JP2017192999A - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】幅の狭い溝が形成される場合等でも加工屑を適切に排出できるワイヤ放電加工装置を提供する。【解決手段】被加工物（１１）をスライスするワイヤ放電加工装置（２）であって、加工部（４ａ）に対して基台（２６）の反対側の領域で加工部に沿って設けられ、被加工物の側面に向けて加工液を噴射することで、加工部によって被加工物に形成される溝に加工液を供給する加工液供給ノズル（４２）を備え、加工液供給ノズルは、所定の供給領域（Ａ）に向けて加工液（２１ａ）を噴射する第１ノズル（４４）と、第１ノズルに対して基台の反対側の領域から供給領域に向けて加工液（２１ｂ）を噴射する第２ノズル（４６）と、を有し、第１ノズル及び第２ノズルの一方から噴射される加工液の被加工物の側面での広がりを第１ノズル及び第２ノズルの他方から噴射される加工液で抑え、供給領域への加工液の供給を促進させる。【選択図】図２

Description

本発明は、被加工物を放電加工するワイヤ放電加工装置に関する。

インゴット等の被加工物からウェーハを切り出す場合には、ワイヤソー（マルチワイヤソー）と呼ばれる加工装置を用いるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。このワイヤソーは、複数のガイドローラーに巻き掛けられたワイヤを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませることで、薄いウェーハを切り出す。

一方、このようなワイヤソーを用いる加工方法では、ガイドローラーに巻き掛けられたワイヤに対して砥粒を分散させたスラリーを供給し続けなければならないので、工程が煩雑である。また、被加工物に対してワイヤが直に接触するので、工程中にワイヤが切れる可能性も高かった。

これらの問題に対し、近年では、純水等の加工液に浸漬した金属製のワイヤと被加工物との間で放電させてウェーハを非接触で切り出すワイヤ放電加工装置（マルチワイヤ放電加工装置）が提案されている（例えば、特許文献２参照）。このワイヤ放電加工装置は、例えば、ワイヤと被加工物との間にパルス電圧を印加し、ワイヤを所定の方向に送りながら被加工物に対して切り込ませるように動かすことで、ウェーハを非接触で切り出す。

ところで、上述のような放電加工で発生する加工屑がワイヤと被加工物との間に残留すると、続く放電の際にワイヤと被加工物とが短絡し、局所的な熱が発生してしまう。その結果、被加工物の加工精度は低下し、また、ワイヤも切れ易くなる。そこで、専用のノズルで溝内に加工液の流れを発生させて加工屑を取り除く装置や方法等が提案されている（例えば、特許文献３参照）。

特開平９−９４７５５号公報 特開２０１１−１４００８８号公報 特開２０１４−９７５４２号公報

ところが、細いワイヤを用いて幅の狭い溝を形成する場合等には、溝内を加工液が流れ難くなり、上述の装置や方法等では必ずしも加工屑を適切に排出できない。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、幅の狭い溝が形成される場合等でも加工屑を適切に排出できるワイヤ放電加工装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、放電加工によって被加工物をスライスするワイヤ放電加工装置であって、導電性を有するワイヤが並列するように複数回巻き掛けられ、該ワイヤの走行に合わせて回転する複数のガイドローラーと、被加工物を固定する基台と、該複数のガイドローラーと該基台とを相対的に移動させて、該基台に固定された被加工物に対して並列する該ワイヤの加工部を加工送りする加工送り機構と、被加工物及び該加工部を浸漬するための加工液が貯留される加工液槽と、該加工部と該基台との間に高周波パルス電圧を印可する高周波パルス電源ユニットと、該加工部に対して該基台の反対側の領域で該加工部に沿って設けられ、被加工物の側面に向けて加工液を噴射することで、該加工部によって被加工物に形成される溝に加工液を供給する加工液供給ノズルと、を備え、該加工液供給ノズルは、所定の供給領域に向けて加工液を噴射する第１ノズルと、該第１ノズルに対して該基台の反対側の領域から該供給領域に向けて加工液を噴射する第２ノズルと、を備え、該第１ノズル及び該第２ノズルの一方から噴射される加工液の被加工物の側面での広がりを該第１ノズル及び該第２ノズルの他方から噴射される加工液で抑え、該供給領域への加工液の供給を促進させることを特徴とするワイヤ放電加工装置が提供される。

