JP7287069B2 - 透明導電性ガスバリア積層体及びその製造方法、並びにデバイス - Google Patents

Description

本開示は、透明導電性ガスバリア積層体及びその製造方法、並びにデバイスに関する。

防湿層又はガスバリア層を有する積層フィルムで保護された構造の電子デバイスの開発が進められている。例えば、特許文献１は樹脂シートと防湿層と接着層と樹脂シートとをこの順序で備えた導電層用支持体及びこれを用いた電子ペーパーを開示する。特許文献２は基材層と、所定の材料から構成されたガスバリア層と、透明導電体層とを有する透明導電性フィルム及びこれを備える電子デバイスを開示する。

特開２００３－１７５５６６号公報 特開２０１２－８６３７８号公報

本発明者らは、透明導電層を含むデバイスを開発する過程において、本来、透明であるべき透明導電性ガスバリア積層体が着色する現象に着目した。透明導電性ガスバリア積層体の色が経時的に変化すると、性能上の問題がなくても透明導電性ガスバリア積層体が劣化したとデバイスメーカーや使用者が認識するという問題がある。

そこで、本開示は、経時的な変色を十分に抑制できる透明導電性ガスバリア積層体及びその製造方法、並びに、当該透明導電性ガスバリア積層体を用いたデバイスを提供することを目的とする。

本開示に係る透明導電性ガスバリア積層体は、第１の透明ガスバリアフィルムと、アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリオレフィン系接着剤、ウレタン系接着剤及びポリビニルエーテル系接着剤からなる群から選ばれる一種の接着剤からなる透明接着層と、導電性を有する有機材料又は無機材料からなる透明導電層と、第２の透明ガスバリアフィルムとを備え、これらがこの順序で積層された構成である。

上記透明導電性ガスバリア積層体においては、第１のガスバリアフィルムと第２のガスバリアフィルムとの間に、導電性を有する有機材料又は無機材料からなる透明導電層が配置されている。二つのガスバリアフィルムによって透明導電層をサンドイッチした構成を採用したことで、透明導電層が空気中の水分等によって経時的に変色することを抑制できる。導電性を有し且つ透明性を有する材料は、水や熱の影響でクロミック現象を生じやすいと考えられ、本発明者らの検討によると、かかる環境下において電圧が印加されることで変色がより顕著となる場合がある。

また、本発明者らは、透明接着層と透明導電層が直接接した状態であると、透明接着層の種類によっては、それに含まれる成分が透明導電層に悪影響を与えることを見出した。透明導電層が有機材料（例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）を含むもの）である場合、透明接着剤層を構成する接着剤として、エポキシ系接着剤、あるいは、シランカップリング剤を含む接着剤を使用した試験例において、温度８５℃相対湿度８５％の条件下に放置した後において、透明導電層が着色するとともに、透明導電層が導電性を失う現象が認められた。これに対し、本発明者らの検討によると、透明接着層として、アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリオレフィン系接着剤、ウレタン系接着剤及びポリビニルエーテル系接着剤を用いた場合にはこのような現象は認められなかった。

透明接着層を構成する有機材料としては、上述のとおり、ポリエチレンジオキシチオフェンを含むものが挙げられる。透明接着層は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＰＳ）との混合物（以下、場合により「ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ」と表記する。）を含むものであってもよい。透明接着層を構成する無機材料としては、酸化スズインジウム（ＩＴＯ）が挙げられる。透明導電層のシート抵抗値は、例えば、１００～１０００Ω／□である。

本開示は、上記透明導電性ガスバリア積層体を用いたデバイスを提供する。すなわち、このデバイスは、上記透明導電性ガスバリア積層体と、その第１の透明ガスバリアフィルムの表面上に形成されたデバイス材料層とを備える。このデバイスにおけるデバイス材料層は透明導電性ガスバリア積層体によって保護されているとともに透明導電層を介して駆動される。

