JPS60249532A - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents
ワイヤ放電加工装置Info
- Publication number
- JPS60249532A JPS60249532A JP10367684A JP10367684A JPS60249532A JP S60249532 A JPS60249532 A JP S60249532A JP 10367684 A JP10367684 A JP 10367684A JP 10367684 A JP10367684 A JP 10367684A JP S60249532 A JPS60249532 A JP S60249532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- roller
- wire electrode
- pinch roller
- capstan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
- B23H7/08—Wire electrodes
- B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、ワイヤ電極と被加工物とのあいだに形成さ
れた所定寸法の加工間隙に、たとえば直ＲＲＣ放電回路
を用いてパルス性アーク放雷、を繰シ返し発生させるこ
とによって生ずる導体抵抗による発熱、電子衝撃による
発熱あるいけ蒸気発生による圧力などによシ被加工物を
溶融して所定の加工を行なうワイヤ放電加工装置に関す
るもので、特にこの発明は、ワイヤ電極の巻取り回収部
において、このワイヤ電極を挾持して巻取る巻取口〜う
がワイヤ電極とのスリップ現象によって雄耗しないよう
にして、常にワイヤ電極を円滑に巻取って回収するよう
にしたワイヤ放電加工装置に関するものである。
れた所定寸法の加工間隙に、たとえば直ＲＲＣ放電回路
を用いてパルス性アーク放雷、を繰シ返し発生させるこ
とによって生ずる導体抵抗による発熱、電子衝撃による
発熱あるいけ蒸気発生による圧力などによシ被加工物を
溶融して所定の加工を行なうワイヤ放電加工装置に関す
るもので、特にこの発明は、ワイヤ電極の巻取り回収部
において、このワイヤ電極を挾持して巻取る巻取口〜う
がワイヤ電極とのスリップ現象によって雄耗しないよう
にして、常にワイヤ電極を円滑に巻取って回収するよう
にしたワイヤ放電加工装置に関するものである。
第６図〜第５図は何れも従来のこの種ワイヤ放電加工装
置を示すもので、第６図は全体構成図、第４図および第
５図はワイヤ電極の巻取り回収部を示す側面図である。
置を示すもので、第６図は全体構成図、第４図および第
５図はワイヤ電極の巻取り回収部を示す側面図である。
まず、第６図において、（１）は供給ボビン（２）から
送シ出されるワイヤ電極、（３）は電、磁ブレーキ（６
ａ）に直結され、上記ワイヤ電極（１）に所定の張力を
与えるブレーキローラ、（４ａ） ＋（４ｂ）および（
４ｃ）は上記ワイヤ電極（１）の走行方向を変更させる
アイドラ、（５）は上部ガイド、（６）は下部ガイドで
、この上部ガイド（５）と下部ガイド（６）は上記ワイ
ヤ電極（１１を支持し、被加工物（７）に対し所定の方
向にワイヤ電極（１１を送行させるために設けられたも
のである。（８）はワイヤ電極（１１と被加工物（７）
に加工エネルギーを供給する電源、（９）はワイヤ電極
（１）を両側から挾持してこれを所定速度で巻取る巻取
シ回収部で、この巻取シ回収部（９）によシ供給ボビン
（２）からワイヤ電極〔１）を巻取りながら上記ブレー
キローラ（３）によシ、このワイヤ電極（］）にブレー
キをかけることによって所定の張力を与えることかでき
る。（＋０１は上記巻取り回収部（９）によって巻取ら
れたワイヤ電極（１）を回収する回収容器である。
送シ出されるワイヤ電極、（３）は電、磁ブレーキ（６
ａ）に直結され、上記ワイヤ電極（１）に所定の張力を