本発明の一態様において、該加工液供給ノズルは、該加工部を構成する該ワイヤの走行方向に沿って進退可能に構成されていることが好ましい。

また、本発明の一態様において、該加工液供給ノズルは、該加工送り方向及び該加工部の走行方向に直交する回転軸の周りに回転可能に構成されており、加工液の噴射方向を調整できることが好ましい。

本発明の一態様に係るワイヤ放電加工装置は、所定の供給領域に向けて加工液を噴射する第１ノズルと、第１ノズルに対して基台の反対側の領域から供給領域に向けて加工液を噴射する第２ノズルと、を含む加工液供給ノズルを備えるので、第１ノズル及び第２ノズルの一方から噴射される加工液の被加工物の側面での広がりを第１ノズル及び第２ノズルの他方から噴射される加工液で抑え、供給領域への加工液の供給を促進させることができる。つまり、本発明の一態様に係るワイヤ放電加工装置では、溝内を加工液が流れ易くなるので、幅の狭い溝が形成される場合等でも溝内の加工屑を適切に排出できる。

ワイヤ放電加工装置の構成例を模式的に示す図である。 図２（Ａ）は、加工液供給ノズルの構成例を模式的に示す側面図であり、図２（Ｂ）は、加工液供給ノズルの構成例を模式的に示す平面図（上面図）である。 被加工物が放電加工される様子を模式的に示す斜視図である。 図４（Ａ）は、被加工物が放電加工される様子を模式的に示す平面図（上面図）であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一部を拡大した拡大図である。 加工液供給ノズルから加工液が供給される様子を模式的に示す図である。 放電加工の前半で加工液供給ノズルから噴射される加工液の流れの例を模式的に示す図である。 放電加工の後半で加工液供給ノズルから噴射される加工液の流れの例を模式的に示す図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、ワイヤ放電加工装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、ワイヤ放電加工装置（マルチワイヤ放電加工装置）２は、ワイヤ４が巻回された繰り出しボビン６を支持する円柱状の繰り出しローラー８を備えている。

繰り出しローラー８の上方には、巻き取りボビン１０を支持する円柱状の巻き取りローラー１２が配置されている。繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４は、後述する放電加工に使用された後、巻き取りボビン１０に巻き取られる。ワイヤ４は、例えば、直径が５０μｍ〜２００μｍ程度のピアノ線等を、黄銅やタングステン、モリブデン等の材料で被覆して形成されており、被加工物１１の放電加工に必要な導電性を備えている。

繰り出しローラー８の近傍には、繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤ４を下流側へと送る第１供給ローラー１４が配置されている。第１供給ローラー１４の下方には、第１供給ローラー１４から送られたワイヤ４を案内する円柱状の第１ガイドローラー１６が配置されている。第１供給ローラー１４から送られたワイヤ４は、第１ガイドローラー１６に巻き掛けられて下方に案内される。この第１ガイドローラー１６は、例えば、ワイヤ４の移動（走行）に合わせて回転する従動ローラーである。

第１ガイドローラー１６の下方には、第１ガイドローラー１６で案内されたワイヤ４を更に案内する円柱状の第２ガイドローラー１８が配置されている。第１ガイドローラー１６で案内されたワイヤ４は、第２ガイドローラー１８に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第２ガイドローラー１８は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤ４を移動（走行）させる駆動ローラーである。

