JP2018024042A - 被加工物の放電加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被加工物の良好な放電加工を実現すること。【解決手段】被加工物の放電加工方法は、導電性を備えたワイヤ（４）と、ワイヤが複数回巻き掛けられるガイドローラー群（２４、２６、２８、３０）と、被加工物（１１）を固定する導電性を備えた基台（４２）と、ワイヤと基台とに電気的に接続され高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニット（５０）と、を有するワイヤ放電加工装置（２）を用い、基台に対して被加工物を電気的に接合するとともに固定する固定ステップと、固定ステップを実施した後、ワイヤと基台との間に高周波パルス電圧を印加し、基台に接合した被加工物とワイヤとの間で生じる放電によって被加工物を加工する放電加工ステップと、を含み、固定ステップでは、導電性カーボンフィラーを含有した導電性接着剤によって基台に被加工物を接合する。【選択図】図４

Description

本発明は、放電を利用してインゴット等の被加工物を加工する被加工物の放電加工方法に関する。

インゴット等の被加工物からウェーハを切り出す場合には、ワイヤソーと呼ばれる加工装置を用いるのが一般的である。この加工装置を用いて導電性を備えたワイヤと被加工物との間で発生する放電を利用して、ウェーハを非接触で切り出す加工方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この加工方法に使用される放電加工装置は、パルス電圧を発生する高周波電源に接続された導電性のある基台を備え、ワイヤソーと基台との間に電圧を印加する。

被加工物を加工する際には、まず、導電性フィラーを分散させた接着剤（導電性接着剤）を用いて基台に被加工物を固定する（例えば、特許文献２参照）。その後、ワイヤと基台との間にパルス電圧を印加して、ワイヤを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませれば、ワイヤと被加工物との間で放電を発生させてウェーハを切り出すことができる。

特開２０００−９４２２１号公報 特開２０００−１０９３９７号公報

ところで、シリコンカーバイド等の導電性が低い材料からなる被加工物を加工する場合には、基台と被加工物とを電気的に接続する接続部分の重要性が高くなる。一方で、この接続部分を構成する導電性接着剤には、必ずしも導電性フィラーが均等に分散されていないので、基台と被加工物との間の電気的な接続にばらつきが発生し易かった。基台と被加工物との間の電気的な接続がばらつくと、例えば、接続部分の近傍で一様な放電を実現できなくなり、加工不良が発生し易い。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、良好な放電加工を実現できる被加工物の放電加工方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様の被加工物の放電加工方法は、被加工物の放電加工方法であって、導電性を備えたワイヤと、該ワイヤが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する導電性を備えた基台と、該基台と該ワイヤとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤを切り込ませる移動手段と、該ワイヤと該基台とに電気的に接続され高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニットと、を有するワイヤ放電加工装置を用い、該基台に対して被加工物を電気的に接合するとともに固定する固定ステップと、該固定ステップを実施した後、該ワイヤと該基台との間に高周波パルス電圧を印加し、該基台に接合した被加工物と該ワイヤとの間で生じる放電によって被加工物を加工する放電加工ステップと、を含み、該固定ステップでは、導電性カーボンフィラーを含有した導電性接着剤によって該基台に被加工物を接合する。

この構成によれば、接着剤に導電性カーボンフィラーを適切な添加量で添加することで、接着剤に導電性フィラーを均等に分散することができる。導電性カーボンフィラーが均等に分散された接着剤によって基台に被加工物を接合、固定するので、基台と被加工物との間の電気的な接続のばらつきを抑制しながら、基台に被加工物を固定できる。つまり、加工不良の発生を防止して良好な放電加工を実現できる。

本発明の一態様の被加工物の放電加工方法においては、該導電性カーボンフィラーは、１０ｗｔ％〜３０ｗｔ％で添加される。

本発明によれば、被加工物の良好な放電加工を実現できる。

本実施の形態に係るワイヤ放電加工装置の構成例を模式的に示す図である。 本実施の形態に係る固定ステップ及び放電加工ステップを模式的に示す図である。 本実施の形態に係る放電加工ステップを模式的に示す斜視図である。 実験例に係る導電性カーボンフィラーの濃度と引っ張り接着強度の関係を示すグラフである。 実験例に係る導電性カーボンフィラーの濃度と電気抵抗の関係を示すグラフである。

