JP2017064880A - マルチワイヤ放電加工装置 - Google Patents
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- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims abstract description 71
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 description 1
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
Description
実施形態1に係るマルチワイヤ放電加工装置の構成例について説明する。図1は、実施形態1に係るマルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す概略図である。図2は、図1に示すマルチワイヤ放電加工装置の被加工物の周辺を拡大して示す概略斜視図である。図3は、図1に示すマルチワイヤ放電加工装置の削られる前のガイドローラの断面図である。図4は、図1に示すマルチワイヤ放電加工装置の削られた一例のガイドローラの断面図である。マルチワイヤ放電加工装置1は、図1に示すように、ワイヤRにより被加工物であるインゴットIを放電加工するものであり、ワイヤRと、繰り出しボビン20と、巻き取りボビン21と、ガイドローラ部(ガイドローラー群に相当)30と、ワイヤ速度測定ローラ82,92と、制御手段100とを備えている。
V0=V・・・式3
実施形態2に係るマルチワイヤ放電加工装置の構成例について説明する。図5は、実施形態2に係るマルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す概略図である。なお、図5において、実施形態1と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
30 ガイドローラ部(ガイドローラー群)
30d,30f ガイドローラ(モーター駆動ローラ)
32d,32f モーター
41 基台
43 移動手段
61 高周波パルス電源ユニット
70 直径測定手段
82,92 ワイヤ速度測定ローラ
100 制御手段
I インゴット(被加工物)
D0,D0´ 直径
Dt 所定の直径
Claims (3)
- ワイヤと、該ワイヤが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する基台と、該基台と該ワイヤとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤを切り込ませる移動手段と、該ワイヤと該基台との間に高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、各構成要素を制御する制御手段と、を有するマルチワイヤ放電加工装置であって、
該ガイドローラー群は、
モーターによって回転し、外周で支持した該ワイヤの走行速度を制御するモーター駆動ローラを含み、
該制御手段は、
該モーター駆動ローラの直径に応じて該モーター駆動ローラの回転数を調整し、該ワイヤの走行速度を制御することを特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。 - 所定の直径を有するワイヤ速度測定ローラの回転数でワイヤの走行速度を検出し、該走行速度に基づいて該モーター駆動ローラの回転数を調整する事を特徴とする請求項1記載のマルチワイヤ放電加工装置。
- 該モーター駆動ローラの直径を測定する直径測定手段を備え、該直径測定手段の測定結果に基づいて該モーター駆動ローラの回転数を調整する事を特徴とする請求項1記載のマルチワイヤ放電加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015197034A JP6639177B2 (ja) | 2015-10-02 | 2015-10-02 | マルチワイヤ放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015197034A JP6639177B2 (ja) | 2015-10-02 | 2015-10-02 | マルチワイヤ放電加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017064880A true JP2017064880A (ja) | 2017-04-06 |
JP6639177B2 JP6639177B2 (ja) | 2020-02-05 |
Family
ID=58491123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015197034A Active JP6639177B2 (ja) | 2015-10-02 | 2015-10-02 | マルチワイヤ放電加工装置 |
Country Status (1)
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CN110587841A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-20 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种适用于硬脆材料多线切割的四驱切片机机构 |
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