JP6598213B2 - ガスバリア性積層体、電子デバイス用部材、および電子デバイス - Google Patents
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Description
また、特許文献2には、透明樹脂基板の片面又は両面に、酸窒化ケイ素層及び窒化ケイ素層が、この順に積層されてなる透明ガスバリア基板が記載されている。
(1)基材、ガスバリア層、及び、ブルーイング剤を含有する樹脂層、を有することを特徴とするガスバリア性積層体。
(2)前記ガスバリア層が、無機蒸着膜からなるもの、又は、高分子化合物を含む層にイオン注入処理を施して得られるものである、(1)に記載のガスバリア性積層体
(3)前記ブルーイング剤が、520〜600nmの範囲内に最大吸収波長を有するものである、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(4)前記ガスバリア性積層体の、温度40℃、相対湿度90%における水蒸気透過率が、0.05g/(m2・day)以下である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(5)前記ガスバリア性積層体の、JIS Z 8729−1994に規定されるCIE L*a*b*表色系におけるb*値が、−1.2〜1.2である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(6)前記ガスバリア性積層体の、波長550nmにおける光線透過率が85%以上である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(7)前記ブルーイング剤の含有量は、前記ブルーイング剤を含有する樹脂層全体に対して、0.01〜30質量%である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(8)前記ブルーイング剤を含有する樹脂層の厚みは、0.1〜100μmである、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(9)前記ガスバリア性積層体は、ブルーイング剤含有層/ガスバリア層/基材の層構成である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(10)前記ガスバリア性積層体は、ガスバリア層/ブルーイング剤含有層/基材の層構成である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(11)前記ガスバリア性積層体は、ガスバリア層/基材/ブルーイング剤含有層の層構成である、(1)に記載のガスバリア性積層体。
(12)前記(1)に記載のガスバリア性積層体からなる電子デバイス用部材。
(13)前記(12)に記載の電子デバイス用部材を備える電子デバイス。
本発明のガスバリア性積層体は、基材、ガスバリア層、及び、ブルーイング剤を含有する樹脂層(以下、「ブルーイング剤含有層」ということがある。)、を有することを特徴とする。
本発明のガスバリア性積層体を構成する基材は、ガスバリア層やブルーイング剤含有層を担持できるものであれば特に限定されない。基材としては、通常、フィルム状又はシート状のものが用いられる。
基材の厚みは、特に限定されず、ガスバリア性積層体の目的に合わせて決定すればよい。基材の厚みは、通常、0.5〜500μm、好ましくは1〜100μmである。
基材の素材としては、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリフェニレンスルフィド、アクリル系樹脂、シクロオレフィン系ポリマー、芳香族系重合体等の樹脂基材;グラシン紙、コート紙、上質紙等の紙基材;これらの紙基材に前記樹脂をラミネートしたラミネート紙;等が挙げられる。
ポリアミドとしては、全芳香族ポリアミド、ナイロン6、ナイロン66、ナイロン共重合体等が挙げられる。
本発明のガスバリア性積層体を構成するガスバリア層は、酸素や水蒸気等のガスの透過を抑制する特性(ガスバリア性)を有する層である。
無機化合物の蒸着膜の原料としては、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化スズ等の無機酸化物;窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化チタン等の無機窒化物;無機炭化物;無機硫化物;酸化窒化ケイ素等の無機酸化窒化物;無機酸化炭化物;無機窒化炭化物;無機酸化窒化炭化物等が挙げられる。
