CN103228387A - 金属丝放电加工装置以及半导体晶片制造方法 - Google Patents

Abstract

获得将金属丝（3）在主引导辊（1a～1d）间卷挂多次并同时进行多个切断加工的金属丝放电加工装置，该金属丝放电加工装置抑制切断金属丝部（CL）的振动而能够进行稳定加工。与主引导辊（1a～1d）分开地以引导金属丝（3）并形成抑制了振动的多个切断金属丝部（CL）的方式具备从动式的减振引导辊（7a，7b）或者减振引导件（21a，21b），规定切断金属丝部（CL）相对喷嘴（8a，8b）的位置。

Description

金属丝放电加工装置以及半导体晶片制造方法

技术领域

本发明涉及金属丝放电加工装置以及利用它的切断加工方法以及对半导体结晶进行切断加工而得的半导体晶片的制造方法。

背景技术

以往，在利用金属丝放电加工从柱状的被加工物通过切断加工制作薄板形状的晶片的情况下，利用多个金属丝进行同时加工，为了提高上述切断加工的生产性，提出了将一根金属丝在多个引导辊间反复卷挂的方式。该方式的金属丝放电加工装置，形成金属丝按恒定间距并列配置的切断金属丝部，使该切断金属丝部接近被加工物，而且，利用供电件对切断金属丝部分别单独地供电，由此在各切断金属丝部与被加工物之间产生放电同时，在多个部位并列地进行切断加工（例如参照专利文献1）。

另外，已知有在将一根金属丝在多个引导辊间反复卷挂的金属丝放电加工装置中、设置用于抑制供电件或切断金属丝部的振动的按压棒的构成（例如参照专利文献2）。进而，已知有通过将金属丝放电加工的金属丝推压于供电件、也可抑制金属丝的振动的构成（例如参照专利文献3）。

进而，在专利文献4中记载了金属丝切割加工装置的形成有槽的引导辊以及对多个金属丝供电的供电件。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-94221号公报

专利文献2：日本特开2010-5735号公报

专利文献3：日本特开平5-96421号公报

专利文献4：日本实开昭54-17291号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在专利文献1那样的金属丝放电加工装置中，无法避免因引导辊的形状误差或偏心、轴承的振动、马达的旋转不均等导致的引导辊的振动，该引导辊的振动传递给金属丝，在与被加工物相向的切断金属丝部产生振动。因而，在金属丝与被加工物的距离即放电间隙微小的条件下进行放电加工来制作半导体晶片的情况下，由于切断金属丝部的振动，致使放电间隙发生数微米的变动，由此导致放电变得不稳定，加工精度降低。其结果，存在在形成于被加工物的加工槽的宽度上产生偏差、同时切出的晶片的厚度偏差增大这样的问题。

进而，在专利文献2以及专利文献3那样的金属丝放电加工装置中，在抑制金属丝振动的机构中没有设置控制金属丝间的间隔的机构，在应用于反复卷挂金属丝的放电加工装置的情况下，有时在多个加工中金属丝的间隔会发生变动。另外，抑制金属丝振动的机构有时兼具供电件等传递电信号的功能，在这种情况下需要以导电性材料构成，存在作为向金属丝推压的结构物不一定充分的情形。

另外，专利文献4的供电件仅设在被加工物的单侧，供电件的槽也是无法充分抑制金属丝的横向偏移的结构。

本发明是为了解决上述那样的问题而做出的，其目的在于获得可抑制切断金属丝部的振动、能高精度地进行切断加工的金属丝放电加工装置以及半导体晶片制造方法。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的金属丝放电加工装置具备：一对引导辊，该一对引导辊隔开间隔地平行配设；一根金属丝，该金属丝在一对引导辊间按恒定的间距分离并被卷挂多次，在引导辊间形成并列金属丝部，随着引导辊的旋转而行进；一对减振引导辊，该一对减振引导辊设在一对引导辊间，与并列金属丝部从动地接触，形成得到减振的多个切断金属丝部；和多个供电件，该多个供电件分别对多个切断金属丝部进行供电。

另外，本发明所涉及的金属丝放电加工装置具备：一对引导辊，该一对引导辊隔开间隔地平行配设；一根金属丝，该金属丝在引导辊间按恒定的间距分离并被卷挂多次，在引导辊间形成并列金属丝部，随着引导辊的旋转而行进；一对减振引导件，该一对减振引导件设在一对引导辊间，与并列金属丝部接触，形成得到减振的多个切断金属丝部；和多个供电件，该多个供电件分别对多个切断金属丝部进行供电。

发明的效果

根据本发明，可抑制切断金属丝部的振动，即使在微小的放电间隙下也能实现稳定的金属丝放电加工，可提高加工精度。

附图说明

图1是表示实施方式1中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。

图2是表示加工中的金属丝和被加工物的位置关系的剖面图。

图3是表示本发明所涉及的减振引导辊的结构的剖面图。

图4是表示本发明所涉及的喷嘴的立体图。

图5是表示本发明所涉及的喷嘴的结构的剖面图。

图6是表示实施方式1中的金属丝放电加工装置的构成的立体图。

图7是表示实施方式2中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。

图8是表示实施方式3中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。

图9是表示实施方式3中的金属丝放电加工装置的构成的侧视图。

图10是表示实施方式4中的金属丝放电加工装置的构成的立体图。

图11是表示实施方式4中的金属丝放电加工装置的减振引导件的构成的侧视图。

具体实施方式

实施方式1.

