JP2966240B2 - 放電加工装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は放電加工装置に関し、更
に詳細に述べると、粉末微粒子を含まない油系加工液供
給系統と粉末微粒子を含む粉末混入油系加工液供給系統
とを備えた放電加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】放電加工装置は、３次元形状の加工用電
極を用いて被加工物との間に放電を発生せしめ被加工物
を放電加工する形彫り放電加工加工装置と、０．０２か
ら０．３ｍｍ程度のプラスやタングステン等の材質で作
られたワイヤ電極を一対のワイヤガイド間で更新移動さ
せ、被加工物とワイヤ電極とにより形成される微小間隙
で放電を発生させ被加工物を加工するワイヤカット放電
加工装置とに大別される。

【０００３】ワイヤカット放電加工装置では、加工液と
してイオン交換された水や油系加工液が使用されてい
る。一方、形彫り放電加工装置では油系加工液を用いる
のが一般的である。さらに、仕上げ加工領域で加工の安
定性や光沢面仕上げを得る目的で、油加工液に多結晶性
シリコン等の微粉末を結合した粉末混入加工液と従来に
油加工液とを切り換えて使用するようにしたワイヤカッ
ト及び形彫り放電加工装置が使用されている。

【０００４】加工液として油加工液又は粉末を混入した
粉末混入加工液のいずれかを選択的に用いるようにした
従来の放電加工装置につき、図６を参照して説明する。

【０００５】図６中で、４は加工用電極、３は被加工物
である。被加工物３はワークテーブルに固定されてお
り、加工タンク１が載置されているＸＹクロステーブル
２上に前記ワークテーブルは固定されている。ＸＹクロ
ステーブル２は公知の数値制御装置を含む放電加工制御
装置１２により制御され、ＸＹクロステーブル２に取り
付けられたＸ軸モータ８とＹ軸モータ７とにより、被加
工物３は加工用電極４に対しＸ−Ｙ平面内で相対的に移
動できるようになっている。また、加工用電極４はＺ軸
下端に取り付けられており、Ｚ軸モータ９により、加工
用電極４は被加工物３に対し上下に相対移動できるよう
に構成されている。

【０００６】２０は加工液供給装置を総体的に示し、加
工液供給装置２０は清浄油加工液槽２０ａ、汚濁油加工
液槽２０ｂ及び粉末を混入させた加工液を貯液する粉末
混入加工液槽２０ｃの３槽を有している。

【０００７】清浄油加工液槽２０ａから清浄油加工液２
１ａがポンプＰ１により電磁開閉弁５ａを通して供給管
路Ｐ１３から加工タンク１に供給されている場合は、ポ
ンプＰ３は停止しており、電磁開閉弁５ｄ、５ｅはいず
れも閉状態とされている。そして、ドレインバルブ１ａ
が閉められることにより、清浄油加工液に被加工物３が
浸漬された状態で放電加工が行える。ドレインバルブ１
ａが開放されると、排管路ｐ１４からの汚濁油加工液２
１ｂは、開状態とされている電磁開閉弁５ｂを通して汚
濁油加工液槽２０ｂに戻され、回収された汚濁油加工液
２１ｂはポンプＰ２によりフィルタＦ１を通して清浄油
加工液２１ａとして清浄油加工液槽２０ａに戻される。
以上が、清浄油加工液２１ａを放電加工のために加工タ
ンク１内に供給するための清浄油加工液供給系統を含む
加工液循環路の構成である。

【０００８】一方、粉末混入加工液槽２０ｃを含んで成
る粉末混入加工液供給系統は、粉末混入加工液槽２０ｃ
内の粉末混入加工液２１ｃを加工タンク１に送液するた
め供給管路ｐ１３に連結されているポンプＰ３及び電磁
開閉弁５ｄから成り、排管路ｐ１４からの排液は、電磁
開閉弁５ｅを介して粉末混入加工液槽２０ｃに戻され
る。

【０００９】つぎに、放電加工作業を説明しながら加工
液供給装置２０の各加工液供給系統の動作を説明する。
まず、加工用電極４と被加工物３とが加工タンク１内に
セットされ、放電加工を開始するに当たって、ドレイン
バルブ１ａを閉め、電磁開閉弁５ａと５ｂを開放し、電
磁開閉弁５ｄと５ｅを閉めポンプＰ１を駆動し清浄油加
工液２１ａを加工タンク１に送液する。加工液が加工タ
ンク１内の所定の液面まで達すると図示していない液面
検出器から放電許可信号が放電加工制御装置１２に送ら
れ、放電加工制御装置１２は、指定されたプログラム基
づき加工用電極４及び被加工物３の間に加工パルスを供
給すると共に両者を相対移動させて所望の加工条件で荒
加工から仕上げ加工までの放電加工を順次実行する。最
終仕上げ加工段階前までの加工が終了すると、ポンプＰ
１の駆動を停止し、ドレインバルブ１ａを開放し加工タ
ンク１内の加工液を汚濁油加工液槽２０ｂに排液する。