金属の蒸着膜の原料としては、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、及びスズ等が挙げられる。
これらは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中では、ガスバリア性の観点から、無機酸化物、無機窒化物又は金属を原料とする無機蒸着膜が好ましく、さらに、透明性の観点から、無機酸化物又は無機窒化物を原料とする無機蒸着膜が好ましい。
これらの高分子化合物は1種単独で、あるいは2種以上を組合せて用いることができる。
ポリシラザン系化合物は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
高分子層中の高分子化合物の含有量は、より優れたガスバリア性を有するガスバリア層が得られることから、50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましい。
本発明においては、高分子化合物を含む層がナノオーダーであっても、充分なガスバリア性を有するガスバリアフィルムを得ることができる。
これらの溶媒は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらのイオンは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、より簡便にイオンを注入することができ、より優れたガスバリア性を有するガスバリア層が得られることから、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン等の希ガスのイオンが好ましい。
本発明のガスバリア性積層体を構成するブルーイング剤含有層は、ブルーイング剤及び樹脂成分を含有する層である。
通常、ガスバリア層は、高い屈折率を有するため、隣接する他の層との屈折率差が大きくなり、これらの層の界面で短波長の光が反射し易くなる。このため、従来のガスバリア性積層体は、黄みを帯びる傾向があった。
一方、本発明のガスバリア性積層体は、ガスバリア層とともに、ブルーイング剤含有層を有するため、黄みが抑えられ、無色透明性に優れる。
ブルーイング剤は、520〜600nmの範囲内に最大吸収波長を有するものが好ましく、540〜580nmの範囲内に最大吸収波長を有するものがより好ましい。
有機系着色剤としては、発色団として、一つのアゾ基(−N=N−)を分子内に有するモノアゾ系染料、メタンを中心として3個の芳香族アミン(芳香族複素環も含む)が点対称のような形で連なった分子構造を有するトリアリールメタン系染料、分子内にフタロシアニン骨格を有するフタロシアニン系染料、アントラキノンの誘導体であるアントラキノン系染料等が挙げられる。
無機系着色剤としては、アイロンブルー、プルシアンブルー、ベルリンブルー、ターンブルブルー、ミロリーブルー、チャイニーズブルー、パリブルー等の紺青(鉄シアノ錯体系着色剤);ウルトラマリンブルー、ウルトラマリンバイオレット等の群青;コバルトブルー(CoO・Al2O3)等が挙げられる。
ブルーイング剤は1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
樹脂成分としては、高分子層を構成する高分子化合物として、先に示したものと同様の高分子化合物や、UV硬化型樹脂等のエネルギー線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂等が挙げられる。UV硬化型樹脂としては、(メタ)アクリロイル基等の重合性官能基を有する樹脂が挙げられる。これらの樹脂成分は一種単独で、あるいは二種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、ブルーイング剤含有層中に含まれる樹脂成分としては、UV硬化型樹脂等のエネルギー線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂が好ましい。
ここで、「(メタ)アクリレート」は、メタクリレート及びアクリレートを意味する(以下にて同じ。)。
また、必要に応じて、公知の光増感剤、光重合促進剤を添加してもよい。
光重合開始剤の添加量は、エネルギー線硬化性組成物100質量部に対し、0.1〜10質量部であることが好ましい。