本開示に係るデバイスは、デバイス材料層の表面上に形成された対向電極を更に備えたものであってもよい。上記デバイスは、デバイス材料層と透明導電層との間に少なくとも第１の透明ガスバリアフィルムと透明接着層とが介在している。これらは導電性を有するものではないため、本開示に係るデバイスは電圧駆動方式であることが好ましい。その具体例として、電子ペーパー、液晶表示装置及び調光フィルムが挙げられる。

本開示は上記透明導電性ガスバリア積層体の製造方法を提供する。すなわち、この製造方法は、第１の透明ガスバリアフィルムと透明導電層とを、上記透明接着層を介して貼り合わせる工程を含む。

本開示によれば、経時的な変色を十分に抑制できる透明導電性ガスバリア積層体及びその製造方法、並びに、当該透明導電性ガスバリア積層体を用いたデバイスが提供される。

図１は本開示に係る透明導電性ガスバリア積層体の一実施形態を模式的に示す断面図である。 図２（ａ）は第１の透明ガスバリアフィルムの構成の一例を模式的に示す断面図であり、図２（ｂ）は第１の透明ガスバリアフィルムの構成の他の例を模式的に示す断面図である。 図３（ａ）は第２の透明ガスバリアフィルムの構成の一例を模式的に示す断面図であり、図３（ｂ）は第２の透明ガスバリアフィルムの構成の他の例を模式的に示す断面図である。 図４は透明導電性ガスバリア積層体を備えたデバイスの一実施形態を模式的に示す断面図である。 図５（ａ）及び図５（ｂ）は透明ガスバリアフィルムの構成の他の例を模式的に示す断面図である。 図６（ａ）～図６（ｃ）は本開示に係る透明導電性ガスバリア積層体の他の実施形態を模式的に示す断面図である。 図７（ａ）は比較例に係る透明導電性ガスバリア積層体を模式的に示す断面図であり、図７（ｂ）は比較例に係るデバイスを模式的に示す断面図である。

以下、図面を参照しながら本開示の複数の実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

＜透明導電性ガスバリア積層体＞
図１に示す透明導電性ガスバリア積層体（以下、本開示に係る「透明導電性ガスバリア積層体」について場合により単に「積層体」という。）１０は、第１の透明ガスバリアフィルム１と、透明接着層３と、透明導電層５と、第２の透明ガスバリアフィルム２とをこの順序で備える。なお、図４に示すように、積層体１０がデバイス１００を水分等から保護するための部材として使用される場合、第１の透明ガスバリアフィルム１側にデバイス材料層３０が配置される。すなわち、この場合、積層体１０は、第１の透明ガスバリアフィルム１側（図１における上側）が内側に相当し、第２の透明ガスバリアフィルム２側（図１における下側）が外側に相当する。積層体１０において、上記のフィルム又は層の間に、他のフィルムや層が設けられていてもよい。

第１の透明ガスバリアフィルム１は、例えば、図１に示すとおり、透明基材フィルム１ａとバリア層１ｂとによって構成されている。

透明基材フィルム１ａは、十分に無色透明であることが好ましい。透明基材フィルム１ａの全光線透過率は８５％以上であることが好ましい。透明基材フィルム１ａとして、例えば、透明性が高く、耐熱性に優れたフィルムとして、ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）、ポリエチレンナフタレートフィルムなどを用いることができる。透明基材フィルム１ａの厚さは９～５０μｍであり、好ましくは１２～３０μｍである。透明基材フィルム１ａの厚さが９μｍ以上であれば、透明基材フィルム１ａの強度を十分に確保することができ、他方、５０μｍ以下であれば、長いロール（透明ガスバリアフィルム１のロール）を効率的且つ経済的に製造することができる。

