JP2017119331A - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加工屑を適切に捕獲、除去できるワイヤ放電加工装置を提供する。【解決手段】ワイヤ放電加工装置（２）であって、導電性を有するワイヤ（４）が並列するように複数回巻き掛けられる複数のガイドローラー（２４，２６，２８，３０）と、導電材で形成され、被加工物（１１）を固定する基台（４０）と、基台に固定された被加工物に対してワイヤの並列する加工部（４ａ）を加工送りする加工送り機構（４６）と、被加工物及び加工部を浸漬するための加工液（５４）が貯留される加工液槽（５２）と、加工部と基台との間に高周波パルス電圧を印可する高周波パルス電源ユニット（４８）と、各構成要素を制御する制御ユニット（７４）と、被加工物から発生する加工屑（１１ｂ）を捕獲する加工屑捕獲ユニット（５６）と、を含み、加工屑捕獲ユニットは、ワイヤの走行方向の下流側で加工屑を加工液とともに吸引する吸引部（６２）を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物を放電加工するワイヤ放電加工装置に関する。

インゴット等の被加工物からウェーハを切り出す場合には、ワイヤソー（マルチワイヤソー）と呼ばれる加工装置を用いるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。このワイヤソーは、複数のガイドローラーに巻き掛けられたワイヤを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませることで、薄いウェーハを切り出す。

一方、このようなワイヤソーを用いる加工方法では、ガイドローラーに巻き掛けられたワイヤに対して砥粒を分散させたスラリーを供給し続けなければならないので、工程が煩雑である。また、被加工物に対してワイヤが直に接触するので、工程中にワイヤが切れる可能性も高かった。

これらの問題に対し、近年では、加工液に浸漬した金属製のワイヤと被加工物との間で放電させてウェーハを非接触で切り出すワイヤ放電加工装置（マルチワイヤ放電加工装置）が提案されている（例えば、特許文献２参照）。このワイヤ放電加工装置は、例えば、ワイヤと被加工物との間にパルス電圧を印加し、ワイヤを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませるように動かすことで、ウェーハを非接触で切り出す。

ところで、上述のような放電加工で発生する加工屑がワイヤと被加工物との間に残留すると、続く放電でワイヤと被加工物とが短絡し、局所的な熱が発生してしまう。その結果、被加工物の加工精度は低下し、また、ワイヤも切れ易くなる。そこで、溝内に加工液の流れを発生させて加工屑を取り除く装置や方法等が提案されている（例えば、特許文献３参照）。

特開平９−９４７５５号公報 特開２０１１−１４００８８号公報 特開２０１２−２４０１２８号公報

ところが、加工液の流れに乗って溝外に排出された加工屑は、加工液中を漂い再び溝内に流れ込むので、加工屑を溝外に排出するだけでは必ずしも上述の問題を適切に解決できない。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工屑を適切に捕獲、除去できるワイヤ放電加工装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、導電性を有するワイヤが並列に巻き掛けられ、該ワイヤの走行に合わせて回転する複数のガイドローラーと、導電材で形成され、被加工物を固定する基台と、該複数のガイドローラーと該基台とを相対的に移動させて、該基台に固定された被加工物に対して該ワイヤの並列する加工部を加工送りする加工送り機構と、被加工物及び該加工部を浸漬するための加工液が貯留される加工液槽と、該加工部と該基台との間に高周波パルス電圧を印可する高周波パルス電源ユニットと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該高周波パルス電圧を印加しながら該ワイヤを走行させるとともに、該加工液に浸漬した被加工物に対して該加工液に浸漬した該加工部を加工送りする放電加工の際に、被加工物から発生する加工屑を捕獲する加工屑捕獲ユニットと、を備え、該加工屑捕獲ユニットは、該ワイヤの走行方向の下流側で該加工屑を該加工液とともに吸引する吸引部を有することを特徴とするワイヤ放電加工装置が提供される。