添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。本実施の形態に係る被加工物の放電加工方法は、固定ステップ及び放電加工ステップ（図２、図３参照）を含む。

固定ステップでは、基台に対してインゴット等の被加工物を電気的に接合するとともに固定する。具体的には、導電性カーボンフィラーを含有した導電性接着剤によって基台に被加工物を接合する。

放電加工ステップでは、ワイヤと基台との間に高周波パルス電圧を印加し、基台に接合した被加工物とワイヤとの間で生じる放電によって被加工物を加工する。以下、本実施の形態に係る被加工物の放電加工方法について詳述する。

まず、本実施形態に係る被加工物の放電加工方法に使用されるワイヤ放電加工装置について説明する。図１は、本実施の形態に係るワイヤ放電加工装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、ワイヤ放電加工装置２は、ワイヤ４が巻回された繰り出しボビン６を支持する円柱状の繰り出しローラー８を備えている。

繰り出しローラー８の上方には、巻き取りボビン１０を支持する円柱状の巻き取りローラー１２が配置されている。繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４は、放電加工に使用された後、巻き取りボビン１０で巻き取られる。ワイヤ４は、例えば、ピアノ線等をベースに構成されており、被加工物１１の放電加工に必要な導電性を備えている。

繰り出しローラー８に隣接する位置には、繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４を下流側に送る第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第３供給ローラー１８及び第４供給ローラー２０が配置されている。また、第２供給ローラー１６と第３供給ローラー１８との間には、ワイヤ４の張力を調整する第１調整ローラー２２が設けられている。

繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４は、第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第１調整ローラー２２、第３供給ローラー１８、第４供給ローラー２０の順に巻き掛けられて、下流側に送られる。

第４供給ローラー２０の下方には、第４供給ローラー２０から送られたワイヤ４を案内する円柱状の第１ガイドローラー２４が配置されている。第４供給ローラー２０から送られたワイヤ４は、第１ガイドローラー２４に巻き掛けられて下方に案内される。

第１ガイドローラー２４の下方には、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤ４をさらに案内する円柱状の第２ガイドローラー２６が配置されている。第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤ４は、第２ガイドローラー２６に巻き掛けられて水平方向に案内される。

第２ガイドローラー２６から水平方向に離れた位置には、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤ４をさらに案内する円柱状の第３ガイドローラー２８が配置されている。第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤ４は、第３ガイドローラー２８に巻き掛けられて上方に案内される。第３ガイドローラー２８によって上方に案内されたワイヤ４の一部は、被加工物１１を加工する加工部４ａとなる。

第３ガイドローラー２８の上方には、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤ４をさらに案内する円柱状の第４ガイドローラー３０が配置されている。第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤ４は、第４ガイドローラー３０に巻き掛けられて水平方向に案内される。

第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤ４は、第１ガイドローラー２４に再び巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。上述のように、第１ガイドローラー２４には、既にワイヤ４が巻き掛けられているので、ここでは、第１ガイドローラー２４の別の位置にワイヤ４が巻き掛けられる。具体的には、既に巻き掛けられているワイヤ４に対して第１ガイドローラー２４の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が再度巻き掛けられる。

同様に、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤ４は、第２ガイドローラー２６に再び巻き掛けられて第３ガイドローラー２８に案内される。また、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤ４は、第３ガイドローラー２８に再び巻き掛けられて第４ガイドローラー３０に案内される。さらに、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤ４は、第４ガイドローラー３０に再び巻き掛けられて第１ガイドローラー２４に案内される。

第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０にも既にワイヤ４が巻き掛けられているので、ここでも、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８又は第４ガイドローラー３０の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が再度巻き掛けられる。第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤ４は、第１ガイドローラー２４にさらに巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。

このように、第１ガイドローラー２４、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０（以下、ガイドローラー群）には、回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が複数回巻き掛けられる。これにより、第３ガイドローラー２８と第４ガイドローラー３０との間には複数の加工部４ａが並列されてワイヤ列が形成され、被加工物１１から複数のウェーハを一度に切り出すことができる。