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的金属丝放电加工装置的主要部分的构成的侧视图。主引导辊1a～1d是构成金属丝行进系统的主要的引导辊，在该金属丝放电加工装置中，相同直径的四个主引导辊相互平行地隔开间隔配置。从金属丝绕架2输出的一根金属丝3，依次跨在四个主引导辊1a～1d间，按恒定的间距分离并反复卷挂。金属丝3随着主引导辊1a～1d的旋转而行进，最后到达金属丝卷绕绕架4。主引导辊1c，1d设置在隔着被加工物5的位置，通过将金属丝3在两主引导辊间以恒定的张力张拉，构成相互在主引导辊的轴向分离的多个并列金属丝部PS。另外，在本说明书中，并列金属丝部PS是指从主引导辊1c送出直到被卷挂于主引导辊1d的部分。在上述并列金属丝部PS内，包括与被加工物5相向的部分的被以直线状张拉的区域成为切断金属丝部CL。图1示出了被加工物5的切断开始、切断金属丝部CL在被加工物5的内部行进的状态。

与并列金属丝部PS接触地配置的供电件单元6a，6b，是相对切断金属丝部CL单独地供给电压脉冲的电极，在图1中配置两个。另外，在供电件单元6a，6b间的并列金属丝部PS上配置减振引导辊7a，7b，维持金属丝3始终被挂住的状态地对金属丝3进行引导。即，减振引导辊7a，7b，是设在一对主引导辊间与并列金属丝部PS从动地接触的、直径比主引导辊更小的引导辊，形成支承金属丝3并将金属丝3张拉成直线状的多个切断金属丝部CL。如后所述，减振引导辊7a，7b间的切断金属丝部CL抑制了金属丝振动，行进位置成为大体静止状态。

进而，在切断金属丝部CL的区域配置喷嘴8a，8b，从面对地配置的喷嘴8a，8b沿着切断金属丝部CL向被加工物5的切断部喷出加工液。切断金属丝部CL在喷嘴8a，8b内贯通，但不与喷嘴内面接触。载架9是载置被加工物5并进行上升、下降的台，从载架9描绘出的箭头表示载架9的上升方向。

金属丝3对于主引导辊1a～1d分别卷挂辊外周的一部分（约1/4周），相对于四个主引导辊1a～1d整体呈围绕形态。主引导辊1a～1d构成从金属丝绕架2到达金属丝卷绕绕架4的路径，构成为确保用于使被加工物5经过切断金属丝部CL而不与其以外的金属丝发生干涉的空间。主引导辊1c，1d为驱动式引导辊，配置在其上方的主引导辊1a，1b为从动式引导辊。驱动式引导辊的轴与马达连接而被旋转驱动，相对于此，从动式引导辊不产生驱动力，随着金属丝行进而旋转。减振引导辊7a，7b是配置成与并列金属丝部PS接触并卷挂金属丝3的从动式的引导辊，随着金属丝3的行进而从动地进行旋转。在图1中，围绕主引导辊1a～1d的轴描绘的箭头表示各主引导辊的旋转方向，沿着金属丝3描绘的箭头表示金属丝3的行进方向。（在后述的图6中，示出了本实施例的金属丝放电加工装置中的金属丝3的立体卷挂状态以及供电件单元6a，6b。）

主引导辊1a～1d是在圆柱状的芯金上缠绕了例如氨基甲酸酯橡胶的辊，成为芯金的两端由轴承支承而能够旋转的结构。氨基甲酸酯橡胶由于与金属丝的摩擦系数高，所以，适于防止金属丝在引导辊上发生打滑。另外，在主引导辊1a～1d的金属丝所接触的辊表面，按与金属丝卷挂间距相同的间隔形成多个槽，在各个槽内卷挂金属丝。此时，按等间隔并列配置的切断金属丝部CL间的距离（卷挂间距）是恒定的，在半导体晶片的情况下，例如为0.1mm～0.8mm左右。在驱动式的主引导辊中，可获得张拉金属丝的力，而且，在从动式的主引导辊中可获得使辊旋转的旋转力。

这些引导辊、被加工物5浸渍在加工液中，各切断金属丝部CL在加工液中与被加工物5相向，同时并列地进行切断加工。

减振引导辊7a，7b是与主引导辊1a～1d相比形状精度、旋转精度以及安装精度更高的从动式引导辊，在隔着被加工物5的位置上使用两个。减振引导辊7a，7b相对被张拉的并列金属丝部PS被压入，将金属丝3挂在外周的一部分。其结果，减振引导辊7a，7b间的金属丝被呈直线状张拉，而且，形成金属丝3的行进方向弯曲的状态，在金属丝3的行进中，始终维持挂住金属丝3的状态。在挂在减振引导辊7b之前伴有振动的金属丝通过可靠地挂在减振引导辊7b上，遮断了一边振动一边行进的金属丝3的振动。另外，同样，施加在从减振引导辊7a送出的金属丝上的振动由减振引导辊7a遮断。其结果，两个减振引导辊7a，7b随着金属丝行进而通过与金属丝3的摩擦力进行旋转，与此同时，在减振引导辊间的直线状区域形成基本上没有金属丝振动的状态。即，借助减振引导辊7a，7b，可抑减振动从主引导辊向切断金属丝部CL传递，能以使微观的行进位置恒定的方式精密地引导金属丝3。

减振引导辊7a，7b尽管使与切断金属丝部CL相连的金属丝的行进方向转向，但不具有确保用于使被加工物5经过切断金属丝部CL的空间的作用。在金属丝所接触的辊表面，设有与切断金属丝部CL的间隔相同的间隔的金属丝引导用槽，在各槽中各架设一根金属丝。图1的减振引导辊7a，7b上的左右方向的箭头表示减振引导辊7a，7b的装置上的可动方向。

供电件单元6a，6b是按与金属丝的卷挂间距相同的间隔排列的供电件K的集合体，各供电件K相互绝缘。切断金属丝部CL从供电件K供电而分别流过加工电流。供电件K使用带有例如槽状的金属丝引导件的剖面呈圆形或圆弧形状的形式。供电件K可旋转地设置成可定期地旋转来改变金属丝接触部位。

图2是表示切断金属丝部的金属丝3与加工中的被加工物5的位置关系的剖面图，图中的记号d表示放电间隙的长度，记号DW表示金属丝直径，记号CW表示加工宽度。

喷嘴8a，8b是用于向上述放电间隙供给加工液、冲走加工屑的加工液喷出装置，沿着切断金属丝部CL设置在被加工物5的两侧。

图3是表示减振引导辊的金属丝引导用槽的结构例的剖面图，放大表示减振引导辊的辊表面附近的一部分。槽GR的剖面形状是V字形，当金属丝3挂在槽GR上时，各金属丝3由V字形的槽GR的侧面的两点进行支承。其结果，相对于金属丝行进方向抑制了横向（辊的轴向，图3中为左右方向）的振动。通过在减振引导辊7a，7b上卷挂金属丝3，在与减振引导辊接触并旋转的期间，金属丝3相对于减振引导辊相对地静止，因而，切断金属丝部CL的振动停止。