本発明の一態様において、該加工屑捕獲ユニットは、該放電加工の際に剥離する該ワイヤの一部とともに該加工屑を磁力で捕獲するフィルタを更に有し、該吸引部で吸引された該加工屑を含む該加工液から該フィルタで該加工屑を分離し、得られる該加工液を再利用することが好ましい。

本発明の一態様において、該フィルタは、該磁力を発生させる電磁石を含み、該加工屑を捕獲する際には該磁力を発生し、捕獲した該加工屑を該フィルタから除去する際には該磁力を発生しないことが好ましい。

本発明の一態様に係るワイヤ放電加工装置は、被加工物から発生する加工屑を捕獲する加工屑捕獲ユニットを備え、この加工屑捕獲ユニットには、ワイヤの走行方向の下流側で加工屑を加工液とともに吸引する吸引部が設けられているので、ワイヤの走行及び吸引部の吸引によって発生する加工液の流れを利用して加工屑を適切に排出させるとともに、排出された加工屑を適切に捕獲、除去できる。

ワイヤ放電加工装置の構成例を模式的に示す図である。 加工屑捕獲ユニット等の配置を模式的に示す平面図である。 図３（Ａ）は、フィルタの構成例を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、フィルタの構成例を模式的に示す一部断面側面図である。 図４（Ａ）は、吸引用ノズルの構成例を模式的に示す底面図であり、図４（Ｂ）は、吸引用ノズルの構成例を模式的に示す一部断面側面図である。 図５（Ａ）は、被加工物が放電加工される様子を模式的に示す平面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の一部を拡大した拡大図である。 被加工物が放電加工される様子を模式的に示す側面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、ワイヤ放電加工装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、ワイヤ放電加工装置（マルチワイヤ放電加工装置）２は、ワイヤ４が巻回された繰り出しボビン６を支持する円柱状の繰り出しローラー８を備えている。

繰り出しローラー８の上方には、巻き取りボビン１０を支持する円柱状の巻き取りローラー１２が配置されている。繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４は、後述する放電加工に使用された後、巻き取りボビン１０に巻き取られる。ワイヤ４は、例えば、直径が５０μｍ〜２００μｍ程度のピアノ線等を、黄銅やタングステン、モリブデン等の材料で被覆して形成されており、被加工物１１の放電加工に必要な導電性を備えている。

繰り出しローラー８に隣接する位置には、繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４を下流側に送る第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第３供給ローラー１８、及び第４供給ローラー２０が配置されている。また、第２供給ローラー１６と第３供給ローラー１８との間には、ワイヤ４の張力を調整する第１調整ローラー２２が設けられている。

繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４は、第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第１調整ローラー２２、第３供給ローラー１８、第４供給ローラー２０の順に巻き掛けられて、下流側に送られる。

第４供給ローラー２０の下方には、第４供給ローラー２０から送られたワイヤ４を案内する円柱状の第１ガイドローラー２４が配置されている。第４供給ローラー２０から送られたワイヤ４は、第１ガイドローラー２４に巻き掛けられて下方に案内される。この第１ガイドローラー２４は、例えば、ワイヤ４の移動（走行）に合わせて回転する従動ローラーである。

第１ガイドローラー２４の下方には、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤ４を更に案内する円柱状の第２ガイドローラー２６が配置されている。第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤ４は、第２ガイドローラー２６に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第２ガイドローラー２６は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤ４を移動（走行）させる駆動ローラーである。

第２ガイドローラー２６から水平方向に離れた位置には、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤ４を更に案内する円柱状の第３ガイドローラー２８が配置されている。第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤ４は、第３ガイドローラー２８に巻き掛けられて上方に案内される。この第３ガイドローラー２８は、例えば、ワイヤ４の移動（走行）に合わせて回転する従動ローラーである。また、第３ガイドローラー２８によって上方に案内されたワイヤ４の一部は、被加工物１１を加工する加工部４ａとなる。