【００１０】しかる後、粉末混入加工液を使用して最終
仕上げ加工を行うため、ドレインバルブ１ａ、電磁開閉
弁５ａ、５ｂを閉め、代わって電磁開閉弁５ｄ、５ｅが
開放されポンプＰ３が駆動される。粉末混入加工液２１
ｃが前述同様加工タンク１に供給され、所定の液面にま
で達すると、放電加工制御装置１２は最終仕上げ加工を
実行する。この加工が終了するとドレインバルブ１ａが
開放され粉末混入加工液は排管路ｐ１４を通して粉末混
入加工液槽２０ｃに戻され、作業が終了する。

【００１１】粉末混入加工液の粉末濃度は最終仕上げ加
工の品位に大きく影響するため、濃度測定器などで常に
チェックされ所定の濃度になるよう補充添加する等して
できる限り一定になるよう調整される。また、粉末粒子
が沈澱して濃度変化を起こさぬよう常に攪拌されてい
る。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従来の装置は、以上の
ように構成されており荒加工から最終仕上げ加工までを
自動的に行うことができる。しかしながら、粉末混入加
工液２１ｃを使用して放電加工を行った後はどうしても
粉末粒子が加工タンク１内に付着、沈澱しており、次の
加工の為、粉末粒子をきれいに加工タンク１から除去す
る必要かある。粉末粒子が加工タンク１に残存している
と、次の被加工物をワークテーブルにセットする際の取
り付け精度に影響を与えるばかりではなく、次の荒加工
時に加工液に粉末粒子が混入し、加工が不安定になった
り、加工拡大代が大きくなり加工精度に影響を与えるこ
とになるからである。

【００１３】このため、作業者は一つの被加工物の加工
が終るとゴムべらなどで加工タンク１に沈澱した粉末粒
子をきれいに擦り取り粉末混入加工液槽２０ｃに戻す作
業を行っているが、これだけでは不充分であり、従来で
は完全に粉末粒子を除去するため粉末粒子の含まれてい
ない清浄油加工液槽２０ａからの清浄油加工液２１ａで
加工タンク１を洗い流している。ところが、この様な操
作を度重ねると粉末混入加工液槽２０ｃに清浄油加工液
２０ａが追加されることになり、粉末混入加工液供給系
統において所定の値に調整されている加工液と粉末粒子
との比率が変化してしまい、所望の最終仕上げ加工を良
好に行うことができなくなってしまうという問題があっ
た。

【００１４】また、ワイヤカット放電加工装置において
粉末混入加工液を使用する場合においては、ワイヤ電極
を供給回収する機構が加工タンク内に存在しているため
ローラ部やワイヤガイドの開閉部等の回転部や摺動部に
粉末粒子が侵入してしまい、良好な加工を行うことが困
難になるという問題を生じている。さらに、このような
粉末粒子がローラ部やワイヤガイドの開閉部等の回転部
や摺動部に一旦侵入してしまうと、これを後から完全に
除去するにはその部分の分解掃除が必要となり、多大な
手間を要することになる。

【００１５】本発明は、上記の問題に鑑みてなされたも
ので、その目的は、粉末混入加工液を用いた加工を良好
に行うことができる改善された放電加工装置を提供する
ことにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の特徴は、加工タンクを有し電極と被加
工物とを微小間隙をあけて相対向させ、電極と被加工物
との間に加工液の存在の下に電圧パルスを繰り返し印加
し、前記微小間隙に放電を発生させて被加工物を放電加
工する放電加工装置において、油系の第一加工液を前記
微小間隙に供給するための第一の加工液供給系統と、油
系加工液に粉末微粒子を混入させて成る第二加工液を貯
蔵しておくための加工液槽を有し該第二加工液を微小間
隙に供給するための第二の加工液供給系統と、前記第二
加工液を油系加工液と粉末微粒子とに分離するための分
離手段と、加工液槽内の第二加工液を該分離手段を介し
て加工タンク内に送給するための送給手段と、加工タン
ク内の加工液を前記第一又は第二の加工液供給系統のい
ずれか一方に選択的に戻すための戻し手段とを備えた点
にある。