第２ガイドローラー１８から水平方向に離れた位置には、第２ガイドローラー１８で案内されたワイヤ４を更に案内する円柱状の第３ガイドローラー２０が配置されている。第２ガイドローラー１８で案内されたワイヤ４は、第３ガイドローラー２０に巻き掛けられて上方に案内される。この第３ガイドローラー２０は、例えば、ワイヤ４の移動（走行）に合わせて回転する従動ローラーである。また、第３ガイドローラー２０によって上方に案内されたワイヤ４の一部は、被加工物１１を加工する加工部４ａとなる。

第３ガイドローラー２０の上方には、第３ガイドローラー２０で案内されたワイヤ４を更に案内する円柱状の第４ガイドローラー２２が配置されている。第３ガイドローラー２０で案内されたワイヤ４は、第４ガイドローラー２２に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第４ガイドローラー２２は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤ４を移動（走行）させる駆動ローラーである。

第４ガイドローラー２２で案内されたワイヤ４は、第１ガイドローラー１６に再び巻き掛けられて第２ガイドローラー１８に案内される。上述のように、第１ガイドローラー１６には、既にワイヤ４が巻き掛けられているので、ここでは、第１ガイドローラー１６の別の位置にワイヤ４が巻き掛けられる。具体的には、既に巻き掛けられているワイヤ４に対して第１ガイドローラー１６の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が再度巻き掛けられる。

同様に、第１ガイドローラー１６で案内されたワイヤ４は、第２ガイドローラー１８に再び巻き掛けられて第３ガイドローラー２０に案内される。また、第２ガイドローラー１８で案内されたワイヤ４は、第３ガイドローラー２０に再び巻き掛けられて第４ガイドローラー２２に案内される。更に、第３ガイドローラー２０で案内されたワイヤ４は、第４ガイドローラー２２に再び巻き掛けられて第１ガイドローラー１６に案内される。

第２ガイドローラー１８、第３ガイドローラー２０、及び第４ガイドローラー２２にも既にワイヤ４が巻き掛けられているので、ここでも、第２ガイドローラー１８、第３ガイドローラー２０、又は第４ガイドローラー２２の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が再度巻き掛けられる。第４ガイドローラー２２で案内されたワイヤ４は、第１ガイドローラー１６に更に巻き掛けられて第２ガイドローラー１８に案内される。

このように、第１ガイドローラー１６、第２ガイドローラー１８、第３ガイドローラー２０、及び第４ガイドローラー２２（以下、ガイドローラー群とも呼ぶ。）には、回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤ４が複数回巻き掛けられる。これにより、第３ガイドローラー２０と第４ガイドローラー２２との間には複数の加工部４ａ（ワイヤ４）が並列されて、被加工物１１から複数のウェーハを一度に切り出すことができる。

第３ガイドローラー２０及び第４ガイドローラー２２に巻き掛けられるワイヤ４の回転軸方向の間隔（すなわち、隣接する加工部４ａの間隔）は、切り出されるウェーハの厚みに対応し、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍに設定される。ただし、ワイヤ４の回転軸方向の間隔（隣接する加工部４ａの間隔）は、ウェーハの仕様等に応じて任意に変更できる。同様に、ワイヤ４を巻き掛ける回数は、被加工物１１やウェーハの仕様等に応じて任意に設定される。

巻き取りローラー１２の近傍には、加工に使用されたワイヤ４を下流側へと送る第２供給ローラー２４が配置されている。上述のようにガイドローラー群に複数回巻き掛けられたワイヤ４は、第１ガイドローラー１６で鉛直方向に案内される。第１ガイドローラー１６で案内されたワイヤ４は、第２供給ローラー２４に巻き掛けられて、巻き取りボビン１０で巻き取られる。

第２ガイドローラー１８及び第４ガイドローラー２２には、モーター等の回転駆動源が連結されている。この回転駆動源で、第２ガイドローラー１８及び第４ガイドローラー２２を回転させれば、ワイヤ４は、所定の送り方向（走行方法）へと送られる（走行する）。なお、回転駆動源は、例えば、繰り出しローラー８、巻き取りローラー１２等に連結されても良い。

