官能型或三官能型等多官能型的单体。
作为前述单官能型的单体,可举出单官能的(甲基)丙烯酸衍生物。
作为单官能的(甲基)丙烯酸衍生物,没有特别限定,可以使用公知的化合物。可举出例如:具有氮原子的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物、具有脂环式结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物、具有聚醚结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物等。
作为具有氮原子的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出下式所示的化合物。
[化3]
式中,R1表示氢原子或碳原子数1~6的烷基,R2和R3各自独立地表示氢原子或碳原子数1~12的有机基团,R2和R3可以键合形成环结构,R4表示二价的有机基团。
作为R1所示的碳原子数1~6的烷基,可举出甲基、乙基、丙基等,优选为甲基。
作为R2和R3所示的碳原子数1~12的有机基团,可举出甲基、乙基、丙基等碳原子数1~12的烷基;环戊基、环己基等碳原子数3~12的环烷基;苯基、联苯基、萘基等碳原子数6~12的芳香族基团。这些基团可以在任意位置具有取代基。此外,R2和R3可以合起来形成环,该环可以在骨架中进一步具有氮原子或氧原子。
作为R4所示的二价有机基团,可举出:-(CH2m-、-NH-(CH2m-所示的基团。这里,m为1~10的整数。
其中,作为具有氮原子的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物,优选可举出下式所示的(甲基)丙烯酰基吗啉。
[化4]
通过将具有氮原子的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物用作固化性单体(B),可形成耐热性更优异的固化树脂层。
作为具有脂环式结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出下式所示的化合物。
[化5]
式中,R1表示与上述相同的含义,R5为具有脂环式结构的基团。
作为R5所示的具有脂环式结构的基团,可举出:环己基、异冰片基、1-金刚烷基、2-金刚烷基、三环癸基等。
作为具有脂环式结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物的具体例,可举出:(甲基)丙烯酸异冰片基酯、(甲基)丙烯酸环己基酯、(甲基)丙烯酸1-金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸2-金刚烷基酯等。
通过将具有脂环式结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物用作固化性单体(B),可以形成光学特性更优异的固化树脂层。
作为具有聚醚结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出下式所示的化合物。
[化6]
式中,R1表示与上述相同的含义,R6表示碳原子数1~12的有机基团。作为R6所示的碳原子数1~12的有机基团,可举出:甲基、乙基、丙基等碳原子数1~12的烷基;环己基等碳原子数3~12的环烷基;苯基、联苯基、萘基等碳原子数6~12的芳香族基团;等。n表示2~20的整数。
作为具有聚醚结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物的具体例,可举出:乙氧基化邻苯基苯酚(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯等。
通过将具有聚醚结构的单官能的(甲基)丙烯酸衍生物用作固化性单体(B),可以形成韧性优异的固化树脂层。
作为前述多官能型的单体,可举出多官能的(甲基)丙烯酸衍生物。
作为多官能的(甲基)丙烯酸衍生物,没有特别限定,可使用公知的化合物。可举出例如,2~6官能的(甲基)丙烯酸衍生物。
作为2官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出下式所示的化合物。
[化7]
式中,R1表示与上述相同的含义,R7表示二价有机基团。作为R7所示的二价有机基团,可举出下式所示的基团。
[化8]
(式中,s表示1~20的整数,t表示1~30的整数,u和v各自独立地表示1~30的整数,两末端的“-”表示键合键。)。
作为前述式所示的2官能的(甲基)丙烯酸衍生物的具体例,可举出:三环癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、9,9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]芴等。其中,从耐热性和韧性的观点出发,优选为三环癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯等在上述式中R7所示的二价有机基团具有三环癸烷骨架者,丙氧基化乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯等在上述式中R7所示的二价有机基团具有双酚骨架者,9,9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]芴等在上述式中R7所示的二价有机基团具有9,9-双苯基芴骨架者。
此外,作为它们以外的2官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出:新戊二醇己二酸酯二(甲基)丙烯酸酯、羟基特戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二环戊烯基二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性磷酸二(甲基)丙烯酸酯、二(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、烯丙基化环己基二(甲基)丙烯酸酯等。
作为3官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出:三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、丙酸改性二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、环氧丙烷改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯等。
作为4官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯等。
作为5官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出丙酸改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯等。
作为6官能的(甲基)丙烯酸衍生物,可举出:二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。
固化性单体(B)可以单独使用1种,也可以2种以上组合使用。
其中,由于可得到耐热性和耐溶剂性更优异的固化树脂层,固化性单体(B)优选为多官能型的单体。作为多官能的单体,从容易与热塑性树脂(A)混合、并且不易发生聚合物的固化收缩、可以抑制固化物的卷曲的观点出发,优选为2官能(甲基)丙烯酸衍生物。固化性单体(B)含有多官能型的单体时,其含量在固化性单体(B)的总量中,优选为40质量%以上、更优选为50~100质量%。
〔固化性树脂组合物〕
本发明中使用的固化性树脂组合物可通过将热塑性树脂(A)、固化性单体(B)、和根据期望的后述聚合引发剂或其它成分混合,并溶解或分散于适当的溶剂中来制备。
固化性树脂组合物中的热塑性树脂(A)和固化性单体(B)的含量以热塑性树脂(A)与固化性单体(B)的质量比计优选为热塑性树脂(A):固化性单体(B)=30:70~90:10、更优选35:65~80:20。
固化性树脂组合物中的固化性单体(B)的含量超过热塑性树脂(A):固化性单体(B)=30:70时,所得固化树脂层的柔软性可能降低,低于90:10时则固化树脂层的耐溶剂性可能降低。
此外,固化性树脂组合物中的固化性单体(B)的含量只要为上述范围,例如,在通过溶液浇铸法等得到固化树脂层时,可以效率良好地除去溶剂,因而干燥步骤的长时间化所致的发生卷曲的问题得到解决。
在本发明中使用的固化性树脂组合物中,可根据期望含有聚合引发剂。聚合引发剂只要是引发固化反应的物质,则可没有特别限制地使用,例如,可举出热聚合引发剂或光聚合引发剂。
作为热聚合引发剂,可举出有机过氧化物或偶氮系化合物。
作为有机过氧化物,可举出:二叔丁基过氧化物、叔丁基枯基过氧化物、二枯基过氧化物等二烷基过氧化物类;过氧化乙酰、过氧化月桂酰、过氧化苯甲酰等二酰基过氧化物类;过氧化甲基乙基酮、过氧化环己酮、过氧化3,3,5-三甲基环己酮、过氧化甲基环己酮等酮过氧化物类;1,1-双(叔丁基过氧)环己烷等过氧缩酮类;叔丁基过氧化氢、枯烯过氧化氢、1,1,3,3-四甲基丁基过氧化氢、对薄荷烷过氧化氢、二异丙基苯过氧化氢、2,5-二甲基己烷-2,5-二过氧化氢等过氧化氢类;叔丁基过氧化乙酸酯、叔丁基过氧-2-乙基己酸酯、叔丁基过氧化苯甲酸酯、叔丁基过氧异丙基碳酸酯等过氧化酯类;等。