【００１７】本発明の第２の特徴は、加工タンクを有
し、電極と披加工物とを微小間隙をあけて相対向させ、
電極と被加工物との間に加工液の存在の下に電圧パルス
を繰り返し印加し、前記微小間隙に放電を発生させて披
加工物を放電加工する放電加工装置において、油系の第
一加工液を前記微少間隙に供給するための第一の加工液
供給系統と、油系加工液に粉末微粒子を混入させて成る
第二加工液を貯蔵しておくための加工液槽を有し該第二
加工液を微小間隙に供給するための第二の加工液供給系
統と、第二加工液を油系加工液と粉末微粒子とに分離す
るための分離手段と、加工タンク内に露出する可動部及
び又は摺動部を覆うためのカバー部材と、第二の加工液
を微少間隙に供給している場合に加工液槽内の第二加工
液を分離手段を介してカバー部材内に加圧送給するため
の加圧送給手段と、加工タンク内の加工液を第一又は第
二の加工液供給系統のいずれか一方に選択的に戻すため
の戻し手段とを備えた点にある。

【００１８】

【作用】本発明の第１の特徴によれば、送給手段から清
浄な加工液を得ることができ、この清浄加工液で加工タ
ンク内を洗浄することができる。洗浄に供用した後の加
工液は、戻し手段によって加工液槽に戻すことができ、
これにより、第二の加工液供給系統における油系加工液
の量を変化させることが有効に防止できる。したがっ
て、分離手段によって分離された粉末微粒子を適宜の手
段によって第二の加工液供給系統に戻すことにより、第
二の加工液供給系統における油系加工液と粉末微粒子と
の比率を所定の値に維持させることができる。

【００１９】本発明の第２の特徴によれば、第二加工液
を濾過して得られた清浄加工液が、加圧送給手段によっ
てカバー部材内に加圧送給されカバー部材内が清浄加工
液で満されるので、第二加工液を用いて被加工物を放電
加工している間、装置の可動部に粉末微粒子が付着する
のを防止することができる。この清浄加工液は第二加工
液を分離手段に通すことによって作られたものであるか
ら、第二加工液を用いての放電加工期間中、第二の加工
液供給系統における油系加工液と粉末微粒子との比率が
変化することはない。

【００２０】

【実施例】図１は本発明によるワイヤカット放電加工装
置の一実施例を示し、本実施の装置では、ワイヤ電極１
００が図示しないワイヤ電極供給装置から連続的に送り
だされ、一対のワイヤガイド（後述）により支持案内さ
れた状態で張架され、上下ノズル７０ａ、７０ｂ間に載
置された被加工物３とワイヤ電極１００との間に形成さ
れる微少間隙に電圧パルスを繰り返し供給して放電を発
生させ、被加工物３を加工する公知の構成である。従っ
て、その基本的構成について詳述するのは省略する。

【００２１】本実施例では、荒加工時には粉末粒子を混
入していない清浄油加工液を使用し、仕上げ加工時に
は、油系加工液に多結晶性シリコン等の粉末粒子を混入
した粉末混入加工液を使用して放電加工できるよう、清
浄油加工液供給系統Ｘと粉末混入加工液供給系統Ｙとを
含む、加工液供給装置３０を備えている。

【００２２】この加工液供給装置３０は、図６に示した
従来のそれと同様に、清浄油加工液３１ａを貯蔵する清
浄油加工液槽３０ａと、清浄油加工液３１ａを加工に使
用することにより生じた汚濁油加工液３１ｂを貯蔵する
汚濁油加工液槽３０ｂと、油系加工液に粉末微粒子を混
入して成る粉末混入加工液３１ｃを貯蔵しておくための
粉末混入加工液槽３０ｃとを備えている。なお、図１中
において、図６の各部と対応する部分には同一の符号を
付し、その説明を省略する。

【００２３】先ず、荒加工及び中加工を行うために、加
工タンク１内に清浄油加工液３１ａを供給するための清
浄油加工液供給系統Ｘについて説明する。清浄油加工液
供給系統Ｘは、清浄油加工液槽３０ａ内の清浄油加工液
３１ａを汲み上げるポンプＰ１と電磁開閉弁５ａ、１０
ｃとを有して形成される管路１ｃを有し、これらの電磁
開閉弁５ａ、１０ｃを共に開状態としてポンプＰ１を作
動させることにより、清浄油加工液３１ａを加工タンク
１内に供給し、充満せしめることができる。

【００２４】ここで、加工中はドレインバルブ１ａは閉
状態になっているので、ポンプＰ１により連続的に供給
されている清浄油加工液３１ａが、加工タンク１内で設
定された液面より高くなると、清浄油加工液３１ａがオ
ーバーフローをし始める。この加工タンク１内からのオ
ーバーフロー加工液は図示しないバイパス管路を通って
開放状態の電磁開閉弁５ｂを介して汚濁油加工液槽３０
ｂに帰還し、加工中は常時循環使用できる構成となって
いる。