与えるブレーキローラ、（４ａ） ＋（４ｂ）および（
４ｃ）は上記ワイヤ電極（１）の走行方向を変更させる
アイドラ、（５）は上部ガイド、（６）は下部ガイドで
、この上部ガイド（５）と下部ガイド（６）は上記ワイ
ヤ電極（１１を支持し、被加工物（７）に対し所定の方
向にワイヤ電極（１１を送行させるために設けられたも
のである。（８）はワイヤ電極（１１と被加工物（７）
に加工エネルギーを供給する電源、（９）はワイヤ電極
（１）を両側から挾持してこれを所定速度で巻取る巻取
シ回収部で、この巻取シ回収部（９）によシ供給ボビン
（２）からワイヤ電極〔１）を巻取りながら上記ブレー
キローラ（３）によシ、このワイヤ電極（］）にブレー
キをかけることによって所定の張力を与えることかでき
る。（＋０１は上記巻取り回収部（９）によって巻取ら
れたワイヤ電極（１）を回収する回収容器である。
従来のワイヤ放電加工装置は上記のように構成′されて
いるので、第６図に示すように、ワイヤ電極（１）は供
給ボビン（２）から送シ出さり１、ブレーキローラｆ３
１、アイドラ（４ａ）、（４ｂ）、上部ガイド（５）、
被加工物（７）、下部ガイド（６）、およびアイドラ（
４ｃ）を経て巻取シ回収部（９）によシ回収容器（１０
）に回収されるわけであるが、上記巻取シ回収部（９）
は、第４図に示すように直結されたモータＣ１２＋にょ
夛一定トルクで回転するキャプスタ／ローラ（１υと、
このキャップスタンローラ（Ｉｎにはね（１５）によっ
て所定圧力で圧接され、両側から挾持したワイヤ電極（
１１を巻取るピンチローラ（１４とによって構成されて
いる。
いるので、第６図に示すように、ワイヤ電極（１）は供
給ボビン（２）から送シ出さり１、ブレーキローラｆ３
１、アイドラ（４ａ）、（４ｂ）、上部ガイド（５）、
被加工物（７）、下部ガイド（６）、およびアイドラ（
４ｃ）を経て巻取シ回収部（９）によシ回収容器（１０
）に回収されるわけであるが、上記巻取シ回収部（９）
は、第４図に示すように直結されたモータＣ１２＋にょ
夛一定トルクで回転するキャプスタ／ローラ（１υと、
このキャップスタンローラ（Ｉｎにはね（１５）によっ
て所定圧力で圧接され、両側から挾持したワイヤ電極（
１１を巻取るピンチローラ（１４とによって構成されて
いる。
なお、（１（イ）は上記ピンチローラ（１３）を回転自
在に支承し、支軸（１４ａ）によって揺動自在に支持さ
れた支持アームで、この支持アーム（１４）をキャプス
タンローラ０υに向って付勢する上記−：ね（１９には
その押圧力を調整するための調整ねじ（１６）が付加さ
れている。
在に支承し、支軸（１４ａ）によって揺動自在に支持さ
れた支持アームで、この支持アーム（１４）をキャプス
タンローラ０υに向って付勢する上記−：ね（１９には
その押圧力を調整するための調整ねじ（１６）が付加さ
れている。
また、上記キャプスタンローラ（Ｉｎと、ピンチローラ
１３とは負電位を有するワイヤ電極（１）に接触するた
め、正電位を有する装置とは電気的に絶縁する必要があ
ることはいうまでもないよ 一般にこの種ワイヤ放電加工装置において、その性能の
良否を決める要素として加工速度があげられるが、この
加工速度の向上を計るためには、まずワイヤ電極（１１
の直径分大きくしてワイヤ（１）に与える電流値の増大
を計シ、しかもこのワイヤ電極（１）の極間における余
力を大きくしてワイヤ電極（１１の振動中を減少させ加
工体積を縮少させ加工効率を高めると共に、単発放電エ
ネルギーを増大して単発放電による加工量を増加する等
の手段が挙けられる。この場合、上述したように、ワイ
ヤ電極（１）の極間における張力を大きくすると、第５
図に示すように、ワイヤ電極（１１の走行方向（Ｉｎと
は逆方向の張力ｆ１８１が大きくなり、キャプスタンロ
ーラ０υと、ピンチローラ（１四間におけるワイヤ電極
（１１のスリップ現象が発生し易くなシ、ワイヤ電極の
張力、およびワイヤ走行速度が変動して、加工速度や加
工精度が低下するばかシでなく、ワイヤ電極（１）が断
線し易くなって作業能率が著しく低下する欠点がある。