ブルーイング剤含有層中に架橋構造を形成する際は、接着剤等における公知の架橋構造形成方法を利用することができる。
イソシアネート系架橋剤としては、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート;ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート;イソホロンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート;これらの化合物のビウレット体、イソシアヌレート体、さらにはエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、ヒマシ油などの低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体;等が挙げられる。
エポキシ系架橋剤としては、1,3−ビス(N,N’−ジグリシジジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N,N’,N’−テトラグリシジル−m−キシリレンジアミン、エチレングリコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルアミン等が挙げられる。
アジリジン系架橋剤はとしては、ジフェニルメタン−4,4’−ビス(1−アジリジンカーボキサミド)、トリメチロールプロパントリ−β−アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタントリ−β−アジリジニルプロピオネート、トルエン−2,4−ビス(1−アジリジンカーボキサミド)、トリエチレンメラミン、ビスイソフタロイル−1−(2−メチルアジリジン)、トリス−1−(2−メチルアジリジン)フォスフィン、トリメチロールプロパントリ−β−(2−メチルアジリジン)プロピオネート等が挙げられる。
アルミニウムキレート化合物としては、ジイソプロポキシアルミニウムモノオレイルアセトアセテート、モノイソプロポキシアルミニウムビスオレイルアセトアセテート、モノイソプロポキシアルミニウムモノオレエートモノエチルアセトアセテート、ジイソプロポキシアルミニウムモノラウリルアセトアセテート、ジイソプロポキシアルミニウムモノステアリルアセトアセテート、ジイソプロポキシアルミニウムモノイソステアリルアセトアセテート等が挙げられる。
これらの架橋剤を用いて架橋構造を形成する場合、その使用量は、架橋剤の架橋性基(金属キレート系架橋剤の場合は、金属キレート系架橋剤)が、高分子化合物の水酸基及びカルボキシル基に対して、0.1〜5当量となる量が好ましく、0.2〜3当量となる量がより好ましい。
これらの重合開始剤を用いて架橋構造を形成する場合、その使用量は、高分子化合物100質量部に対して、0.1〜100質量部が好ましく、1〜100質量部がより好ましい。
その他の成分としては、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、帯電防止剤、光安定剤、酸化防止剤、樹脂安定剤、充填剤、増量剤、軟化剤等の添加剤が挙げられる。
これらは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
ブルーイング剤含有層がその他の成分を含有する場合、その含有量は、それぞれ、ブルーイング剤含有層全体に対して、0.01〜5質量%が好ましく、0.01〜2質量%がより好ましい。
ブルーイング剤含有組成物の調製方法、塗工方法、乾燥方法等としては、高分子層を形成する方法として、先に説明したものと同様のものが挙げられる。
本発明のガスバリア性積層体は、基材、ガスバリア層、及び、ブルーイング剤含有層を有する。
本発明のガスバリア性積層体は、ガスバリア層やブルーイング剤含有層は、それぞれ1層有するものであってもよいし、それぞれ2層以上有するものであってもよい。
(i)ブルーイング剤含有層/ガスバリア層/基材
(ii)ガスバリア層/ブルーイング剤含有層/基材
(iii)ガスバリア層/基材/ブルーイング剤含有層
基材、ガスバリア層、ブルーイング剤含有層以外の層としては、基材との層間密着性を向上させるためのプライマー層、導電体層、衝撃吸収層、粘着剤層、工程シート等が挙げられる。これらの層の積層位置は、特に限定されない。これらの層の積層位置は、特に限定されない。なお、工程シートは、積層体を保存、運搬等する際に、積層体を保護する役割を有し、積層体が使用される際には剥離されるものである。