【００２５】また、ポンプＰ１により清浄油加工液槽３
０ａから汲み上げられた清浄油加工液３１ａを加工間隙
に直接供給するため、管路１ｃには電磁開閉弁１０ａを
介して主供給管路１ｄが図示の如く連結されている。管
路１ｄは各ノズルの空間部８１（図４参照）に連動して
おり、したがって、清浄油加工液３１ａは、清浄油加工
液供給系統Ｘのうちの管路１ｃ、電磁開閉弁１０ａ及び
管路１ｄから成る回路によって加工間隙に直接供給され
る。

【００２６】電磁開閉弁５ａ、５ｂ及び排管路１ｂによ
り構成されるのは、ドレインバルブ１ａから排出された
加工液を加工液供給系統Ｘ、Ｙのいずれの系統に戻すの
かを選択するための戻し回路である。

【００２７】加工が終了すると、加工タンク１内の加工
液は、ドレインバルブ１ａを開放状態にすることによ
り、排管路１ｂを経て、電磁開閉弁５ｂを通り、そして
汚濁油加工液槽３０ｂに排液される。また、ポンプＰ２
は、汚濁油加工液槽３０ｂに溜められた汚濁油加工液３
１ｂを清浄油加工液３１ａに再生する為の循環ポンプ
で、汚濁油加工液槽３０ｂから汲み上げられた汚濁油加
工液３１ｂをフィルタＦ１に送り、清浄して清浄油加工
液槽３０ａに清浄油加工液３１ａとして戻す。

【００２８】以上において説明した清浄油加工液供給系
統Ｘにより加工間隙に清浄油加工液３１ａが供給されて
いる場合には、少なくとも、電磁開閉弁１０ｂ、１０ｅ
は閉じられており、粉末混入加工液３１ｃが混入するこ
とがないように制御される。

【００２９】次に、粉末混入加工液を用いて行う仕上げ
加工のための加工液循供給系統について説明する。中仕
上げ加工が終了後前述の通り加工タンク１内の加工液は
すべて排液されている。ここで、清浄油加工液供給系統
を電磁開閉弁５ａ、５ｂを閉状態にして切り離す。電磁
開閉弁５ｄ、６ｂ、１０ｃを開放し、電磁開閉弁６ａ、
５ｆ、１０ｅ、５ｃを閉じ、ドレインバルブ１ａを閉状
態として、ポンプＰ３により粉末混入加工液３１ｃを汲
み上げ、電磁開閉弁５ｄ、電磁開閉弁６ｂ、管路１ｃ、
電磁開閉弁１０ｃを通して加工タンク１内に粉末混入加
工液３１ｃが供給される。また、ポンプＰ３により汲み
上げられた粉末混入加工液３１ｃは、管路１ｃに連結さ
れている電磁開閉弁１０ａを通り管路１ｄにより上部ノ
ズル７０ａと下部ノズル７０ｂに流入し、ワイヤ電極１
００と被加工物３との間の加工間隙へ噴流される。これ
は、清浄油加工液３１ａの供給の場合と同様である。

【００３０】すなわち、ポンプＰ３によって汲み上げら
れた粉末混入加工液３１ｃは、粉末混入加工液供給系統
Ｙのうちの電磁開閉弁５ｄ、６ｂ、管路１ｃ、電磁開閉
弁１０ａ、管路１ｄから成る回路を介して、加工間隙に
直接供給される。

【００３１】また、前述同様オーバーフローした加工液
はバイパス管路を経て電磁開閉弁５ｅから粉末混入加工
液槽３０ｃに戻される。仕上げ加工終了後は、加工タン
ク１内の仕上げ加工用粉末混入加工液はドレインバルブ
１ａ、排管路１ｂ、電磁開閉弁５ｅを通して粉末混入加
工液槽３０ｃに排液される。この様に、加工タンク１か
らの粉末混入加工液は粉末混入加工液槽３０ｃのみに帰
還することで、仕上げ加工中、常時循環できるように構
成されている。

【００３２】なお、粉末混入加工液槽３０ｃ内でフィル
ター装置、例えば比重差を利用した遠心分離型濾過装置
あるいはマグネットフィルター等によって加工屑を処理
し、特に荒加工時に発生した加工屑をできるだけ除去す
るよう構成することが好ましい。又粉末混入加工液の濃
度を図示しない濃度検出器からの検出信号を用いて図示
しない濃度制御装置によって公知の方法で制御してい
る。