１３とは負電位を有するワイヤ電極（１）に接触するた
め、正電位を有する装置とは電気的に絶縁する必要があ
ることはいうまでもないよ 一般にこの種ワイヤ放電加工装置において、その性能の
良否を決める要素として加工速度があげられるが、この
加工速度の向上を計るためには、まずワイヤ電極（１１
の直径分大きくしてワイヤ（１）に与える電流値の増大
を計シ、しかもこのワイヤ電極（１）の極間における余
力を大きくしてワイヤ電極（１１の振動中を減少させ加
工体積を縮少させ加工効率を高めると共に、単発放電エ
ネルギーを増大して単発放電による加工量を増加する等
の手段が挙けられる。この場合、上述したように、ワイ
ヤ電極（１）の極間における張力を大きくすると、第５
図に示すように、ワイヤ電極（１１の走行方向（Ｉｎと
は逆方向の張力ｆ１８１が大きくなり、キャプスタンロ
ーラ０υと、ピンチローラ（１四間におけるワイヤ電極
（１１のスリップ現象が発生し易くなシ、ワイヤ電極の
張力、およびワイヤ走行速度が変動して、加工速度や加
工精度が低下するばかシでなく、ワイヤ電極（１）が断
線し易くなって作業能率が著しく低下する欠点がある。
このように、ワイヤ電極のスリップ現象を防止するため
の一つの手段として第４図に示す調整ねじ１則を調整し
てキャプスタンローラ０υに対するピンチローラ（１３
１の圧接力を増大させているが、このようにピンチロー
９０段のキャプスタンローラαυに対する圧接力を強く
すると、ワイヤ電極（１１が変形（圧潰）して、やけシ
キャブズタンローラ０υとピンチローラ（１３１との間
でスリラフ−現象が発生するばかりでなく、キャプスタ
ンローラ０υと、ピンチローラ（１３１の外周面が摩耗
し易くなる欠点がある。さらに、上述したように、単発
放電、によって加工量の増加を計る場合には、ワイヤ電
極（１）の表面の消耗も必然的に激しくなり、ワイヤ電
極（１）の表面が鋸刃状となることによってこれまたキ
ャプスタ／ローラａυと、ピンチローラ（１３の外周面
の摩耗につながることになる。このように、キャプスタ
／ローラ（１υと、ピンチローラｕ３の外周面が摩耗す
ると、ワイヤ電極（１）を正確に挾持することができず
、ピンチローラｆ１．Ｉｌの圧接力か弱い場合と同様に
、ワイヤ電極（１１とキャブズタンローラ住υとピンチ
ローラ（１りとの間でスリップ現象が生じ、そのスリッ
プ現象によシワイヤ電極の張力、およびワイヤ電極の走
行速度が変動して、加工精度や加工速度が低下するばか
りでなく、ワイヤ電極の断線も発生し易く々る欠点があ
る。さらにまた、上記ギヤプスタ、ンローラ圓、および
ピンチローラ０３）の材質は、従来、絶縁性と耐摩耗性
の関係からアルミナ系セラミック材が広く使用されてい
るが、このアルミナ系セラミック材は消耗品として著し
く高価で、上記ローラが短期間に摩耗することは、ワイ
ヤ放電加工装置のランニングコストが上がるばかシでな
く、部品交換や、メンテナンスの頻度が高くなることに
よシワイヤ放電、加工装置を長期間安定した状態で稼動
させることができない欠点もある。
の一つの手段として第４図に示す調整ねじ１則を調整し
てキャプスタンローラ０υに対するピンチローラ（１３
１の圧接力を増大させているが、このようにピンチロー
９０段のキャプスタンローラαυに対する圧接力を強く
すると、ワイヤ電極（１１が変形（圧潰）して、やけシ
キャブズタンローラ０υとピンチローラ（１３１との間
でスリラフ−現象が発生するばかりでなく、キャプスタ
ンローラ０υと、ピンチローラ（１３１の外周面が摩耗
し易くなる欠点がある。さらに、上述したように、単発
放電、によって加工量の増加を計る場合には、ワイヤ電
極（１）の表面の消耗も必然的に激しくなり、ワイヤ電
極（１）の表面が鋸刃状となることによってこれまたキ
ャプスタ／ローラａυと、ピンチローラ（１３の外周面
の摩耗につながることになる。このように、キャプスタ
／ローラ（１υと、ピンチローラｕ３の外周面が摩耗す
ると、ワイヤ電極（１）を正確に挾持することができず
、ピンチローラｆ１．Ｉｌの圧接力か弱い場合と同様に