(i)ブルーイング剤含有層/ガスバリア層/基材の層構成を有するガスバリア性積層体
基材上に、先に説明した方法を用いてガスバリア層を形成する。次いで、得られたガスバリア層上に、先に説明した方法を用いてブルーイング剤含有層を形成することにより、ブルーイング剤含有層/ガスバリア層/基材の層構成を有するガスバリア性積層体を得ることができる。
基材上に、先に説明した方法を用いてブルーイング剤含有層を形成する。次いで、得られたブルーイング剤含有層上に、先に説明した方法を用いてガスバリア層を形成することにより、ガスバリア層/ブルーイング剤含有層/基材の層構成を有するガスバリア性積層体を得ることができる。
基材上に、先に説明した方法を用いてガスバリア層を形成する。次いで、基材のもう一方の面上に、先に説明した方法を用いてブルーイング剤含有層を形成することにより、ガスバリア層/基材/ブルーイング剤含有層の層構成を有するガスバリア性積層体を得ることができる。
この水蒸気透過率が、このような範囲にあることで、本発明のガスバリア性積層体は、ガスバリア性に優れるものとなる。このようなガスバリア性積層体は、電子デバイス用部材として好適に用いられる。
水蒸気透過率は、実施例に記載の方法により測定することができる。
b*値は、色を数値化したときの、黄みと青みの程度を表すものである。b*値が正の値であれば、黄みを帯びていることを、負の値であれば、青みを帯びていることを表す。
b*値が上記範囲にあることで、そのガスバリア性積層体は、より黄と青の中間の色相を呈することになる。このようなガスバリア性積層体は、発光素子を有する電子デバイス用部材として好適に用いられる。
b*値は、形成するガスバリア層の性質に応じて、用いるブルーイング剤の選択や、ブルーイング剤含有層中のブルーイング剤の含有量を適宜決定することにより、制御することができる。
a*値は、色を数値化したときの、赤みと緑みの程度を表すものであり、a*値が正の値であれば、赤みを帯びていることを、負の値であれば、緑みを帯びていることを表す。
a*値が上記範囲にあることで、そのガスバリア性積層体は、より赤と緑の中間の色相を呈することになる。このようなガスバリア性積層体は、発光素子を有する電子デバイス用部材として好適に用いられる。
a*値は、用いる樹脂やその他の成分を適宜選択することで、制御することができる。
JIS Z 8729−1994に規定されるCIE L*a*b*表色系におけるb*値やa*値は、実施例に記載の方法により測定することができる。
光線透過率は、実施例に記載の方法により測定することができる。
波長370nmにおける光線透過率は、紫外線吸収剤を適量含有させることで制御することができる。
波長550nmにおける光線透過率は、各種添加剤の含有量や、ガスバリア性積層体の厚みを適宜決定することで、所望の値になるように制御することができる。
本発明の電子デバイス用部材は、本発明のガスバリア性積層体からなることを特徴とする。従って、本発明の電子デバイス用部材は、優れたガスバリア性を有しているので、水蒸気等のガスによる素子の劣化を防ぐことができる。また、無色透明性に優れるので、液晶ディスプレイ、ELディスプレイ等のディスプレイ部材;等として好適である。
本発明の電子デバイスは、本発明のガスバリア性積層体からなる電子デバイス用部材を備えているので、優れたガスバリア性を有する。
各例中の部及び%は、特に断りのない限り、質量基準である。
各例で用いた化合物や材料を以下に示す。
・UV硬化型樹脂液(1):JSR社製、商品名:オプスターZ7530、固形分73%
・ブルーイング剤(1):複合酸化物系ブルーイング剤(CIKナノテック社製、商品名:COBMIBK15WT%−NO1,コバルトブルー、最大吸収波長:580nm、固形分15%)
・基材(1):ポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡績社製、商品名:コスモシャインA4100、厚さ50μm)
・ポリシラザン化合物系コーティング剤(1):(クラリアントジャパン社製、商品名:アクアミカNL110−20、固形分20%)
UV硬化型樹脂液(1)100部に、ブルーイング剤(1)4.8部を添加して、攪拌することで、ブルーイング剤含有組成物1を調製した。
配合割合を第1表に記載のものに変更したことを除き、製造例1と同様にして、ブルーイング剤含有組成物2〜6を調製した。
