JP2000109397A - 導電性を有するインゴット及びその切断方法 - Google Patents
導電性を有するインゴット及びその切断方法Info
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- JP2000109397A JP2000109397A JP10280109A JP28010998A JP2000109397A JP 2000109397 A JP2000109397 A JP 2000109397A JP 10280109 A JP10280109 A JP 10280109A JP 28010998 A JP28010998 A JP 28010998A JP 2000109397 A JP2000109397 A JP 2000109397A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インゴットを高い形状精度で放電切断加工す
る。 【解決手段】 導電性を有する材料からなり、その軸方
向に並ぶ複数個所でワイヤ放電切断加工されるインゴッ
ト２８であって、その周方向の一部に、当該インゴット
２８の軸方向に延び、かつ、当該インゴット２８と同等
の材質またはこれと放電加工特性が近似する材質からな
るスライスベース２９を導電性を有する接着剤２７で接
着したもの。また、その切断方法として、インゴット２
８と複数本の切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…との間に電
圧を印加しながらインゴット２８をスライスベース２９
と反対の側から切断送りすることにより放電切断し、か
つ、上記スライスベース２９に到達するまで切り込む。
る。 【解決手段】 導電性を有する材料からなり、その軸方
向に並ぶ複数個所でワイヤ放電切断加工されるインゴッ
ト２８であって、その周方向の一部に、当該インゴット
２８の軸方向に延び、かつ、当該インゴット２８と同等
の材質またはこれと放電加工特性が近似する材質からな
るスライスベース２９を導電性を有する接着剤２７で接
着したもの。また、その切断方法として、インゴット２
８と複数本の切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…との間に電
圧を印加しながらインゴット２８をスライスベース２９
と反対の側から切断送りすることにより放電切断し、か
つ、上記スライスベース２９に到達するまで切り込む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、低抵抗シリコン等
の導電性を有する材料からなるインゴット及びそのイン
ゴットを切断加工する方法に関するものである。
の導電性を有する材料からなるインゴット及びそのイン
ゴットを切断加工する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、インゴットからウェハを切り出す
手段として、砥粒を用いたワイヤソーが知られている。
このワイヤソーでは、複数のガイドローラ間に巻回され
た切断用ワイヤをその長手方向に高速駆動しながら、そ
のワイヤに対して円柱状のインゴットを切断送りするこ
とにより、このインゴットから多数枚のウェハを同時に
切り出すことができる。
手段として、砥粒を用いたワイヤソーが知られている。
このワイヤソーでは、複数のガイドローラ間に巻回され
た切断用ワイヤをその長手方向に高速駆動しながら、そ
のワイヤに対して円柱状のインゴットを切断送りするこ
とにより、このインゴットから多数枚のウェハを同時に
切り出すことができる。
【０００３】しかし、このようなワイヤソーでは、ガイ
ドローラ間に形成された複数本の切断ワイヤ部分に対
し、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時
供給する必要があり、その取扱いは容易でない。また、
ワイヤがインゴットに直接接触するため、切断中にワイ
ヤが断線するおそれがあり、このような断線が生じた場
合には復旧までに長時間を要する不都合がある。さら
に、加工能率についても、上記従来のワイヤソーでは、
直径８インチのインゴットからウェハを切り出すのに８
時間程度を要しており、加工時間短縮のニーズが高まっ
ている。
ドローラ間に形成された複数本の切断ワイヤ部分に対
し、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時
供給する必要があり、その取扱いは容易でない。また、
ワイヤがインゴットに直接接触するため、切断中にワイ
ヤが断線するおそれがあり、このような断線が生じた場
合には復旧までに長時間を要する不都合がある。さら
に、加工能率についても、上記従来のワイヤソーでは、
直径８インチのインゴットからウェハを切り出すのに８
時間程度を要しており、加工時間短縮のニーズが高まっ
ている。
【０００４】そこで近年は、導電性を有するインゴット
を効率良く切断する手段として、当該インゴットと切断
用ワイヤとの間に電圧を断続的に印加し、各切断ワイヤ
部分によってインゴットを放電加工の原理で切断する放
電式ワイヤソーの開発が進められている（例えば特開平
９−２４８７１９号公報参照）。
を効率良く切断する手段として、当該インゴットと切断
用ワイヤとの間に電圧を断続的に印加し、各切断ワイヤ
部分によってインゴットを放電加工の原理で切断する放
電式ワイヤソーの開発が進められている（例えば特開平
９−２４８７１９号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記ワイヤソーでイン
ゴットの切断を行うにあたり、このインゴットを単独で
切断ワイヤ部分に対して切断送りをすると、インゴット
切断終了段階でウェハが急激に分解されるため、その切
り終わり部分でウェハに欠損が生じるおそれがある。そ