、ワイヤ電極（１１とキャブズタンローラ住υとピンチ
ローラ（１りとの間でスリップ現象が生じ、そのスリッ
プ現象によシワイヤ電極の張力、およびワイヤ電極の走
行速度が変動して、加工精度や加工速度が低下するばか
りでなく、ワイヤ電極の断線も発生し易く々る欠点があ
る。さらにまた、上記ギヤプスタ、ンローラ圓、および
ピンチローラ０３）の材質は、従来、絶縁性と耐摩耗性
の関係からアルミナ系セラミック材が広く使用されてい
るが、このアルミナ系セラミック材は消耗品として著し
く高価で、上記ローラが短期間に摩耗することは、ワイ
ヤ放電加工装置のランニングコストが上がるばかシでな
く、部品交換や、メンテナンスの頻度が高くなることに
よシワイヤ放電、加工装置を長期間安定した状態で稼動
させることができない欠点もある。
この発明は、かかる点に着目してなされたもので、ワイ
ヤ電極巻取９同収部のキャプスタンローラと、ピンチロ
ーラの材料として窒化珪素セラミック等を使用すること
によって上述しｆｃ諸欠点を除去したワイヤ放電加工装
置を提供しようとするものである。
ヤ電極巻取９同収部のキャプスタンローラと、ピンチロ
ーラの材料として窒化珪素セラミック等を使用すること
によって上述しｆｃ諸欠点を除去したワイヤ放電加工装
置を提供しようとするものである。
第１図は、この発明の一実施例を示すもので、特にこの
ワイヤ放電加工装置はワイヤ電極（ＩＩを自動的に接続
し得るようにした実施例を示す。ワイヤ電極ｉｌ＋は所
定の経路を経て上部キャプスタンローラ（６２）と、上
部ピンチローラ（６３）間に挟持され、この引張力でパ
イプ状の上部ワイヤカイトＴｏυ内を走行したあと、所
定の経路を辿シ、下部キャプスタンローラ（財）、およ
び下部ピンチローラ（６Ｓ 間に挾持され、その引張力
でパイプ状の下部ワイヤガイド卵内を走行し次の糸路に
移るようになされているが、上記各キャプスタンローラ
ｆ６２ｉ ｒ （（ｉ４１と、ピンチローラ（６３１，
（６５）はそれぞれ窒化珪素糸セラミック材？用いるか
、またはアルミナ系セラミック材からなる基体にチタニ
ウム材をコーティングする〃・、あるいけジルコニアセ
ラミンク材を用いるが、官らに絶縁材基体に鉄＋チクン
カーバイト材をコーティングして作られている。
ワイヤ放電加工装置はワイヤ電極（ＩＩを自動的に接続
し得るようにした実施例を示す。ワイヤ電極ｉｌ＋は所
定の経路を経て上部キャプスタンローラ（６２）と、上
部ピンチローラ（６３）間に挟持され、この引張力でパ
イプ状の上部ワイヤカイトＴｏυ内を走行したあと、所
定の経路を辿シ、下部キャプスタンローラ（財）、およ
び下部ピンチローラ（６Ｓ 間に挾持され、その引張力
でパイプ状の下部ワイヤガイド卵内を走行し次の糸路に
移るようになされているが、上記各キャプスタンローラ
ｆ６２ｉ ｒ （（ｉ４１と、ピンチローラ（６３１，
（６５）はそれぞれ窒化珪素糸セラミック材？用いるか
、またはアルミナ系セラミック材からなる基体にチタニ
ウム材をコーティングする〃・、あるいけジルコニアセ
ラミンク材を用いるが、官らに絶縁材基体に鉄＋チクン
カーバイト材をコーティングして作られている。
なお、第２図はこの稗ワイヤ放矩、加工装置において、
同一使用条件下における従来のアルミナ系セラミック材
からなるキャプスタンローラおよびピンチローラと、こ
の発明にかかるキャブズタンロ〜うおよびピンチローラ
との摩耗量の比較をした比較図で、摩耗量の限度を０．
０５ｍ＋ｎと設定し、０．０５−まで摩耗する時間によ
シ比較したものである。この第２図において、 ＋５１
１は従来のアルミナ系セラミック材を用いた場合の摩耗
量、（５鴎は絶縁材からなる基本に鉄中チタンカーバイ
トをコーティングした場合の摩耗量、６〜はジルコニア
製のセラミック材を用いた場合の摩耗量、（５４１は窒
化珪素系セラミック材を用いた場合の摩耗量をそれぞれ
示している。
同一使用条件下における従来のアルミナ系セラミック材
からなるキャプスタンローラおよびピンチローラと、こ
の発明にかかるキャブズタンロ〜うおよびピンチローラ