第３ガイドローラー２８の上方には、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤ４を更に案内する円柱状の第４ガイドローラー３０が配置されている。第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤ４は、第４ガイドローラー３０に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第４ガイドローラー３０は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤ４を移動（走行）させる駆動ローラーである。

第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤ４は、第１ガイドローラー２４に再び巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。上述のように、第１ガイドローラー２４には、既にワイヤ４が巻き掛けられているので、ここでは、第１ガイドローラー２４の別の位置にワイヤ４が巻き掛けられる。具体的には、既に巻き掛けられているワイヤ４に対して第１ガイドローラー２４の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が再度巻き掛けられる。

同様に、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤ４は、第２ガイドローラー２６に再び巻き掛けられて第３ガイドローラー２８に案内される。また、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤ４は、第３ガイドローラー２８に再び巻き掛けられて第４ガイドローラー３０に案内される。更に、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤ４は、第４ガイドローラー３０に再び巻き掛けられて第１ガイドローラー２４に案内される。

第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、及び第４ガイドローラー３０にも既にワイヤ４が巻き掛けられているので、ここでも、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、又は第４ガイドローラー３０の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が再度巻き掛けられる。第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤ４は、第１ガイドローラー２４に更に巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。

このように、第１ガイドローラー２４、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、及び第４ガイドローラー３０（以下、ガイドローラー群）には、回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が複数回巻き掛けられる。これにより、第３ガイドローラー２８と第４ガイドローラー３０との間には複数の加工部４ａが並列されて、被加工物１１から複数のウェーハを一度に切り出すことができる。

第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０に巻き掛けられるワイヤ４の回転軸方向の間隔（すなわち、隣接する加工部４ａの間隔）は、切り出されるウェーハの厚みに対応し、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍに設定される。ただし、ワイヤ４の回転軸方向の間隔（隣接する加工部４ａの間隔）は、ウェーハの仕様等に応じて任意に変更できる。同様に、ワイヤ４を巻き掛ける回数は、被加工物１１やウェーハの仕様等に応じて任意に設定される。

巻き取りローラー１２に隣接する位置には、加工に使用されたワイヤ４を下流側に送る第５供給ローラー３２、第６供給ローラー３４、及び第７供給ローラー３６が配置されている。また、第６供給ローラー３４と第７供給ローラー３６との間には、ワイヤ４の張力を調整する第２調整ローラー３８が設けられている。

上述のようにガイドローラー群に複数回巻き掛けられたワイヤ４は、第１ガイドローラー２４で鉛直方向に案内される。第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤ４は、第５供給ローラー３２、第６供給ローラー３４、第２調整ローラー３８、第７供給ローラー３６の順に巻き掛けられて、巻き取りボビン１０で巻き取られる。

上述のように、第２ガイドローラー２６及び第４ガイドローラー３０には、モーター等の回転駆動源が連結されている。この回転駆動源で、第２ガイドローラー２６及び第４ガイドローラー３０を回転させれば、ワイヤ４は、所定の送り方向（走行方法）に送られる（走行する）。なお、回転駆動源は、例えば、繰り出しローラー８、巻き取りローラー１２、第１調整ローラー２２、第２調整ローラー３８等に連結されていても良い。

加工部４ａの側方には、被加工物１１を固定する基台４０が配置されている。基台４０は、アーム状の本体４２と、本体４２の一端部に装着される固定部材４４とを含む。被加工物１１は、例えば、シリコンやＳｉＣ、ダイヤモンド（単結晶ダイヤモンド）等の材料で円柱状に形成されたインゴットであり、ワイヤ４（加工部４ａ）の送り方向に対して被加工物１１の高さ方向（円柱の高さ方向、代表的には、結晶成長方向）が垂直になるように、導電性接着剤や半田等で固定部材４４に接着される。ただし、被加工物１１の種類等に特段の制限はない。

本体４２の他端部には、基台４０を水平方向に移動（加工送り）させる加工送り機構（加工送り手段）４６が連結されている。この加工送り機構４６で、基台４０（被加工物１１）とガイドローラー群（ワイヤ４）とを相対的に移動（加工送り）させることで、被加工物１１に対してワイヤ４の加工部４ａを切り込ませるように動かすことができる。