こで従来は、このような欠損を防止する手段として、例
えばシリコンインゴットの表面にその軸方向に延びるカ
ーボン製のスライスベースを接着し、このスライスベー
スの半ばに到達するまでワイヤで切り込んでインゴット
を完全に切断してから、これにより切り出されたウェハ
をスライスベースから剥離させるといった方法がとられ
ている（特開平10−217036号公報）。
ゴットの切断を行うにあたり、このインゴットを単独で
切断ワイヤ部分に対して切断送りをすると、インゴット
切断終了段階でウェハが急激に分解されるため、その切
り終わり部分でウェハに欠損が生じるおそれがある。そ
こで従来は、このような欠損を防止する手段として、例
えばシリコンインゴットの表面にその軸方向に延びるカ
ーボン製のスライスベースを接着し、このスライスベー
スの半ばに到達するまでワイヤで切り込んでインゴット
を完全に切断してから、これにより切り出されたウェハ
をスライスベースから剥離させるといった方法がとられ
ている（特開平10−217036号公報）。
【０００６】しかし、このようなカーボンと上記シリコ
ンとでは、放電切断時の加工特性が大幅に異なるため、
スライスベース貼り付け部分（すなわちインゴットとス
ライスベースとの境界部分）で加工能率が急変すること
により、切り出されるウェハの加工形状（例えば厚さや
そり形状）に悪影響を及ぼすおそれがある。
ンとでは、放電切断時の加工特性が大幅に異なるため、
スライスベース貼り付け部分（すなわちインゴットとス
ライスベースとの境界部分）で加工能率が急変すること
により、切り出されるウェハの加工形状（例えば厚さや
そり形状）に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００７】また、上記スライスベースをインゴットに
接着するには、一般にエポキシ樹脂等からなる接着剤が
用いられるが、当該接着剤は導電性が低いため、インゴ
ットの切り込みが進んでそのつながり部分の断面積が減
少するにつれ、インゴット軸方向の電気的抵抗が増大す
ることにより、その軸方向全域にわたって均一の効率で
切断加工ができなくなり、これに起因して均一なウェハ
の切り出しができなくなるおそれもある。
接着するには、一般にエポキシ樹脂等からなる接着剤が
用いられるが、当該接着剤は導電性が低いため、インゴ
ットの切り込みが進んでそのつながり部分の断面積が減
少するにつれ、インゴット軸方向の電気的抵抗が増大す
ることにより、その軸方向全域にわたって均一の効率で
切断加工ができなくなり、これに起因して均一なウェハ
の切り出しができなくなるおそれもある。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑み、高い形
状精度で放電切断加工をすることができるインゴット及
びその切断方法を提供することを目的とする。
状精度で放電切断加工をすることができるインゴット及
びその切断方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、導電性を有する材料からな
り、その軸方向に並ぶ複数個所でワイヤ放電切断加工さ
れるインゴットであって、その周方向の一部に、当該イ
ンゴットの軸方向に延びかつ当該インゴットと同等の材
質からなるスライスベースを導電性を有する接着剤で接
着したものである。
の手段として、本発明は、導電性を有する材料からな
り、その軸方向に並ぶ複数個所でワイヤ放電切断加工さ
れるインゴットであって、その周方向の一部に、当該イ
ンゴットの軸方向に延びかつ当該インゴットと同等の材
質からなるスライスベースを導電性を有する接着剤で接
着したものである。
【００１０】このインゴットによれば、当該インゴット
と互いに平行な複数本の切断ワイヤ部分との間に電圧を
印加しながらインゴットを各切断ワイヤ部分に対して上
記スライスベースと反対の側から切断送りすることによ
り、当該インゴットをその軸方向に並ぶ複数個所で各切
断ワイヤ部分により同時に放電切断できる。そして、上
記スライスベースに到達するまで切り込むことにより、
スライスベースがない場合のように切断終了位置で切り
出したウェハが破損してしまう不都合を回避することが
できる。
と互いに平行な複数本の切断ワイヤ部分との間に電圧を
印加しながらインゴットを各切断ワイヤ部分に対して上
記スライスベースと反対の側から切断送りすることによ
り、当該インゴットをその軸方向に並ぶ複数個所で各切
断ワイヤ部分により同時に放電切断できる。そして、上
記スライスベースに到達するまで切り込むことにより、
スライスベースがない場合のように切断終了位置で切り
出したウェハが破損してしまう不都合を回避することが
できる。
【００１１】しかも、上記スライスベースはインゴット
と同等の材質であるため、インゴットの切断領域からス
ライスベースの切断領域へ移行する際に加工能率が急変
するおそれはなく、これに起因してウェハの形状精度に
悪影響が与えられるおそれがない。また、スライスベー
スとインゴットとは導電性を有する接着剤で接着してい
るので、ワイヤによる切込み位置に関わらず（すなわち
インゴットにおいて相互つながっている部分の断面積の
変化に関わらず）、インゴット側に常に高い導電性を確
保することができ、安定した放電加工ができる。
と同等の材質であるため、インゴットの切断領域からス
ライスベースの切断領域へ移行する際に加工能率が急変
するおそれはなく、これに起因してウェハの形状精度に
悪影響が与えられるおそれがない。また、スライスベー
スとインゴットとは導電性を有する接着剤で接着してい
るので、ワイヤによる切込み位置に関わらず（すなわち
インゴットにおいて相互つながっている部分の断面積の
変化に関わらず）、インゴット側に常に高い導電性を確
保することができ、安定した放電加工ができる。
【００１２】さらに、上記電圧を印加するにあたり、電
源からの接続端子を上記スライスベースに直接接続する