基材(1)上に、ポリシラザン化合物系コーティング剤(1)をスピンコート法により塗布し、得られた塗膜を120℃で1分間加熱して、厚さ150nmの、ペルヒドロポリシラザンを含むポリシラザン層を形成した。次に、プラズマイオン注入装置を用いてポリシラザン層の表面に、下記の条件にて、アルゴン(Ar)をプラズマイオン注入して、ガスバリア層を形成した。
ガスバリア層上に、製造例1で得たブルーイング剤含有組成物1を、バーコート法により、厚みが1μmになるように塗布し、得られた塗膜を70℃で1分間乾燥した後、UV光照射ラインを用いてUV光照射を行い(高圧水銀灯;ライン速度、20m/分;積算光量、100mJ/cm2;ピーク強度、1.466W;パス回数、2回)、ブルーイング剤含有層を形成し、ブルーイング剤含有層(以下、「C層」ということがある。)/ガスバリア層(以下、「B層」ということがある。)/基材(以下、「S層」ということがある。)の層構造を有するガスバリア性積層体1を得た。
(プラズマイオン注入装置)
RF電源:日本電子社製、型番号「RF」56000
高電圧パルス電源:栗田製作所社製、「PV−3−HSHV−0835」
(プラズマイオン注入条件)
プラズマ生成ガス:Ar
ガス流量:100sccm
Duty比:0.5%
印加電圧:−15kV
RF電源:周波数 13.56MHz、印加電力 1000W
チャンバー内圧:0.2Pa
パルス幅:5μsec
処理時間(イオン注入時間):200秒
実施例1において、ブルーイング剤含有組成物1に代えて、製造例2で得たブルーイング剤含有組成物2を用いたことを除き、実施例1と同様の方法により、C層/B層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体2を得た。
実施例1において、ブルーイング剤含有組成物1に代えて、製造例3で得たブルーイング剤含有組成物3を用いたことを除き、実施例1と同様の方法により、C層/B層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体3を得た。
実施例1において、ブルーイング剤含有組成物1に代えて、製造例4で得たブルーイング剤含有組成物4を用いたことを除き、実施例1と同様の方法により、C層/B層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体4を得た。
実施例1において、ブルーイング剤含有組成物1に代えて、製造例5で得たブルーイング剤含有組成物5を用いたことを除き、実施例1と同様の方法により、C層/B層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体5を得た。
基材(1)上に、製造例1で得たブルーイング剤含有組成物1を、バーコート法により、厚みが1μmになるように塗布し、得られた塗膜を70℃で1分間乾燥した後、UV光照射ラインを用いてUV光照射を行い(高圧水銀灯;ライン速度、20m/分;積算光量、100mJ/cm2;ピーク強度、1.466W;パス回数、2回)、ブルーイング剤含有層を形成した。
ブルーイング剤含有層上に、ポリシラザン化合物系コーティング材(1)をスピンコート法により塗布し、得られた塗膜を120℃で1分間加熱して、厚さ150nmの、ペルヒドロポリシラザンを含むポリシラザン層を形成した。
次に、プラズマイオン注入装置を用いてポリシラザン層の表面に、上記の条件にて、アルゴン(Ar)をプラズマイオン注入して、ガスバリア層を形成し、B層/C層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体6を得た。
実施例1において、基材(1)の一方の面上にガスバリア層を形成した後、当該基材(1)の他方の面上にブルーイング剤含有層を形成したことを除き、実施例1と同様の方法により、B層/S層/C層の層構造を有するガスバリア性積層体7を得た。
実施例3において、基材(1)の一方の面上に、ガスバリア層として下記条件にて得られる酸化アルミニウム層(厚さ150nm)を形成したことを除き、実施例3と同様の方法により、C層/B層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体8を得た。
〈反応性スパッタリングの条件〉
・プラズマ生成ガス:アルゴン、酸素
・ガス流量:アルゴン100sccm、酸素40sccm
・ターゲット材料:アルミニウム
・電力値:2500W
・真空槽内圧:0.2Pa