本体４２には、放電加工用の高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニット４８の第１端子が接続されている。一方、第１ガイドローラー２４と第４ガイドローラー３０との間には、高周波パルス電源ユニット４８の第２端子に接続された給電ローラー５０が配置されている。この給電ローラー５０は、第１ガイドローラー２４と第４ガイドローラー３０との間でワイヤ４に接触している。すなわち、ワイヤ４（加工部４ａ）には、高周波パルス電源ユニット５０の第２端子が電気的に接続されている。

高周波パルス電源ユニット４８は、例えば、高周波パルス電圧の発生を制御し、パルス幅や繰り返し周波数を調整するパルス調整部４８ａと、電圧を調整する電圧調整部４８ｂと、を含んでいる。この高周波パルス電源ユニット４８により、放電加工に必要なパルス電圧を発生できる。

第１端子に接続される基台４０の本体４２及び固定部材４４は、例えば、カーボン、金属等の導電性材料（導電材）で構成され、被加工物１１は、導電性接着剤や半田等で固定部材４４に接着されている。また、給電ローラー５０を介して第２端子に接続されるワイヤ４は、導電性を備えている。そのため、高周波パルス電源ユニット４８で発生した高周波パルス電圧は、ワイヤ４（加工部４ａ）と被加工物１１との間に印加される。

第２ガイドローラー２６及び第３ガイドローラー２８を囲む位置には、加工液槽５２が配置されている。加工液槽５２の内部には、純水等の加工液５４が貯留されており、少なくとも、ワイヤ４の加工部４ａ、被加工物１１、及び基台４０の一部が加工液５４に浸漬している。

また、加工液槽５２の内部には、放電加工時に被加工物１１から発生する加工屑を捕獲する加工屑捕獲ユニット（加工屑捕獲手段）５６が配置されている。図２は、加工屑捕獲ユニット５６等の配置を模式的に示す平面図である。図１及び図２に示すように、加工屑捕獲ユニット５６は、加工液５４中の加工屑等を捕獲する箱状のフィルタ（フィルタ部）５８を有している。このフィルタ５８は、例えば、他の構成要素と干渉しない加工液槽５２の角部等に配置される。

フィルタ５８の上部には、樹脂等の材料でなるチューブ（ホース）６０の一端側が接続されている。チューブ６０の他端側には、加工液５４とともに加工屑等を吸引する吸引用ノズル（吸引部）６２が設けられている。この吸引用ノズル６２は、被加工物１１に対してワイヤ４（加工部４ａ）が作用する加工点の近傍から加工屑等を除去できるように、加工部４ａ及び被加工物１１の近傍に配置される。

図３（Ａ）は、フィルタ５８の構成例を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、フィルタ５８の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、フィルタ５８は、中空構造を持つ筐体６４と、筐体６４の内壁面に固定された磁石６６とを含む。この磁石６６から発生する磁力によって、加工屑等はフィルタ５８に捕獲される。加工屑等が捕獲される原理については後述する。

フィルタ５８の内部には、プロペラ（ファン）等でなる循環機構６８が配置されている。この循環機構６８によって、フィルタ５８の上部に接続されたチューブ６０からフィルタ５８の下部側面に形成された開口５８ａへと向かう加工液５４の流れが形成される。フィルタ５８を通じて加工屑等が除去された加工液５４は、開口５８ａを介して加工液槽５２に供給され、再利用される。

図４（Ａ）は、吸引用ノズル６２の構成例を模式的に示す底面図であり、図４（Ｂ）は、吸引用ノズル６２の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、吸引用ノズル６２は、縦長（横長）に形成されたノズル本体７０と、ノズル本体７０の内壁面に固定された磁石７２とを含む。また、吸引用ノズル６２の底面側には、加工液５４や加工屑等を吸引するための吸引口６２ａが形成されている。