ことも可能であり、この場合には、スライスベースを電
気導通路とすることにより、切断加工終了まで常に軸方
向に均一な放電電圧を確保することができる。
源からの接続端子を上記スライスベースに直接接続する
ことも可能であり、この場合には、スライスベースを電
気導通路とすることにより、切断加工終了まで常に軸方
向に均一な放電電圧を確保することができる。
【００１３】上記スライスベースは、インゴットと同材
質のものが好ましいが、その代替手段として、インゴッ
トと放電加工特性の近似する材質からなるものを用いて
も、上述の加工能率の急変を防ぐことができる。具体的
には、熱伝導率λ［Ｗ／(ｍ・Ｋ)］と融点θ［Ｋ］の積
λθがインゴットの材質とほぼ等しい材料のもので上記
スライスベースを構成するのが好ましい。
質のものが好ましいが、その代替手段として、インゴッ
トと放電加工特性の近似する材質からなるものを用いて
も、上述の加工能率の急変を防ぐことができる。具体的
には、熱伝導率λ［Ｗ／(ｍ・Ｋ)］と融点θ［Ｋ］の積
λθがインゴットの材質とほぼ等しい材料のもので上記
スライスベースを構成するのが好ましい。
【００１４】例えば、インゴットが低抵抗シリコンから
なるものである場合、スライスベースも低抵抗シリコン
製とするのが理想的であるが、より安価な鉄鋼材料をス
ライスベースの材質として使用することも可能である。
なるものである場合、スライスベースも低抵抗シリコン
製とするのが理想的であるが、より安価な鉄鋼材料をス
ライスベースの材質として使用することも可能である。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明にかかる実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１６】図３は、本発明方法を実施するためのワイ
ヤソーの一例を示したものである。このワイヤソーは、
一対のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、プー
リ１２Ａ，１２Ｂ、プーリ１４Ａ，１４Ｂ、プーリ１６
Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８Ｂ、プー
リ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４Ａ，２
４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。ガイドローラ２４
Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイドロー
ラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４Ａ，２４
Ｂの下方の位置に配されており、ガイドローラ２６Ａが
駆動モータ２５によって回転駆動されるようになってい
る。
ヤソーの一例を示したものである。このワイヤソーは、
一対のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、プー
リ１２Ａ，１２Ｂ、プーリ１４Ａ，１４Ｂ、プーリ１６
Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８Ｂ、プー
リ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４Ａ，２
４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。ガイドローラ２４
Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイドロー
ラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４Ａ，２４
Ｂの下方の位置に配されており、ガイドローラ２６Ａが
駆動モータ２５によって回転駆動されるようになってい
る。
【００１７】各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０
Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂ
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂとを備えている。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１
０Ａのボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、プーリ
１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力調節装置１８Ａの
プーリ２０Ａ、及びプーリ２２Ａの順に掛けられ、さら
に多数のガイド溝をもつガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，
２６Ｂ，２６Ａの外側に多数回巻回された後、プーリ２
２Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ｂのプーリ２０Ｂ、プー
リ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けられ、他方のワイ
ヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９Ｂに巻き取られ
ており、両ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８Ｂによって
ワイヤＷに適当な張力が与えられている。そして、駆動
モータ２５によるガイドローラ２６Ａの回転駆動方向
と、各ボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂによるボビン９