第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０に巻き掛けられるワイヤ４の回転軸方向の間隔（すなわち、隣接する加工部４ａの間隔）は、切り出されるウェーハの厚みに対応し、例えば、１ｍｍに設定される。ただし、ワイヤ４の回転軸方向の間隔（隣接する加工部４ａの間隔）は、ウェーハの仕様等に応じて任意に変更できる。同様に、ワイヤ４を巻き掛ける回数は、被加工物１１やウェーハの仕様等に応じて任意に設定される。

巻き取りローラー１２に隣接する位置には、放電加工に使用されたワイヤ４を送る第５供給ローラー３２、第６供給ローラー３４、第７供給ローラー３６及び第８供給ローラー３８が配置されている。また、第７供給ローラー３６と第８供給ローラー３８との間には、ワイヤ４の張力を調整する第２調整ローラー４０が設けられている。

第４ガイドローラー３０（ガイドローラー群）から送られたワイヤ４は、第５供給ローラー３２、第６供給ローラー３４、第７供給ローラー３６、第２調整ローラー４０、第８供給ローラー３８の順に巻き掛けられて、巻き取りボビン１０で巻き取られる。

繰り出しローラー８、巻き取りローラー１２、ガイドローラー群、第１調整ローラー２２及び第２調整ローラー４０には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。この回転駆動源で、繰り出しローラー８、巻き取りローラー１２、ガイドローラー群、第１調整ローラー２２及び第２調整ローラー４０を回転させれば、ワイヤ４は、所定の送り方向に送られる。

加工部４ａの側方には、被加工物１１を固定する基台４２が配置されている。基台４２は、アーム４４と、アーム４４の一端部に装着される被加工物固定部材４６とを含む。

被加工物１１は、例えば、ＳｉＣ等の材料で円柱状に形成されたインゴットであり、ワイヤ４（加工部４ａ）の送り方向に対して被加工物１１の高さ方向（厚み方向、結晶成長方向）が垂直になるように被加工物固定部材４６に固定される。被加工物１１を固定する方法の詳細については後述する。

アーム４４の他端部には、基台４２を水平方向（加工送り方向）に移動（加工送り）させる移動機構（移動手段）４８が連結されている。この移動手段４８によって、基台４２とワイヤ４とを相対的に移動（加工送り）させることで、ワイヤ４の加工部４ａを被加工物１１に切り込ませることができる。

アーム４４には、放電加工用の高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニット５０の第１端子が接続されている。一方、第１ガイドローラー２４と第４ガイドローラー３０との間には、高周波パルス電源ユニット５０の第２端子に接続された給電パッド５２が配置されている。この給電パッド５２は、第１ガイドローラー２４と第４ガイドローラー３０との間でワイヤ４に接触している。すなわち、ワイヤ４には、高周波パルス電源ユニット５０の第２端子が電気的に接続されている。

高周波パルス電源ユニット５０は、例えば、高周波パルス電圧の発生を制御し、パルス幅や繰り返し周波数を調整するパルス調整部５０ａと、電圧を調整する電圧調整部５０ｂと、を備えている。パルス調整部５０ａ及び電圧調整部５０ｂの制御は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により行われる。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。この高周波パルス電源ユニット５０により、放電加工に必要なパルス電圧を発生できる。

第１端子に接続される基台４２のアーム４４及び被加工物固定部材４６は、例えば、カーボン、金属等の導電性材料で構成されている。また、給電パッド５２を介して第２端子に接続されるワイヤ４は、導電性を備えている。そのため、高周波パルス電源ユニット５０で発生した高周波パルス電圧は、ワイヤ４と基台４２との間に印加される。

第２ガイドローラー２６及び第３ガイドローラー２８を囲む位置には、加工槽５４が配置されている。加工槽５４の内部には、純水等の加工液５６が貯留されており、少なくとも、ワイヤ４の加工部４ａ及び被加工物１１は、加工液５６に浸漬している。このように構成されたワイヤ放電加工装置２においては、ワイヤ４と基台４２との間に電圧が印加され、加工部４ａ（ワイヤ列）と被加工物１１との間で放電が生じることにより被加工物１１から複数のウェーハが切り出される。