実施例3において、基材(1)の一方の面上に、ガスバリア層として下記条件にて得られる窒化ケイ素層(厚さ150nm)を形成したことを除き、実施例3と同様の方法により、C層/B層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体9を得た。
〈反応性スパッタリングの条件〉
・プラズマ生成ガス:アルゴン、窒素
・ガス流量:アルゴン100sccm、窒素60sccm
・ターゲット材料:シリコン
・電力値:2500W
・真空槽内圧:0.2Pa
実施例1において、ブルーイング剤含有組成物1に代えて、製造例6で得たブルーイング剤含有組成物6を用いたことを除き、実施例1と同様の方法により、ブルーイング剤非含有層(C’層)/B層/S層の層構造を有するガスバリア性積層体10を得た。
(水蒸気透過率測定)
温度40℃、相対湿度90%における、ガスバリア性積層体1〜10の水蒸気透過率を、水蒸気透過率測定装置(LYSSY社製、L80−5000)を用いて測定した。
測定結果を第1表に示す。
ガスバリア性積層体1〜10の550nmにおける光線透過率を、可視光透過率測定装置(島津製作所社製、UV−3101PC)を用いて測定した。
測定結果を第1表に示す。
ガスバリア性積層体1〜10の、CIE1976L*a*b*表色系により規定される色彩値b*を、JIS Z 8729−1994に準拠し、分光光度計(島津製作所社製、UV−3200)を用いて測定した。
測定結果を第2表に示す。
実施例1〜9のガスバリア性積層体は、ガスバリア性に優れ、さらに、無色透明性にも優れるものである。
一方、比較例1のガスバリア性積層体は、ガスバリア性に優れるものではあるが、色彩値b*は、大きな値になっており、黄みを帯びている。
Claims (13)
- 基材、ガスバリア層、及び、ブルーイング剤を含有する樹脂層、を有し、温度40℃、相対湿度90%における水蒸気透過率が、0.05g/(m 2 ・day)以下であることを特徴とするガスバリア性積層体であって、
ガスバリア層/ブルーイング剤を含有する樹脂層/基材の層構成であるガスバリア性積層体。 - 基材、ガスバリア層、及び、ブルーイング剤を含有する樹脂層、を有し、温度40℃、相対湿度90%における水蒸気透過率が、0.05g/(m 2 ・day)以下であることを特徴とするガスバリア性積層体であって、
ガスバリア層/基材/ブルーイング剤を含有する樹脂層の層構成であるガスバリア性積層体。 - 基材、ガスバリア層、及び、ブルーイング剤を含有する樹脂層、を有し、温度40℃、相対湿度90%における水蒸気透過率が、0.05g/(m 2 ・day)以下であることを特徴とするガスバリア性積層体であって、
ブルーイング剤を含有する樹脂層中の樹脂成分の含有量(架橋構造を形成しているときは、架橋構造部を含む)が、ブルーイング剤を含有する樹脂層全体に対して、70〜99.99質量%であるガスバリア性積層体。 - 前記ガスバリア性積層体は、ブルーイング剤を含有する樹脂層/ガスバリア層/基材の層構成である、請求項3に記載のガスバリア性積層体。
- 前記ガスバリア層が、無機蒸着膜からなるもの、又は、改質された領域を含む高分子層である、請求項1〜4のいずれかに記載のガスバリア性積層体。
- 前記ガスバリア層が、無機蒸着膜からなるもの、又は、高分子化合物を含む層にイオン注入処理を施して得られるものである、請求項1〜4のいずれかに記載のガスバリア性積層体。
- 前記ブルーイング剤が、520〜600nmの範囲内に最大吸収波長を有するものである、請求項1〜6のいずれかに記載のガスバリア性積層体。
- 前記ガスバリア性積層体の、JIS Z 8729−1994に規定されるCIE L*a*b*表色系におけるb*値が、−1.2〜1.2である、請求項1〜7のいずれかに記載のガスバリア性積層体。
- 前記ガスバリア性積層体の、波長550nmにおける光線透過率が85%以上である、請求項1〜8のいずれかに記載のガスバリア性積層体。
- 前記ブルーイング剤を含有する樹脂層中のブルーイング剤の含有量は、前記ブルーイング剤を含有する樹脂層全体に対して、0.01〜30質量%である、請求項1〜9のいずれかに記載のガスバリア性積層体。
- 前記ブルーイング剤を含有する樹脂層の厚みは、0.1〜100μmである、請求項1〜10のいずれかに記載のガスバリア性積層体。
- 請求項1〜11のいずれかに記載のガスバリア性積層体からなる電子デバイス用部材。
- 請求項12に記載の電子デバイス用部材を備える電子デバイス。
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