この吸引口６２は、例えば、長手方向の長さが、被加工物１１の高さ方向（円柱の高さ方向）の長さよりも長くなるように形成されている。そのため、図２に示すように、吸引口６２ａ（吸引ノズル６２）の長手方向を被加工物１１の高さ方向に合わせて配置すれば、被加工物１１の全体で加工液５４や加工屑等を適切に吸引できる。なお、この吸引用ノズル６２には、吸引力を補強する磁石７２を設けているが、この磁石７２は省略されても良い。

図１に示すように、吸引用ノズル６２は、吸引口６２ａがワイヤ４の送り方向（走行方向）の上流側（本実施形態では、下側）を向いた状態で加工部４ａの下流側に位置付けられる。すなわち、吸引用ノズル６２は、第３ガイドローラー２８と第４ガイドローラー３０との中間点より第４ガイドローラー３０側（本実施形態では、上側）の位置に配置される。これにより、ワイヤ４（加工部４ａ）の送り（走行）及び吸引用ノズル６２による吸引で発生する加工液５４の流れを利用して、加工点の近傍から加工屑等を除去できる。

また、この吸引用ノズル６２は、加工点の近傍に配置されることが望ましい。具体的には、被加工物１１に対して加工部４ａを切り込ませる際に被加工物１１と干渉しない範囲で、できるだけ被加工物１１の近くに吸引用ノズル６２を配置すると良い。より具体的には、例えば、被加工物１１の下流側の端（本実施形態絵は、上端）からワイヤ４（加工部４ａ）の送り方向に０ｍｍ〜２０ｍｍ（代表的には、５ｍｍ）離れた位置に吸引用ノズル６２（吸引口６２ａ）を固定する。これにより、加工点で発生する加工屑等を確実に捕獲、除去できる。

なお、この吸引ノズル６２は、ワイヤ４の送り方向（本実施形態では、上下方向）に沿って移動できるように構成されても良い。具体的には、例えば、吸引ノズル６２を移動させる移動機構を更に設ける。この場合、被加工物１１に対する加工部４ａの切り込み量に応じて吸引ノズル６２を移動させ、吸引ノズル６２と加工点との距離を所定の範囲（例えば、０ｍｍ〜２０ｍｍ）に維持することで、加工点で発生する加工屑等をより確実に捕獲、除去できる。

このように構成された加工屑捕獲ユニット５６の動作は、例えば、制御ユニット（制御手段）７４（図１）で制御される。なお、制御ユニット７４は、第２ガイドローラー２６及び第４ガイドローラー３０を回転させる回転駆動源や、加工送り機構４６、高周波パルス電源ユニット４８等にも接続されており、各構成要素の動作を制御する。

次に、上述したワイヤ放電加工装置２を用いる被加工物１１の放電加工方法について説明する。図５（Ａ）は、被加工物１１が放電加工される様子を模式的に示す平面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の一部を拡大した拡大図であり、図６は、被加工物１１が放電加工される様子を模式的に示す側面図である。

被加工物１１を放電加工する際には、まず、高周波パルス電源ユニット４８でワイヤ４（加工部４ａ）と基台４０（被加工物１１）との間に高周波パルス電圧を印加する。また、ガイドローラー群等を回転させて、図６に示すように、ワイヤ４を所定の送り方向に送る（走行させる）。

次に、ワイヤ４（加工部４ａ）が被加工物１１に切り込むように、移動機構４６で被加工物１１を水平方向に移動（加工送り）させる。加工液５４中で絶縁状態にある被加工物１１とワイヤ４の加工部４ａとが十分に近づくと、加工液５４による絶縁が破壊されて被加工物１１と加工部４ａとの間で放電が生じる。

その結果、放電に伴う熱で被加工物１１の加工部４ａに近接する部分が溶融される。また、加工液５４の温度が急激に上昇して沸騰し、体積が膨張して被加工物１１の溶融した部分を飛散（拡散）させる。このように、ワイヤ４（加工部４ａ）と基台４０（被加工物１１）との間に高周波パルス電圧を供給しながら被加工物１１を水平方向に移動させることで、被加工物１１に対する加工部４ａの移動経路に応じた溝１１ａを形成できる。