との摩耗量の比較をした比較図で、摩耗量の限度を０．
０５ｍ＋ｎと設定し、０．０５−まで摩耗する時間によ
シ比較したものである。この第２図において、 ＋５１
１は従来のアルミナ系セラミック材を用いた場合の摩耗
量、（５鴎は絶縁材からなる基本に鉄中チタンカーバイ
トをコーティングした場合の摩耗量、６〜はジルコニア
製のセラミック材を用いた場合の摩耗量、（５４１は窒
化珪素系セラミック材を用いた場合の摩耗量をそれぞれ
示している。
、〔発明の効果〕
以上述べたように、この発明によればワイヤ電極の巻取
シ回収部のキャプスタンローラと、ピンチローラの材料
として窒素珪累系セラミックを用いるようにしたので、
ローラ表面の耐摩耗特性の改善によりワイヤ放電加工装
置の加工速度や、加工精度が著しく向上するばかシでな
く、ワイヤ電極の断線も少なくなると共に、ローラ寿命
が伸びるため、部品交換や、メンテナンス頻度を減らす
ことができることによってワイヤ放電加工装置の稼動率
が著しく向上するとともに、高価なローラ −の交換頻
度が減少することによりワイヤ放電加工のランニングコ
ストを低減することができる優れた効果を有するもので
ある。
シ回収部のキャプスタンローラと、ピンチローラの材料
として窒素珪累系セラミックを用いるようにしたので、
ローラ表面の耐摩耗特性の改善によりワイヤ放電加工装
置の加工速度や、加工精度が著しく向上するばかシでな
く、ワイヤ電極の断線も少なくなると共に、ローラ寿命
が伸びるため、部品交換や、メンテナンス頻度を減らす
ことができることによってワイヤ放電加工装置の稼動率
が著しく向上するとともに、高価なローラ −の交換頻
度が減少することによりワイヤ放電加工のランニングコ
ストを低減することができる優れた効果を有するもので
ある。
第１図はこの発明の一実施例を示す構成図、第２図はこ
の発明のものと、従来のキャプスタンローラとピンチロ
ーラの摩耗量の比較をした比較図である。第６図〜第５
図は何れも従来のこの種ワイヤ放電加工装置を示すもの
で、第６図は全体構成図、第４図および第５図はワイヤ
電極の巻取シ回収部を示す側面図である。 図において、（１）はワイヤ電極、（３）はブレーキロ
ーラ、（４ｇ） （４ｂ） （４ｃ）はアイドラ、ｆ５
） ｆ６１は上部ガイドと下部ガイド、（７）は被加工
物、１（ｉ２１は上部キャプスタンローラ、（６４）は
下部キャプスタンローラ、關は上部ピンチローラ、（６
っは下部ピンチローラ、（６υけ上部ワイヤガイド、（
川は下部ワイヤガイドである。なお、図中同一符号は同
一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図 ６４ ６ロ ーーー一時瞥（Ｈり 第３図
の発明のものと、従来のキャプスタンローラとピンチロ
ーラの摩耗量の比較をした比較図である。第６図〜第５
図は何れも従来のこの種ワイヤ放電加工装置を示すもの
で、第６図は全体構成図、第４図および第５図はワイヤ
電極の巻取シ回収部を示す側面図である。 図において、（１）はワイヤ電極、（３）はブレーキロ
ーラ、（４ｇ） （４ｂ） （４ｃ）はアイドラ、ｆ５
） ｆ６１は上部ガイドと下部ガイド、（７）は被加工
物、１（ｉ２１は上部キャプスタンローラ、（６４）は
下部キャプスタンローラ、關は上部ピンチローラ、（６
っは下部ピンチローラ、（６υけ上部ワイヤガイド、（
川は下部ワイヤガイドである。なお、図中同一符号は同
一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図 ６４ ６ロ ーーー一時瞥（Ｈり 第３図
Claims (4)
- （１）放電加工すべき被加工物を貫通するワイヤ電極を
両側から挾持してこれを所定速度で移送するキャプスタ
ンローラとピンチローラを窒化珪素系セラミック材で形
成したことを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - （２）キャプスタンローラと、ピンチローラをアルミナ
系セラミック材からなる基体にチタニウム材をコーティ