加工部４ａの側方には、被加工物１１を固定する基台２６が配置されている。基台２６は、アーム状の本体２８と、本体２８の一端部に装着される固定部材３０とを含む。被加工物１１は、例えば、シリコンやＳｉＣ、ダイヤモンド（単結晶ダイヤモンド）等の材料で円柱状に形成されたインゴットであり、ワイヤ４（加工部４ａ）の送り方向に対して被加工物１１の高さ方向（円柱の高さ方向、代表的には、結晶成長方向）が垂直になるように、導電性接着剤や半田等で固定部材３０に接着される。ただし、被加工物１１の種類等に特段の制限はない。

本体２８の他端部には、基台２６を水平方向に移動（加工送り）させる加工送り機構（加工送り手段）３２が連結されている。この加工送り機構３２で、基台２６（被加工物１１）とガイドローラー群（ワイヤ４）とを相対的に移動（加工送り）させることで、被加工物１１に対してワイヤ４の加工部４ａを切り込ませるように動かすことができる。

本体２８には、放電加工用の高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニット３４の第１端子が接続されている。一方、第１ガイドローラー１６と第４ガイドローラー２２との間には、高周波パルス電源ユニット３４の第２端子に接続された給電ローラー３６が配置されている。この給電ローラー３６は、第１ガイドローラー１６と第４ガイドローラー２２との間でワイヤ４に接触している。すなわち、ワイヤ４（加工部４ａ）には、高周波パルス電源ユニット３４の第２端子が電気的に接続されている。

高周波パルス電源ユニット３４は、例えば、高周波パルス電圧の発生を制御し、パルス幅や繰り返し周波数を調整するパルス調整部３４ａと、電圧を調整する電圧調整部３４ｂと、を含んでいる。この高周波パルス電源ユニット３４により、放電加工に必要なパルス電圧を発生できる。

第１端子に接続される基台２６の本体２８及び固定部材３０は、例えば、カーボン、金属等の導電性材料（導電材）で構成され、被加工物１１は、導電性接着剤や半田等で固定部材３０に接着されている。また、給電ローラー３６を介して第２端子に接続されるワイヤ４は、導電性を備えている。そのため、高周波パルス電源ユニット３４で発生した高周波パルス電圧は、ワイヤ４（加工部４ａ）と被加工物１１との間に印加される。

第２ガイドローラー１８、第３ガイドローラー２０、及び基台２６の固定部材３０を囲む位置には、加工液槽３８が配置されている。加工液槽３８の内部には、純水等の加工液４０が貯留されており、少なくとも、ワイヤ４の加工部４ａ及び被加工物１１が加工液４０に浸漬している。

また、第２ガイドローラー１８及び第４ガイドローラー２２を回転させる回転駆動源、加工送り機構３２、高周波パルス電源ユニット３４等の各構成要素には、制御ユニット（不図示）が接続されている。この制御ユニットは、例えば、あらかじめ設定される放電加工の条件等に基づいて、上述した各構成要素の動作等を制御する。

更に、加工部４ａに対して基台２６の反対側の領域には、被加工物１１の側面（円柱の側面）に向けて加工液を噴射するための加工液供給ノズル４２が配置されている。図２（Ａ）は、加工液供給ノズル４２の構成例を模式的に示す側面図であり、図２（Ｂ）は、加工液供給ノズル４２の構成例を模式的に示す平面図（上面図）である。

図１、図２（Ａ）、及び図２（Ｂ）に示すように、加工液供給ノズル４２は、ワイヤ４に接触しても導通しない樹脂等の絶縁体を用いて、加工部４ａの並列する方向に伸長する棒状に形成されている。この加工液供給ノズル４２は、例えば、基台２６（加工部４ａ）側の第１ノズル部（第１ノズル）４４と、基台２６（加工部４ａ）とは反対側の第２ノズル部（第２ノズル）４６と、を含んでいる。