【００３３】以上のように、各々の加工段階において加
工液はその都度切り換えるといった動作及び装置構成と
している点については従来の装置とほぼ同様である。

【００３４】仕上げ加工終了後、前述した通り、加工タ
ンク１の底面部や被加工物を精度良く取り付けるための
治具等に粉末微粒子が沈澱あるいは付着しており、これ
らの微粒子を次の荒加工前に充分除去する必要がある。
この除去作業には粉末混入加工液槽３０ｃからの加工液
を濾過して使用することが望ましい。これは他の加工液
を使用すると粉末混入加工液の濃度が変化することと、
また洗浄後の排液を他の加工液貯溜槽例えば汚濁油加工
液槽３０ｂに戻すと粉末微粒子がフィルターにより除去
されてしまいコスト面で問題になるためである。そこ
で、本装置の場合には、以下に説明する洗浄液供給回路
が設けられている。

【００３５】上述の仕上げ加工時の粉末混入加工液の供
給循環系統において、放電加工終了後、加工タンク１内
の粉末混入加工液は、ドレインバルブ１ａを開けると同
時に粉末混入加工液槽３０ｃに戻されるが、別に設けら
れた管路に接続する電磁開閉弁６ａを開き、上記通常の
粉末混入加工液循環回路の電磁開閉弁６ｂを閉じること
により、粉末混入加工液槽３０ｃからの粉末混入加工液
３１ｃが濾過器ＲＦ１で濾過され、粉末微粒子が除去さ
れた清浄な加工液を洗浄液として供給することができる
洗浄液供給回路が形成される。この清浄な加工液は管路
１ｃを通って、上述した電磁開閉弁１０ｃを介して加工
タンク１側へ供給され、作業者は、その加工液の一部を
フレキシブルなホースでつないで取り出し、加工タンク
１のすみずみまでを粉末の混入していない加工液で洗浄
できる。

【００３６】また、加工タンク１内を洗浄すると共に粉
末の混入していない加工液は電磁開閉弁１０ａを介して
ノズル側にも流入しノズル部も洗浄される。この時、排
管路１ｂにつながる電磁開閉弁５ｂは閉じられているの
で、洗浄によって出た粉末粒子や加工屑を含む液は、ド
レインバルブ１ａと排管路１ｂと電磁開閉弁５ｅを通り
すべて粉末混入加工液槽３０ｃへ帰還する。この結果、
加工タンク１内を清浄な加工液で清掃できる上に、粉末
混入加工液供給系統Ｙ内における油加工液と粉末微粒子
との配合比率の値が所定値に維持できる。この場合、濾
過器ＲＦ１で粉末微粒子が濾過されるので、洗浄により
粉末混入加工液槽３０ｃ内の粉末混入加工液３１ｃの粉
末微粒子濃度が若干低下する傾向を生じるが、以下に説
明する濾過器ＲＦ１の逆洗によりこの不具合は解消され
るものである。

【００３７】濾過器ＲＦ１で濾過された粉末微粒子を粉
末混入加工液槽３０ｃへ戻すための逆洗循環回路につい
て説明すると、加工タンク１の洗浄が終了した後、電磁
開閉弁６ａ、１０ｄは閉じられており、ポンプＰ４によ
って、汲み上げられた液は電磁開閉弁５ｆを介し、濾過
器ＲＦ１を通り、ドレイン管に設けた電磁開閉弁５ｃを
経て粉末混入加工液槽３０ｃへ帰還する回路が形成さ
れ、粉末微粒子の回収が行われる。そして、粉末混入加
工液槽３０ｃでは図示しない攪拌機により攪拌され再び
以前の濃度の粉末混入加工液となる。この場合、電磁開
閉弁５ｆ、５ｃ以外の電磁開閉弁は全て閉状態である。
又逆洗を行う時期は洗浄循環回路又は、仕上げ加工の循
環回路が形成されている場合以外の時であるならば可能
である。したがって、荒加工時等において、この逆洗を
同時に行うことができる。なお、逆洗時に濾過器ＲＦ１
の電磁開閉弁５ｆ側に付着した粉末微粒子が、次の濾過
動作時に得られる洗浄等のための濾過加工液中に混入す
るのを防ぐため、逆洗動作終了後、ポンプＰ３を作動開
始させた直後の所定期間だけ電磁開閉弁１０ｄ、６ａ、
６ｂを閉じておくことにより、濾過器ＲＦ１の電磁開閉
弁５ｆ側に付着した粉末微粒子をこの時の濾過動作によ
って得られる清浄加工液と共に粉末混入加工液槽３０ｃ
内に戻すようにすることができる。

【００３８】以上、本説明を適用した上述の一実施例の
装置によれば、粉末混入加工液の通る管路を独立して設
けると共に該管路には粉末粒子を濾過するための濾過装
置を設け、粉末粒子の含まない加工液で加工タンク内を
洗浄するときに、粉末混入加工液槽３０ｃから加工タン
ク内を通って再度、元の加工液槽へ加工液を帰還するよ
うにしたので、清浄油加工液槽の加工液を全く使用する
ことなしに加工タンク内の各部の洗浄が可能であり、粉
末混入加工液供給系統のおける粉末微粒子の量と加工液
の量との比率を一定に保つことができる。

