JP2012125879A - マルチワイヤ放電加工装置及びそれを用いた炭化ケイ素板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】間隔をおいて配設された複数のガイドローラ24A〜24Fを含むガイドローラ組と、各ガイドローラ24A〜24Fの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ24B,24C間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分26を構成するワイヤ15と、ワイヤ15の各条に接して共通の放電加工電力を給電する回転電極200A,200Bと、を備え、ワイヤ15を矢印Rの方向に送りながら各切断ワイヤ部分26とインゴット28との間で放電を行ってインゴット28を切断加工するマルチワイヤ放電加工装置100であって、回転電極200A,200Bはワイヤ15の送り方向と同じ方向に向かって回転する。
【選択図】図1
Description
Claims (11)
- 間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、
各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、
ワイヤの各条に接して共通の放電加工電力を給電する電極と、を備え、
ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各切断ワイヤ部分とワークとの間で放電を行ってワークを加工するマルチワイヤ放電加工装置であって、
電極がワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転すること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
電極は、円筒状の導電体であること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1または2に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
ワイヤの各条はワイヤのワークに向かう側と反対側で電極に接すること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
電極が回転自在に取り付けられ、放電加工電力が入力される回転しない中心軸と、
電極と中心軸との間に設けられ、電極と中心軸とを電気的に導通させる導電性グリス
が充填された導電性軸受と、を有すること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
放電加工電力が入力される回転しないブラケットと、
ブラケットに回転自在に接続され、電極と共に回転する回転軸とを含み、
ブラケットと回転軸とは導電性の流動体によって電気的に接続されていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
電極のワイヤ送り方向の上流側または下流側または両側に配置され、ワイヤの各条を電極に押しつけるアイドルローラを備えること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項6に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
アイドルローラは、電極との間にワイヤの各条を挟みこむこと、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項2から7のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
円筒状の導電体で、電極との間にワイヤの各条を挟みこんでワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転する他の電極を有すること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項2から7のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
電極は、ワイヤの各条に接離する方向に移動してワイヤの各条に押しつけられること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 請求項1から9のいずれか1項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
複数の電極を含み、
各電極は、切断ワイヤ部分が伸びる方向の切断ワイヤ部分の中央からワイヤに沿って互いに反対方向に向かって等距離の位置に配置されていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、ワイヤの各条に接し、ワイヤの送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤの各条に給電する電極と、スイッチングトランジスタを含み放電加工電力を供給する共通の加工電源と、を備えるマルチワイヤ放電加工装置を用い、ワイヤを巻き掛け方向に送りながら各切断ワイヤ部分と炭化ケイ素のインゴットとの間で放電を行って炭化ケイ素のインゴットから複数の炭化ケイ素板を切り出す炭化ケイ素板の製造方法であって、
加工電源のスイッチングトランジスタをオンオフさせて高周波パルスを発生させ、この高周波パルスを放電加工用電力として供給すること、
を特徴とする炭化ケイ素板の製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015027725A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-02-12 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社 | ワイヤ放電加工システム、およびその加工方法。 |
CN105215492A (zh) * | 2015-11-03 | 2016-01-06 | 南京航空航天大学 | 并行放电多电极运丝机构与均衡放电控制方法 |
CN105665852A (zh) * | 2016-03-04 | 2016-06-15 | 上饶市江旺数控机床制造有限公司 | 一种电火花线切割机床 |
JP2017064880A (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置 |
CN108296582A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-07-20 | 宁波韵升股份有限公司 | 一种多线快走丝电火花线切割机床 |
US10300542B2 (en) * | 2014-09-24 | 2019-05-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire electrical discharge machining apparatus and method of manufacturing semiconductor wafer |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61288927A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-19 | Inoue Japax Res Inc | ワイヤカツト放電加工装置に於ける自動線通方法 |
JPH0457627A (ja) * | 1990-06-28 | 1992-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工装置 |
JPH04135121A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-08 | Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd | ワイヤ放電加工機の通電装置 |
JPH04201123A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工装置 |
JPH0724647A (ja) * | 1991-07-12 | 1995-01-27 | Yasuo Ogasawara | ワイヤ放電加工機で走行するワイヤ電極における通電方法並びにその装置 |
JPH09248719A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | エピタキシャル・ウエハ用半導体インゴットの切断方法およびその装置 |
JP2010260151A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Okayama Univ | ワイヤ放電加工装置及び放電加工方法 |
-
2010
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61288927A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-19 | Inoue Japax Res Inc | ワイヤカツト放電加工装置に於ける自動線通方法 |
JPH0457627A (ja) * | 1990-06-28 | 1992-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工装置 |
JPH04135121A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-08 | Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd | ワイヤ放電加工機の通電装置 |
JPH04201123A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカット放電加工装置 |
JPH0724647A (ja) * | 1991-07-12 | 1995-01-27 | Yasuo Ogasawara | ワイヤ放電加工機で走行するワイヤ電極における通電方法並びにその装置 |
JPH09248719A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | エピタキシャル・ウエハ用半導体インゴットの切断方法およびその装置 |
JP2010260151A (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | Okayama Univ | ワイヤ放電加工装置及び放電加工方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015027725A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-02-12 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社 | ワイヤ放電加工システム、およびその加工方法。 |
US10300542B2 (en) * | 2014-09-24 | 2019-05-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire electrical discharge machining apparatus and method of manufacturing semiconductor wafer |
JP2017064880A (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 株式会社ディスコ | マルチワイヤ放電加工装置 |
CN105215492A (zh) * | 2015-11-03 | 2016-01-06 | 南京航空航天大学 | 并行放电多电极运丝机构与均衡放电控制方法 |
CN105665852A (zh) * | 2016-03-04 | 2016-06-15 | 上饶市江旺数控机床制造有限公司 | 一种电火花线切割机床 |
CN108296582A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-07-20 | 宁波韵升股份有限公司 | 一种多线快走丝电火花线切割机床 |
CN108296582B (zh) * | 2017-12-20 | 2019-04-16 | 宁波韵升股份有限公司 | 一种多线快走丝电火花线切割机床 |
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