被加工物１１の水平方向への移動は、ワイヤ４の加工部４ａによって形成される溝１１ａで被加工物１１が完全に切断されるまで続けられる。以上により、被加工物１１から複数のウェーハを同時に切り出すことができる。

この放電加工の際には、図５（Ｂ）に示すように、被加工物１１から加工屑１１ｂが発生し、また、ワイヤ４の一部４ｂが剥離される。加工屑１１ｂやワイヤ４の一部４ｂ（以下、加工屑１１ｂ等）を加工液５４中に放置すると、被加工物１１の加工精度が低下したり、ワイヤ４が切れ易くなったりしてしまう。

そこで、本実施形態では、加工屑捕獲ユニット５６を用いて、加工液５４中の加工屑１１ｂ等を捕獲する。上述のように、加工屑捕獲ユニット５６の吸引ノズル６２は、加工屑１１ｂ等の吸引に適した位置に配置されている。そのため、加工屑捕獲ユニット５６内の循環機構６８で加工液５４の流れを発生させれば、この加工液５４とともに加工屑１１ｂ等を吸引ノズル６２で吸引できる。吸引ノズル６２で吸引された加工屑１１ｂ等は、チューブ６０を通じてフィルタ５８に送られる。

上述のように、フィルタ５８には、磁力を発生させる磁石６６が設けられている。また、ワイヤ４を構成するピアノ線等は、炭素鋼等の強磁性材料を含んでいる。よって、剥離されたワイヤ４の一部４ｂは、磁石６６の磁力で引き寄せられてフィルタ５８に捕獲される。

これに対して、被加工物１１から発生する加工屑１１ｂは、必ずしも強磁性材料を含んでいない。しかしながら、これらの加工屑１１ｂの大部分も、剥離されたワイヤ４の一部４ｂに巻き込まれる形でフィルタ５８に捕獲される。つまり、加工屑１１ｂは、剥離されたワイヤ４の一部４ｂとともに磁力で捕獲される。このように、磁石６６の磁力によって加工屑１１ｂ等を捕獲することで、加工屑１１ｂ等が分離された加工液５４を加工液槽５４に供給できる。

ここで、磁石６６としては、永久磁石、電磁石のいずれを用いることもできる。磁石６６として電磁石を用いる場合には、加工屑１１ｂ等を捕獲する際に電流を流して磁力を発生させることになる。一方、加工屑１１ｂ等をフィルタ５８から除去するメンテナンス（清掃）作業等の際には、電流を止めて磁力の発生を停止させればよい。これにより、磁石６６から加工屑１１ｂ等を容易に除去できる。

なお、吸引ノズル６２に設けられた磁石７２は、加工点の近傍に磁力を作用させて加工屑１１ｂ等を吸引口６２ａに引き寄せる機能を有している。この磁石７２としては、電磁石を用いることが好ましい。例えば、電磁石で断続的な磁力を発生させることによって、磁石７２への加工屑１１ｂ等の付着を抑制しながら吸引ノズル６２の吸引力を補強できる。もちろん、この磁石７２として、永久磁石を用いても良い。

以上のように、本実施形態に係るワイヤ放電加工装置２は、被加工物１１から発生する加工屑１１ｂ等を捕獲する加工屑捕獲ユニット５６を備え、この加工屑捕獲ユニット５６には、ワイヤ４の送り方向（走行方向）の下流側で加工屑１１ｂ等を加工液５４とともに吸引する吸引ノズル（吸引部）６２が設けられているので、ワイヤ４の送り（走行）及び吸引ノズル６２の吸引によって発生する加工液５４の流れを利用して加工屑１１ｂ等を適切に溝１１ｂ外に排出させるとともに、排出された加工屑１１ｂ等を適切に捕獲、除去できる。