作为偶氮系化合物,可举出:2,2’-偶氮双(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮双(2-环丙基丙腈)、2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)、偶氮双异丁腈、2,2’-偶氮双(2-甲基丁腈)、1,1’-偶氮双(环己烷-1-甲腈)、2-(氨基甲酰基偶氮)异丁腈、2-苯基偶氮-4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈等。
作为光聚合引发剂,可举出:2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)-苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-羟基-1-[4-[4-(2-羟基-2-甲基丙酰基)苄基]苯基]-2-甲基-丙烷-1-酮、2-甲基-1-(4-甲基噻吩基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮等烷基苯酮系光聚合引发剂;2,4,6-三甲基苯甲酰-二苯基膦氧化物、双(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物、乙基(2,4,6-三甲基苯甲酰)-苯基亚膦酸酯、双(2,6-二甲氧基苯甲酰)-2,4,4-三甲基-戊基膦氧化物等磷系光聚合引发剂;双(η5-2,4-环戊二烯-1-基)-双[2,6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基]钛等二茂钛系光聚合引发剂;1,2-辛烷二酮-1-[4-(苯基硫基)-2-(O-苯甲酰肟)]、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)等肟酯系光聚合引发剂;二苯甲酮、对氯二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、邻苯甲酰苯甲酸甲酯、4-甲基二苯甲酮、4-苯基二苯甲酮、羟基二苯甲酮、丙烯酸化二苯甲酮、4-苯甲酰-4’-甲基二苯硫醚、3,3’-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮、4-(13-丙烯酰基-1,4,7,10,13-五噁十三烷基)二苯甲酮等二苯甲酮系光聚合引发剂;噻吨酮、2-氯噻吨酮、3-甲基噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮等噻吨酮系光聚合引发剂;等。
上述光聚合引发剂中,优选2,4,6-三甲基苯甲酰-二苯基膦氧化物、双(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物、乙基(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基亚膦酸酯、双(2,6-二甲氧基苯甲酰)-2,4,4-三甲基-戊基膦氧化物等磷系光聚合引发剂。
在热塑性树脂(A)为具有芳香族环的热塑性树脂时,热塑性树脂(A)吸收紫外线,结果有时难以引起固化反应。然而,通过使用上述磷系光聚合引发剂,可以利用不被上述热塑性树脂(A)所吸收的波长的光而使固化反应效率良好地进行。
聚合引发剂可以单独使用1种,也可以2种以上组合使用。
相对于固化性树脂组合物整体,聚合引发剂的含量优选为0.05~15质量%、更优选为0.05~10质量%、进一步优选为0.05~5质量%。
此外,前述固化性树脂组合物中,除了热塑性树脂(A)、固化性单体(B)、和聚合引发剂之外,还可以含有三异丙醇胺、4,4’-二乙基氨基二苯甲酮等光聚合引发助剂。
作为用于制备前述固化性树脂组合物的溶剂,并无特别限制,可举出例如:正己烷、正庚烷等脂肪族烃系溶剂;甲苯、二甲苯等芳香族烃系溶剂;二氯甲烷、二氯乙烷、氯仿、四氯化碳、1,2-二氯乙烷、单氯苯等卤化烃系溶剂;甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、丙二醇单甲基醚等醇系溶剂;丙酮、甲基乙基酮、2-戊酮、异佛尔酮、环己酮等酮系溶剂;乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯系溶剂;乙基溶纤剂等溶纤剂系溶剂;1,3-二氧杂环戊烷等醚系溶剂;等。
前述固化性树脂组合物中的溶剂的含量没有特别限定,相对于热塑性树脂(A)1g通常为0.1~1000g、优选为1~100g。通过适宜调节溶剂的量,可以将固化性树脂组合物的粘度调节至合适。
此外,前述固化性树脂组合物中,在不损害本发明目的、效果的范围内,还可进一步含有增塑剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂等公知的添加剂。
使前述固化性树脂组合物固化的方法可以根据所用的聚合引发剂、固化性单体的种类适宜决定。具体在后述本发明的阻气膜的制造方法一项中进行说明。
〔固化树脂层〕
本发明的阻气膜的固化树脂层的厚度没有特别限定,根据阻气膜的目的决定即可。固化树脂层的厚度通常为0.5~300μm、优选为1~300μm、更优选为2~200μm、进一步优选为3~100μm、特别优选为5~20μm。
前述固化树脂层的耐热性优异。固化树脂层的玻璃化转变温度(Tg)通常为140℃以上、优选为150℃以上。玻璃化转变温度若为140℃以上,则可得到耐热性优异的阻气膜。
前述固化树脂层的耐溶剂性优异。由于耐溶剂性优异,因而即使是在,例如,于固化树脂层表面形成其它层之际使用有机溶剂时,固化树脂层表面也基本不溶解。因此即使是在,例如,使用含有有机溶剂的树脂溶液在固化树脂层表面形成阻气层时,由于固化树脂层的成分难以混入阻气层,因而阻气性不易降低。
从该观点出发,前述固化树脂层的凝胶分数优选为90%以上、更优选为94%以上。凝胶分数为90%以上的固化树脂层的耐溶剂性优异,因而即使是在固化树脂层表面通过涂覆形成其它层之际使用有机溶剂时,固化树脂层表面也基本不溶解,而可得到耐溶剂性优异的阻气膜。
这里,凝胶分数如下得到:将切成100mm×100mm的固化树脂层用预先测定了质量的150mm×150mm的尼龙网眼布(#120)包裹,在甲苯(100mL)中浸渍3天,取出并在120℃干燥1小时,接着在23℃、相对湿度50%的条件下放置3小时进行调湿,然后测定其质量,通过下式计算凝胶分数。
[数1]
凝胶分数(%)=(浸渍后的残留树脂的重量)/(浸渍前的树脂的重量)]×100。
本发明的阻气膜的固化树脂层与阻气层的层间密合性优异。即,可以不在前述固化树脂层上设置底涂层(Anchor coat layer)而形成阻气层。
本发明的阻气膜的固化树脂层优选为无色透明。通过固化树脂层为无色透明,可以将本发明的阻气膜优选用于光学用途。
本发明的阻气膜的固化树脂层的双折射率低,光学各向同性优异。前述固化树脂层的面内的相位差通常为20nm以下,优选为15nm以下。厚度方向的相位差通常为-500nm以下,优选为-450nm以下。此外,面内的相位差除以固化树脂层厚度所得的值(双折射率)通常为100×10-5以下,优选为20×10-5以下。
固化树脂层的面内的相位差、厚度方向的相位差、双折射率若在上述范围内,则可得到双折射率低、光学各向同性优异的阻气膜,可将本发明的阻气膜优选用于光学用途。
如上所述,本发明的阻气膜的固化性树脂层的耐热性、耐溶剂性、层间密合性、透明性优异,进而双折射率低,光学各向同性优异。因此,如后所述,通过在具有这种特性的固化树脂层上利用例如溶液浇铸法形成阻气层,可以得到耐热性、耐溶剂性、层间密合性、透明性优异、进而双折射率低、光学各向同性优异的阻气膜。
(II)阻气层
本发明的阻气膜的阻气层只要具有阻气性则对材质没有特别限定。例如,可举出由无机膜形成的阻气层、含有阻气性树脂的阻气层、在含有高分子化合物的层中注入离子而得的阻气层等。
其中,从可以效率良好地形成薄且阻气性优异的层的观点出发,阻气层优选为由无机膜形成的阻气层、和在含有高分子化合物的层中注入离子而得的阻气层。
作为无机膜,没有特别限制,可举出例如无机蒸镀膜。
作为无机蒸镀膜,可举出无机化合物或金属的蒸镀膜。
作为无机化合物的蒸镀膜的原料,可举出:氧化硅、氧化铝、氧化镁、氧化锌、氧化铟、氧化锡等无机氧化物;氮化硅、氮化铝、氮化钛等无机氮化物;无机碳化物;无机硫化物;氧化氮化硅等无机氧化氮化物;无机氧化碳化物;无机氮化碳化物;无机氧化氮化碳化物等。
作为金属蒸镀膜的原料,可举出铝、镁、锌、和锡等。
它们可以单独使用1种,也可以2种以上组合使用。
其中,从阻气性的观点出发,优选为以无机氧化物、无机氮化物或金属为原料的无机蒸镀膜,进而,从透明性的观点出发,优选为以无机氧化物或无机氮化物为原料的无机蒸镀膜。此外,无机蒸镀膜可以是单层,也可以是多层。
从阻气性和操作性的观点出发,无机蒸镀膜的厚度优选为10~2000nm、更优选为20~1000nm、更优选为30~500nm、进一步优选为40~200nm的范围。
作为形成无机蒸镀膜的方法,可举出:真空蒸镀法、溅射法、离子镀覆法等PVD(物理蒸镀)法、或者热CVD(化学蒸镀)法、等离子体CVD法、光CVD法等CVD法。