第１ノズル部４４は、第１ノズル部４４側に位置する第１上面４２ａから下面４２ｃまで貫通する第１流路４４ａを備えている。第１流路４４ａの下面４２ｃ側には、配管（不図示）等を通じて、加工液の供給源（不図示）が接続されており、この供給源から供給される加工液は、第１流路４４ａの第１上面４２ａ側に設けられた噴射口から、上方（加工部４ａの下流側）の供給領域Ａに向けて噴射される。なお、この噴射口は、１ｍｍ〜３ｍｍ程度の幅に形成すると良い。

一方、第２ノズル部４６は、第２ノズル部４６側に位置する第２上面４２ｂから下面４２ｃまで貫通する第２流路４６ａを備えている。第２流路４６ａの下面４２ｃ側には、配管（不図示）等を通じて、加工液の供給源（不図示）が接続されており、この供給源から供給される加工液は、第２流路４６ａの第２上面４２ｂ側に設けられた噴射口から、供給領域Ａに向けて噴射される。なお、この噴射口も、１ｍｍ〜３ｍｍ程度の幅に形成すると良い。

上述のように、第２ノズル部４６は、第１ノズル部４４対して基台２６の反対側の領域に配置されている。よって、この第２ノズル部４６から供給領域Ａに向けて加工液を噴射できるように、第２ノズル部４６の噴射方向（第２流路４６ａ）は、第１ノズル部４４の噴射方向（第１流路４４ａ）に対して傾いている。第１流路４４ａに対する第２流路４６ａの傾きの角度θは、供給領域Ａの位置等に応じて任意に設定、変更される。

このように構成された加工液供給ノズル４２は、加工部４ａの近傍に配置されている（加工部４ａに沿って配置されている）。よって、この加工液供給ノズル４２から被加工物１１の側面に向けて加工液を噴射することで、加工部４ａからの放電によって形成される被加工物１１内の溝に加工液を供給して、加工屑の排出に適した加工液の流れを形成できる。

更に、この加工液供給ノズル４２は、加工部４ａ（ワイヤ４）の移動（走行）する方向（走行方向）に沿って移動（進退）できるように構成されている。そのため、放電加工時の加工送りの進行に応じて加工液供給ノズル４２を移動させることで、加工液供給ノズル４２と被加工物１１との距離を一定以下に保って、溝への供給に適した近い位置から加工液を噴射できる。

なお、この加工液供給ノズル４２は、加工送りの方向（加工送り方向）及び加工部４ａの移動（走行）する方向に対して直交する回転軸の周りに回転できるように構成されることが望ましい。これにより、供給領域Ａを円弧状の軌跡に沿って移動させて、加工液の噴射方向を調整できる。具体的には、例えば、放電加工時の加工送りの進行に応じて加工液供給ノズル４２を回転させることで、溝への供給に適した向きに加工液を噴射できるようになる。

次に、上述したワイヤ放電加工装置２を用いる被加工物１１の放電加工方法について説明する。本実施形態では、高周波パルス電圧を印加しながらワイヤ４を送り（走行させ）、更に、加工液４０に浸漬したワイヤ４の加工部４ａに対して被加工物１１を加工送りすることで、被加工物１１を放電加工する。なお、ワイヤ放電加工装置２では複数の加工部４ａが並列しているので、被加工物１１は複数にスライスされる。

図３は、被加工物１１が放電加工される様子を模式的に示す斜視図であり、図４（Ａ）は、被加工物１１が放電加工される様子を模式的に示す平面図（上面図）であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一部を拡大した拡大図である。被加工物１１を放電加工する際には、まず、高周波パルス電源ユニット３４でワイヤ４（加工部４ａ）と基台２６（被加工物１１）との間に高周波パルス電圧を印加する。また、ガイドローラー群等を回転させて、図３に示すように、ワイヤ４を所定の送り方向（走行方向）に送る（走行させる）。