【００３９】更には、加工タンク内を洗浄するための上
記別の管路を設けた循環回路を適用したので加工タンク
内の粉末混入加工液を排出しつつ濾過器ＲＦ１を通した
清浄化された洗浄液を供給し、加工タンク内の残存する
粉末粒子や加工屑を完全に除去して連続的に効率よく洗
浄することができ、仕上げ加工から次の荒加工及び中加
工作業に迅速に移行することが可能であり、しかも加工
状態や加工精度に影響をあたえることがない。

【００４０】粉末混入加工液による仕上げ加工の際、粉
末混入加工液供給系統Ｙからの粉末混入加工液３０ｃの
供給によって加工タンク１内での上下ノズル７０ａ、７
０ｂ内に設けられている通電駒、ワイヤガイド部、さら
にワイヤ電極１００の搬送装置の駆動部に粉末微粒子が
浸入、付着することにより、ワイヤ電極の円滑走行が阻
害される、そこに残留した粉末微粒子が清浄加工液に混
入されて加工に支障を引き起こす等の不具合を生じる。
また、仕上げ加工終了後上記各部の洗浄が充分できない
まま装置を放置すると粉末微粒子は液体の蒸発後強固に
付着して除去ができなくなる。この様な粉末混入加工液
を使用する場合に生じる不具合を防止するための構成に
ついて図２乃至図５を参照して説明する。

【００４１】図４を参照して図１に示す上ノズル７０ａ
の構造について説明すると、上ノズル７０ａは、常時、
通電体７６とワイヤガイド部７７ａ、７７ｂへ清浄な液
のみを供給する清浄液供給口８３を有するノズルハウジ
ング７１によって形成された空間部８０を有しており、
空間部８０内の通電体７６は可動保持体７２をアクチュ
エータ７４によって移動させることによりワイヤ走行軸
線と垂直の方向に運動可能であり、且つワイヤ電極１０
０の自動結線を可能としている。

【００４２】更に、これにより、可動ワイヤガイド７７
ａも同時に移動し、一方、固定ワイヤガイド７７ｂは位
置決めビン７８等で固定する構成としている。止めねじ
７３は通電体７６の接触位置を変えるためにスライド可
能に設けられている。そしてハウジング７１と噴流側ハ
ウジング８２はノズル噴流口８５を有する隔壁に囲まれ
た空間部８１を構成することで独立もしくは分割されて
いる。又噴流側ハウジング８２には清浄油加工液あるい
は粉末混入加工液を供給するために加工液供給口８４が
形成されていて、加工段階での加工液の切り換えによっ
て、清浄油加工液供給系統Ｘからの清浄油加工液３１ａ
又は粉末混入加工液供給系統Ｙからの粉末混入加工液３
１ｃが空間部８１内に供給される。下ノズル７０ｂも同
様の構成である。

【００４３】図５には、上ノズル７０ａの別の構成が示
されている。図５に示すノズル７０ａは、図４に示した
ノズル本体とほぼ同様になっているが、アクチュエータ
７４ａには上部ワイヤガイド７９とＶ溝を有する下部ワ
イヤガイド７７ｂが結合されていて、アクチュエータ７
４ｂは通電体７６とＶ溝を有する下部ワイヤガイド７７
ａが結合されている。又Ｖ溝を形成することで加工液を
流入可能にし、アクチュエータ７４ａ、７４ｂにより通
電体７６、上部ワイヤガイド７９とワイヤガイド部材７
７ａ、７７ｂは開閉自在の割型とし、ワイヤ電極１００
の自動結線を可能としている。

【００４４】次に、粉末混入加工液を利用した放電加工
において、図４又は図５に示す如き構成、すなわち、加
工タンク１内に露出する可動部を覆うカバー部材として
働くハウジング７１を用い、ハウジング７１により可動
部を覆い、これにより形成された空間８０内に清浄な加
工液を加圧供給する構成による作用効果について説明す
る。