作为在含有阻气性树脂的阻气层中所使用的阻气性树脂,可举出:聚乙烯醇、或其部分皂化物、乙烯-乙烯醇共聚物、聚丙烯腈、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚氯三氟乙烯等不易透过氧等的树脂。
从阻气性的观点出发,含有阻气性树脂的阻气层的厚度优选为10~2000nm、更优选为20~1000nm、更优选为30~500nm、进一步优选为40~200nm的范围。
作为形成含有阻气性树脂的阻气层的方法,可举出将含有阻气性树脂的溶液涂布于固化树脂层上,并将所得涂膜适宜干燥的方法。
作为在含有高分子化合物的层(以下,有时称为“高分子层”)中注入离子而得的阻气层中所使用的高分子化合物,可举出:含硅高分子化合物、聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚苯醚、聚醚酮、聚醚醚酮、聚烯烃、聚酯、聚碳酸酯、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、聚芳酯、丙烯酸系树脂、环烯烃系聚合物、芳香族系聚合物等。这些高分子化合物可以单独使用1种,或者组合2种以上使用。
其中,高分子化合物优选为含硅高分子化合物。作为含硅高分子化合物,可举出:聚硅氮烷系化合物(参照日本特公昭63-16325号公报、日本特开昭62-195024号公报、日本特开昭63-81122号公报、日本特开平1-138108号公报、日本特开平2-84437号公报、日本特开平2-175726号公报、日本特开平4-63833号公报、日本特开平5-238827号公报、日本特开平5-345826号公报、日本特开2005-36089号公报、日本特开平6-122852号公报、日本特开平6-299118号公报、日本特开平6-306329号公报、日本特开平9-31333号公报、日本特开平10-245436号公报、日本特表2003-514822号公报、国际公开WO2011/107018号等)、聚碳硅烷系化合物(参照Journal of Materials Science,2569-2576,Vol.13,1978、Organometallics,1336-1344,Vol.10,1991、Journal of Organometallic Chemistry,1-10,Vol.521,1996、日本特开昭51-126300号公报、日本特开2001-328991号公报、日本特开2006-117917号公报、日本特开2009-286891号公报、日本特开2010-106100号公报等)、聚硅烷系化合物(参照R.D.Miller、J.Michl;Chemical Review、第89卷、1359页(1989)、N.Matsumoto;Japanese Journal of Physics、第37卷、5425页(1998)、日本特开2008-63586号公报、日本特开2009-235358号公报等)、和聚有机硅氧烷系化合物(参照日本特开2010-229445号公报、日本特开2010-232569号公报、日本特开2010-238736号公报等)等。
其中,从可形成具有优异阻气性的阻气层的观点出发,优选为聚硅氮烷系化合物。作为聚硅氮烷系化合物,可举出无机聚硅氮烷或有机聚硅氮烷。无机聚硅氮烷可举出全氢聚硅氮烷等,有机聚硅氮烷可举出全氢聚硅氮烷的氢的一部分或全部被烷基等有机基团所取代而成的化合物等。其中,从获得容易性和可形成具有优异阻气性的阻气层的观点出发,更优选为无机聚硅氮烷。
此外,聚硅氮烷系化合物还可直接使用作为玻璃涂层材料等市售的市售品。
聚硅氮烷系化合物可以一种单独使用,或者二种以上组合使用。
前述高分子层中,除了上述高分子化合物之外,还可在不阻碍本发明目的的范围内含有其它成分。作为其它成分,可举出:固化剂、其它高分子、防老剂、光稳定剂、阻燃剂等。
从可形成具有优异阻气性的阻气层的观点出发,高分子层中的高分子化合物的含量优选为50质量%以上、更优选为70质量%以上。
作为形成高分子层的方法,可举出例如:将含有高分子化合物的至少一种、根据期望的其它成分、和溶剂等的层形成用溶液,通过公知方法涂布于固化树脂层或根据期望形成于固化树脂层上的底漆层上,并对所得涂膜进行适度干燥来形成的方法。
涂布层形成用溶液之际,可使用旋涂机、刮刀涂布机、凹版印刷涂布机等公知的装置。
为了对所得涂膜进行干燥、或使阻气膜的阻气性提高,优选对涂膜进行加热。作为加热、干燥方法,可采用热风干燥、热辊干燥、红外线照射等以往公知的干燥方法。加热温度通常为80~150℃,加热时间通常为数十秒至数十分钟。
高分子层的厚度通常为20~1000nm、优选为30~500nm、更优选为40~200nm。
本发明中,即使高分子层的厚度为纳米级,通过如后所述注入离子,也可获得具有充分阻气性能的膜。
注入高分子层的离子的注入量根据要形成的膜的使用目的(需要的阻气性、透明性等)等适宜决定即可。
作为被注入的离子,可举出:氩、氦、氖、氪、氙等稀有气体的离子;氟碳化合物、氢、氮、氧、二氧化碳、氯、氟、硫等的离子;
甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、戊烷、己烷等烷烃系气体类的离子;乙烯、丙烯、丁烯、戊烯等烯烃系气体类的离子;戊二烯、丁二烯等烷二烯系气体类的离子;乙炔、甲基乙炔等炔系气体类的离子;苯、甲苯、二甲苯、茚、萘、菲等芳香族烃系气体类的离子;环丙烷、环己烷等环烷烃系气体类的离子;环戊烯、环己烯等环烯烃系气体类的离子;
金、银、铜、铂、镍、钯、铬、钛、钼、铌、钽、钨、铝等导电性金属的离子;
硅烷(SiH4)或有机硅化合物的离子;等。
作为有机硅化合物,可举出:四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四正丙氧基硅烷、四异丙氧基硅烷、四正丁氧基硅烷、四叔丁氧基硅烷等四烷氧基硅烷;
二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二乙基二甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、(3,3,3-三氟丙基)三甲氧基硅烷等无取代或具有取代基的烷基烷氧基硅烷;
二苯基二甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷等芳基烷氧基硅烷;
六甲基二硅氧烷(HMDSO)等二硅氧烷;
双(二甲基氨基)二甲基硅烷、双(二甲基氨基)甲基乙烯基硅烷、双(乙基氨基)二甲基硅烷、二乙基氨基三甲基硅烷、二甲基氨基二甲基硅烷、四(二甲基氨基)硅烷、三(二甲基氨基)硅烷等氨基硅烷;
六甲基二硅氮烷、六甲基环三硅氮烷、七甲基二硅氮烷、九甲基三硅氮烷、八甲基环四硅氮烷、四甲基二硅氮烷等硅氮烷;
四异氰酸酯硅烷等氰酸酯硅烷;
三乙氧基氟硅烷等卤代硅烷;
二烯丙基二甲基硅烷、烯丙基三甲基硅烷等烯基硅烷;
二叔丁基硅烷、1,3-二硅代丁烷、双(三甲基甲硅烷基)甲烷、四甲基硅烷、三(三甲基甲硅烷基)甲烷、三(三甲基甲硅烷基)硅烷、苄基三甲基硅烷等无取代或具有取代基的烷基硅烷;
双(三甲基甲硅烷基)乙炔、三甲基甲硅烷基乙炔、1-(三甲基甲硅烷基)-1-丙炔等甲硅烷基炔;
1,4-双三甲基甲硅烷基-1,3-丁二炔、环戊二烯基三甲基硅烷等甲硅烷基烯烃;
苯基二甲基硅烷、苯基三甲基硅烷等芳基烷基硅烷;
炔丙基三甲基硅烷等炔基烷基硅烷;
乙烯基三甲基硅烷等烯基烷基硅烷;
六甲基二硅烷等二硅烷;
八甲基环四硅氧烷、四甲基环四硅氧烷、六甲基环四硅氧烷等硅氧烷;
N,O-双(三甲基甲硅烷基)乙酰胺;
双(三甲基甲硅烷基)碳二亚胺;
等。
这些离子可以一种单独使用,或二种以上组合使用。
其中,由于可以更简便地注入,得到具有特别优异的阻气性的阻气层,因而优选选自氢、氮、氧、氩、氦、氖、氙、和氪的至少一种离子。
作为注入离子的方法,并无特别限定,可举出:照射经电场加速的离子(离子束)的方法、注入等离子体中的离子的方法等。其中,由于可简便地得到阻气性的膜,本发明中优选后者的注入等离子体离子的方法。
作为等离子体离子注入法,优选为(α)将存在于用外部电场产生的等离子体中的离子注入高分子层的方法、或(β)不使用外部电场,而将存在于仅通过以施加于前述层的负高电压脉冲造成的电场而产生的等离子体中的离子注入高分子层的方法。
在前述(α)的方法中,优选使离子注入之际的压力(等离子体离子注入时的压力)为0.01~1Pa。等离子体离子注入时的压力处于上述范围时,可以简便且效率良好地注入离子,可以效率良好地形成目标阻气层。
前述(β)的方法不需要提高減压度,处理操作简便,处理时间也可大幅缩短。此外,可以对整个前述层进行均匀处理,可以在施加负的高电压脉冲时将等离子体中的离子通过高能量连续地注入高分子层中。进而,不需要射频(radio frequency)(高频,以下简称为“RF”)、微波等高频电力源等特别的其它设备,仅通过对层施加负的高电压脉冲,即可将优质的离子均匀地注入高分子层。
前述(α)和(β)的任一方法中,施加负的高电压脉冲时、即注入离子时的脉冲宽度优选为1~15μsec。脉冲宽度处于上述范围时,可以更简便且效率良好地将离子均匀地注入。
此外,使等离子体产生时的施加电压优选为-1~-50kV、更优选为-1~-30kV、特别优选为-5~-20kV。以施加电压大于-1kV的值进行离子注入时,离子注入量(掺杂量)不充分,得不到所期望的性能。另一方面,若以小于-50kV的值进行离子注入,则膜在离子注入时会帯电,而且还发生膜着色等不良情况,故不优选。
作为等离子体离子注入的离子种类,可举出相同于前述作为被注入离子而例示的那些。