ところで、一般にワイヤ放電加工装置においては、被加工物を放電加工する際に、被加工物は基台の被加工物固定部材に接着剤等で固定される。被加工物が放電により加工されるためには、被加工物と基台とを接着する接着剤が導電性を有する必要がある。このため、接着剤に導電性フィラーが添加されるが、導電性フィラーの添加量によっては、電気抵抗が大きくなりすぎる場合がある。これを防ぐために、導電性フィラーの添加量を増すと電気抵抗は小さくなるが、接着性が低下する（引っ張り接着強度が小さくなる）。このため、被加工物が被加工物固定部材から外れたり、振動が誘発して被加工物の加工面が波打って安定しないおそれがある。一方、導電性フィラーの添加量を減らすと電気抵抗にばらつきが生じるため、すべての加工部（ワイヤ列）において安定したウェーハの切り出しができない。そこで、本実施の形態では導電性と引っ張り接着強度とを兼ね備えた導電性カーボンフィラーを使用し、さらに適切な添加量を検討した。

以下、上述したワイヤ放電加工装置２を用いる被加工物の放電加工方法について説明する。本実施の形態に係る被加工物の放電加工方法では、まず、基台４２に対して被加工物１１を電気的に接合するとともに固定する固定ステップを実施する。図２は、本実施の形態に係る固定ステップ及び放電加工ステップを模式的に示す図である。なお、図２では、ワイヤ放電加工装置２の構成要素の一部を省略している。

固定ステップでは、被加工物１１の側面の一部と、基台４２のアーム４４から取り外された被加工物固定部材４６の固定面とに接着剤１３を塗布する。被加工物１１の側面に塗布した接着剤１３と被加工物固定部材４６の固定面に塗布した接着剤とを接触させて、被加工物固定部材４６と被加工物１１とを接着する。そして、接着剤１３を乾燥させれば、接着剤１３を介して被加工物固定部材４６に被加工物１１を接合、固定できる。

接着剤１３としては、被加工物１１を被加工物固定部材４６に固定してワイヤ４で加工する際に、被加工物１１が振動してワイヤ４を被加工物１１に一定方向に加工送りできなくなることを防止するために、乾燥した際に硬度のある樹脂が用いられることが好ましい。すなわち、弾性のあるゴム系以外の樹脂が用いられることが好ましい。また、被加工物１１が被加工物固定部材４６にずれて固定されることを防止するために、瞬間的に固まるシアノアクリル系以外の樹脂が用いられることが好ましい。

また、接着剤には、導電性カーボンフィラーを均等に分散してワイヤ４と被加工物１１との間の放電のばらつきを抑える観点から、１０ｗｔ％以上の導電性カーボンフィラーが含まれていることが好ましい。また、接着剤の接着性を維持する観点から、３０ｗｔ％以下の導電性カーボンフィラーが含まれていることが好ましい。導電性カーボンフィラーの粒径は、０．５μｍ以上、５μｍ以下であることが好ましい。

このように、固定ステップでは、接着剤１３に適切な添加量の導電性カーボンフィラーを添加する。このため、接着剤１３に導電性フィラーが均質に混合されて接着剤１３における電気抵抗のばらつきを小さくできる。また、十分な引っ張り接着強度を維持することができる。よって、基台４２と被加工物１１との間に電気的な接続のばらつきが生じることを抑制しながら、基台４２に被加工物１１を安定的に接合、固定することができる。

被加工物固定部材４６に被加工物１１を接合、固定した後には、被加工物固定部材４６をボルト等でアーム４４に装着する。以上により、基台４２に対して被加工物１１を電気的に接合、固定できる。基台４２に対して被加工物１１が固定されると、固定ステップは終了する。