【００４５】まず電磁開閉弁１０ｄを開状態で、電磁開
閉弁１０ｂを閉状態とし、ノズル７０には、濾過器ＲＦ
１からの清浄な液のみを管路１ｅを介してその供給口８
３からノズルハウジング７１の空間部８０へ流入する。
続いて加工タンク１内に粉末混入加工液槽３０ｃからの
加工液を充満する。その後、管路１ｃを通る粉末混入加
工液は電磁開閉弁１０ａを開くと同時に噴流側ハウジン
グ８２の加工液供給口８４から該ハウジング８２内の空
間部８１へ流入し、ノズル噴流口８５から加工タンク１
内の浸漬された被加工物３とワイヤ電極１００の対向し
た加工間隙に噴流される。その時、ノズルハウジング７
１の空間部８０に供給される清浄液は、空間部８１に供
給される粉末混入加工液が逆流しない程度の液流圧とな
るよう、電磁開閉弁１０ｄの出口側に設けられている加
圧ポンプＰ５により加圧される。

【００４６】したがって、粉末混入加工液を放電加工間
隙に供給しつつ被加工物を放電加工している間、空間部
８０に供給される加圧清浄液によって空間部８０内の可
動部に粉末混入加工液が侵入するのを防止し、可動部等
に粉末が付着するのを有効に防止することができる。こ
の結果、加工終了後、空間部８０内の清掃が不要とな
り、装置の保持が簡単になると共に、長期間に亘って装
置の加工性能を高いレベルに保つことができる。

【００４７】本装置のワイヤ電極引取り部も、ノズル部
と同様に、それらの可動部をカバー部材で覆い、濾過器
ＲＦ１で濾過された清浄液をカバー部材内に加圧送給
し、これによりワイヤ電極引取り部の可動部を粉末微粒
の付着からまもる構成となっている。

【００４８】次に、この構成を図２、図３を参照しなが
ら説明する。図２において加工タンク１内に露出する上
部ノズル７０ａと下部ノズル７０ｂの間の被加工物３を
通ったワイヤ電極１００は、下アーム部１２０に設けら
れた複数のローラ１１８に巻いたベルト１０１、１０４
で挟み込まれ、搬送部１０２によって搬送される。

【００４９】図３において、ローラー１１８はローラー
・インナー部１１８ｂの内局口を通って、ローラー軸部
１１５と係合している。そしてローラー１１８を囲むた
めのケース部材１１６は、ローラー軸部１１５とボルト
１１３で下アーム部１２０に固着されると同時にローラ
ー１１８のローラー・インナー部１１８ｂに挟み込まれ
る。ケース部材１１６はその外側に設けられた複数の穴
により下アーム部１２０にボルト１１４で固定されてい
る。ワイヤ電極１００は、ローラー１１８に巻いたベル
ト１０１と１０４の間の挟み込み摩擦力によって挿入口
１１７から加工機外部まで搬送される。

【００５０】カバー１２２はケース部材１１６に係合
し、ボルト１１０でローラー１１８ａのインナー部１１
８ｂと強着される。キー１２３はローラー軸部１１５と
インナー部１１８ｂとの係合面で滑りを起こさないよう
に設けてある。粉末混入加工液供給系統から供給され濾
過器ＲＦ１を通って清浄化された液は、複数箇所に設け
た液供給口１１９ａ、１１９ｂからケース部材１１６と
カバー１２２で囲まれた空間部１２４へ流入される。流
入した液は複数箇所に設けられた流出口１２１から極微
量流出するよう、あるいは粉末混入加工液の逆流をしな
い程度の液流圧となるよう構成されている。流入した液
は、また、ワイヤ挿入口１１７からも流出する。この結
果、上下ノズル部７０ａ、７０ｂにおける場合と同様
に、ケース部材１１６によって囲われ、清浄液が供給さ
れている可動部分に粉末微粒子が付着するのを有効に防
止することができる。

【００５１】本装置は、以上のように、上下ノズル部に
粉末混入加工液を供給するに当たって粉末混入加工液が
流入する空間部とワイヤ電極の給電部及びワイヤガイド
部を囲む空間部を分割したので、給電部及びワイヤガイ
ド部へは、粉末混入加工液供給装置から濾過装置を通っ
た清浄化された液が常時、粉末混入加工液の逆流やワイ
ヤの断線を起こすことなく冷却作用を与える構造、更に
ワイヤ電極の搬送装置の駆動部及び摺動部にも粉末混入
加工液の粉末粒子が逆流することがなく、濾過装置を通
った清浄液が極微量ずつ常時供給する構造を採用したの
で、常時供給するすべての清浄液は、粉末混入加工液槽
から濾過装置を通して各部分へ送給し元の加工液に帰還
するため、粉末混入加工液濃度を一定に保ち、且つ粉末
粒体の影響を排除してワイヤ電極の走行の安定化を図る
ことができるので、高品質と作業能率の向上をもたらす
ことになる。

【００５２】なお、各部を洗浄清浄加工液を常時流し続
けると濾過装置ＲＦ１に徐々に粉末微粒子が補回収され
て行くが加工条件を切り換える際などに加工を一時的に
停止し逆洗浄工程を入れることにより長時間に渡る加工
でも加工液の濃度変化を最小にとどめることができる。