Ａ，９Ｂの回転駆動方向が正逆に切換えられることによ
り、ワイヤＷがボビン９Ａから繰り出されてボビン９Ｂ
に巻き取られる状態と、ワイヤＷがボビン９Ｂから繰り
出されてボビン９Ａに巻き取られる状態とに切換えられ
るようになっている。
Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂ
と、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１
Ｂとを備えている。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１
０Ａのボビン９Ａから繰り出されたワイヤＷは、プーリ
１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力調節装置１８Ａの
プーリ２０Ａ、及びプーリ２２Ａの順に掛けられ、さら
に多数のガイド溝をもつガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，
２６Ｂ，２６Ａの外側に多数回巻回された後、プーリ２
２Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ｂのプーリ２０Ｂ、プー
リ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けられ、他方のワイ
ヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９Ｂに巻き取られ
ており、両ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８Ｂによって
ワイヤＷに適当な張力が与えられている。そして、駆動
モータ２５によるガイドローラ２６Ａの回転駆動方向
と、各ボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂによるボビン９
Ａ，９Ｂの回転駆動方向が正逆に切換えられることによ
り、ワイヤＷがボビン９Ａから繰り出されてボビン９Ｂ
に巻き取られる状態と、ワイヤＷがボビン９Ｂから繰り
出されてボビン９Ａに巻き取られる状態とに切換えられ
るようになっている。
【００１８】すなわち、このワイヤソーにおいては、図
１に示すように、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に、
単一の切断用ワイヤＷで構成された多数本のワイヤ切断
部分（図１では便宜上５本の切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ
２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５のみ図示）が互いに平行な状態で
張られながらその長手方向に往復駆動されるようになっ
ている。
１に示すように、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に、
単一の切断用ワイヤＷで構成された多数本のワイヤ切断
部分（図１では便宜上５本の切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ
２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５のみ図示）が互いに平行な状態で
張られながらその長手方向に往復駆動されるようになっ
ている。
【００１９】図３に示すように、ガイドローラ２４Ａ，
２４Ｂ間に張られたワイヤＷの上方には、円柱状のイン
ゴット２８を横向きの状態で昇降させるインゴット送り
装置３０が設けられている。
２４Ｂ間に張られたワイヤＷの上方には、円柱状のイン
ゴット２８を横向きの状態で昇降させるインゴット送り
装置３０が設けられている。
【００２０】上記インゴット２８は、例えば低抵抗シリ
コンのように導電性を有する材料からなり、その周方向
一部（図では上部）には、当該インゴット２８の軸方向
に延びるスライスベース２９が接着剤２７によって接着
されている。
コンのように導電性を有する材料からなり、その周方向
一部（図では上部）には、当該インゴット２８の軸方向
に延びるスライスベース２９が接着剤２７によって接着
されている。
【００２１】このスライスベース２９の材質は、インゴ
ット２８と同等のもの（この実施の形態では低抵抗シリ
コン）が好ましいが、これと放電加工特性が近似する材
料を代替手段として用いることが可能である。具体的に
は、インゴット２８と比べて、熱伝導率λ［Ｗ／(ｍ・
Ｋ)］と融点θ［Ｋ］の積λθがほぼ等しい値をもった
ものが好適であり、例えばインゴット２８が低抵抗シリ
コンからなる場合には、スライスベース２９の材質とし
て鉄鋼材料が好適である。参考として、Ｓｉ及びＦｅの
熱伝導率λ、融点θ、及びその積λθの値を次の表１に
示す。
ット２８と同等のもの（この実施の形態では低抵抗シリ
コン）が好ましいが、これと放電加工特性が近似する材
料を代替手段として用いることが可能である。具体的に
は、インゴット２８と比べて、熱伝導率λ［Ｗ／(ｍ・
Ｋ)］と融点θ［Ｋ］の積λθがほぼ等しい値をもった
ものが好適であり、例えばインゴット２８が低抵抗シリ
コンからなる場合には、スライスベース２９の材質とし
て鉄鋼材料が好適である。参考として、Ｓｉ及びＦｅの
熱伝導率λ、融点θ、及びその積λθの値を次の表１に
示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】また、上記接着剤２７にも導電性が要求さ
れるが、この接着剤２７には、例えばエポキシ樹脂から
なるベースに市販の導電性フィラーを均質に混合したも
のが好適である。
れるが、この接着剤２７には、例えばエポキシ樹脂から
なるベースに市販の導電性フィラーを均質に混合したも