ングして形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のワイヤ放電加工装置。 - （３）キャプスタンローラと、ピンチローラをジルコニ
アセラミック材で形成したことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のワイヤ放電加工装置。 - （４）キャプスタンローラと、ピンチローラヲ絶縁材か
らなる基体に鉄＋チタンカーバイト材をコーティングし
て形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のワイヤ放電加工装置。 １５）−組のキャプスタンローラと、ピンチローラを被
加工物の上部と下部にそれぞれ配置してワイヤ電極を所
定速度で移送するようにしたことを特徴とする特許請求
のｗ８囲第１項記載のワイヤ放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10367684A JPS60249532A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | ワイヤ放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10367684A JPS60249532A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | ワイヤ放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60249532A true JPS60249532A (ja) | 1985-12-10 |
Family
ID=14360390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10367684A Pending JPS60249532A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | ワイヤ放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60249532A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130240487A1 (en) * | 2010-11-24 | 2013-09-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire-cut electrical discharge machining apparatus and semiconductor wafer manufacturing method |
-
1984
- 1984-05-24 JP JP10367684A patent/JPS60249532A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130240487A1 (en) * | 2010-11-24 | 2013-09-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire-cut electrical discharge machining apparatus and semiconductor wafer manufacturing method |
| US9387548B2 (en) * | 2010-11-24 | 2016-07-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire-cut electrical discharge machining apparatus and semiconductor wafer manufacturing method |
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