FR3046737B1 - Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives - Google Patents

Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives Download PDF

Info

Publication number
FR3046737B1
FR3046737B1 FR1650287A FR1650287A FR3046737B1 FR 3046737 B1 FR3046737 B1 FR 3046737B1 FR 1650287 A FR1650287 A FR 1650287A FR 1650287 A FR1650287 A FR 1650287A FR 3046737 B1 FR3046737 B1 FR 3046737B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
cutting
workpiece
semiconductor
ceramic material
abrasive particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
FR1650287A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3046737A1 (fr
Inventor
Jean-Daniel PENOT
Nastasja Grillet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority to FR1650287A priority Critical patent/FR3046737B1/fr
Priority to EP17704395.7A priority patent/EP3402642B1/fr
Priority to PCT/EP2017/050821 priority patent/WO2017121900A1/fr
Publication of FR3046737A1 publication Critical patent/FR3046737A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3046737B1 publication Critical patent/FR3046737B1/fr
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
FR1650287A 2016-01-14 2016-01-14 Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives Expired - Fee Related FR3046737B1 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1650287A FR3046737B1 (fr) 2016-01-14 2016-01-14 Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives
EP17704395.7A EP3402642B1 (fr) 2016-01-14 2017-01-16 Procédé et système de découpe en tranches d'une pièce en matériau semi-conducteur ou en céramique, à l'aide d'un fil de découpe et de particules abrasives
PCT/EP2017/050821 WO2017121900A1 (fr) 2016-01-14 2017-01-16 Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1650287 2016-01-14
FR1650287A FR3046737B1 (fr) 2016-01-14 2016-01-14 Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3046737A1 FR3046737A1 (fr) 2017-07-21
FR3046737B1 true FR3046737B1 (fr) 2018-06-29

Family

ID=55752500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1650287A Expired - Fee Related FR3046737B1 (fr) 2016-01-14 2016-01-14 Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP3402642B1 (fr)
FR (1) FR3046737B1 (fr)
WO (1) WO2017121900A1 (fr)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003033207A1 (fr) * 2001-10-17 2003-04-24 Neomax Co., Ltd. Procede de decoupe au moyen d'un fil helicoidal, dispositif de decoupe a fil helicoidal, et procede de fabrication d'un aimant permanent a base de terres rares
DE102006033699B4 (de) * 2006-07-20 2009-07-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Drahtsäge mit kontrollierbarem Drahtfeld
DE102010049472A1 (de) * 2009-10-27 2011-06-09 Meyer Burger Ag Drahtsäge mit Drahtfeld und Abziehleiste
JP5490255B2 (ja) * 2010-11-24 2014-05-14 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置および半導体ウエハ製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
FR3046737A1 (fr) 2017-07-21
EP3402642A1 (fr) 2018-11-21
EP3402642B1 (fr) 2020-05-27
WO2017121900A1 (fr) 2017-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3342839C0 (fr) Procédé de fabrication de particules abrasives
PL3455321T3 (pl) Sposób formowania cząstek ściernych
GB202010486D0 (en) Microfluidic chips for particles purification and fractionation
SG10201706573RA (en) Method and apparatus for monitoring abrasive machining
EP3692107A4 (fr) Particules abrasives traitées en surface pour des applications de polissage de tungstène
ITUB20160110A1 (it) Macchina lucidatrice orbitale per lastre in materiale lapideo
IL267505A (en) Machine and method for grinding and/or brushing slabs of stone materials, such as natural or aggregate stone, ceramics and glass
FR3018214B1 (fr) Meuleuse et procede de meulage d'une surface de sol
FR3033726B1 (fr) Outil abrasif pour un dresseur rotatif
IL249930A0 (en) A method for smoothing and/or polishing slabs of stone or stone-like material
SG11201703248YA (en) Ceramic end mill and method for cutting difficult-to-cut material using the same
PL3600765T3 (pl) Instalacja do cięcia strugą zawiesiny wodno-ściernej i sposób cięcia strugą zawiesiny wodno-ściernej
EP3351520A4 (fr) Procédé de production de polycristal de diamant, polycristal de diamant, outil de coupe, outil résistant à l'usure et outil de meulage
PL3433049T3 (pl) Obrabiarka do obróbki za pomocą oddzielania przedmiotu obrabianego w kształcie płyty
FR3036635B1 (fr) Procede de traitement des poussieres retirees d'une surface par un outil et equipement permettant la mise en oeuvre dudit procede
FR3018618B1 (fr) Procede et systeme de controle d'un poncage orbital
HUE064435T2 (hu) Hónoló szerszám és finommegmunkálási eljárás a hónoló szerszám alkalmazásával
SI3475378T1 (sl) Elektrotaljena zrna aluminijevega oksida, proizvodni postopek za elektrotaljena zrna aluminijevega oksida, brusilni kamen in oplaščen abraziv
PL3476534T3 (pl) Przyrząd obróbczy do obróbki obrabianych przedmiotów oraz sposób odprowadzania wiórów z narzędzia
PT3439841T (pt) Máquina para cortar lajes de pedra ou material tipo pedra
FR3046737B1 (fr) Procede et systeme de decoupe en tranches d'une piece en materiau semi-conducteur ou en ceramique, a l'aide d'un fil de decoupe et de particules abrasives
IT201700070652A1 (it) Macchina combinata di taglio e bisellatura per lastre di materiale lapideo o litoide
FR3041650B1 (fr) Substrat luminescent contenant des particules abrasives, et son procede de preparation
PL3431223T3 (pl) Sposób obróbki detali i obrabiarka do stosowania sposobu
PT3129202T (pt) Máquina-ferramenta e sistema modular para trabalhar produtos em material de pedra

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20170721

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6

ST Notification of lapse

Effective date: 20220905