次に、ワイヤ４（加工部４ａ）が被加工物１１に切り込むように、移動機構３２で被加工物１１を水平方向に移動（加工送り）させる。つまり、基台２６（被加工物１１）とガイドローラー群（ワイヤ４）とを相対的に移動させることで、ワイヤ４の加工部４ａを被加工物１１に対して加工送りする。加工液４０中で絶縁状態にある被加工物１１とワイヤ４の加工部４ａとが十分に近づくと、加工液４０による絶縁が破壊されて、被加工物１１と加工部４ａとの間で放電が生じる。

その結果、放電に伴う熱で被加工物１１の加工部４ａに近接する部分が溶融される。また、加工液４０の温度が急激に上昇して沸騰し、体積が膨張して被加工物１１の溶融した部分を拡散（飛散）させる。このように、ワイヤ４（加工部４ａ）と基台２６（被加工物１１）との間に高周波パルス電圧を供給しながら加工送りすることで、被加工物１１に対する加工部４ａの移動経路に応じた溝１１ａを形成できる（図４（Ａ）、図４（Ｂ））。

なお、この放電加工時には、基台２６（被加工物１１）とガイドローラー群（ワイヤ４）との相対的な移動の速度（加工送り速度）を、例えば、０．５μｍ／秒〜２μｍ／秒程度に設定すると良い。ただし、この速度は、任意に設定、変更できる。基台２６とガイドローラー群との相対的な移動（加工送り）は、被加工物１１が完全に切断されるまで続けられる。以上により、被加工物１１から複数のウェーハを同時に切り出すことができる。

このような放電加工では、図４（Ｂ）に示すように、被加工物１１から発生する加工屑１１ｂが溝１１ａ内に滞留し易い。加工屑１１ｂを溝１１ａ内に放置すると、被加工物１１の加工精度が低下したり、ワイヤ４が切れ易くなったりする。そこで、本実施形態に係る放電加工方法では、上述した放電加工の際に、加工液供給ノズル４２から加工液を供給して、加工屑の排出に適した加工液の流れを溝１１ａ内に形成する。

図５は、加工液供給ノズル４２から加工液が供給される様子を模式的に示す図である。図５では、主に、加工送りの進行に伴い変化する加工液供給ノズル４２と被加工物１１との位置関係を示している。図５に示すように、加工液供給ノズル４２は、加工送りの進行に合わせて被加工物１１の近傍をワイヤ４（加工部４ａ）の走行方向に沿って移動しながら加工液を噴射する。

ここで、第１ノズル部４４及び第２ノズル部４６から噴射する加工液の流量は、例えば、それぞれ、１Ｌ／ｍｉｎ〜１０Ｌ／ｍｉｎ程度、代表的には、５Ｌ／ｍｉｎ程度とする。これにより、溝１１ａへの供給に適した近い位置から、適切な流量の加工液を噴射できる。

図６は、放電加工の前半で加工液供給ノズル４２から噴射される加工液の流れの例を模式的に示す図である。図６に示すように、放電加工の前半では、第２ノズル部４６よりも第１ノズル部４４が溝１１ａに近い。

よって、例えば、第１ノズル部４４から噴射される加工液２１ａの被加工物１１の側面での広がりは、第２ノズル部４６から噴射される加工液２１ｂの流れによって抑えられる。これにより、例えば、溝１１ａ内に設定される供給領域Ａへの加工液２１ａの供給を促進できる。

図７は、放電加工の後半で加工液供給ノズル４２から噴射される加工液の流れの例を模式的に示す図である。図７に示すように、放電加工の後半では、前半に比べて第２ノズル部４６が溝１１ａに近くなり、第１ノズル部４４は溝１１ａから遠くなる。

よって、例えば、第２ノズル部４６から噴射される加工液２１ｂの被加工物１１の側面での広がりは、第１ノズル部４４から噴射される加工液２１ａの流れで抑えられる。これにより、例えば、溝１１ａ内に設定される供給領域Ａへの第２ノズル部４６からの加工液２１ｂの供給を促進させることができる。