另外，通过在剖面V字形的槽GR中嵌入金属丝3，产生了把持金属丝3的效果，抑制了金属丝3在挂设长度小的减振引导辊7a，7b上打滑，能使减振引导辊7a，7b的从动旋转变得稳定。

接着，对本实施方式中的金属丝放电加工装置的动作进行说明。金属丝放电加工是指，在由脱离子水等的加工液充满的金属丝与被加工物之间的微小的放电间隙中产生电弧放电来进行被加工物的切断。具体来讲，被加工物表面通过电弧加热而成为高温，而且，存在于放电间隙的加工液急剧地气化，将被加工物的成为高温的部分吹掉。被吹掉的部分成为加工屑而飘浮在加工液中。由于切断金属丝部CL和被加工物5分别成为放电电极，所以，放电间隙的长度d也被称为极间距离。

在加工中，金属丝3从金属丝绕架2连续地输出并通过主引导辊1a～1d的旋转而行进，向金属丝卷绕绕架4排出。通过调整金属丝绕架2和金属丝卷绕绕架4各自的旋转速度，对并列的各金属丝的行进中的张力进行控制。在金属丝3的行进状态稳定的情况下，行进的金属丝3的张力被保持为恒定。

在进行放电加工时，使主引导辊1c，1d旋转并使金属丝3行进，同时相对于该切断金属丝部CL隔开规定的极间距离地使被加工物5相向配置之后，对切断金属丝部CL施加电压脉冲，对应于切断速度而使载架9上升。在将极间距离保持为恒定的状态下，通过使并列切断部和被加工物相对移动，持续电弧放电，与被加工物的切断金属丝部CL所经过的路径对应地形成加工槽。因此，被切出的晶片的厚度，成为从卷挂间距减去成为被加工物5的切除量的加工槽的宽度（加工宽度）而得的长度。（根据图2理解，加工宽度CW成为在金属丝直径WD加上极间距离d的2倍而得的值。）为了减小加工宽度，优选金属丝3的线径较小，在实用性方面，0.1mm左右的钢制金属丝是适当的，优选的是使用0.07mm等进一步细线化的金属丝。进而，为了使放电开始电压合适，也可以在钢制金属丝的表面上施加黄铜等的覆层。

此时，若某些振动传递到切断金属丝部CL，则会造成在被加工物5的加工槽内切断金属丝部CL与加工槽底面接触而短路的状态。或者，过于从加工面离开而导致不产生放电的开放状态，反复产生该开放状态会导致出现放电加工不稳定的状态。另一方面，若能够使金属丝行进稳定，且能提高金属丝位置的精度，则可以缩小切断金属丝部CL间的间距，可从锭块状的被加工物5切出更薄的晶片。

在通常的金属丝放电加工中，切断金属丝部与被加工物相向的放电间隙的距离（极间距离）为50μm左右。在对半导体结晶的锭块进行切断加工来制作半导体晶片的情况下，大多时候晶片的厚度为0.5mm以下，从削减成本的观点出发，切除量（加工宽度）的缩小是重要的课题。为了削减切除量，谋求随着金属丝的细线化将极间距离设为20μm以下，优选的是10μm左右，需要将金属丝振动的振幅抑制成1μm左右或其以下的技术。

本发明致力于响应有关上述那样的金属丝减振的高度的要求，如前所述，其特征在于，作为第一技术要素，具有高精度的减振引导辊，作为第二技术要素，具有使金属丝3以非接触方式经过内部的喷嘴。高精度的减振引导辊7a，7b有效地抑制了因主引导辊导致的金属丝振动，喷嘴8a，8b是消除了由于加工液沿着切断金属丝部CL喷出、因加工液流导致的挠曲或振动的方式。进而，由于借助高精度的减振引导辊使得金属丝3不与喷嘴内壁接触地行进，所以，也不会因行进而造成金属丝断开或是行进位置发生变动。

此外，已知脉冲放电的反复也会产生金属丝振动，但通过将放电电流抑制得小，在实质上可无视金属丝振动的区域进行加工，由此也能够抑制因放电导致的金属丝振动。

发明人们根据实验结果发现，通过组合减振引导辊、沿着切断金属丝部CL喷出加工液的喷嘴以及上述加工条件，将放电间隙中的金属丝振动的振幅抑制到1μm以下。

在本实施方式1中，隔着被加工物5在减振引导辊7a，7b间的外侧设置供电件单元6a，6b，各供电件K可对切断金属丝部CL施加电压。金属丝3沿着供电件K的供电面卷挂，一边行进一边与供电件K接触，形成滑动接点，对切断金属丝部CL进行供电。若在加工中切断金属丝部CL从供电件K浮起，则在两者之间产生电弧放电，会给供电件K带来大的损伤，因而，需要可靠地维持滑动接点。

为了调整推压供电件单元6a，6a的量，设置未图示的使供电件单元6a，6a向相对金属丝垂直的方向移动的机构。金属丝3与供电件K的接触长度为滑动长度，滑动长度可通过供电件单元6a，6b相对并列金属丝部PS的推压量来进行管理。即，若推压量小，则滑动长度变小，若推压量多，则滑动长度变大。推压量既可以按照相对金属丝3的压入距离来进行规定，也可以按照推压力来进行规定。通过调节滑动长度而能调整接触电阻，能对每1电压脉冲的放电电流值进行微调。因此，即使在更换金属丝3或供电件单元6a，6b等消耗部件的情况下，也容易再现更换前的加工状态，能够确保每个加工批次的再现性。

在金属丝放电加工中，存在随着液中放电而在金属丝表面上附着被加工物的加工屑的现象。因而，在将金属丝在引导辊间卷挂多次的方式中，金属丝3被反复用于放电加工，金属丝3表面逐渐被削减，而且附着的覆膜变厚。其结果，金属丝3的表面从初期的黄铜或钼等的金属平滑面变化成具有微细凹凸的状态。有加工屑附着的金属丝变得具有金属丝锯那样的性质，因而，当卷挂于模具引导件等固定部件上进行滑动时，发生部件的摩耗，形成金属丝所嵌入的槽。若产生槽，则金属丝3的张力降低，振动会增大，因而，例如通过将供电件K推压到金属丝3上而具有减振作用是有界限。