バリア層１ｂは、例えば、図２（ａ）に示すように蒸着層１ｖとガスバリア性被覆層１ｃとによって構成される。すなわち、バリア層１ｂは、透明基材フィルム１ａの一方の面上に蒸着層１ｖが設けられ、この蒸着層１ｖの上にガスバリア性被覆層１ｃが設けられた構成である。透明基材フィルム１ａと蒸着層１ｖとの密着性を向上させるために、透明基材フィルム１ａの表面に、プラズマ処理などの処理を施したり、アクリル樹脂層、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂などからなるアンカーコート層（不図示）を設けたりしてもよい。なお、バリア層１ｂは、図２（ｂ）に示すように、蒸着層１ｖとガスバリア性被覆層１ｃとが交互に積層された構成であってもよい。図示していないが、透明基材フィルム１ａの両面にバリア層１ｂを形成してもよい。

蒸着層１ｖは、例えば、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化窒化ケイ素、酸化マグネシウムあるいはそれらの混合物を透明基材フィルム１ａに蒸着させることによって形成することができる。これら無機材料の中でも、バリア性、生産性の観点から、酸化アルミニウム又は酸化ケイ素を用いることが望ましい。蒸着層は、真空蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ等の手法により形成される。

蒸着層１ｖの厚さ（膜厚）は５～５００ｎｍの範囲内とすることが好ましく、１０～１００ｎｍの範囲内とすることがより好ましい。膜厚が５ｎｍ以上であると、均一な膜を形成しやすく、ガスバリア材としての機能をより十分に果たすことができる傾向がある。一方、膜厚が５００ｎｍ以下であると、十分なフレキシビリティを保持させることができ、成膜後に折り曲げ、引っ張りなどの外的要因により、薄膜に亀裂を生じることをより確実に防ぐことができる傾向がある。

ガスバリア性被覆層１ｃは後工程での二次的な各種損傷を防止するとともに、高いバリア性を付与するために設けられるものである。ガスバリア性被覆層１ｃは、優れたバリア性を得る観点から、水酸基含有高分子化合物、金属アルコキシド、金属アルコキシド加水分解物及び金属アルコキシド重合物からなる群より選択される少なくとも一種を成分として含有していることが好ましい。

水酸基含有高分子化合物としては、具体的には、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、デンプン等の水溶性高分子が挙げられるが、特にポリビニルアルコールを用いた場合にバリア性が最も優れる。

金属アルコキシドは、一般式：Ｍ（ＯＲ）_ｎ（ＭはＳｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ等の金属原子を示し、Ｒは－ＣＨ_３、－Ｃ_２Ｈ_５等のアルキル基を示し、ｎはＭの価数に対応した整数を示す）で表される化合物である。具体的には、テトラエトキシシラン〔Ｓｉ（ＯＣ_２Ｈ_５）_４〕、トリイソプロポキシアルミニウム〔Ａｌ（Ｏ－ｉｓｏ－Ｃ_３Ｈ_７）_３〕などが挙げられる。テトラエトキシシラン、トリイソプロポキシアルミニウムは、加水分解後、水系の溶媒中において比較的安定であるので好ましい。また、金属アルコキシドの加水分解物及び重合物としては、例えば、テトラエトキシシランの加水分解物や重合物としてケイ酸（Ｓｉ（ＯＨ）_４）などが、トリプロポキシアルミニウムの加水分解物や重合物として水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）_３）などが挙げられる。

ガスバリア性被覆層１ｃの厚さ（膜厚）は５０～１０００ｎｍの範囲内とすることが好ましく、１００～５００ｎｍの範囲内とすることがより好ましい。膜厚が５０ｎｍ以上であると、より十分なガスバリア性を得ることができる傾向があり、１０００ｎｍ以下であると、十分なフレキシビリティを保持できる傾向がある。