のが好適である。
【００２４】また、インゴット２８の材質は、放電切断
加工ができる程度に導電性を有していれば良く、半導体
材料でも適用が可能である。
加工ができる程度に導電性を有していれば良く、半導体
材料でも適用が可能である。
【００２５】上記インゴット送り装置３０は、インゴッ
ト保持部３２と、インゴット送りモータ３４とを備えて
いる。インゴット保持部３２は、上記インゴット２８及
びスライスベース２９をその軸方向とワイヤ並び方向と
が合致する向きに保持するものであり、インゴット送り
モータ３４は、図略のボールネジとの組み合わせによ
り、上記インゴット保持部３２とインゴット２８とを一
体に昇降させる（すなわち切断送りする）ものである。
ト保持部３２と、インゴット送りモータ３４とを備えて
いる。インゴット保持部３２は、上記インゴット２８及
びスライスベース２９をその軸方向とワイヤ並び方向と
が合致する向きに保持するものであり、インゴット送り
モータ３４は、図略のボールネジとの組み合わせによ
り、上記インゴット保持部３２とインゴット２８とを一
体に昇降させる（すなわち切断送りする）ものである。
【００２６】ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に張られ
たワイヤＷの上方において、インゴット２８とその左右
両側に位置する後述の電極ユニット４０との間の位置に
は、加工液供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられている。
これらの加工液供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速駆動さ
れる各ワイヤＷに対して加工液（スラリーではない）を
同時供給し、これをワイヤＷに付着させるものである。
たワイヤＷの上方において、インゴット２８とその左右
両側に位置する後述の電極ユニット４０との間の位置に
は、加工液供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられている。
これらの加工液供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速駆動さ
れる各ワイヤＷに対して加工液（スラリーではない）を
同時供給し、これをワイヤＷに付着させるものである。
【００２７】従って、このワイヤソーでは、ガイドロー
ラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本の切断ワイヤ部分
Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，…（図１）がその長手
方向に同時高速駆動され、かつ、これらのワイヤＷに加
工液供給装置３６Ａ，３６Ｂから供給された加工液が放
電切断位置に供給されながら、これらのワイヤＷに対し
てインゴット２８が下方に切断送りされるようになって
いる。
ラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本の切断ワイヤ部分
Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，…（図１）がその長手
方向に同時高速駆動され、かつ、これらのワイヤＷに加
工液供給装置３６Ａ，３６Ｂから供給された加工液が放
電切断位置に供給されながら、これらのワイヤＷに対し
てインゴット２８が下方に切断送りされるようになって
いる。
【００２８】そして、このワイヤソーでは、各切断ワイ
ヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，…によってイン
ゴット２８を放電切断すべく、このインゴット２８と各
切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，…との
間に電圧を印加する手段を備えている。
ヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，…によってイン
ゴット２８を放電切断すべく、このインゴット２８と各
切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，…との
間に電圧を印加する手段を備えている。
【００２９】具体的に、このワイヤソーでは、インゴッ
ト２８の前後の位置に電極ユニット４０（図１，図２）
が配設されるとともに、これら電極ユニット４０を媒介
としてインゴット切断ワイヤ部分間に電圧を印加するた
め電圧印加回路（図４）が具備されている。
ト２８の前後の位置に電極ユニット４０（図１，図２）
が配設されるとともに、これら電極ユニット４０を媒介
としてインゴット切断ワイヤ部分間に電圧を印加するた
め電圧印加回路（図４）が具備されている。
【００３０】図２に示すように、各電極ユニット４０
は、切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…と同数の導体ブロッ
ク４１と絶縁ブロック４２とが交互に並べて配置された
ものであり、これらのブロック４１，４２をボルト４３
が横方向に貫通した状態で当該ボルト４３の端部にナッ
ト４４が締め付けられることにより、ブロック４１，４
２が一体化されている。各導体ブロック４１の上端に
は、電圧印加回路から導出されたケーブル４６の導体端
末４６ａがはんだ付け４７によって接続されるととも
に、図２に示すように各導体ブロック４１の下面が各切
断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…と接触する位置に、電極ユ
ニット４０が配設されている。また、各ブロック４１，
４２とボルト４３との間には、その隙間を埋めるための
カラー４５が介設されている。