【００５３】図１に示す各電磁開閉弁の開閉制御及びポ
ンプの運転制御は、本実施例では、制御ユニットＵから
出力される制御信号ＣＳに従って行われる。この制御ユ
ニットＵは、例えば、放電加工機本体からの所要の作動
状態信号Ｓに応答してそれらの作動シーケンスをマイク
ロコンピュータ等を用いて決定し、所要の制御信号ＣＳ
を出力する構成とすることができるが、これに限定され
るものではなく、加工の進行に応じて作業者が手動で操
作してもよい。

【００５４】

【発明の効果】本発明によれば、上述の如く、粉末微粒
子が混入された加工液を濾過装置によって濾過し、濾過
された加工液を加工タンク内の各部の洗浄のために供給
するという循環路を構成するようにしたので、清浄加工
液供給系統の清浄液を全く使用せずに加工タンク内の各
部の洗浄が可能であり、粉末混入加工液供給系統におけ
る粉末微粒子と加工液との比率を変化させることがな
い。また、粉末微粒子が混入することで支障をきたす部
分に粉末混入加工液側からの清浄加工液を使用して常に
周囲より僅かに加圧することにより、長期に渡ってのメ
ンテナンス性も良く装置の加工性能及び信頼性が向上す
るという効果も得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による放電加工装置の一実施例を示す構
成図。

【図２】図１に示す放電加工装置のワイヤ電極引取り部
の概略構造を示す概略図。

【図３】図に示すワイヤ電極引取り部のＩ−Ｉ線断面
図。

【図４】図１に示す上下ノズルの詳細構造を示す断面
図。

【図５】上下ノズルの他の構成を示す断面図。

【図６】従来の放電加工装置の一例の構成を示す構成
図。

【符号の説明】

１ 加工タンク １ｃ、１ｄ 管路 ３ 被加工物 ３０ 加工液供給装置 ３０ａ 清浄油加工液槽 ３０ｂ 汚濁油加工液槽 ３０ｃ 粉末混入加工液槽 ３１ａ 清浄油加工液 ３１ｂ 汚濁油加工液 ３１ｃ 粉末混入加工液 ７０ａ 上ノズル ７０ｂ 下ノズル ７１ ハウジング ８１ 空間部 １００ ワイヤ電極 １１６ ケース部材 １１８ ローラ Ｐ１乃至Ｐ５ ポンプ ＲＦ１ 濾過器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B23H 7/36 B23H 7/02 B23H 1/10

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工タンクを有し電極と被加工物とを微
   小間隙をあけて相対向させ、前記電極と被加工物との間
   に加工液の存在の下に電圧パルスを繰り返し印加し、前
   記微小間隙に放電を発生させて前記被加工物を放電加工
   する放電加工装置において、 油系の第一加工液を前記微小間隙に供給するための第一
   の加工液供給系統と、 油系加工液に粉末微粒子を混入させて成る第二加工液を
   貯蔵しておくための加工液槽を有し該第二加工液を前記
   微小間隙に供給するための第二の加工液供給系統と、 前記第二加工液を油系加工液と粉末微粒子とに分離する
   ための分離手段と、 前記加工液槽内の前記第二加工液を該分離手段を介して
   前記加工タンク内に送給するための送給手段と、 前記加工タンク内の加工液を前記第一又は第二の加工液
   供給系統のいずれか一方に選択的に戻すための戻し手段
   とを備えたことを特徴とする放電加工装置。
2. 【請求項２】 加工タンクを有し、電極と被加工物とを
   微小間隙をあけて相対向させ、前記電極と被加工物との
   間に加工液の存在の下に電圧パルスを繰り返し印加し、
   前記微小間隙に放電を発生させて前記被加工物を放電加
   工する放電加工装置において、 油系の第一加工液を前記微少間隙に供給するための第一
   の加工液供給系統と、 油系加工液に粉末微粒子を混入させて成る第二加工液を
   貯蔵しておくための加工液槽を有し該第二加工液を前記
   微小間隙に供給するための第二の加工液供給系統と、 前記第二加工液を油系加工液と粉末微粒子とに分離する
   ための分離手段と、 前記加工タンク内に露出する可動部及び又は摺動部を覆
   うためのカバー部材と、 前記第二の加工液を微少間隙に供給している場合に前記
   加工液槽内の前記第二加工液を前記分離手段を介して前
   記カバー部材内に加圧送給するための加圧送給手段と、 前記加工タンク内の加工液を前記第一又は第二の加工液
   供給系統のいずれか一方に選択的に戻すための戻し手段
   と、を備えたことを特徴とする放電加工装置。