对此，由于减振引导辊随着金属丝进行旋转，所以，即使引导成为金属丝锯状的金属丝，摩耗也非常少，即便进行长时间的放电加工也不会导致减振作用降低。

图4是表示喷嘴的外观的立体图，图5是表示其内部的喷嘴中央部的剖面图。在具有贯通孔的本体91嵌入喷出口构成板92、退让口构成板94，在喷出口构成板92形成与被加工物5相向的喷出口93。另外，在喷出口93中，与多个切断金属丝部CL相连的并列金属丝部PS通过。

退让口构成板94具有用于使切断金属丝部CL在本体91内部以非接触方式通过的退让口95。加工液从供给配管96按恒定的流速供给，从喷出口93和退让口95喷出。因此，加工液从喷出口93沿着切断金属丝部CL喷出，一部分的加工液也从退让口95流出。切断金属丝部CL与加工液的流动平行，因而，切断金属丝部CL不会因加工液流而发生挠曲，加工液的流速也不会发生变动而产生振动。

喷嘴8a，8b与被加工物5的设置间隔距被加工物5的端面为数十μm～数百μm。从未图示的外部加工液供给装置向供给配管96连续地供给加工液。

图5中的虚线箭头示意性地表示加工液的流动，箭头长度表示流速。

由于与退让口95相比，喷出口93的开口较大，所以，大半的加工液从喷出口93流出。退让口95并不致力于使加工液喷出，因而，形成尽可能窄的开口。但是，由于喷出口93接近被加工物5，所以，加工液流由被加工物5反射，与喷出口93相比，从退让口95流出的加工液的流速变大。在被加工物5厚的情况下，为了排出放电间隙的加工屑而需要提高加工液供给压力，因而，来自退让口95的流速也变大。

在金属丝放电加工中，金属丝例如以40～200m/min左右的速度行进，因而，当金属丝3与喷嘴内壁面接触时，内壁面被削掉而卡挂金属丝，成为金属丝断开的原因。因而，在金属丝行进中，也需要始终维持金属丝周围与喷嘴内壁面、特别是与退让口95的间隔。即，喷嘴在内部不具有模具状的引导件，金属丝3在其内部不接触地行进。因而，确定切断金属丝部CL的输送位置的减振引导辊7a以及7b的位置，被慎重调整成切断金属丝部CL不与喷嘴内壁面接触。

喷嘴8a，8b沿着切断金属丝部CL配置喷出口93，形成朝向放电间隙相互碰撞的方向的加工液流。通过从被加工物5的加工槽的两侧供给加工液，对于长的加工槽也能从放电间隙去除加工屑地供给新的加工液。

另外，半导体锭块的直径为2英寸（约50mm）以上，多数情况下为4英寸（约100mm）以上。因而，在通过金属丝放电加工切断制作半导体晶片的情况下，优选将被加工物整体浸渍于加工液，以便使加工液可靠地充满放电间隙。因此，喷嘴与被加工物一起被浸渍在加工液中。通过使被加工物5、喷嘴以及周边的引导辊等浸渍在加工液中，使得加工槽整体由加工液充满，因而，加工屑向加工槽的上方流动，能够有效地从放电间隙排出加工屑。

接着，就减振引导辊7a，7b和供电件单元6a，6b以及所述喷嘴8a，8b相对于被卷挂在主引导辊1a～1d上的金属丝3的关系进行说明。图6是图1所示的实施方式1所涉及的金属丝放电加工装置的主引导辊1a～1d的立体图，示出了并列行进的切断金属丝部CL的配置关系。

喷嘴8a，8b接近被加工物5地隔着被加工物5配置在对称的位置上，在喷嘴8a，8b与驱动式的引导辊1d，1c之间配置减振引导辊7a，7b。也就是说，在引导辊1d与喷嘴8a之间设置减振引导辊7a，另外，在引导辊1c与喷嘴8b之间设置减振引导辊7b。进而，对于供电件单元6a，6b相对于金属丝3的配置，隔着引导辊1d，1c间的并列金属丝部PS配置在与减振引导辊7a，7b相反的一侧。

根据该辊配置，通过两个减振引导辊7a，7b可遮断金属丝3的振动，且能够恒定地保持切断金属丝部CL相对喷嘴8a，8b的位置。假若采用没有减振引导辊的配置，则在为了控制供电件K的接触电阻而使供电件单元6a，6b的推压量变化时，相对退让口95的位置关系会发生变化。因而，需要对应于供电件单元使喷嘴向同方向移动，机构变得复杂。也就是说，通过使用减振引导辊7a，7b，无论供电件单元的推压量如何，都能够相对于喷嘴的退让口95、喷出口93水平地输送切断金属丝部CL的金属丝。另外，即使供电件K被金属丝削掉而使得滑动位置发生变化，也能够稳定地维持切断金属丝部CL相对喷嘴的位置关系。

在主引导辊1c或者1d与减振引导辊7a或者7b之间，供电件单元6a，6b从与切断金属丝部CL相连的金属丝的相反侧被压入。因而，金属丝3以供电件单元6a，6b为顶点被弯折成山形，供电件K的接触状态变得稳定。另外，通过保持该状态，减振引导辊7a，7b和主引导辊1c，1d的卷挂长度变大，摩擦阻力变大，从而由引导辊卷绕的金属丝难以滑动。其结果，由旋转驱动力输送的金属丝行进稳定，卷挂的金属丝难以脱离，也可获得对高速行进的金属丝的供电和卷挂稳定性显著提高的效果。由此，即使进行放电加工装置的长时间的连续运转，也不会因金属丝行进而产生问题，能够切断大径的锭块。

进而，通过沿着切断金属丝部CL的张拉方向在喷嘴8a，8b与供电件单元6a，6b之间设置减振引导辊7a，7b，具有从喷嘴的退让口95向供电件单元的方向喷出的加工液流不与供电件单元碰撞的优点。这是因为，如前所述供电件单元6a，6b被向图6的上方压入，故从喷嘴的退让口95观看，形成滑动部隐藏于减振引导辊7a，7b之后的形式。由于从退让口95高速喷出的加工液流不会到达供电件单元，所以，不会发生在加工液流碰撞的情况下成为问题的滑动部处的金属丝接触电阻的变动，放电加工变得稳定。