は、切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…と同数の導体ブロッ
ク４１と絶縁ブロック４２とが交互に並べて配置された
ものであり、これらのブロック４１，４２をボルト４３
が横方向に貫通した状態で当該ボルト４３の端部にナッ
ト４４が締め付けられることにより、ブロック４１，４
２が一体化されている。各導体ブロック４１の上端に
は、電圧印加回路から導出されたケーブル４６の導体端
末４６ａがはんだ付け４７によって接続されるととも
に、図２に示すように各導体ブロック４１の下面が各切
断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…と接触する位置に、電極ユ
ニット４０が配設されている。また、各ブロック４１，
４２とボルト４３との間には、その隙間を埋めるための
カラー４５が介設されている。
【００３１】なお、この電極ユニット４０は必ずしもイ
ンゴット２８の前後の位置に設けなくてもよく、その前
側位置もしくは後側位置にのみ設けるようにしてもよ
い。また、このようなユニット化をせず、各導体ブロッ
ク４１に相当する接触子を個別に配置するようにしても
よい。
ンゴット２８の前後の位置に設けなくてもよく、その前
側位置もしくは後側位置にのみ設けるようにしてもよ
い。また、このようなユニット化をせず、各導体ブロッ
ク４１に相当する接触子を個別に配置するようにしても
よい。
【００３２】上記電圧印加回路は、図４に示すように、
電極ユニット４０の各導体ブロック４１とインゴット側
接続端子３８との間にトランジスタＴ及び直流電源Ｅを
直列に配したものであり、上記接続端子３８はスライス
ベース２９に直接接続されている。各トランジスタＴの
ベースはコントローラ５０に接続されており、このコン
トローラ５０による制御信号の出力によって各トランジ
スタＴが個別に所定の周波数でオンオフ作動し、これに
より当該周波数をもつパルス電圧がスライスベース２９
及びインゴット２８と各切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ
３，…との間に個別に印加される（すなわち電圧が断続
的に印加される）ようになっている。
電極ユニット４０の各導体ブロック４１とインゴット側
接続端子３８との間にトランジスタＴ及び直流電源Ｅを
直列に配したものであり、上記接続端子３８はスライス
ベース２９に直接接続されている。各トランジスタＴの
ベースはコントローラ５０に接続されており、このコン
トローラ５０による制御信号の出力によって各トランジ
スタＴが個別に所定の周波数でオンオフ作動し、これに
より当該周波数をもつパルス電圧がスライスベース２９
及びインゴット２８と各切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ
３，…との間に個別に印加される（すなわち電圧が断続
的に印加される）ようになっている。
【００３３】また、各切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ
３，Ｗ４，…の間のワイヤ部分は特定のガイドローラ
（図例ではガイドローラ２６Ｂ）に複数回（図１では５
回）巻かれることにより、コイル状部分５１，５２，…
が形成されており、これらのコイル状部分５１，５２，
…の形成により、各切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，
…同士の間に大きなインダクタンスが形成され、このイ
ンダクタンスとワイヤ自身の抵抗とからなる合成インピ
ーダンスによって各切断ワイヤ部分間の電気的絶縁性が
確保されるようになっている。
３，Ｗ４，…の間のワイヤ部分は特定のガイドローラ
（図例ではガイドローラ２６Ｂ）に複数回（図１では５
回）巻かれることにより、コイル状部分５１，５２，…
が形成されており、これらのコイル状部分５１，５２，
…の形成により、各切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，
…同士の間に大きなインダクタンスが形成され、このイ
ンダクタンスとワイヤ自身の抵抗とからなる合成インピ
ーダンスによって各切断ワイヤ部分間の電気的絶縁性が
確保されるようになっている。
【００３４】なお、このようなインピーダンスを確保す
るには、上記のようなコイル状部分を形成するほか、切
断ワイヤ部分間に大きなワイヤ長を確保するようにして
もよい。また、１本の切断用ワイヤで１本の切断ワイヤ
部分を形成する（すなわち切断ワイヤ部分の所要本数と
同数の切断用ワイヤを用意する）ようにしてもよいし、
前記特開平９−２４８７１９号公報に示すように１本の
切断用ワイヤで複数本（例えば３本）の切断ワイヤ部分
を形成するとともに、各切断用ワイヤごとに放電電圧を
印加するようにしてもよい。
るには、上記のようなコイル状部分を形成するほか、切
断ワイヤ部分間に大きなワイヤ長を確保するようにして
もよい。また、１本の切断用ワイヤで１本の切断ワイヤ
部分を形成する（すなわち切断ワイヤ部分の所要本数と
同数の切断用ワイヤを用意する）ようにしてもよいし、
前記特開平９−２４８７１９号公報に示すように１本の
切断用ワイヤで複数本（例えば３本）の切断ワイヤ部分
を形成するとともに、各切断用ワイヤごとに放電電圧を
印加するようにしてもよい。
【００３５】次に、このワイヤソーを用いたインゴット
２８の切断方法を説明する。
２８の切断方法を説明する。
【００３６】まず、インゴット送り装置３０のインゴッ
ト保持部３２にインゴット２８を保持させ、このインゴ
ット２８のスライスベース２９に図４に示す接続端子３
８を接続した後、同図に示す回路によって所定周波数を
もつ電圧をスライスベース２９及びインゴット２８と各
切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…との間に印加しながら、