第２の透明ガスバリアフィルム２は、図１に示すとおり、透明基材フィルム２ａとバリア層２ｂとによって構成されている。第２の透明ガスバリアフィルム２は、第１の透明ガスバリアフィルム１と同様の構成（積層構造、材質及び厚さ等）とすることができる。すなわち、第２の透明ガスバリアフィルム２は、図３（ａ）に示すとおり、バリア層２ｂは一対の蒸着層２ｖ及びガスバリア性被覆層２ｃで構成されていてもよいし、図３（ｂ）に示すとおり、複数対の蒸着層２ｖ及びガスバリア性被覆層２ｃで構成されていてもよい。

透明導電層５は、導電性を有する有機材料からなる層である。図１に示すとおり、透明導電層５は、二つの透明ガスバリアフィルム１，２の間に配置されており、すなわち、二つの透明ガスバリアフィルム１，２によってサンドイッチされている。かかる構成を採用したことにより、透明導電層５が空気中の水分等によって経時的に変色することを抑制できる。

導電性を有する有機材料としては、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）を含む導電性ポリマーが挙げられる。透明導電層５は、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＰＳ）との混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を含むものであってもよい。

透明導電層５の厚さ（膜厚）は０．１～２．０μｍの範囲内とすることが好ましく、０．１～０．４μｍの範囲内とすることがより好ましい。膜厚が０．１μｍ以上であると、均一な膜を形成しやすく、導電層としての機能をより十分に果たすことができる傾向がある。一方、膜厚が２．０μｍ以下であると、十分なフレキシビリティを保持させることができ、成膜後に折り曲げ、引っ張りなどの外的要因により、薄膜に亀裂を生じることをより確実に防ぐことができる傾向がある。透明導電層５のシート抵抗値は、例えば、１００～１０００Ω／□の範囲であり、好ましくは１００～５００Ω／□であり、より好ましくは１００～１５０Ω／□である。透明導電層５のシート抵抗値は例えばロレスターＧＰ ＭＣＰ－Ｔ６１０（商品名、株式会社三菱化学アナリテック製）を用いて測定することができる。

透明導電層５は、例えば、導電性ポリマーを含む塗液を塗工することによって形成することができる。なお、透明導電層５は第２の透明ガスバリアフィルム２の全体を覆うように形成（いわゆるベタ塗り）されていてもよいし、パターンを形成していてもよい。

透明接着層３は、第１の透明ガスバリアフィルム１と透明導電層５との間に介在しており、両者を貼り合わせている。本発明者らの検討によると、透明導電層５と直接接する透明接着層３は、エポキシ基及びシランカップリング剤を含まないことが好ましい。透明接着層３がエポキシ基を含むものであると透明導電層５に含まれるＰＥＤＯＴが還元され、ホール密度が低下することによって透明導電層５の導電性が低下すると推察される。また、透明接着層３がシランカップリング剤を含むものである場合も透明導電層５に含まれるＰＥＤＯＴが還元されることによって透明導電層５の導電性が低下すると推察される。

透明接着層３を構成する接着剤としては、アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリオレフィン系接着剤、ウレタン系接着剤又はポリビニルエーテル系接着剤等が挙げられる。これらのうち、アクリル系粘着剤は、透明性が高く、耐熱性にも優れることから好ましい。透明接着層３の厚さは、例えば、０．５～５０μｍであり、１～２０μｍ又は２～６μｍであってもよい。

透明接着層３を構成する接着剤は、酸素バリア性を有してもよい。この場合、透明接着層３の酸素透過度は、厚さ５μｍにおいて、厚さ方向に、例えば１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下である。上記酸素透過度は５００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが好ましく、１００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることがより好ましく、５０ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが更に好ましく、１０ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることが特に好ましい。透明接着層３の酸素透過度が１０００ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）以下であることにより、バリア層１ｂが欠陥を有していたとしてもこれを補うことができる。上記酸素透過度の下限値は特に制限されないが、例えば、０．１ｃｍ^３／（ｍ^２・ｄａｙ・ａｔｍ）である。