在本实施方式1中，经过了喷嘴8a的金属丝3之中的未由供电件单元6b供电的切断金属丝部的金属丝，与设置在减振引导辊7a与驱动式引导辊1d之间的供电件单元6a接触并被供电。即，供电件单元6a和6b分别每隔一根地进行切断金属丝部CL的供电。经过了供电件单元6a的切断金属丝部CL由驱动式引导辊1d卷挂，然后，被主引导辊1a，1b卷挂，再次被驱动式主引导辊1c卷挂。

图6示出了被加工物5的切断加工的进行中途的状态，是被加工物5被切断到中间的状态。供电件单元6a，6b的各供电件K与加工电源单元10连接，进而加工电源单元7与未图示的金属丝放电加工装置的控制装置连接。另外，在各引导辊中，供金属丝3卷挂的槽由实线示意表示。

由于设置主引导辊1a～1d用以使金属丝3行进，所以，采用可移动它们的轴位置的机构系统从确保辊旋转精度的观点出发并非上策。因此，按设想的被加工物5的最大宽度所对应的间隔进行固定配置。

但是，在被加工物5的宽度不限于恒定的情况下，优选能以一台装置来加工各种尺寸的锭块。另一方面，为了实现金属丝的减振，需要接近被加工物5地配置喷嘴、减振引导辊。因而，喷嘴8a，8b以及减振引导辊7a，7b具备能够在金属丝3的行进方向以及行进方向（包括反方向）平行移动那样的未图示的移动机构。由此，能够根据成为被加工物5的锭块的大小，调整喷嘴8a，8b和减振引导辊7a，7b的设置位置。

另外，对于供电件单元6a，6b也可以设置同样的移动机构。在该情况下，到被加工物5为止的距离变化，切断金属丝部CL的阻抗变化，所以，需要适当地进行参数调整。

着眼于各辊的直径，主引导辊1a～1d为了防止高速旋转时的滑动，需要在确保金属丝的接触长度的方面充分大的直径。对此，减振引导辊7a，7b不产生驱动力，且金属丝输出与金属丝卷绕无关，因而，即使卷挂的金属丝在辊上产生微小的滑动也不成问题。因此，减振引导辊7a，7b的直径可以比主引导辊1a～1d的直径小。

通过使减振引导辊7a，7b小径化而能够提高辊形状的精度，因而，能够减轻因减振引导辊7a，7b自身导致的振动。另外，由于可缩短供电件单元6a，6b与被加工物5的距离，所以，可防止低频率的金属丝振动，而且能实现装置的小型化以及切断金属丝部CL中的电压下降的减轻。

各个切断金属丝部CL在与邻接的切断金属丝部CL之间具有依靠金属丝3的电阻等形成的阻抗，为了确保各切断金属丝部CL的独立性，形成其它导通路径并不理想。因此，主引导辊以及减振引导辊的金属丝接触部分需要由绝缘性材料制作。

减振引导辊由于无需产生用于输送金属丝的驱动力，所以，也可以是其表面与金属丝的摩擦阻力小的材料。因此，作为减振引导辊7a，7b的材料可以使用硬度高的绝缘性陶瓷。通过将辊形成为陶瓷制品，显著地降低了容易在橡胶制引导辊中发生的金属丝的咬入所造成的槽的变形。通过使槽的形状稳定，防止了伴随于槽变形产生金属丝振动，可获得切断金属丝部CL相对喷嘴的位置变得稳定的效果。

作为使用的陶瓷材料，可使用例如氧化铝、氮化硅、氮化硼、氮化铝或者是它们的复合陶瓷或可加工陶瓷。

由于金属丝放电加工的加工速度不依赖于被加工物的硬度，所以，对硬度高的原材料特别有效。作为被加工物5，可以将例如成为溅镀靶标的钨或钼等的金属、作为各种结构部件使用的多结晶碳化硅（碳化硅）等的陶瓷、成为半导体器件制作用的晶片基板的单结晶硅或单结晶碳化硅等的半导体原材料、成为太阳能电池用晶片的单结晶或者多结晶硅等作为对象。尤其是，关于碳化硅，由于硬度高，所以，在依靠机械式金属丝锯的方式中存在生产性低、加工精度低这样的问题，根据本发明，能够同时确保高生产性和高加工精度地进行碳化硅的晶片制作。

作为本实施方式的变型例，即使相对于图2的位置关系从切断金属丝部CL的上侧推压供电件单元，也可对各金属丝进行独立供电。其中，为了确保减振引导辊和主引导辊的金属丝接触长度，确保金属丝行进的稳定性，优选从金属丝3的下侧推起减振引导辊7a，7b，而且在供电件单元与驱动式引导辊之间追加另外的辅助引导辊。

另外，在本实施方式1中，使用了两个驱动式主引导辊，但也可以将其中之一改变成从动式。但是，由于根据金属丝的剖面面积来确定金属丝的最大张力，所以，在为了降低加工宽度而使用细线金属丝的情况下，优选使用多个驱动式引导辊来降低施加于金属丝的张力（内部应力）。通过防止金属丝的张力变得过大，可增加卷挂次数，将金属丝细线化，能够实现生产性的提高。

另外，在本实施方式1中，示出了将一根金属丝3卷挂在四个主引导辊上的例子，但是也可以例如是配置三个主引导辊的构成。此外，并不限于上述实施方式，若通过反复折回一根金属丝3而形成并列金属丝部PS，则其具体构成并没有特别限定。

如上所述，根据本实施方式的构成，具备：在主引导辊间按恒定的间距分离并被多次卷挂、随着主引导辊的旋转而行进的一根金属丝；在主引导辊1c，1d间排列的并列金属丝部PS；配置成相对该并列金属丝部从动地接触的一对减振引导辊7a，7b；对并列金属丝部PS各自的金属丝3供电的供电件单元6a，6b，在减振引导辊7a，7b间被张拉的金属丝3成为与被加工物5相向的切断金属丝部CL，因而，抑制了切断金属丝部CL的金属丝振动，能够进行高精度的金属丝放电加工。

另外，具备配置在减振引导辊7a，7b间的一对喷嘴8a，8b，喷嘴8a，8b沿着金属丝3朝向被加工物5喷出加工液，金属丝3贯通喷嘴8a，8b的喷出口地在喷嘴8a，8b以非接触方式行进，因而，不会产生因加工液流导致的金属丝振动，另外也不会发生金属丝断开。进而，由于能够从放电间隙有效地排出加工屑，所以，发挥了使放电变得稳定并提高了放电加工的加工速度和加工精度这样的效果。