将等离子体中的离子注入高分子层时,使用等离子体离子注入装置。
作为等离子体离子注入装置,具体可举出:(i)对于对高分子层(以下,有时称为“注入离子的层”)施加负的高电压脉冲的馈通,重叠高频电力,用等离子体均等地包围要注入离子的层的周围,从而诱发、注入、碰撞、堆积等离子体中的离子的装置(日本特开2001-26887号公报);(ii)在腔室内设置天线、施加高频电力以使等离子体产生,在等离子体到达要注入离子的层周围后,对要注入离子的层交替地施加正和负的脉冲,由此通过正脉冲来诱导碰撞等离子体中的电子,加热注入离子的层,控制脉冲常数,进行温度控制,同时施加负的脉冲来诱导、注入等离子体中的离子的装置(日本特开2001-156013号公报)、(iii)使用微波等高频电力源等外部电场产生等离子体,施加高电压脉冲来诱导、注入等离子体中的离子的等离子体离子注入装置、(iv)将不使用外部电场而仅通过由施加高电压脉冲而产生的电场所产生的等离子体中的离子注入的等离子体离子注入装置等。
其中,由于处理操作简便,还可大幅缩短处理时间,并适于连续使用,因而优选使用(iii)或(iv)的等离子体离子注入装置。
对于使用前述(iii)和(iv)的等离子体离子注入装置的方法,可举出国际公开WO2010/021326号公报中记载的方法。
前述(iii)和(iv)的等离子体离子注入装置中,通过高电压脉冲电源来兼用产生等离子体的等离子体产生设备,因而不需要RF、微波等高频电力源等特别的其它设备,仅通过施加负的高电压脉冲,即可产生等离子体,将等离子体中的离子连续地注入高分子层,从而量产在表面部具有通过离子注入而改质的部分的高分子层、即形成有阻气层的阻气膜。
注入离子的部分的厚度可根据离子的种类、施加电压、处理时间等注入条件来控制,可以根据高分子层的厚度、阻气膜的使用目的等来决定,通常为5~1000nm。
可通过使用X射线光电子分光分析(XPS)进行距高分子层的表面10nm附近的元素分析测定来确认离子注入。
阻气层具有阻气性可由阻气层的水蒸汽透过率小来确认。
阻气层在40℃、相对湿度90%气氛下的水蒸汽透过率通常为1g/m2/day以下,优选为0.8g/m2/day以下,更优选为0.5g/m2/day以下,进一步优选为0.1g/m2/day以下。水蒸汽透过率可通过公知的方法测定。
(III)阻气膜
本发明的阻气膜具有前述固化树脂层、和该固化树脂层的至少单面上的阻气层。本发明的阻气膜可以分别具有前述固化树脂层和阻气层各一层,也可以具有2层以上前述固化树脂层和/或阻气层。
本发明的阻气膜的实例示于图1(a)、(b)。
图1(a)中示出的阻气膜(10)在固化树脂层(1)的单面具有阻气层(2)。
图1(b)中示出的阻气膜(20)在固化树脂层(1)的两面分别具有阻气层(2’)和阻气层(2”)。
本发明的阻气膜并不限于图1(a)、(b)所示,在不损害本发明目的的范围内,还可进一步含有1层或2层以上的其它层。
作为其它层,可举出例如,导电体层、冲击吸收层、粘接剂层、接合层、工程片材等。此外,其它层的配置位置没有特别限定。
作为构成导电体层的材料,可举出金属、合金、金属氧化物、导电性化合物、它们的混合物等。具体可举出:掺杂有锑的氧化锡(ATO);掺杂有氟的氧化锡(FTO);氧化锡、掺杂有锗的氧化锌(GZO)、氧化锌、氧化铟、氧化铟锡(ITO)、氧化锌铟(IZO)等半导电性金属氧化物;金、银、铬、镍等金属;这些金属和导电性金属氧化物的混合物;碘化铜、硫化铜等无机导电性物质;聚苯胺、聚噻吩、聚吡咯等有机导电性材料;等。
作为导电体层的形成方法,并无特别限制。可举出例如:蒸镀法、溅射法、离子镀覆法、热CVD法、等离子体CVD法等。
导电体层的厚度根据其用途等适宜选择即可。通常为10nm至50μm、优选为20nm至20μm。
冲击吸收层是用于在对阻气层施加冲击时保护阻气层的层。作为形成冲击吸收层的原材料,并无特别限定,可举出例如:丙烯酸系树脂、氨基甲酸酯系树脂、有机硅系树脂、烯烃系树脂、橡胶系材料等。
冲击吸收层的形成方法没有特别限制,可举出例如:将含有形成前述冲击吸收层的原材料、和根据期望的溶剂等其它成分的冲击吸收层形成溶液涂布于要层叠的层上,对所得涂膜进行干燥,根据需要进行加热等来形成的方法。
此外,也可以另外在剥离基材上成膜冲击吸收层,并将所得的膜转印至要层叠的层上进行层叠。
冲击吸收层的厚度通常为1~100μm、优选为5~50μm。
粘接剂层是将本发明的阻气膜粘贴于被粘接体时而使用的层。形成粘接剂层的材料并无特别限定,可使用丙烯酸系、有机硅系、橡胶系等公知的粘接剂或粘合剂、热封材料等。
如后所述,接合层是将本发明的阻气膜多张贴合而制造阻气膜层叠体时等而使用的层。接合层的具体内容在阻气膜层叠体一项中进行说明。
工程片材是在保存、搬运阻气膜之际,具有保护固化树脂层、阻气层、以及上述其它层的功能,并在规定步骤中剥离的片材。
阻气膜具有工程片材时,阻气膜可在单面具有工程片材,也可在两面具有工程片材。后者的情形中,优选使用2种工程片材,并使先剥离的工程片材为更容易剥离的工程片材。
工程片材优选为片状或膜状。片状或膜状并不限于长条(長尺),也包含短条(短尺)的平板状。
作为工程片材,可举出:玻璃纸、涂布纸、上等纸等纸基材;在这些纸基材上层合有聚乙烯或聚丙烯等热塑性树脂的层合纸;在上述纸基材上用纤维素、淀粉、聚乙烯醇、丙烯酸-苯乙烯树脂等进行填补处理而成者;或者聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯膜或聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃膜等塑料膜;玻璃等。
此外,作为工程片材,从操作容易性的观点出发,可以在纸基材或塑料膜上设置剥离剂层。剥离层可以使用有机硅系剥离剂、氟系剥离剂、醇酸系剥离剂、烯烃系剥离剂等以往公知的剥离剂来形成。
剥离剂层的厚度没有特别限制,通常为0.02~2.0μm、更优选为0.05~1.5μm。
从操作容易性的观点出发,工程片材的厚度优选为1~500μm、更优选为5~300μm。
工程片材的表面粗糙度Ra(算术平均粗糙度)优选为10.0nm以下、更优选为8.0nm以下。此外,表面粗糙度Rt(最大截面高度)优选为100nm以下、更优选为50nm以下。
表面粗糙度Ra和Rt分别超过10.0nm、100nm时,与工程片材接触的层的表面粗糙度变大,阻气膜的阻气性可能降低。
应予说明,表面粗糙度Ra和Rt是以100μm×100μm的测定面积通过光干涉法得到的值。
本发明的阻气膜的厚度可根据目标电子装置的用途等适宜决定。从操作性的观点出发,本发明的阻气膜的实质上的厚度优选为1~300μm、更优选为2~200μm、更优选为3~100μm。
应予说明,“实质上的厚度”是指使用状态下的厚度。即,本发明的阻气膜可以具有工程片材等,但在使用时被除去的部分(工程片材等)的厚度不包括在“实质上的厚度”中。
本发明的阻气膜具有上述固化树脂层和阻气层,因而耐热性、耐溶剂性、层间密合性和阻气性优异,而且双折射率低,光学各向同性优异。
本发明的阻气膜在40℃、相对湿度90%气氛下的水蒸汽透过率通常为1g/m2/day以下、优选为0.8g/m2/day以下、更优选为0.5g/m2/day以下、进一步优选为0.1g/m2/day以下。
2)阻气膜的制造方法
制造本发明的阻气膜的方法没有特别限制。其中,从可效率良好且容易地制造阻气膜的观点出发,优选使用工程片材进行制造的方法,更优选具有以下步骤1~3的方法。
步骤1:在工程片材上形成包含含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化性树脂层的步骤;
步骤2:使步骤1中所得的固化性树脂层固化而形成固化树脂层的步骤;
步骤3:在步骤2中所得的固化树脂层上形成阻气层的步骤。
(步骤1)
首先,在工程片材上形成由含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物构成的固化性树脂层。
作为所用的工程片材、固化性树脂组合物,可举出与上述相同的工程片材、固化性树脂组合物。
将固化性树脂组合物涂布于工程片材上的方法没有特别限制,可利用旋涂法、喷涂法、棒涂法、刮刀涂布法、辊涂法、刮板涂布法、模涂法、凹版印刷涂布法等公知的涂布方法。
干燥所得涂膜的方法没有特别限制,可利用热风干燥、热辊干燥、红外线照射等以往公知的干燥方法。如上所述,本发明中使用的固化性树脂组合物含有玻璃化转变温度(Tg)非常高的热塑性树脂(A),通过含有固化性单体(B),在对用溶液浇铸法而得的涂膜进行干燥时,可以将溶剂效率良好地除去。
涂膜的干燥温度通常为30~150℃、优选为50~100℃。
干燥涂膜(固化性树脂层)的厚度没有特别限制,通常为0.5~300μm、优选为1~300μm、更优选为3~100μm。固化性树脂层的厚度通常为0.5~300μm、优选为2~200μm、进一步优选为1~300μm、特别优选为5~20μm。
(步骤2)
接着,使步骤1中所得的固化性树脂层固化而形成固化树脂层。
作为将固化性树脂层固化的方法,没有特别限定,可采用公知的方法。例如,固化性树脂层在使用含有热聚合引发剂的固化性树脂组合物而形成的情形中,可通过加热固化性树脂层来使固化性树脂层固化。加热温度通常为30~150℃、优选为50~100℃。
此外,固化性树脂层在使用含有光聚合引发剂的固化性树脂组合物而形成的情形中,可通过对固化性树脂层照射活性能量射线来使固化性树脂层固化。活性能量射线可以使用高压汞灯、无电极灯、氙灯等来照射。