また、本実施形態に係るワイヤ放電加工装置２は、加工屑１１ｂ等を磁力で捕獲するフィルタ５８を備えた加工屑捕獲ユニット５６を用いており、後のメンテナンス（清掃）によってフィルタ５８から加工屑１１ｂ等を除去できる。よって、フィルタとして消耗品を用いる場合等に比べて、運用に係るコストを低く抑えることができる。磁石６６として電磁石を用いる場合には、更にメンテナンス（清掃）が容易である。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、フィルタ５８や吸引ノズル６２の内側に磁石６６，７２を設けているが、フィルタ５８や吸引ノズル６２の外側に磁石を設けることもできる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ ワイヤ放電加工装置（マルチワイヤ放電加工装置）
４ ワイヤ
４ａ 加工部
４ｂ 一部
６ 繰り出しボビン
８ 繰り出しローラー
１０ 巻き取りボビン
１２ 巻き取りローラー
１４ 第１供給ローラー
１６ 第２供給ローラー
１８ 第３供給ローラー
２０ 第４供給ローラー
２２ 第１調整ローラー
２４ 第１ガイドローラー（ガイドローラー群）
２６ 第２ガイドローラー（ガイドローラー群）
２８ 第３ガイドローラー（ガイドローラー群）
３０ 第４ガイドローラー（ガイドローラー群）
３２ 第５供給ローラー
３４ 第６供給ローラー
３６ 第７供給ローラー
３８ 第２調整ローラー
４０ 基台
４２ 本体
４４ 固定部材
４６ 加工送り機構（加工送り手段）
４８ 高周波パルス電源ユニット
４８ａ パルス調整部
４８ｂ 電圧調整部
５０ 給電ローラー
５２ 加工液槽
５４ 加工液
５６ 加工屑捕獲ユニット（加工屑捕獲手段）
５８ フィルタ（フィルタ部）
５８ａ 開口
６０ チューブ（ホース）
６２ 吸引用ノズル（吸引部）
６２ａ 吸引口
６４ 筐体
６６ 磁石
６８ 循環機構
７０ ノズル本体
７２ 磁石
７４ 制御ユニット（制御手段）
１１ 被加工物
１１ａ 溝
１１ｂ 加工屑

Claims (3)

1. 導電性を有するワイヤが並列するように複数回巻き掛けられ、該ワイヤの走行に合わせて回転する複数のガイドローラーと、
   導電材で形成され、被加工物を固定する基台と、
   該複数のガイドローラーと該基台とを相対的に移動させて、該基台に固定された被加工物に対して該ワイヤの並列する加工部を加工送りする加工送り機構と、
   被加工物及び該加工部を浸漬するための加工液が貯留される加工液槽と、
   該加工部と該基台との間に高周波パルス電圧を印可する高周波パルス電源ユニットと、
   各構成要素を制御する制御ユニットと、
   該高周波パルス電圧を印加しながら該ワイヤを走行させるとともに、該加工液に浸漬した被加工物に対して該加工液に浸漬した該加工部を加工送りする放電加工の際に、被加工物から発生する加工屑を捕獲する加工屑捕獲ユニットと、を備え、
   該加工屑捕獲ユニットは、該ワイヤの走行方向の下流側で該加工屑を該加工液とともに吸引する吸引部を有することを特徴とするワイヤ放電加工装置。
2. 該加工屑捕獲ユニットは、該放電加工の際に剥離する該ワイヤの一部とともに該加工屑を磁力で捕獲するフィルタを更に有し、
   該吸引部で吸引された該加工屑を含む該加工液から該フィルタで該加工屑を分離し、得られる該加工液を再利用することを特徴とする請求項１記載のワイヤ放電加工装置。
3. 該フィルタは、該磁力を発生させる電磁石を含み、該加工屑を捕獲する際には該磁力を発生し、捕獲した該加工屑を該フィルタから除去する際には該磁力を発生しないことを特徴とする請求項２記載のワイヤ放電加工装置。