＜透明導電性ガスバリア積層体の製造方法＞
透明導電性ガスバリア積層体１０は、例えば、ロールｔｏロール方式によって製造することができる。まず、透明ガスバリアフィルム１を製造する。具体的には、透明基材フィルム１ａの一方の面上に蒸着層１ｖを蒸着法によって積層する。次いで、水酸基含有高分子化合物、金属アルコキシド、金属アルコキシド加水分解物及び金属アルコキシド重合物からなる群より選択される少なくとも一種の成分等を含む水溶液あるいは水／アルコール混合溶液を主剤とするコーティング剤を蒸着層１ｖの表面上に塗布し、例えば８０～２５０℃で乾燥することで、ガスバリア性被覆層１ｃを形成する。これと同様にして、透明ガスバリアフィルム２を製造する。

透明ガスバリアフィルム２の内側表面に透明導電層５を形成する。その後、第１の透明ガスバリアフィルム１と透明導電層５とを、透明接着層３を介して貼り合わせる工程を経て積層体１０が製造される。

＜デバイス＞
図４に示すデバイス１００は、積層体１０（第１の透明ガスバリアフィルム１、透明接着層３、透明導電層５及び第２の透明ガスバリアフィルム２）と、デバイス材料層３０と、対向電極４０とを備える。デバイス１００の具体例としては、電圧駆動方式のデバイスである電子ペーパー、液晶表示装置及び調光フィルムが挙げられる。図４に示すように、デバイス材料層３０は、透明ガスバリアフィルム１の表面上に形成されている。なお、デバイス材料層３０は、デバイス１００が機能するための材料を含む層を意味する。例えば、デバイス１００が電子ペーパーである場合、文字等を表示するための顔料粒子等が収められたマイクロカプセルを含む層がデバイス材料層３０に相当する。

デバイス材料層３０が紫外線によって劣化するのを抑制する観点から、透明接着層３は紫外線カット性を有していてもよい。具体的には、透明接着層３は紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤としてはペンザトリアゾール、ペンゾフェノン、トリアジン系などの化合物を含むもの挙げられる。市販品としてはＴｉｎｕｖｉｎ（登録商標）４００（商品名、ＢＡＳＦ株式会社製）などを使用できる。

透明導電層５が紫外線によって劣化するのを抑制する観点から、透明基材フィルム２ａとして、紫外線カット性を有するフィルムを使用してもよい。透明導電層５を紫外線から保護することで、透明導電層５のシート抵抗の経時的な上昇を抑制できる。デバイス材料層３０が紫外線によって劣化するのを抑制する観点から、透明基材フィルム１ａとして、紫外線カット性を有するフィルムを使用してもよい。

以上、本開示の複数の実施形態について詳細に説明したが、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、第１の透明ガスバリアフィルム１及び第２の透明ガスバリアフィルム２の少なくとも一方が図５（ａ）又は図５（ｂ）に示す態様（二組のガスバリアフィルムを有する態様）であってもよい。図５（ａ）に示す透明ガスバリアフィルム１２Ａは、二組のバリア層１ｂ同士が対面するように、透明接着層Ａ１を介して積層されている。他方、図５（ｂ）に示す透明ガスバリアフィルム１２Ｂは、一方の組（図における下側）のバリア層１ｂと他方の組（図における上側）の透明基材フィルム１ａとが対面するように、透明接着層Ａ１を介して積層されている。透明接着層Ａ１としては、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤等が挙げられる。特にアクリル系粘着剤は透明性が高く、耐熱性にも優れることから好ましい。透明接着層Ａ１の厚さは、例えば、０．５～５０μｍであり、１～２０μｍ又は２～６μｍであってもよい。透明接着層Ａ１は、上述の透明接着層３を構成する接着剤は、酸素バリア性及び紫外線カット性を有してもよい。