活性能量射线的波长优选为200~400nm、更优选为350~400nm。照射量通常为照度50~1000mW/cm2、光量50~5000mJ/cm2、优选1000~5000mJ/cm2的范围。照射时间通常为0.1~1000秒、优选1~500秒、进一步优选10~100秒。为了考虑光照射步骤的热负荷并满足前述的光量,可以进行多次照射。
此时,为了防止活性能量射线照射所致的热塑性树脂(A)的劣化、或固化树脂层的着色,可以隔着吸收固化反应中不需要波长的光的滤光器对固化性树脂组合物照射活性能量射线。根据该方法,由于固化反应中不需要的、且会使热塑性树脂(A)劣化的波长的光被滤光器吸收,因而热塑性树脂(A)的劣化得到抑制,容易得到无色透明的固化树脂层。
作为滤光器,可利用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜等树脂膜。使用树脂膜时,优选在步骤1和步骤2之间设置在固化性树脂层上层叠聚对苯二甲酸乙二醇酯膜等树脂膜的步骤。应予说明,树脂膜通常在步骤2之后剥离。
此外,通过对固化性树脂层照射电子射线,也可使固化性树脂层固化。照射电子射线时,通常不利用光聚合引发剂也可使固化性树脂层固化。照射电子射线时,可使用电子射线加速器等。照射量通常为10~1000krad的范围。照射时间通常为0.1~1000秒、优选1~500秒、进一步优选10~100秒。
(步骤3)
然后,在步骤2中所得的固化树脂层上形成阻气层。
作为形成阻气层的方法,可适宜采用之前说明的方法。
例如,在阻气层为将离子注入含有含硅高分子化合物的层中而得的层时,可通过将含有含硅高分子化合物的层形成在固化树脂层上的步骤、和将离子注入该含有含硅高分子化合物的层的步骤来形成阻气层。
作为形成含有含硅高分子化合物的层的方法或注入离子的方法,可以采用之前说明的方法。
此外,作为注入离子的方法,优选在步骤2中所得的固化树脂层上,一边沿恒定方向输送形成有含有含硅高分子化合物的层的长条状的膜,一边将离子注入前述含有含硅高分子化合物的层中来制造阻气膜。
根据该制造方法,例如,可以连续地制造长条状的阻气膜。
应予说明,工程片材通常根据阻气膜的用途等而在规定的步骤中剥离。例如,可以在步骤3之后形成其它层等,然后剥离工程片材,也可以在步骤3之后剥离工程片材。此外,也可在步骤2和步骤3之间剥离工程片材。
如此,具有前述步骤1~3的制造方法虽然利用工程片材来形成固化性树脂层,但由该方法所得的阻气膜可具有或不具有工程片材。
根据本发明的阻气膜的制造方法,可以效率良好、连续且容易地制造本发明的阻气膜。
3)阻气膜层叠体
本发明的阻气膜层叠体是将2片以上本发明的阻气膜通过接合层层叠而成的。
〔阻气膜〕
构成本发明的阻气膜层叠体的阻气膜只要是本发明的阻气膜则没有特别限定。
阻气膜层叠体的制造中使用的阻气膜的固化树脂层的厚度优选为0.5~10μm、更优选为1~5μm。通过固化树脂层的厚度在上述范围内,可得到具有优异阻气性、而且厚度薄的阻气膜层叠体。
〔接合层〕
构成阻气膜层叠体的接合层是用于将阻气膜彼此接合,并保持阻气膜层叠体的层叠结构的层。接合层可以是单层,也可以是多层。作为接合层,可举出:由使用粘接剂形成的单层结构的层形成的接合层、或者在支持层的两面形成使用粘接剂形成的层而成的接合层。
形成接合层之际使用的材料只要是可将阻气膜彼此接合、并保持阻气膜层叠体的层叠结构,则没有特别限制,可使用公知的粘接剂,但从常温下可将阻气膜彼此接合的观点出发,优选为粘合剂。
作为接合层中使用的粘合剂,可举出丙烯酸系粘合剂、氨基甲酸酯系粘合剂、有机硅系粘合剂、橡胶系粘合剂等。其中,从粘合力、透明性和操作性的观点出发,优选为丙烯酸系粘合剂、氨基甲酸酯系粘合剂。此外,优选为能够形成如后所述的交联结构的粘合剂。
此外,粘合剂可以是溶剂型粘合剂、乳液型粘合剂、热熔型粘合剂等任意形态的粘合剂。
丙烯酸系粘合剂是以丙烯酸系共聚物为主成分的粘合剂。
丙烯酸系共聚物是具有来自(甲基)丙烯酸或(甲基)丙烯酸酯的重复单元的共聚物。这里,“(甲基)丙烯酸”意指丙烯酸或甲基丙烯酸两者。
此外,丙烯酸系共聚物可具有上述以外的重复单元。
丙烯酸系共聚物可以一种单独使用,或组合二种以上使用。
丙烯酸系共聚物优选为具有可形成交联结构的官能团(以下,有时简称为“官能团”)的丙烯酸系单体、不具有官能团的丙烯酸系单体、和与可以与这些单体共聚的其它单体的共聚物。具有官能团的丙烯酸系单体有助于交联结构的形成,而不具有官能团的丙烯酸系单体则可有助于粘合性的提高。
作为具有官能团的丙烯酸系单体的官能团,根据所用交联剂的种类而有所不同,可举出:羧基、羟基、氨基、酰胺基等。
另一方面,不具有官能团的丙烯酸系单体可以形成粘合性优异的接合层,因而优选具有碳原子数4~10的烃基。
作为具有官能团的丙烯酸系单体,可举出:(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸2-羧基乙酯等具有羧基的丙烯酸系单体;(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯等具有羟基的丙烯酸系单体;等。
这些单体可以一种单独使用,或者组合两种以上使用。
作为不具有官能团的丙烯酸系单体,可举出:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸肉豆蔻酯、(甲基)丙烯酸棕榈酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯等具有直链烷基的丙烯酸系单体;(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异辛酯等具有支链烷基的丙烯酸系单体;(甲基)丙烯酸环己酯等具有环烷基的丙烯酸系单体;等。
这些单体可以一种单独使用,或者组合两种以上使用。
作为其它单体,可举出:巴豆酸、马来酸、富马酸、衣康酸、柠康酸等具有羧基的单体;(甲基)丙烯酰胺、N-甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺等具有酰胺基的单体;丙烯腈;苯乙烯;乙酸乙烯酯;乙烯基吡咯烷酮等。
制造丙烯酸系共聚物的方法没有特别限制,可使用溶液聚合法、乳化聚合法、悬浮聚合法、本体聚合法等以往公知的方法。其中,从聚合容易的观点出发,理想的是溶液聚合。
聚合反应中使用的聚合引发剂没有特别限制,可举出:过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、过氧化甲基乙基酮等过氧化物系引发剂、偶氮双异丁腈、偶氮双氰基戊酸、偶氮双氰基戊烷等偶氮系引发剂等。
聚合反应中使用的溶剂没有特别限制,可举出:甲苯、己烷、庚烷、乙酸乙酯、丙酮、甲基乙基酮、甲醇等。
聚合反应的温度或反应时间等反应条件可采用公知条件。
丙烯酸系共聚物的重均分子量通常为100000~1000000、优选为300000~900000。应予说明,上述重均分子量是通过凝胶渗透色谱(GPC)法测定得到的聚苯乙烯换算的值。
丙烯酸系粘合剂中可添加交联剂。交联剂是指与上述具有官能团的丙烯酸系单体中的官能团进行反应而形成交联的化合物。通过使用交联剂,可以使丙烯酸系粘合剂的凝集力提高。所用交联剂没有特别限制,可举出异氰酸酯系交联剂、环氧系交联剂等。
异氰酸酯系交联剂没有特别限定,可使用在分子中具有2个以上异氰酸酯基的化合物。作为这类异氰酸酯系交联剂,可举出:甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、苯二甲基二异氰酸酯等芳香族多异氰酸酯;六亚甲基二异氰酸酯等脂肪族多异氰酸酯;异佛尔酮二异氰酸酯、氢化二苯基甲烷二异氰酸酯等脂环式多异氰酸酯;和它们的缩二脲体、异氰脲酸酯体、以及作为与乙二醇、丙二醇、新戊二醇、三羟甲基丙烷、蓖麻油等含低分子活性氢化合物的反应物即加合体;等。
作为环氧系交联剂,可使用在分子中具有2个以上环氧基的化合物,可举出例如:山梨糖醇四缩水甘油醚、三羟甲基丙烷缩水甘油醚、四缩水甘油基-1,3-双氨基甲基环己烷、四缩水甘油基间二甲苯二胺、三缩水甘油基对氨基苯酚等。
交联剂可以一种单独使用,或者组合两种以上使用。
交联剂的使用量根据交联剂的种类而有所不同,相对于丙烯酸系共聚物100质量份,通常为0.01~10质量份、优选为0.05~5质量份。
氨基甲酸酯系粘合剂是以氨基甲酸酯系树脂为主成分(也包括全部仅由该成分构成的情形)的粘合剂。此外,氨基甲酸酯系粘合剂中也包括氨基甲酸酯系粘接剂。
所用的氨基甲酸酯系粘合剂只要可形成具有目标特性的粘合剂层则没有特别限定,可使用以往公知的氨基甲酸酯系粘合剂。
作为氨基甲酸酯系树脂,可举出聚醚聚氨酯、聚酯聚氨酯等。
它们可以一种单独使用,或者组合二种以上使用。
此外,氨基甲酸酯系树脂可以是具有下述三维结构的树脂:使在末端具有异氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物与三元醇或二胺等交联剂反应而得的三维交联结构。
接合层中所用的粘合剂可在不阻碍粘合性等的范围内含有各种添加剂。作为添加剂,可举出:光稳定剂、抗氧化剂、粘合赋予剂、增塑剂、紫外线吸收剂、着色剂、树脂稳定剂、填充剂、颜料、增量剂、防静电剂、硅烷偶联剂等。这些添加剂可以一种单独使用,或者组合两种以上使用。
作为形成接合层的方法,可采用公知的方法。例如,在接合层中所用粘合剂的形态为溶剂型粘合剂、乳液型粘合剂时,可以通过旋涂法、喷涂法、棒涂法、刮刀涂布法、辊涂法、刮板涂布法、模涂法、凹版印刷涂布法等公知的涂布方法涂布粘合剂,然后从所得涂膜中将溶剂干燥除去,并根据期望进行加热,由此形成接合层。