インゴット２８を当該切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…に
向けて切断送りすることにより、このインゴット２８を
スライスベース２９と反対の側（図１及び図４では下
側）から切込む。
ト保持部３２にインゴット２８を保持させ、このインゴ
ット２８のスライスベース２９に図４に示す接続端子３
８を接続した後、同図に示す回路によって所定周波数を
もつ電圧をスライスベース２９及びインゴット２８と各
切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…との間に印加しながら、
インゴット２８を当該切断ワイヤ部分Ｗ１，Ｗ２，…に
向けて切断送りすることにより、このインゴット２８を
スライスベース２９と反対の側（図１及び図４では下
側）から切込む。
【００３７】この切込みは、インゴット２８を完全に切
断し、スライスベース２９の途中部分まで到達した段階
で停止する。この段階では、インゴット２８が多数枚の
ウェハに分断され、かつ、これらのウェハが共通のスラ
イスベース２９につながった状態にある。この切断済ワ
ークをワイヤソーから取り出し、各ウェハをスライスベ
ース２９から剥離させることにより、ウェハの破損など
を生じることなく多数枚のウェハを一度に得ることがで
きる。
断し、スライスベース２９の途中部分まで到達した段階
で停止する。この段階では、インゴット２８が多数枚の
ウェハに分断され、かつ、これらのウェハが共通のスラ
イスベース２９につながった状態にある。この切断済ワ
ークをワイヤソーから取り出し、各ウェハをスライスベ
ース２９から剥離させることにより、ウェハの破損など
を生じることなく多数枚のウェハを一度に得ることがで
きる。
【００３８】しかも、この方法では、上記スライスベー
ス２９の材質をインゴット２８の材質と同等またはこれ
と放電加工特性の近似した材質としているので、例えば
従来のスライスベースのようにカーボン製のものを用い
る場合と異なり、インゴット加工領域からスライスベー
ス加工領域に移る際に加工能率が急変することがなく、
よってこれに起因するウェハ形状精度の乱れを事前に防
止することができる。
ス２９の材質をインゴット２８の材質と同等またはこれ
と放電加工特性の近似した材質としているので、例えば
従来のスライスベースのようにカーボン製のものを用い
る場合と異なり、インゴット加工領域からスライスベー
ス加工領域に移る際に加工能率が急変することがなく、
よってこれに起因するウェハ形状精度の乱れを事前に防
止することができる。
【００３９】また、この方法では、インゴット２８とス
ライスベース２９との接着に導電性を有する接着剤２７
を用いるとともに、スライスベース２９に接続端子３６
を接続しているので、切込み位置にかかわらず常に高い
導電性をインゴット２８側に確保することかでき、終始
良好な切断加工ができる。
ライスベース２９との接着に導電性を有する接着剤２７
を用いるとともに、スライスベース２９に接続端子３６
を接続しているので、切込み位置にかかわらず常に高い
導電性をインゴット２８側に確保することかでき、終始
良好な切断加工ができる。
【００４０】なお、本発明では上記接続端子３８をスラ
イスベース２９ではなく例えばインゴット２８の軸方向
端面に接続するようにしてもよい。この場合も、上記接
着剤２７として導電性を有するものを用いることによ
り、インゴット２８の軸方向全域にわたって電圧を印加
することが可能になる。ただし、上記のようにスライス
ベース２９に直接接続端子３８を接続するようにすれ
ば、切断加工終了まで各切断ワイヤ部分とインゴット２
８との間の放電電圧を均一に確保することが可能とな
る。
イスベース２９ではなく例えばインゴット２８の軸方向
端面に接続するようにしてもよい。この場合も、上記接
着剤２７として導電性を有するものを用いることによ
り、インゴット２８の軸方向全域にわたって電圧を印加
することが可能になる。ただし、上記のようにスライス
ベース２９に直接接続端子３８を接続するようにすれ
ば、切断加工終了まで各切断ワイヤ部分とインゴット２
８との間の放電電圧を均一に確保することが可能とな
る。
【００４１】また、本発明において、最終的な切込み位
置（切込み終了位置）は、スライスベース到達後であれ
ば特に問わず、例えばスライスベース２９も完全切断し
てしまうようにしてもよい。この場合、切断工程終了
後、各ウェハからスライスベース２９を個別に剥離させ
るようにすればよい。
置（切込み終了位置）は、スライスベース到達後であれ
ば特に問わず、例えばスライスベース２９も完全切断し
てしまうようにしてもよい。この場合、切断工程終了
後、各ウェハからスライスベース２９を個別に剥離させ
るようにすればよい。
【００４２】
【発明の効果】以上のように本発明は、導電性を有する
材料からなり、その軸方向に並ぶ複数個所でワイヤ放電
切断加工されるインゴットであって、その周方向の一部
に、当該インゴットの軸方向に延び、かつ、当該インゴ
ットと同等の材質またはこれと放電加工特性が近似する
材質からなるスライスベースを導電性を有する接着剤で
接着したものであり、また、その切断方法として、当該
インゴットと互いに平行な複数本の切断ワイヤ部分との
間に電圧を印加しながらインゴットを各切断ワイヤ部分
に対して上記スライスベースと反対の側から切断送りす
ることにより、当該インゴットをその軸方向に並ぶ複数
個所で各切断ワイヤ部分により同時に放電切断し、か
つ、上記スライスベースに到達するまで切り込むように
したものであるので、インゴットを高い形状精度で放電
切断加工することができる効果がある。
材料からなり、その軸方向に並ぶ複数個所でワイヤ放電
切断加工されるインゴットであって、その周方向の一部
に、当該インゴットの軸方向に延び、かつ、当該インゴ
ットと同等の材質またはこれと放電加工特性が近似する