上記実施形態においては、図１に示したとおり、透明基材フィルム１ａ及び透明基材フィルム２ａがそれぞれ最外層をなす透明導電性ガスバリア積層体１０を例示した。かかる構成は、二つのバリア層１ｂ，２ｂが透明導電層５の近くに配置されていることで、透明導電層５に対する水分等の影響をより高度に抑制できるという利点がある。また、例えば、ロールｔｏロール方式で透明導電性ガスバリア積層体を製造する場合に、透明基材フィルム１ａ，２ａを搬送用のローラに接触させやすく、バリア層１ｂ，２ｂがローラ等との接触によってダメージを受けることを抑制できるという利点がある。他方、バリア層１ｂと透明接着層３との間の接着性が不十分となり得る場合は、図６（ａ）に示すとおり、第１の透明ガスバリアフィルム１の表と裏を逆に配置してもよい。すなわち、透明基材フィルム１ａと透明接着層３が直接接するようにしてもよい。また、バリア層２ｂと透明導電層５との間の接着性が不十分となり得る場合は、図６（ｂ）に示すとおり、第２の透明ガスバリアフィルム２の表と裏を逆に配置してもよい。すなわち、透明基材フィルム２ａと透明導電層５が直接接するようにしてもよい。図６（ｃ）に示すように、第１の透明ガスバリアフィルム１及び第２の透明ガスバリアフィルム２の両方について表と裏を逆に配置してもよい。

上記実施形態においては、透明導電層５が導電性ポリマー（有機材料）からなる場合を例示したが、これに代わりに、酸化スズインジウム（ＩＴＯ）等の無機材料であってもよい。ＩＴＯのような無機酸化物も、水分等の影響によって酸素欠損の状態が反応的に変化し、これによってバンドギャップが影響を受けて変色し得る。

上記実施形態においては、透明導電性ガスバリア積層体１０がデバイス１００を水分等から保護するための部材として使用される場合を例示したが、透明導電性ガスバリア積層体自体を他の用途に使用してもよい。他の用途としては、例えば、電磁波抑制シートとして用いることが挙げられる。

以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。実施例及び比較例において、シート抵抗値の増加率、及び、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊の変化量（Δｂ^＊）は次のようにして測定した。

（１）シート抵抗値の増加率
透明導電層のシート抵抗値（初期値及びＵＶ曝露後の値）をロレスターＧＰ ＭＣＰ－Ｔ６１０（商品名、株式会社三菱化学アナリテック製）を用いて測定した。透明ガスバリアフィルム側から透明導電層側に向けて紫外線を照射し、照射時間は１００時間とした。シート抵抗値の増加率は以下の式で算出した。
シート抵抗値の増加率（％）＝（ＵＶ曝露後の値－初期値）／（初期値）×１００

（２）Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊の変化量（Δｂ^＊）
ＵＶ－２４５０（商品名、株式会社島津製作所製）を用いて透明導電性ガスバリア積層体の分光透過率（初期値及びＵＶ曝露後の値）を測定した。測定結果から物体色の三刺激値ＸＹＺ表色系における透過による物体色の三刺激値Ｘ，Ｙ，Ｚを以下の式により求め、ｂ^＊を算出した。透明ガスバリアフィルム側から透明導電層側に向けて紫外線を照射し、照射時間は１００時間とした。

ｂ^＊の変化量（Δｂ^＊）＝ＵＶ曝露後の値－初期値
なお、Δｂ^＊がプラスの値であることは透明導電性ガスバリア積層体の黄色味が強くなったことを意味し、Δｂ^＊がマイナスの値であることは透明導電性ガスバリア積層体の青色味が強くなったことを意味する。

＜透明導電性ガスバリア積層体の作製＞
［実施例１Ａ］
二枚の透明ガスバリアフィルムを以下のようにして作製した。まず、透明基材フィルムとしての厚さ１２μｍのＰＥＴフィルムの片面に、アクリル樹脂塗液を塗布乾燥させてアンカーコート層を形成し、アンカーコート層上に蒸着層として酸化ケイ素を真空蒸着法により厚さ３０ｎｍで設けた。更に、蒸着層上に厚さ３００ｎｍのガスバリア性被覆層を形成した。このガスバリア性被覆層は、テトラエトキシシランとポリビニルアルコールとを含む塗液をウエットコーティング法により塗工することによって形成した。これにより、透明基材フィルムの一方の面上に一対の酸化ケイ素蒸着層及びガスバリア性被覆層からなるバリア層が設けられた透明ガスバリアフィルムを得た（図２（ａ）参照）。これと同様にして、透明ガスバリアフィルムを別途作製した（図３（ａ）参照）。