另外，通过将减振引导辊7a，7b的直径设定成小于主引导辊的直径，可获得难以产生金属丝振动的小型的金属丝放电加工装置。

另外，减振引导辊7a，7b和喷嘴8a，8b由于能够在切断金属丝部CL的行进方向移动，所以，在由主引导辊1c，1d等规定出的范围内，能够高精度地加工各种切断尺寸的被加工物5。

另外，由于在减振引导辊7a，7b的表面形成了与切断金属丝部CL对应地各挂住一根金属丝的具有V字形剖面的槽，所以，抑制了横向的金属丝振动，能够进行加工槽宽度稳定的高精度放电加工。

另外，作为减振引导辊7a，7b的材质，使用了硬度高的陶瓷，由此可长期维持稳定的金属丝行进，能够使得抑制金属丝振动的效果得以持续。

进而，减振引导辊7a，7b实质上仅辊部分是可更换的部分，即使在加工于减振引导辊7a，7b的槽经长期使用而磨耗、各挂住一根切断金属丝部CL的V字形剖面逐渐变形的情况下，也能够通过更换辊部分来进行稳定的高精度放电加工。另外，减振引导辊7a，7b的辊部分可以通过对辊表面的槽进行研削/研磨、重新加工出新的槽的再槽加工而进行再利用。再槽加工使得减振引导辊7a，7b的直径变小，但由于其槽深为使用的金属丝直径的2倍左右，所以是在一次再槽加工中最多减小500μm的程度。因此，若为直径20mm以上的减振引导辊7a，7b，则通过调整对金属丝的推压量可发挥同样的减振效果。

另外，由于减振引导辊7a，7b隔着并列金属丝部PS配置在与供电件K相反的一侧，所以，发挥金属丝行进位置稳定且加工变得稳定这样的效果。另外，由于加工液不与供电件K碰撞，所以，不会发生因加工液流导致的滑动部的金属丝振动，不会阻碍对金属丝3的供电。

根据上述构成，发挥以下效果，即：抑制了切断金属丝部CL的振动，可稳定地维持放电间隙，即使在长时间的加工中也可进行稳定的放电加工，能够一次制作多个厚度偏差小的晶片。

另外，通过使用发挥上述效果的金属丝放电加工装置，可具有高生产性地将包括碳化硅等硬质材料的被加工物5切断加工成薄板状。

实施方式2.

以下，就本发明的实施方式2的构成以及动作进行说明。图7是从引导辊的旋转轴方向观看本发明的实施方式2所涉及的金属丝放电加工装置的构成图。在本实施方式所涉及的金属丝放电加工装置中，由于具有大量与前述的实施方式1同样的构成以及动作，故而省略其说明，对与实施方式1不同的部分的构成和动作进行说明。

在减振引导辊的外周表面上加工出的多个槽的槽深都是恒定的，但在槽中附着有加工屑或其它异物的情况下，辊上的金属丝卷挂深度有可能出现偏差。若卷挂深度散乱，则切断金属丝部CL随着辊的旋转而上下振动。即，由于所述槽中的金属丝3的支承位置根据槽的位置而发生变动，所以，随着减振引导辊7a，7b的旋转，金属丝3的上下位置也变动。

另外，尽管允许减振引导辊的直径比主引导辊小，但却无法消除机械误差，因而，存在例如辊的轴偏心而导致旋转振动的可能性。

若由于这些要因使得设定成微小距离的极间距离发生变动，则放电加工成为不稳定的状态，产生加工精度降低这样的问题。

为了解决该问题，在本实施方式中，在减振引导辊与喷嘴之间设置固定式的滑动式金属丝按压件。滑动式的金属丝按压件例如是圆筒形的绝缘性陶瓷制部件，与减振引导辊的旋转轴方向平行地设置。进而，优选的是，在所述滑动式的金属丝按压件的表面，加工出与减振引导辊7a，7b同样的用于引导金属丝的槽。

在图7中，从驱动式主引导辊1c输出的金属丝3在接触供电件单元6b之后，与减振引导辊7b的下侧接触，一边使辊旋转一边通过。在金属丝3刚从减振引导辊7b的金属丝引导用槽输出之后，一边与滑动式金属丝按压件11b的上侧面的一部分接触，或者与在滑动式金属丝按压件11b的表面上加工出的槽内接触，一边通过。然后，贯通喷嘴8b地通过被加工物5，通过设置在相对被加工物5与喷嘴8b对称的位置上的喷嘴8a内。进而，通过了喷嘴8a的切断金属丝部CL，同样与滑动式金属丝按压件11a的上侧面的一部分接触，或者与在滑动式金属丝按压件11b的表面上加工出的槽内接触地通过，挂在减振引导辊7a上并通过其下侧，卷挂于驱动式主引导辊1d。

为了将附着有被加工物的金属丝的接触所导致的滑动式金属丝按压件的摩耗抑制成最小限度，需要将相对金属丝3的压入限制成极其微小。根据在减振引导辊设想的纵向的金属丝振幅，例如推起10～30μm左右地与金属丝接触。因此，减振引导辊7a，7b间在微观上由滑动式金属丝按压件11a，11b使行进方向有变化，但其程度极其微小，关于成为直线状的金属丝张拉状态实质上是等同的。金属丝3在圆筒形的滑动式金属丝按压件上大体以点状接触地滑动，相对金属丝行进方向的垂直方向（上下方向）的微小振动得到抑制，消除了极间距离的变动，能够稳定地进行放电加工。滑动式金属丝按压件11a，11b与切断金属丝部CL接触而抑制微小振动，但如前所述，也可以在滑动式金属丝按压件11a，11b的表面上加工金属丝引导件用的槽，借助该槽而具有引导切断金属丝部CL的作用。

通过形成前述那样的装置构成，能够抑制因减振引导辊7a，7b上的异物附着或辊芯金偏心导致的切断金属丝部CL的上下方向的微小振动，能够一次从被加工物5切出板厚一致的多张晶片。

另外，在使切断金属丝部CL通过减振引导辊7a，7b的上侧的情况下，只要通过滑动式金属丝按压件11a，11b的下侧即可。

在滑动式金属丝按压件上，由于需要将与各切断金属丝部CL对应地接触的金属丝间电绝缘，因而，由绝缘性材料制作滑动式金属丝按压件11a，11b。进而，由于滑动式金属丝按压件发生与金属丝3的滑动摩擦，所以，优选是高硬度且具备耐磨耗性的氮化硼、氮化硅、氮化铝、氧化铝、碳化硅等的硬质材料。另外，也可以是在基材上覆盖了由类金刚石（DLC）那样的非导电性的硬质物质形成的膜的构成。