此外,在所用粘合剂的形态为热熔型粘合剂时,则利用在加热下容易熔融而具有流动性的性质,通过热熔法进行涂布。可通过T模、喷射模(fountain die)、内齿轮模(gear-in die)、缝口模等公知的涂布方法涂布熔融状态的热熔型粘合剂,进行冷却,由此形成接合层。
接合层的厚度没有特别限制地适宜选定,优选为0.5~100μm、更优选为1~60μm、进一步优选为3~40μm。若为0.5μm以上则可得到良好的粘合力,若为100μm以下则在生产率方面有利。
3)阻气膜层叠体
本发明的阻气膜层叠体的实例示于图2(a)~(c)、图3(a)~(b)、图4(a)~(b)、图5(a)~(c)。本发明的阻气膜层叠体并不限于图2~5所示。此外,以下说明用于对阻气膜层叠体的层构成进行说明,并不限定制造步骤的顺序(层叠顺序)。
图2(a)所示的阻气膜层叠体(30)具有:2片阻气膜(10a)、(10b)以阻气膜(10a)的阻气层(2a)与阻气膜(10b)的阻气层(2b)隔着接合层(3)而相对的方式层叠而成的层构成〔固化树脂层(1a)/阻气层(2a)/接合层(3)/阻气层(2b)/固化树脂层(1b)〕。
图2(b)所示的阻气膜层叠体(40)具有:2片阻气膜(10a)、(10b)以阻气膜(10a)的固化树脂层(1a)与阻气膜(10b)的固化树脂层(1b)隔着接合层(3)而相对的方式层叠而成的层构成〔阻气层(2a)/固化树脂层(1a)/接合层(3)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)〕。
图2(c)所示的阻气膜层叠体(50)具有:2片阻气膜(10a)、(10b)以阻气膜(10a)的阻气层(2a)与阻气膜(10b)的固化树脂层(1b)隔着接合层(3)而相对的方式层叠而成的层构成〔固化树脂层(1a)/阻气层(2a)/接合层(3)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)〕。
图3(a)所示的阻气膜层叠体(60)具有:3片阻气膜(10a)、(10b)、(10c)以阻气膜(10a)的阻气层(2a)与阻气膜(10b)的固化树脂层(1b)隔着接合层(3a)而相对的方式层叠,进而另一片阻气膜(10c)以阻气膜(10b)的阻气层(2b)与阻气膜(10c)的阻气层(3b)夹持接合层(3b)而相对的方式层叠而成的层构成〔固化树脂层(1a)/阻气层(2a)/接合层(3a)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)/接合层(3b)/阻气层(2c)/固化树脂层(1c)〕。
图3(b)所示的阻气膜层叠体(70)与阻气膜层叠体(60)相同地含有3片阻气膜(10a)、(10b)、(10c),其层构成为〔固化树脂层(1a)/阻气层(2a)/接合层(3a)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)/接合层(3b)/固化树脂层(1c)/阻气层(2c)〕。
图4(a)所示的阻气膜层叠体(80)具有:2片阻气膜层叠体(30a)、(30b)以阻气膜层叠体(30a)的固化树脂层(1b)与阻气膜层叠体(30b)的固化树脂层(1c)隔着接合层(3b)而相对的方式层叠而成的层构成〔固化树脂层(1a)/阻气层(2a)/接合层(3a)/阻气层(2b)/固化树脂层(1b)/接合层(3b)/固化树脂层(1c)/阻气层(2c)/接合层(3c)/阻气层(2d)/固化树脂层(1d)〕。
图4(b)和图5(a)~(c)所示的阻气膜层叠体(90)~(120)与阻气膜层叠体(80)相同地含有2片阻气膜层叠体,各自的层构成如下所述。
阻气膜层叠体(90):〔阻气层(2a)/固化树脂层(1a)/接合层(3a)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)/接合层(3b)/阻气层(2c)/固化树脂层(1c)/接合层(3c)/固化树脂层(1d)/阻气层(2d)〕
阻气膜层叠体(100):〔阻气层(2a)/固化树脂层(1a)/接合层(3a)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)/接合层(3b)/固化树脂层(1c)/阻气层(2c)/接合层(3c)/固化树脂层(1d)/阻气层(2d)〕
阻气膜层叠体(110):〔固化树脂层(1a)/阻气层(2a)/接合层(3a)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)/接合层(3b)/固化树脂层(1c)/阻气层(2c)/接合层(3c)/固化树脂层(1d)/阻气层(2d)〕
阻气膜层叠体(120):〔阻气层(2a)/固化树脂层(1a)/接合层(3a)/固化树脂层(1b)/阻气层(2b)/接合层(3b)/固化树脂层(1c)/阻气层(2c)/接合层(3c)/阻气层(2d)/固化树脂层(1d)〕
这些阻气膜层叠体中,如阻气膜层叠体(30)、(60)、(80)那样阻气层未露出于最表面的阻气膜层叠体由于阻气层不易受损、阻气性不易降低,故优选。
此外,这些阻气膜层叠体中,如阻气膜层叠体(30)、(40)、(80)、(90)那样阻气层彼此或固化树脂层彼此以相对的方式贴合而成的阻气膜层叠体由于是具有对称性的层叠结构,因而从可以抑制层叠体卷曲的观点出发是优选的。
本发明的阻气膜层叠体是将2片以上本发明的阻气膜贴合而成。因此,本发明的阻气膜层叠体除了固化树脂层本来所具有的双折射率低、优异的光学各向同性、耐热性、耐溶剂性、层间密合性等特性之外,还具有极其优异的阻气性。
本发明的阻气膜层叠体并不限于图2~图5所示,在不损害本发明目的的范围内,还可以进一步含有1层或2层以上的其它层。
本发明的阻气膜层叠体含有其它层时,其它层的配置位置没有特别限定。
作为其它层,可举出之前在阻气膜中说明的导电体层、冲击吸收层、粘合剂层、工程片材等。
本发明的阻气膜层叠体可以将2片以上的本发明的阻气膜通过接合层贴合来制造。
例如,图2(a)所示的阻气膜层叠体(30)可通过以下方法制造。
首先,准备如图6(a)所示的具有固化树脂层(1)和设置于该固化树脂层(1)上的阻气层(2)的阻气膜(10)2片(以下,分别表示为10a、10b)。
接着,如图6(b)所示,在剥离片(4)上形成接合层(3),得到带有接合层的剥离片(130)。应予说明,带有接合层的剥离片(130)可以在接合层(3)上进一步具有其它剥离片。应予说明,剥离片(4)没有特别限定,可以从工程片材中说明的那些之中,适宜选择与接合层的剥离性优异的剥离片。
接着,如图6(c)所示,将阻气膜(10a)的阻气层(2a)、与带有接合层的剥离片(130)的接合层(3)根据期望一边进行加热一边贴合,由此得到带有接合层的阻气膜(140)。贴合的方法没有特别限定,例如,可使用公知的层合机进行贴合。
然后,如图6(d)所示,将带有接合层的阻气膜(140)的剥离片(4)剥离,在露出的接合层(3)面,将阻气膜(10b)的阻气层(2b)根据期望一边加热一边贴合,由此可得到图6(e)所示的阻气膜层叠体(30)。
本发明的阻气层叠体还可通过上述以外的方法制造。
例如,在图6(a)所示的阻气膜(10)的阻气层(2)上直接形成接合层,将该接合层与另一片阻气膜根据期望一边加热一边重叠并压合,由此可得到阻气膜层叠体。
此外,在将4片以上的阻气膜贴合时,可以阻气膜1片1片地贴合,也可以在得到阻气膜层叠体后,将所得阻气膜层叠体彼此贴合。
例如,在制造如图4(a)所示的阻气膜层叠体(80)时,可以将阻气膜1片1片地贴合,也可以将阻气膜层叠体(30b、30a)彼此贴合。
4)电子装置用构件和电子装置
本发明的电子装置用构件的特征在于包含本发明的阻气膜或阻气膜层叠体。因此,本发明的电子装置用构件的耐热性、耐溶剂性、层间密合性、和阻气性优异,并且双折射率低,显示出优异的光学各向同性,因而可适宜地用作触控面板、液晶显示器、EL显示器等显示器构件;太阳能电池用背板;等。
本发明的电子装置具备上述电子装置用构件。作为具体例,可举出触控面板、液晶显示器、有机EL显示器、无机EL显示器、电子纸、太阳能电池等。
实施例
以下,列举实施例更详细地说明本发明。但本发明并不受以下实施例的任何限定。
以下,若无特别说明,则“份”表示“质量份”。
〔固化性树脂组合物的制备〕
(制造例1)固化性树脂组合物1的制备
作为热塑性树脂(A),将聚砜系树脂(PSF)的粒料(BASF社制、ULTRASON S3010、Tg=180℃)60份溶解于二氯甲烷,制备PSF的15质量%溶液。接着,在该溶液中添加作为固化性单体(B)的三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯(新中村化学工业社制、ADCP)40份、和作为聚合引发剂的双(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物(BASF社制、Irgacure819)1份,进行混合,制备固化性树脂组合物1。
(制造例2~5)固化性树脂组合物2~5的制备
除了改变为表1中记载的配合比例以外,通过与固化性树脂组合物1的制备方法相同的方法,制备固化性树脂组合物2~5。
(制造例6)固化性树脂组合物6的制备