一方の透明ガスバリアフィルムのガスバリア性被覆層上に厚さ１５０ｎｍの透明導電層を形成した。透明導電層はＰＥＤＯＴを含む塗液（ナガセケムテックス株式会社製）をウエットコーティング法により塗工することによって形成した。透明導電層のシート抵抗値は１５０Ω／□であった。この透明導電層と、他方の透明ガスバリアフィルムと透明接着層を介して貼り合わせることによって、透明導電性ガスバリア積層体を得た（図１参照）。透明接着層を構成する接着剤として、光学用アクリル系接着剤（サイデン化学株式会社製）を使用した。

［実施例２Ａ］
透明接着層を構成する接着剤として、光学用アクリル系接着剤（サイデン化学株式会社製）の代わりに、光学用シリコーン系接着剤（日栄化工株式会社製）を使用したことの他は、実施例１Ａと同様にして透明導電性ガスバリア積層体を得た（図１参照）。

［実施例３Ａ］
ＰＥＤＯＴを含む溶液を使用して透明導電層（厚さ１５０ｎｍ）を形成する代わりに、真空蒸着によってＩＴＯ膜（厚さ５０ｎｍ）を形成したことの他は、実施例１Ａと同様にして透明導電性ガスバリア積層体を得た（図１参照）。

［実施例４Ａ］
ＰＥＤＯＴを含む溶液を使用して透明導電層（厚さ１５０ｎｍ）を形成する代わりに、真空蒸着によってＩＴＯ膜（厚さ５０ｎｍ）を形成したことの他は、実施例２Ａと同様にして透明導電性ガスバリア積層体を得た（図１参照）。

［比較例１Ａ］
実施例１Ａと同様にして透明ガスバリアフィルムを作製した（図２（ａ）参照）。この透明ガスバリアフィルムのガスバリア性被覆層上に、実施例１Ａと同様にして、ＰＥＤＯＴを含む透明導電層（厚さ１５０ｎｍ）を形成した（図７（ａ）参照）。これにより、透明導電層がむきだしの積層体を得た。

［比較例２Ａ］
実施例１と同様にして透明ガスバリアフィルムを作製した（図２（ａ）参照）。この透明ガスバリアフィルムのガスバリア性被覆層上に、実施例３Ａと同様にして、ＩＴＯからなる透明導電層（厚さ５０ｎｍ）を形成した（図７（ａ）参照）。これにより、透明導電層がむきだしの積層体を得た。

［比較例３］
透明接着層を構成する接着剤として、光学用アクリル系接着剤（サイデン化学株式会社製）の代わりに、光学用エポキシ系接着剤（三菱化学製）を使用したことの他は、実施例１Ａと同様にして透明導電性ガスバリア積層体を得た（図１参照）。

［比較例４］
透明接着層を構成する接着剤として、光学用アクリル系接着剤（サイデン化学株式会社製）の代わりに、シランカップリング剤を含む接着剤（三菱化学製）を使用したことの他は、実施例１Ａと同様にして透明導電性ガスバリア積層体を得た（図１参照）。

＜電子ペーパーの作製＞
［実施例１Ｂ］
実施例１Ａと同様にして得た透明導電性ガスバリア積層体と、デバイス材料層と、対向電極とを備える電子ペーパーを作製した（図４参照）。このデバイス材料層は、エポキシ系樹脂を含有するものであった。