滑动式金属丝按压件11a，11b由于在结构上与喷嘴8a，8b分离，所以，容易旋转而改变与金属丝的接触部位或是进行更换，可作为辅助的金属丝减振部件加以适当使用。

如上所述，通过设置切断金属丝部CL所接触的滑动式金属丝按压件11a，11b，抑制了行进的切断金属丝部CL的纵向振动，防止极间距离的变动，由此使得放电加工变得稳定，发挥提高加工精度的效果。

另外，由于在滑动式金属丝按压件的表面上以DLC那样的绝缘性硬质材料的膜覆盖，所以，可降低因金属丝行进造成的摩耗，可长期持续稳定地放电。

实施方式3.

图8是表示本发明的实施方式3所涉及的金属丝放电加工装置的主要部分的构成的剖面图。本实施方式中的金属丝放电加工装置以及被加工物的构成是大部分与实施方式1说明的图6共通的构成，省略其说明，主要对与实施方式1不同的并列金属丝部PS附近部分的构成和动作进行说明。

在图8中，在并列金属丝部PS的一对供电件单元6a，6b之间，从金属丝的与推压供电件单元6a，6b的方向相反的一侧推压一对减振引导件21a，21b，一对减振引导件21a，21b之间成为切断金属丝部CL。在切断金属丝部CL的一对减振引导件21a，21b的内侧设有一对喷嘴8a，8b。

减振引导件21a，21b由支承部件22、框架23以及盖24固定，以便相对于成为控制被加工物5的位置的基准的载架台30不发生位置偏移。

图9是从引导辊1b方向观看图8的减振引导件21a，21b的剖面图。在图9中，减振引导件21由框架23以及盖24固定，在减振引导件21形成有底面为V字形状的多个槽25。多个槽25按恒定的间距分离地形成，各槽25的深度设定成相同。在槽25之中通过金属丝3，槽25的内侧表面被研磨加工成与金属丝3之间的摩擦阻力变小。另外，减振引导件21按照与金属丝3的接触部分成为某种程度的长度的方式，如图8所示那样，剖面形状呈圆柱形状。另外，其直径设定成10mm以上的例如20mm左右。

另外，支承部件22成为能调整高度以便能调整减振引导件21的推压量的结构，在此外的方向没有设置可动机构。

进而，减振引导件21由绝缘性硬质材料形成。高硬度且高绝缘性的绝缘性硬质材料只要是氮化硅、氧化铝等的陶瓷或类金刚石等即可。另外，减振引导件21即使是非绝缘性的金属材料，只要由绝缘性硬质材料覆盖槽25的部分即可。

接着，对本实施方式的金属丝放电加工装置的设置方法、使用金属丝放电加工装置的金属丝放电加工方法以及半导体晶片的制造方法进行说明。

首先，拿开盖24，将金属丝3卷挂在引导辊1c，1d等上。接着，在框架23之中的被卷挂的金属丝3之上，使减振引导件21的槽的位置与金属丝3吻合地载置减振引导件21。接着，从框架23之上载置盖24并固定。接着，连同金属丝放电加工装置一起浸渍到加工液中，使金属丝3行进，从供电件单元6a，6b的供电件K供电。这样，能够进行金属丝放电加工。在被加工物5为半导体以及半导体锭块的情况下，通过该方法能够制造半导体晶片。

根据本实施方式的金属丝放电加工装置，通过分别具备多个槽25的一对减振引导件21能够高精度地控制金属丝3的位置，而且能够抑制金属丝3的振动，能够将被加工物5与切断金属丝部CL的间隙维持在数微米至数十微米。因此，能够持续稳定的脉冲放电的金属丝放电加工。另外，能够由减振引导件21可靠地将金属丝3推压到供电件K上，发挥能够对并列的各金属丝3稳定地供电这样的效果。

另外，本实施方式的金属丝放电加工装置的一对减振引导件21由于分别仅能在被加工物5的加工方向上移动，所以，难以在其它方向发生偏移，能够进行控制性高的加工。进而，由于在减振引导件21不具有滚动机构（轴承），所以，无需调整轴的颤动，能够通过简单的设置作业容易地抑制金属丝的振动。

另外，在减振引导件21发生摩耗的情况下，通过使剖面形状为圆形的减振引导件21旋转地加以使用，也能够容易地改变减振引导件21与金属丝3的接触位置，能够简单地保持同样的加工状况。

进而，因为将圆柱形状的减振引导件21的直径设为10mm以上，故减振引导件21与金属丝3的接触部位变长，接触压力分散而变小，抑制了金属丝3表面的摩耗以及减振引导件21的摩耗。另外，由于设大直径，所以，能够防止切断金属丝部CL的各金属丝3到达被加工物的距离不一致的情形以及因减振引导件21的强度不足导致的金属丝3折损。

另外，减振引导件21或者减振引导件21的槽25的部分由绝缘性硬质材料形成，因而不会简单地摩耗。

进而，从喷嘴8向供电件单元6喷出的加工液流，主要朝向被加工物5，朝向供电件单元6侧的加工液流由于存在设在其间的减振引导件21，也不直接喷到供电件单元6。因此，抑制了因加工液流碰撞导致的供电件单元6的金属丝振动，对金属丝3的供电稳定，放电加工稳定，所以，发挥放电式金属丝锯的加工速度和加工精度得到提高、晶片的生产性得到提高这样的效果。

另外，通过供电件单元6的推压，并列金属丝部PS沿着供电件单元6的接触面挠曲，该挠曲成为切断金属丝部CL的捋起量。即，若推压量少，则捋起量变少，若推压量多，则捋起量变多。这样，捋起量例如可以作为供电件单元6相对在减振引导件21与引导辊1c，1d之间被张拉的切断金属丝部CL的推压量进行管理。

另外，供电件单元6相对并列金属丝部PS的金属丝3的推压方向也可以从并列金属丝部PS的上侧起。在该情况下，可以从并列金属丝部PS的下侧推起减振引导件21，由供电件单元6捋起切断金属丝部CL。

另外，金属丝行进方向上的减振引导件21的设置位置，优选设置在尽量靠近喷嘴8的金属丝通过口的位置上，另外，关于减振引导件21的高度（被加工物的加工行进方向），只要设置成金属丝3的推压面大体成为喷嘴口的高度即可。

实施方式4.