作为热塑性树脂(A),将环烯烃共聚物(COC)的粒料(JSR社制、ARTON F5023、Tg=165℃)40份溶解于二氯甲烷,制备COC的15质量%溶液。接着,在该溶液中添加作为固化性单体(B)的三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯(新中村化学工业社制、ADCP)60份、和作为聚合引发剂的双(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物(BASF社制、Irgacure819)1份,进行混合,制备固化性树脂组合物6。
(制造例7)固化性树脂组合物7的制备
作为热塑性树脂(A),将聚砜系树脂(PSF)的粒料(BASF社制、ULTRASON S3010、Tg=180℃)60份溶解于二氯甲烷,制备PSF的15质量%溶液。接着,在该溶液中添加作为固化性单体(B)的乙氧基化双酚A二丙烯酸酯(新中村化学工业社制、ABE300)40份、和作为聚合引发剂的双(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物(BASF社制、Irgacure819)1份,进行混合,制备固化性树脂组合物7。
(制造例8)固化性树脂组合物8的制备
作为热塑性树脂(A),将聚砜系树脂(PSF)的粒料(BASF社制、ULTRASON S3010、Tg=180℃)60份溶解于二氯甲烷,制备PSF的15质量%溶液。接着,在该溶液中添加作为固化性单体(B)的9,9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]芴(新中村化学工业社制、ABPEF)40份、和作为聚合引发剂的双(2,4,6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物(BASF社制、Irgacure819)1份,进行混合,制备固化性树脂组合物8。
(制造例9)带有接合层的剥离片的制造
将使用丙烯酸丁酯(BA)和丙烯酸(AA)而得的丙烯酸系共聚物(质量比(BA:AA)=90:10、重均分子量550000)100份与异氰酸酯系交联剂(东洋油墨公司制、BHS-8515、浓度37.5质量%)0.22份混合,用甲基乙基酮稀释,得到不挥发成分浓度30质量%的粘合剂。
接着,通过逗号直接涂布(comma direct coating)法将所得的粘合剂涂布于在厚度38μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜的单面设置有机硅剥离层而成的剥离片(琳得科公司制、SP-PET381031)的剥离层表面,将所得涂膜在100℃干燥1分钟,形成厚度约10μm的接合层,制作带有接合层的剥离片。
(实施例1)
在作为工程片材的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜(东洋纺社制、PET50A-4100、厚度50μm、表面粗糙度Ra:1.0nm、Rt:16nm)的易粘接层的相反侧的面,通过喷射模方式,以干燥后的厚度为50μm的方式涂布制造例1中得到的固化性树脂组合物1,将所得涂膜在50℃加热2分钟、接着在140℃加热2分钟,由此使涂膜干燥。
接着,在该干燥涂膜上层叠PET膜(东洋纺社制、PET50A-4100、厚度50μm)。接着,使用带式输送机式紫外线照射装置(IGrafx Japan制、产品名:ECS-401GX),通过高压汞灯(IGrafx Japan制、高压汞灯 产品名:H04-L41),以紫外线灯高度150mm、紫外线灯输出3kw(换算输出120mW/cm)、光线波长365nm的照度为271mW/cm2、光量为177mJ/cm2(紫外线光量计:ORC MANUFACTURING CO.,LTD.制、UV-351)的条件,隔着工程片材在前述干燥涂膜上进行紫外线照射。接着,使用相同的紫外线照射装置,以紫外线灯高度150mm、光线波长365nm的照度为271mW/cm2、光量为600mJ/cm2的条件进行2次紫外线照射,使紫外线的总光量为1377mJ/cm2,进行固化反应,形成固化树脂层1。
然后,剥离PET膜,在固化树脂层1上通过旋涂法,以干燥后的厚度为150nm的方式涂布作为含硅高分子的以全氢聚硅氮烷为主成分的涂层剂(“AQUAMICATM NL110-20”、Clariant(Japan)K.K.制),在120℃加热2分钟,形成高分子树脂层。
接着,使用等离子体离子注入装置,以下述等离子体离子注入条件,在高分子树脂层的表面等离子体离子注入氩(Ar),形成阻气层。
接着,将用作工程片材的PET膜剥离,制作阻气膜1。
<等离子体离子注入条件>
・气体流量:100sccm
・占空比:0.5%
・重复频率:1000Hz
・施加电压:-10kV
・RF电源:频率 13.56MHz、施加电力 1000W
・腔室内压:0.2Pa
・脉冲宽度:5μsec
・处理时间(离子注入时间):5分钟
・输送速度:0.2m/min。
(实施例2~5)
除了使用固化性树脂组合物2~5来替代固化性树脂组合物1,与实施例1相同地形成固化树脂层2~5,接着,在固化树脂层2~5上与实施例1相同地形成阻气层,制作阻气膜2~5。
(实施例6)
通过与实施例5相同的方法,使用固化性树脂组合物5形成固化树脂层5。接着,通过溅射法在固化树脂层5表面形成由厚度60nm的氮化硅形成的阻气层,制作阻气膜6。
(实施例7)
除了使用固化性树脂组合物6来替代固化性树脂组合物1,与实施例1相同地形成固化树脂层6,接着,在固化树脂层6上与实施例1相同地形成阻气层,制作阻气膜7。
(实施例8,9)
除了使用固化性树脂组合物7、8来替代固化性树脂组合物1,与实施例1相同地形成固化树脂层7、8,接着,在固化树脂层7、8上与实施例1相同地形成阻气层,制作阻气膜8、9。
(比较例1)
使用PET膜(东洋纺社制、PET50A-4100、厚度50μm、Tg=90℃)来替代固化树脂层1,并在该PET膜的易粘接面的相反侧的面形成阻气层,除此之外,与实施例1相同地制作阻气膜10。
(比较例2)
使用PET膜(东洋纺社制、PET50A-4100、厚度50μm、Tg=90℃)来替代固化树脂层5,并在该PET膜的易粘接面的相反侧的面形成阻气层,除此之外,与实施例6相同地制作阻气膜11。
(比较例3)
将聚碳酸酯(PC)粒料(出光兴产社制、TARFLON LC1700、Tg=145℃)溶解于二氯甲烷,制备PC的10质量%溶液。将该溶液通过喷射模方式、以干燥后的厚度为50μm的方式涂布于PET膜(东洋纺社制、PET50A-4100、厚度50μm)的易粘接层的相反侧的面,并将所形成的涂膜在60℃加热干燥8小时,接着在130℃加热干燥3小时。然后,将PET膜剥离,得到膜厚50μm的PC膜。
然后,除了使用上述PC膜来替代固化树脂层1,与实施例1相同地形成阻气层,制作阻气膜12。
(比较例4)
除了使用比较例3中所得的PC膜来替代固化树脂层1,与实施例6相同地形成阻气层,制作阻气膜13。
(比较例5)
将环烯烃共聚物(COC)的粒料(保利塑胶公司制、TOPAS 6017、Tg=180℃)溶解于二氯甲烷,制备COC的10质量%溶液。将该溶液通过喷射模方式、,以干燥后的厚度为50μm的方式涂布于作为工程片材的PET膜(东洋纺社制、PET50A-4100、厚度50μm)的易粘接层的相反侧的面,并将所形成的涂膜在60℃加热干燥8小时,接着在130℃加热干燥3小时。然后,将用作工程片材的PET膜剥离,得到膜厚50μm的COC膜。
除了使用上述COC膜来替代固化树脂层1,与实施例1相同地形成阻气层,制作阻气膜14。
(比较例6)
除了使用比较例5中所得的COC膜来替代固化树脂层5,与实施例6相同地形成阻气层,制作阻气膜15。
(比较例7)
将聚砜系树脂(PSF)的粒料(BASF社制、ULTRASON S3010、Tg=180℃)溶解于二氯甲烷,制备10质量%的溶液。将该溶液通过喷射模方式、以干燥后的厚度为50μm的方式涂布于作为工程片材的PET膜(东洋纺社制、PET50A-4100、厚度50μm)的易粘接层的相反侧的面,并将所形成的涂膜在60℃加热干燥8小时,接着在130℃加热干燥3小时。然后,将用作工程片材的PET膜剥离,得到膜厚50μm的PSF膜。
然后,除了使用上述PSF膜来替代固化树脂层1,与实施例1相同地形成阻气层,制作阻气膜16。
(比较例8)
除了使用比较例7中所得的PSF膜来替代固化树脂层5,与实施例6相同地形成阻气层,制作阻气膜17。
<固化树脂层的玻璃化转变温度(Tg)的测定>
对于实施例1~9中使用的固化树脂层1~8,使用粘弹性测定机器(TA INSTRUMENTS公司制、DMA Q800),以频率11Hz、升温速度3℃/分钟、0~250℃的范围通过拉伸模式测定粘弹性,将该测定中所得的tanδ(损耗弹性模量/储藏弹性模量)的最大点的温度作为玻璃化转变温度(Tg)。测定结果示于表1。
此外,对于比较例1~8中使用的膜,相同地测定玻璃化转变温度(Tg)。测定结果示于表2。
<固化树脂层的耐溶剂性评价试验>
将实施例1~9中使用的固化树脂层1~8裁切成100mm×100mm,分别得到测定用样品。
将测定用样品用预先测定了质量的150mm×150mm的尼龙网眼布(#120)包裹,在甲苯(100mL)中浸渍3天,然后取出,在120℃干燥1小时。接着,在23℃相对湿度50%的条件下放置3小时进行调湿,然后测定其质量,通过下式测定凝胶分数。结果示于表1。
[数2]
凝胶分数(%)=(浸渍后的残留树脂的重量)/(浸渍前的树脂的重量)]×100。
对于固化树脂层的耐溶剂性,将凝胶分数为90%以上评价为“○”,将小于90%评价为“×”。
此外,对于比较例1~8中使用的膜,相同地测定凝胶分数,评价耐溶剂性。评价结果示于表2。