［実施例２Ｂ～４Ｂ］
実施例２Ａ～４Ａと同様にして得た透明導電性ガスバリア積層体をそれぞれ使用したことの他は、実施例１Ｂと同様にして、電子ペーパーを作製した（図４参照）。

［比較例１Ｂ及び比較例２Ｂ］
比較例１Ａ及び比較例２Ａと同様にして得た積層体をそれぞれ使用したことの他は、実施例１Ｂと同様にして、電子ペーパーを作製した（図７（ｂ）参照）。

表１に結果を示す。

比較例３及び比較例４に係る透明導電層は、ＵＶ曝露後において導電性が失ったと認められ、シート抵抗値を測定することができなかった。

実施例１Ｂ～４Ｂに係る電子ペーパーは正常に駆動することを確認した。一方、比較例１Ｂ，２Ｂに係る電子ペーパーは駆動しなかった。これはデバイス材料層がエポキシ系樹脂を含有しており、このデバイス材料層が透明導電層と直接接していることが原因と推察される。

１…第１の透明ガスバリアフィルム、１ａ…透明基材フィルム、１ｂ…バリア層、１ｖ…蒸着層、１ｃ…ガスバリア性被覆層、２…第２の透明ガスバリアフィルム、２ａ…透明基材フィルム、２ｂ…バリア層、２ｖ…蒸着層、２ｃ…ガスバリア性被覆層、３…透明接着層、５…透明導電層、１０…透明導電性ガスバリア積層体、１２Ａ，１２Ｂ…透明ガスバリアフィルム、３０…デバイス材料層、１００…デバイス。

Claims (8)

1. 第１の透明ガスバリアフィルムと、
   アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリオレフィン系接着剤、ウレタン系接着剤及びポリビニルエーテル系接着剤からなる群から選ばれる一種の接着剤からなる透明接着層と、
   導電性を有する有機材料からなる透明導電層と、
   第２の透明ガスバリアフィルムと、
   を備え、これらがこの順序で積層された構成であり、
   前記有機材料がポリエチレンジオキシチオフェンを含み、
   前記透明接着層がエポキシ基を有する成分及びシランカップリング剤を含まず、
   前記透明導電層が前記第２の透明ガスバリアフィルムの全体を覆うように形成されている、透明導電性ガスバリア積層体。
2. 第１の透明ガスバリアフィルムと、
   アクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリオレフィン系接着剤、ウレタン系接着剤及びポリビニルエーテル系接着剤からなる群から選ばれる一種の接着剤からなる透明接着層と、
   導電性を有する無機材料からなる透明導電層と、
   第２の透明ガスバリアフィルムと、
   を備え、これらがこの順序で積層された構成であり、
   前記無機材料が酸化インジウムスズであり、
   前記透明接着層がエポキシ基を有する成分及びシランカップリング剤を含まず、
   前記透明導電層が前記第２の透明ガスバリアフィルムの全体を覆うように形成されている、透明導電性ガスバリア積層体。
3. 前記透明導電層のシート抵抗値が１００～１０００Ω／□である、請求項１又は２に記載の透明導電性ガスバリア積層体。
4. 請求項１～３のいずれか一項に記載の透明導電性ガスバリア積層体と、
   前記第１の透明ガスバリアフィルムの表面上に形成されたデバイス材料層と、
   を備える、デバイス。
5. 前記デバイス材料層の表面上に形成された対向電極を更に備える、請求項４に記載のデバイス。
6. 電圧駆動方式のデバイスである、請求項４又は５に記載のデバイス。
7. 電子ペーパー、液晶表示装置又は調光フィルムである、請求項４～６のいずれか一項に記載のデバイス。
8. 請求項１～３のいずれか一項に記載の透明導電性ガスバリア積層体の製造方法であり、
   前記第１の透明ガスバリアフィルムと前記透明導電層とを、前記透明接着層を介して貼り合わせる工程を含む、透明導電性ガスバリア積層体の製造方法。

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