图10是表示本发明的实施方式4所涉及的金属丝放电加工装置的构成的剖面图。本实施方式中的金属丝放电加工装置以及被加工物的构成是大部分与实施方式3共通的构成，省略其说明，主要对与实施方式3不同的并列金属丝部PS附近部分的构成和动作进行说明。

在图10中，减振引导件21a，21b是具有正多边形的剖面形状的正多棱柱。在本实施方式的金属丝放电加工装置中，将具有正多棱柱形状的减振引导件21的柱状侧面部分的一面推压在金属丝3上。另外，减振引导件21收纳并固定于框架23和盖24。在柱状侧面部分，形成与金属丝3的间距对应的槽。多边形若为4角以上的形状，则角部的角度不过大即可。

在本实施方式的金属丝放电加工装置中，由于减振引导件21具有多棱柱形状，所以，减振引导件21和金属丝3以规定的长度接触，接触面积变大。因此，与减振引导件21的剖面形状为圆形状的情况相比，能够分散并减小金属丝3被推压的部分的接触压力。因而，能够抑制金属丝3以及减振引导件21的摩耗，进而，能够减轻金属丝3的推压位置的变动或金属丝推压量、接触压力的变动。当由于摩耗使得槽变深或是金属丝推压量或接触压力降低时，有时会发生金属丝的微小振动，但根据本实施方式的金属丝放电加工装置，能够抑制金属丝的微小振动，能够进行高精度的加工。

另外，在本实施方式中，说明了减振引导件21的剖面形状为多边形的情况，但若减振引导件21的剖面形状为多边形，则有时在角部分发生应力集中。因而，也可以像在图11中表示减振引导件21的剖面形状那样，使减振引导件21的剖面的角部分带有圆度。图11是表示本实施方式的金属丝放电加工装置的减振引导件的剖面形状的图，图11（a）是剖面为多边形（该情况下为八边形）的例子，图11（b）是剖面为多边形且角部带有圆度的例子。

借助使用了图11（b）中表示其剖面形状例子的减振引导件21的金属丝放电加工装置，能够分散朝向减振引导件21的角部的应力，进而能够减轻金属丝3与减振引导件21的接触压力的变动，能够进行稳定且高精度的加工。另外，对于金属丝3的断线防止也具有效果。

另外，在上述四个实施方式中，供电件单元隔着被加工物5地安装了两个，但即使在其为一个的情况下也能利用本发明。

附图标记说明

1a、1b、1c、1d 引导辊

2              金属丝绕架

3              金属丝

CL             切断金属丝部

PS             并列金属丝部

4              金属丝卷绕绕架

5              被加工物

6a、6b         供电件单元

K              供电件

7a、7b         减振引导辊

GR             槽

8a、8b         喷嘴

9              载架

10             加工电源单元

11a、11b       滑动式金属丝按压件

21a、21b       减振引导件

22             支承部件

23             框架

24             盖

25             槽

30             载架台

Claims (15)

1.一种金属丝放电加工装置，其特征在于，具备：

一对引导辊，该一对引导辊隔开间隔地平行配设；

一根金属丝，该金属丝在所述一对引导辊间按恒定的间距分离并被卷挂多次，在所述一对引导辊间形成并列金属丝部，随着所述引导辊的旋转而行进；

一对减振引导辊，该一对减振引导辊设在所述一对引导辊间，与所述并列金属丝部从动地接触，形成得到减振的多个切断金属丝部；和

多个供电件，该多个供电件分别对所述多个切断金属丝部进行供电。

2.如权利要求1所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，设有喷嘴，所述多个切断金属丝部以非接触方式贯通所述喷嘴，所述喷嘴具有沿着所述多个切断金属丝部喷出加工液的喷出口。

3.如权利要求1或2所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，所述减振引导辊隔着包括所述多个切断金属丝部的并列金属丝部配置在与所述供电件相反的一侧。

4.如权利要求2所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，所述减振引导辊以及所述喷嘴配设成能够沿着所述金属丝的行进方向移动。

5.如权利要求1或2所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，所述减振引导辊在与所述并列金属丝部接触的接触位置具有呈V字形剖面的槽，该槽与所述多个切断金属丝部分别对应地搭挂所述金属丝。

6.如权利要求1或2所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，所述减振引导辊的与所述并列金属丝部接触的接触部由绝缘性陶瓷构成。

7.如权利要求1或2所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，在所述减振引导辊与所述喷嘴之间设有与所述切断金属丝部接触的滑动式金属丝按压件。

8.一种金属丝放电加工装置，其特征在于，具备：

一对引导辊，该一对引导辊隔开间隔地平行配设；

一根金属丝，该金属丝在所述一对引导辊间按恒定的间距分离并被卷挂多次，在所述一对引导辊间形成并列金属丝部，随着所述引导辊的旋转而行进；

一对减振引导件，该一对减振引导件设在所述一对引导辊间，向所述并列金属丝部按压并与所述并列金属丝部接触，形成得到减振的多个切断金属丝部，所述一对减振引导件分别具备按所述间距分离的多个槽；和

多个供电件，该多个供电件设在所述切断金属丝部的外侧，分别对所述多个切断金属丝部进行供电。

9.如权利要求8所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，减振引导件的槽部分由绝缘性硬质材料形成。

10.如权利要求9所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，绝缘性硬质材料是氮化硅、氧化铝等陶瓷或者类金刚石。

11.如权利要求8所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，减振引导件形成为仅能在相对于并列金属丝部的金属丝所形成的面垂直的方向移动。

12.如权利要求10所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，减振引导件的外形的剖面形状为圆形或者N为4以上的N边形。

13.如权利要求12所述的金属丝放电加工装置，其特征在于，槽的底部为V字形状。

14.一种半导体晶片制造方法，其特征在于，使用权利要求1～13中任一项所述的金属丝放电加工装置，由半导体原材料制作多张半导体晶片。

15.如权利要求14所述的半导体晶片制造方法，其特征在于，所述半导体原材料由以硅以及碳化硅中的至少一方为主成分的材料形成。

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