次に、放電加工ステップについて説明する。固定ステップの後には、ワイヤ４と基台４２との間に高周波パルス電圧を印加し、基台４２に接合した被加工物１１とワイヤ４との間で生じる放電によって被加工物１１を加工する放電加工ステップを実施する。図３は、本実施の形態に係る放電加工ステップを模式的に示す斜視図である。なお、図３では、ワイヤ放電加工装置２の構成要素の一部を省略している。

放電加工ステップでは、まず、高周波パルス電源ユニット５０でワイヤ４と基台４２との間に高周波パルス電圧を印加する。また、ガイドローラー群等を回転させて、図２及び図３に示すように、ワイヤ４を所定の送り方向に送る。

さらに、被加工物固定部材４６に接着剤で固定されている被加工物１１にワイヤ４（加工部４ａ）を切り込ませるように、移動手段４８で被加工物１１を水平方向に移動（加工送り）させる。加工液５６（図１参照）中で絶縁状態にある被加工物１１とワイヤ４の加工部４ａとが十分に近づくと、絶縁が破壊されて被加工物１１と加工部４ａとの間で放電が生じる。

その結果、放電に伴う熱で被加工物１１の加工部４ａに近接する部分が溶融される。また、加工液５６の温度が急激に上昇して沸騰し、体積が膨張して被加工物１１の溶融した部分を飛散させる。このように、ワイヤ４と基台４２との間に高周波パルス電圧を供給しながら被加工物１１を水平方向に移動させることで、加工部４ａと被加工物１１との相対移動の移動経路に対応した溝を被加工物１１に形成できる。

被加工物１１の水平方向への移動は、ワイヤ４の加工部４ａが接着剤１３又は被加工物固定部材４６に僅かに切り込まれるまで続けられる。これにより、被加工物１１から複数のウェーハを切り出すことができる。

放電加工ステップでは、接着剤１３を用いて被加工物１１が安定的に固定されているため、ワイヤ４と基台４２との間に電圧が印加される際、被加工物１１の振動が抑えられながらワイヤ４から被加工物１１に一様に放電することが可能になる。このため、被加工物１１と基台４２との固定に接着剤を用いるという簡易な構成でありながら、良好な放電加工を実現できる。すなわち、すべての加工部4ａ（ワイヤ列）において一様に放電することができるため、被加工物１１から複数のウェーハを良好に切り出すことができる。

（実験例）
以下、実験例に基づき詳述するが、これらは説明のために記述されるものであって、下記実験例に限定されるものではない。

（実験例１）
接着剤における導電性カーボンフィラーの濃度を変化させて、引っ張り接着強度を測定した。測定はＪＩＳ Ｋ６８４９に準拠して行い、引っ張り試験機（ＡＧ−Ｉ、島津製作所製）を用いて行った。結果を図４に示す。図４は、実験例に係る導電性カーボンフィラーの濃度と引っ張り接着強度の関係を示すグラフである。図４において横軸は導電性カーボンフィラーの濃度、縦軸は引っ張り接着強度を示している。

接着剤に含まれる導電性カーボンフィラーの濃度が３０ｗｔ％までは引っ張り接着強度は所定の値で維持されたが、３０ｗｔ％を超えると引っ張り接着強度は急激に低下した。したがって、接着剤の接着性を維持する観点から、導電性カーボンフィラーは接着剤に対して３０ｗｔ％以下の濃度となるように添加されることが好ましいことがわかった。

（実験例２）
接着剤における導電性カーボンフィラーの濃度を変化させて、接着剤の電気抵抗を測定した。接着剤に所定の濃度となるように導電性カーボンフィラーを添加し、所定の濃度の接着剤を被加工物固定部材４６及び被加工物１１に塗布し乾燥して、被加工物固定部材４６と被加工物１１とを固定した。この状態で、ワイヤ４と基台４２との間に電圧を印加し、ワイヤ４と基台４２との間の電気抵抗をテスターで５回ずつ測定した。結果を図５に示す。図５は、実験例に係る導電性カーボンフィラーの濃度と電気抵抗の関係を示すグラフである。図５において横軸は導電性カーボンフィラーの濃度、縦軸は電気抵抗を示している。