<固化树脂层的双折射率的测定>
对于实施例1~9中使用的固化树脂层1~8,使用相位差测定装置(王子计测机器社制、KOBRA-WR、波长:589nm),在温度为23℃的条件下测定双折射率。测定结果示于表1。
此外,对于比较例1~8中使用的膜,相同地测定双折射率。测定结果示于表2。
<阻气膜的层间密合性评价试验>
将实施例1~9、和比较例1~8中所得的阻气膜1~17,在60℃、湿度90%条件下静置150小时后,进行棋盘格子试验(JIS K-5400(1990年)),对阻气层与固化树脂层(或基材膜)之间的层间密合性进行评价。评价结果示于表3和表4。
应予说明,对100个格子进行观察,90个格子以上未见剥离的评价为“○”,其余评价为“×”。
<阻气膜的水蒸汽透过率的测定>
将实施例1~9中所得的阻气膜1~9通过裁切装置(荻野精机制作所社制、SuperCutter“PN1-600”)裁切成233mm×309mm的大小,得到测定用样品。此外,比较例1~8中所得的阻气膜10~17也相同地裁切,得到测定用样品。
接着,使用这些样品,在40℃、相对湿度90%的条件下,使用水蒸汽透过率测定装置(LYSSY社制、产品名“L89-5000”)测定水蒸汽透过率。测定结果示于表3和表4。
<阻气膜的光学各向同性的评价>
根据所用固化树脂层或膜的双折射率来评价实施例1~9和比较例1~8中所得的阻气膜1~9和10~17的光学各向同性。
将固化树脂层或膜的双折射率小于20×10-5的阻气膜评价为“○”,将20×10-5以上的阻气膜评价为“×”。评价结果示于表3、表4。
<阻气膜的耐热性评价试验>
将实施例1~9和比较例1~8中所得的阻气膜1~9、和10~17裁切成宽4.5mm,分别得到测定用样品。
将测定用样品以卡盘间距为15mm的方式固定于热机械分析装置(マック・サイエンス社制、TMA4000S)。接着,一边施加-2gf的恒定荷重(沿拉伸方向的2gf的荷重),一边以升温速度5℃/分钟,将气氛温度从23℃升温至150℃,该状态下以150℃保持30分钟。求出此时的收缩量相对于原始长度(15mm)的比例(收缩率)。将收缩率小于0.5%的情形评价为耐热性“○”,将收缩率超过0.5%的情形评价为耐热性“×”。评价结果示于表3、表4。
[表1]
[表2]
[表3]
[表4]
由表1~表4可知以下事实。
实施例1~9的阻气膜1~9的固化树脂层1~8的玻璃化转变温度(Tg)高、双折射率低、凝胶分数也高。因此,使用了该固化树脂层1~8的阻气膜1~9是耐热性和耐溶剂性优异、光学各向同性优异的阻气膜。
此外,阻气膜1~9中,阻气层与固化树脂层的层间密合性优异、阻气性也优异。
另一方面,比较例1、2中所用的PET膜的凝胶分数高、耐溶剂性优异,但玻璃化转变温度(Tg)低、耐热性差、而且双折射率高。因此,比较例1、2中所得的阻气膜10、11的耐热性差、而且光学各向同性也差。此外,比较例1中所得的阻气膜10的阻气层与固化树脂层的层间密合性也差。
进而,比较例3~8中所用的PC膜、COC膜和PSF膜的玻璃化转变温度(Tg)高、耐热性优异,但耐溶剂性差。此外,PC膜和PSF膜的双折射率也高、双折射性也不充分。
以上,通过比较实施例和比较例示出了通过使用固化性单体(B)而得的效果。即,通过使用固化性单体(B),可以得到耐热性、耐溶剂性、层间密合性、和阻气性优异,双折射率低的阻气膜。
(实施例10~16)
在实施例1~7中,除了将固化树脂层的干燥后的厚度改变为10μm,与实施例1~7相同地形成固化树脂层9~14,接着在固化树脂层9~14上形成阻气层,制作阻气膜18~24。
固化树脂层9~14与阻气膜18~24的具体内容分别示于表5、表6。
[表5]
[表6]
(实施例17)
准备实施例10中所得的阻气膜18〔将工程片材(PET膜)从固化树脂层剥离前的产品〕2片,将1片阻气膜18的阻气层面与制造例9中所得的带有接合层的剥离片的接合层面贴合。接着,将贴合后的带有接合层的剥离片的剥离片剥离,并将露出的接合层面与另1片阻气膜18的阻气层面贴合,然后剥离两面的工程片材,制作2片阻气膜18层叠而成的阻气膜层叠体1。
(实施例18~23)
除了使用实施例11~16中所得的阻气膜19~24来替代阻气膜18,与实施例17相同地制作阻气膜层叠体2~7。
(比较例9~12)
除了使用比较例1~3、7中所得的阻气膜10~12、16来替代阻气膜18,与实施例17相同地制作阻气膜层叠体8~11。
(实施例24)
准备2片实施例17中所得的阻气膜层叠体1,将1片阻气膜层叠体1的固化树脂层面与制造例9中所得的带有接合层的剥离片的接合层面贴合。
进而,将贴合后的带有接合层的剥离片的剥离片剥离,并将露出的接合层面与另1片阻气膜层叠体1的固化树脂层面贴合,由此制作将2片阻气膜层叠体1(即,4片阻气膜18)贴合而成的阻气膜层叠体12。
(实施例25,26)
除了使用实施例22、23中所得的阻气膜层叠体6、7来替代阻气膜层叠体1,与实施例24相同地制作阻气膜层叠体13、14。
<阻气膜层叠体的水蒸汽透过率的测定>
对于实施例17~26和比较例9~12中所得的阻气膜层叠体1~14,通过与上述相同的方法测定水蒸汽透过率。测定结果示于表7、表8。
<阻气膜层叠体的光学各向同性的评价>
根据所用固化树脂层或膜的双折射率来评价实施例17~26和比较例9~12中所得的阻气膜层叠体1~14的光学各向同性。
将固化树脂层或膜的双折射率小于20×10-5的阻气膜层叠体评价为“○”,将20×10-5以上的阻气膜层叠体评价为“×”。评价结果示于表7、表8。
<阻气膜层叠体的耐热性评价试验>
将实施例17~26和比较例9~12中所得的阻气膜层叠体1~14裁切成宽4.5mm,分别得到测定用样品。
将测定用样品以卡盘间距为15mm的方式固定于热机械分析装置(マック・サイエンス社制、TMA4000S)。接着,一边施加-2gf的恒定荷重(沿拉伸方向的2gf的荷重),一边以升温速度5℃/分钟,将气氛温度从23℃升温至150℃,该状态下以150℃保持30分钟。求出此时的收缩量相对于原始长度(15mm)的比例(收缩率),将收缩率小于0.5%的情形评价为耐热性“○”,将收缩率超过0.5%的情形评价为耐热性“×”。评价结果示于表7、表8。
[表7]
[表8]
由表7、表8可知以下事实。
实施例17~23中所得的阻气膜层叠体1~7、实施例24~26中所得的阻气膜层叠体12~14的耐热性优异、水蒸汽透过率极低。
另一方面,比较例9、10的阻气膜层叠体8、9的耐热性差。此外,比较例11、12的阻气膜层叠体11、12是将使用双折射率大的膜而得的阻气膜贴合而成,光学各向同性差。
符号说明
1,1a,1b,1c,1d・・・固化树脂层
2,2a,2b,2c,2d,2’,2”・・・阻气层
3,3a,3b,3c・・・接合层
4・・・剥离片
10,10a,10b,10c,20・・・阻气膜
30,30a,30b,40,40a,40b,50,50a,50b,60,70,80,90,100,110,120・・・阻气膜层叠体
130・・・带有接合层的剥离片
140・・・带有接合层的阻气膜

Claims (17)

1.阻气膜,其是具有固化树脂层、和该固化树脂层的至少单面上的阻气层的阻气膜,其中,
所述固化树脂层是包含固化物的层,所述固化物是含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化物;
阻气膜的水蒸汽透过率在40℃、相对湿度90%气氛下为1g/m2/day以下。
2.权利要求1所述的阻气膜,其中,热塑性树脂(A)为非晶性热塑性树脂。
3.权利要求1所述的阻气膜,其中,热塑性树脂(A)具有芳香族环结构或脂环式结构。
4.权利要求1所述的阻气膜,其中,热塑性树脂(A)为选自聚砜系树脂、聚芳酯系树脂、聚碳酸酯系树脂和脂环式烃系树脂中的热塑性树脂。
5.权利要求1所述的阻气膜,其中,固化性单体(B)的至少一种为多官能(甲基)丙烯酸衍生物。
6.权利要求1所述的阻气膜,其中,所述固化性树脂组合物中的热塑性树脂(A)与固化性单体(B)的含量以热塑性树脂(A)与固化性单体(B)的质量比计为热塑性树脂(A):固化性单体(B)=30:70~90:10。
7.权利要求1所述的阻气膜,其中,所述固化树脂层是凝胶分数为90%以上的层。
8.权利要求1所述的阻气膜,其中,所述阻气层是将离子注入到含有含硅高分子化合物的层而形成的层。
9.权利要求8所述的阻气膜,其中,所述含硅高分子化合物为聚硅氮烷。
10.权利要求1所述的阻气膜,其中,所述阻气层是包含无机膜的层。
11.权利要求1所述的阻气膜,其具有工程片材。
12.权利要求1~11中任一项所述的阻气膜的制造方法,其具有以下的步骤1~3:
步骤1:在工程片材上形成包含含有玻璃化转变温度(Tg)为140℃以上的热塑性树脂(A)、和固化性单体(B)的固化性树脂组合物的固化性树脂层的步骤;
步骤2:使步骤1中所得的固化性树脂层固化而形成固化树脂层的步骤;
步骤3:在步骤2中所得的固化树脂层上形成阻气层的步骤。
13.阻气膜层叠体,其是将两片以上权利要求1~11中任一项所述的阻气膜通过接合层层叠而成的。
14.权利要求13所述的阻气膜层叠体,其中,所述两片以上的阻气膜的固化树脂层的厚度均为0.5~10μm。
15.电子装置用构件,其包含权利要求1~11中任一项所述的阻气膜。
16.电子装置用构件,其包含权利要求13或14所述的阻气膜层叠体。
17.电子装置,其具备权利要求15或16所述的电子装置用构件。
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