JP6395497B2 - ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
実施形態に係るマルチワイヤ放電加工装置について説明する。図1は、マルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す斜視図である。図1に示すように、マルチワイヤ放電加工装置1は、ワイヤRを繰り出す繰り出しボビン20と、間隔をおいて複数配設され、繰り出しボビン20により繰り出されたワイヤRを案内する円柱状のガイドローラ21〜26と、ワイヤRを巻き取る巻き取りボビン27とを備える。ガイドローラ21は繰り出しボビン20の近傍に配設され、ガイドローラ26は巻き取りボビン27の近傍に配設されている。4箇所のガイドローラ22〜25は、ガイドローラ21とガイドローラ26の間に配設されると共に、矩形の形状をなすようにそれぞれが矩形の角に配設されている。
(条件1)
・加工送り速度:0.1mm/min程度
・電圧:200V程度
(条件2)
・加工送り速度:0.1mm/min程度
・電圧:150V程度(上記条件1の電圧を25%程度低くした電圧)
(条件3)
・加工送り速度:1.2〜2mm/min程度
・電圧:200V程度
30 切断ワイヤ部
40 Y方向移動手段
41 Z方向移動手段
42 揺動手段
50 インゴット設置手段
51 基台部
52 取り付け部材
53 導電性接着剤
70 給電手段
71 高周波パルス電源ユニット
72 給電子
T1〜T3 領域
U 加工屑
V1 加工溝
V2 加工溝
G 放電ギャップ
K1 加工開始部分
K2 加工終了部分
M 中心部
W ウェーハ
Claims (2)
- 間隔をおいて配設された複数のガイドローラと、該ガイドローラの軸方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられ該ガイドローラ間で並列するワイヤと、インゴットを固定する基台部と、該ワイヤと該基台部に固定されたインゴットに高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、を備えるマルチワイヤ放電加工装置を用いて、該ワイヤで円柱状のインゴットをウェーハにスライスするウェーハの製造方法であって、
円柱状のインゴットを該基台部に固定する固定ステップと、
隣接する該ガイドローラ間で並列する該ワイヤとインゴットとを相対的に加工送りさせて、該ワイヤでインゴットを複数枚のウェーハに切断するスライスステップと、からなり、
該スライスステップは、
該ワイヤがインゴットの外周に切り込んでから、該ワイヤとインゴットを所定量加工送りする第1スライスステップと、
該第1スライスステップを実施後、少なくとも該ワイヤがインゴットの軸心部分を通過するまで加工送りする第2スライスステップと、
該第2スライスステップを実施後、インゴットがウェーハに切断されるまで加工送りする第3スライスステップと、から構成され、
該第2スライスステップでは、
該ワイヤとインゴットとを加工送りさせつつ、インゴットの切断面に沿ってインゴットが任意の角度で天秤のごとくに揺動するよう該ワイヤとインゴットを相対移動させ、ウェーハの中央領域で加工溝に溜まる加工屑の排出を促進して平坦なウェーハを形成し、
該第1スライスステップ及び該第3スライスステップでは、該第2スライスステップより加工送り速度が速く、又は該ワイヤに供給される電圧が低く設定されていることを特徴とするウェーハの製造方法。 - 該インゴットは、炭化珪素又は単結晶ダイヤモンドからなることを特徴とする請求項1記載のウェーハの製造方法。
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