接着剤に含まれる導電性カーボンフィラーの濃度が小さくなるのに伴って、電気抵抗は大きくなる。導電性カーボンフィラーの濃度が１０ｗｔ％を下回ると、電気抵抗の測定結果のばらつきが急激に大きくなった。１０ｗｔ％以上であると、電気抵抗の測定結果のばらつきが小さくなる傾向が見られ、導電性カーボンフィラーの濃度と電気抵抗との間に相関関係が見られるようになった。電気抵抗は所定の値以下となり被加工物固定部材４６と被加工物１１との接合において接着剤の導電性を良好にできることがわかった。したがって、ワイヤ４と被加工物１１との間の放電のばらつきを抑える観点から、導電性カーボンフィラーは接着剤に対して１０ｗｔ％以上の濃度となるように添加されることが好ましいことがわかった。以上より、導電性カーボンフィラーは接着剤に対して、１０ｗｔ％以上、３０ｗｔ％以下の濃度となるように添加されることが好ましいことがわかった。

以上のように、接着剤に導電性カーボンフィラーを適切な添加量で添加することで、接着剤に導電性フィラーを均等に分散することができる。導電性カーボンフィラーが均等に分散された接着剤によって基台４２に被加工物１１を接合、固定するので、基台４２と被加工物１１との間の電気的な接続のばらつきを抑制しながら、基台４２に被加工物１１を固定できる。つまり、加工不良の発生を防止して良好な放電加工を実現できる。

上記実施の形態においては、固定ステップにおいて、接着剤１３は被加工物１１の側面の一部と、被加工物固定部材４６の固定面とに塗布される構成としたが、この構成に限定されない。被加工物１１が被加工物固定部材４６に固定されれば、接着剤１３は被加工物１１の側面の一部及び被加工物固定部材４６の固定面のいずれか一方に塗布される構成としてもよい。

また、上記実施の形態においては、接着剤として、ゴム系及びシアノアクリル系以外の樹脂を用いる構成としたが、被加工物１１を被加工物固定部材４６に固定してワイヤ４で加工する際に振動が防止できれば、ゴム系の樹脂が用いられてもよい。また、被加工物１１が被加工物固定部材４６にずれて固定されることを防止できれば、シアノアクリル系の樹脂が用いられてもよい。

また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記各実施の形態を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

本実施の形態では、本発明を被加工物を加工するワイヤ放電加工装置に適用した構成について説明したが、被加工物を固定して放電する加工方法に適用することも可能である。

以上説明したように、本発明は、被加工物の良好な放電加工を実現できるという効果を有し、特に、放電を利用して被加工物を加工する被加工物の放電加工方法に有用である。

１１ 被加工物
２ ワイヤ放電加工装置
４ ワイヤ
４ａ 加工部
２４ 第１ガイドローラー（ガイドローラー群）
２６ 第２ガイドローラー（ガイドローラー群）
２８ 第３ガイドローラー（ガイドローラー群）
３０ 第４ガイドローラー（ガイドローラー群）
４２ 基台
４４ アーム
４６ 被加工物固定部材
５０ 高周波パルス電源ユニット
５０ａ パルス調整部
５０ｂ 電圧調整部
５４ 加工槽
５６ 加工液

Claims (2)

1. 被加工物の放電加工方法であって、
   導電性を備えたワイヤと、該ワイヤが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する導電性を備えた基台と、該基台と該ワイヤとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤを切り込ませる移動手段と、該ワイヤと該基台とに電気的に接続され高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニットと、を有するワイヤ放電加工装置を用い、
   該基台に対して被加工物を電気的に接合するとともに固定する固定ステップと、
   該固定ステップを実施した後、該ワイヤと該基台との間に高周波パルス電圧を印加し、該基台に接合した被加工物と該ワイヤとの間で生じる放電によって被加工物を加工する放電加工ステップと、を含み、
   該固定ステップでは、導電性カーボンフィラーを含有した導電性接着剤によって該基台に被加工物を接合することを特徴とする被加工物の放電加工方法。
2. 該導電性カーボンフィラーは、１０ｗｔ％〜３０ｗｔ％で添加されること、を特徴とする請求項１記載の被加工物の放電加工方法。

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