JP2016087743A - 保持装置とその保持方法、ワイヤ放電加工装置およびその加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、前記ワークを保持する面で前記ワークを吸着保持しない状態では、前記通電部単独で前記ワークを保持できないことを特徴とする。
また、前記保持装置が円柱型のSiCインゴットを前記放電加工するために用いられることを特徴とする。
メインローラ8,9の上部に、ワーク送りユニット3にワーク105を取付けてから、下方向にワーク105を移動し放電加工を行う。
1個の給電子104に対応して1個の電源回路が構成されている。
給電子104から放電部分までの間を流れる電流は、メインローラ8、9を経由する左右2つの経路から流れ、各経路にはワイヤの素材による抵抗が存在する。
このようにワイヤ103がメインローラ8、9に取り付けられることで、メインローラ8、9の上側及び下側にはワイヤ列を形成している。
ウエハ回収部808はウレタンやスポンジ状の樹脂等から構成され、ウエハ106が破損しないような材料が用いられる。
さらには、加工槽6に取り付けられるウエハ回収部808は、加工液の流れによる加工槽6の揺れなどの振動を吸収して和らげることができる。
(本発明の他の実施形態)
なお、上述した各実施形態およびその変形例を組み合わせた構成も全て本発明に含まれるものである。
図3乃至図6を説明する。図3乃至図6は本発明の保持装置800の実施形態を示す。
以下第1の保持部811に設けられた機能をそれぞれ説明する。
尚、第1の保持部811の形状は、実施例に示した板状の形状には限定されず、ワーク105を吸着する面を備えた形状であればよい。
以下第2の保持部812に設けられた機能をそれぞれ説明する。
ネジ穴Aは、保持部811や812はビスやネジなどの固定部材を用いて土台815に取り付ける穴である。
また第1の保持部811には、ネジを使って土台815に取り付けるためのネジ穴が2か所に設けられている。
また第2の保持部812には、ネジを使って土台815に取り付けるためのネジ穴が4か所に設けられている。
通電ローラ814はビスやネジなどの固定部材を用いて土台815と通電するように取り付けられ、土台815はワーク送りユニット3と通電する。
バキューム接続部2002は、保持装置800と、放電加工を行うワイヤ放電加工装置1から配線されたバキューム配管2003とを連結させる部分である。
また土台815には、保持部811、812を取り付けるためのネジ穴が外側の計6か所に設けられている。
2 電源装置
3 ワーク送りユニット
103 ワイヤ
104 給電子
105 ワーク
800 保持装置
808 ウエハ回収部
811 第1の保持部
812 第2の保持部
814 通電ローラ
815 土台
2000 バキューム溝
2002 バキューム接続部
2003 バキューム配管
Claims (11)
- 並設されたワイヤでワークをスライスする放電加工において用いられる保持装置であって、
前記ワークを保持する保持部と、
前記放電加工時に前記ワークに電流が流れるように通電する通電部と、
を備え、
前記ワイヤによって放電加工されない箇所で、前記保持部が前記ワークを保持し、
前記ワイヤによって前記放電加工が終了する箇所に、前記通電部が配置され、
前記保持部の前記ワークを保持する面で、バキュームを用いて前記ワークを吸着保持することを特徴とする保持装置。 - 前記ワークを保持する面で前記ワークを吸着保持しない状態では、前記通電部単独で前記ワークを保持できないことを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記放電加工が完了した後に、前記ワークを保持する面で前記吸着保持しない状態では、前記放電加工が完了した全てのウエハが前記保持装置から落下することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の保持装置。
- 前記ワークを保持する面ではない箇所に、前記放電加工を行うワイヤ放電加工装置から配線された前記バキュームに接続する接続部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の保持装置。
- 前記保持装置が円柱型のSiCインゴットを前記放電加工するために用いられることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の保持装置。
- 並設されたワイヤでワークをスライスするワイヤ放電加工装置であって、
前記ワークを保持する保持部と、
前記放電加工時に前記ワークに電流が流れるように通電する通電部と、
を備え、
前記ワイヤによって放電加工されない箇所で、前記保持部が前記ワークを保持し、
前記ワイヤによって前記放電加工が終了する箇所に、前記通電部が配置され、
前記保持部の前記ワークを保持する面で、バキュームを用いて前記ワークを吸着保持することを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 前記ワークを保持する面で前記ワークを吸着保持しない状態では、前記通電部単独で前記ワークを保持できないことを特徴とする請求項6に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記放電加工が完了した後に、前記ワークを保持する面で前記吸着保持しない状態では、前記放電加工が完了した全てのウエハが落下することを特徴とする請求項6または請求項7に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記ワークを浸漬する加工槽をさらに備え、
前記落下した全てのウエハを回収するウエハ回収部が前記加工槽内に設けられていることを特徴とする請求項8に記載のワイヤ放電加工装置。 - ワークを保持する保持部と、放電加工時に前記ワークに電流が流れるように通電する通電部とを備え、
並設されたワイヤによって放電加工されない箇所で、前記保持部が前記ワークを保持し、
前記ワイヤによって前記放電加工が終了する箇所に、前記通電部が配置され、
前記ワイヤでワークをスライスする放電加工において用いられる保持装置によるワークの保持方法であって、
前記保持部の前記ワークを保持する面で、バキュームを用いて前記ワークを吸着保持することを特徴とする保持方法。 - ワークを保持する保持部と、放電加工時に前記ワークに電流が流れるように通電する通電部とを備え、
並設されたワイヤによって放電加工されない箇所で、前記保持部が前記ワークを保持し、
前記ワイヤによって前記放電加工が終了する箇所に、前記通電部が配置され、
前記ワイヤでワークをスライスするワイヤ放電加工装置によるワークの加工方法であって、
前記保持部の前記ワークを保持する面で、バキュームを用いて前記ワークを吸着保持することを特徴とする加工方法。
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