以上のように、本実施形態に係るワイヤ放電加工装置２は、所定の供給領域Ａに向けて加工液を噴射する第１ノズル部（第１ノズル）４４と、第１ノズル部４４に対して基台２６の反対側の領域から供給領域Ａに向けて加工液を噴射する第２ノズル部（第２ノズル）４６と、を含む加工液供給ノズル４２を備えるので、第１ノズル部４４及び第２ノズル部４６の一方から噴射される加工液の被加工物１１の側面での広がりを第１ノズル部４４及び第２ノズル部４６の他方から噴射される加工液で抑え、供給領域Ａへの加工液の供給を促進させることができる。つまり、本実施形態に係るワイヤ放電加工装置２では、溝１１ａ内を加工液が流れ易くなるので、幅の狭い溝が形成される場合等でも溝内の加工屑を適切に排出できる。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、第１ノズル部（第１ノズル）４４と第２ノズル部（第２ノズル）４６とを含む加工液供給ノズル４２について例示しているが、３個以上のノズル部（ノズル）を備える加工液供給ノズルを用いても良い。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ ワイヤ放電加工装置（マルチワイヤ放電加工装置）
４ ワイヤ
４ａ 加工部
６ 繰り出しボビン
８ 繰り出しローラー
１０ 巻き取りボビン
１２ 巻き取りローラー
１４ 第１供給ローラー
１６ 第１ガイドローラー（ガイドローラー群）
１８ 第２ガイドローラー（ガイドローラー群）
２０ 第３ガイドローラー（ガイドローラー群）
２２ 第４ガイドローラー（ガイドローラー群）
２４ 第２供給ローラー
２６ 基台
２８ 本体
３０ 固定部材
３２ 加工送り機構（加工送り手段）
３４ 高周波パルス電源ユニット
３４ａ パルス調整部
３４ｂ 電圧調整部
３６ 給電ローラー
３８ 加工液槽
４０ 加工液
４２ 加工液供給ノズル
４２ａ 第１上面
４２ｂ 第２上面
４２ｃ 下面
４４ 第１ノズル部（第１ノズル）
４４ａ 第１流路
４６ 第２ノズル部（第２ノズル）
４６ａ 第２流路
１１ 被加工物
１１ａ 溝
１１ｂ 加工屑
２１ａ，２１ｂ 加工液
Ａ 供給領域

Claims (3)

1. 放電加工によって被加工物をスライスするワイヤ放電加工装置であって、
   導電性を有するワイヤが並列するように複数回巻き掛けられ、該ワイヤの走行に合わせて回転する複数のガイドローラーと、
   被加工物を固定する基台と、
   該複数のガイドローラーと該基台とを相対的に移動させて、該基台に固定された被加工物に対して並列する該ワイヤの加工部を加工送りする加工送り機構と、
   被加工物及び該加工部を浸漬するための加工液が貯留される加工液槽と、
   該加工部と該基台との間に高周波パルス電圧を印可する高周波パルス電源ユニットと、
   該加工部に対して該基台の反対側の領域で該加工部に沿って設けられ、被加工物の側面に向けて加工液を噴射することで、該加工部によって被加工物に形成される溝に加工液を供給する加工液供給ノズルと、を備え、
   該加工液供給ノズルは、
   所定の供給領域に向けて加工液を噴射する第１ノズルと、該第１ノズルに対して該基台の反対側の領域から該供給領域に向けて加工液を噴射する第２ノズルと、を備え、
   該第１ノズル及び該第２ノズルの一方から噴射される加工液の被加工物の側面での広がりを該第１ノズル及び該第２ノズルの他方から噴射される加工液で抑え、該供給領域への加工液の供給を促進させることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
2. 該加工液供給ノズルは、該加工部を構成する該ワイヤの走行方向に沿って進退可能に構成されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ放電加工装置。
3. 該加工液供給ノズルは、該加工送り方向及び該加工部の走行方向に直交する回転軸の周りに回転可能に構成されており、加工液の噴射方向を調整できることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のワイヤ放電加工装置。