材質からなるスライスベースを導電性を有する接着剤で
接着したものであり、また、その切断方法として、当該
インゴットと互いに平行な複数本の切断ワイヤ部分との
間に電圧を印加しながらインゴットを各切断ワイヤ部分
に対して上記スライスベースと反対の側から切断送りす
ることにより、当該インゴットをその軸方向に並ぶ複数
個所で各切断ワイヤ部分により同時に放電切断し、か
つ、上記スライスベースに到達するまで切り込むように
したものであるので、インゴットを高い形状精度で放電
切断加工することができる効果がある。
【図１】本発明の実施の形態にかかる放電式ワイヤソー
の要部を示す斜視図である。
の要部を示す斜視図である。
【図２】上記ワイヤソーに用いられる電極ユニットの断
面正面図である。
面正面図である。
【図３】上記ワイヤソーの全体構成図である。
【図４】上記ワイヤソーに具備される電圧印加回路を示
した図である。
した図である。
Ｗ 切断用ワイヤ Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５ 切断ワイヤ部分 Ｅ 電源 Ｔ トランジスタ ２７ 導電性を有する接着剤 ２８ インゴット ２９ スライスベース ３８ 接続端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川口 桂司 広島市南区宇品東５丁目３番38号 トーヨ ーエイテック株式会社内 Ｆターム(参考） 3C059 AA01 AB05 BA03 BA16 CH09 DA06 FA02 FB02 FB03 FB04 HA02 4G077 AA02 AB06 BA04 FK18
Claims (7)
- 【請求項１】 導電性を有する材料からなり、その軸方
向に並ぶ複数個所でワイヤ放電切断加工されるインゴッ
トであって、その周方向の一部に、当該インゴットの軸
方向に延びかつ当該インゴットと同等の材質からなるス
ライスベースを、導電性を有する接着剤で接着したこと
を特徴とする導電性を有するインゴット。 - 【請求項２】 導電性を有する材料からなり、その軸方
向に並ぶ複数個所でワイヤ放電切断加工されるインゴッ
トであって、その周方向の一部に、当該インゴットの軸
方向に延び、かつ、当該インゴットと放電加工特性の近
似する材質からなるスライスベースを導電性を有する接
着剤で接着したことを特徴とする導電性を有するインゴ
ット。 - 【請求項３】 請求項２記載の導電性を有するインゴッ
トにおいて、上記スライスベースが、熱伝導率λ［Ｗ／
(ｍ・Ｋ)］と融点θ［Ｋ］の積λθが当該インゴットの
材質とほぼ等しい材料で形成されていることを特徴とす
る導電性を有するインゴット。 - 【請求項４】 請求項１記載の導電性を有するインゴッ
トにおいて、当該インゴット及びスライスベースが低抵
抗シリコンからなることを特徴とする導電性を有するイ
ンゴット。 - 【請求項５】 請求項３記載の導電性を有するインゴッ
トにおいて、当該インゴットが低抵抗シリコンからな
り、上記スライスベースが鉄鋼材料からなることを特徴
とする導電性を有するインゴット。 - 【請求項６】 導電性を有する材料からなるインゴット
の切断方法であって、当該インゴットの周方向の一部
に、当該インゴットの軸方向に延び、かつ、当該インゴ
ットと放電加工特性の近似する材質からなるスライスベ
ースを導電性を有する接着剤で接着しておき、このイン
ゴットと互いに平行な複数本の切断ワイヤ部分との間に
電圧を印加しながらインゴットを各切断ワイヤ部分に対
して上記スライスベースと反対の側から切断送りするこ
とにより当該インゴットをその軸方向に並ぶ複数個所で
各切断ワイヤ部分により同時に放電切断し、かつ、上記
スライスベースに到達するまで切り込むことを特徴とす
る導電性を有するインゴットの切断方法。 - 【請求項７】 請求項６記載の導電性を有するインゴッ
トの切断方法において、上記電圧を印加するにあたり、
電源からの接続端子を上記スライスベースに直接接続す
ることを特徴とする導電性を有するインゴットの切断方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10280109A JP2000109397A (ja) | 1998-10-01 | 1998-10-01 | 導電性を有するインゴット及びその切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10280109A JP2000109397A (ja) | 1998-10-01 | 1998-10-01 | 導電性を有するインゴット及びその切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000109397A true JP2000109397A (ja) | 2000-04-18 |
Family
ID=17620457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10280109A Withdrawn JP2000109397A (ja) | 1998-10-01 | 1998-10-01 | 導電性を有するインゴット及びその切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000109397A (ja) |
Cited By (12)
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-
1998
- 1998-10-01 JP JP10280109A patent/JP2000109397A/ja not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|
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