CN102576106A - 玻璃层叠体及其制造方法、显示面板的制造方法及利用该制造方法获得的显示面板 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种玻璃层叠体。该玻璃层叠体(10)包括玻璃基板(12)及支承玻璃板(14)，玻璃基板(12)的表面(12a)与支承玻璃板(14)的表面(14a)直接接触，其中，相互接触的上述玻璃基板(12)的表面(12a)与上述支承玻璃板(14)的表面(14a)均为平滑的平面，上述两表面紧密接触。

Description

玻璃层叠体及其制造方法、显示面板的制造方法及利用该制造方法获得的显示面板
技术领域
本发明涉及玻璃层叠体及其制造方法、显示面板的制造方法及利用该制造方法获得的显示面板。
背景技术
近年来，正在推行液晶面板(LCD)、有机EL面板(OLED)、等离子显示器面板(PDP)、场发射显示器面板(FED)等显示面板的薄型化、轻量化，正在推行显示面板所使用的玻璃基板的薄板化。若玻璃基板的强度因薄板化而不足，则在显示面板的制造工序中，玻璃基板的处理性变差。
因此，一直以来，广泛采用有一种在比最终厚度厚的玻璃基板上形成显示面板用构件，之后通过化学蚀刻处理使玻璃基板薄板化的方法。但是，在该方法中，例如在将一张玻璃基板的厚度从0.7mm薄板加工为0.2mm或0.1mm的情况下，利用蚀刻液剥离原先的玻璃基板的大半部分材料，因此基于生产率、原材料的使用效率这样的观点并不优选。
另外，在上述利用了化学蚀刻的玻璃基板的薄板化方法中，在玻璃基板表面上存在有细小的划伤的情况下，有时由于蚀刻处理以划伤为起点形成细小的凹部(蚀坑)，成为光学缺陷。
为了解决上述问题，在专利文献1及2中提出了一种在使板厚较薄的玻璃基板与支承玻璃板层叠而固定的状态下在玻璃基板上形成显示面板用构件，之后从玻璃基板上剥离支承玻璃板的方法。
在该显示面板的制造方法中，作为使玻璃基板与支承玻璃板层叠并进行固定的方法，在专利文献1中提出了一种在玻璃基板与支承玻璃板之间夹设O形密封环、通过对两玻璃板之间进行真空吸附来固定两者的方法，在专利文献2中提出了一种在玻璃基板与支承玻璃板之间夹设具有再剥离性的树脂层，利用树脂层的密合力来固定两者的方法。
专利文献1：日本特开2000-241804号公报
专利文献2：国际公开第08/007622号小册子
但是，在专利文献1所提出的在玻璃基板与支承玻璃板之间夹设O形密封环的方法中，玻璃基板因O形密封环而挠曲，难以在玻璃基板上高精度地形成显示面板用构件。
另外，在专利文献2所提出的在玻璃基板与支承玻璃板之间夹设具有再剥离性的树脂层的方法中，若树脂层的厚度不均匀，则玻璃基板的平坦性受损。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而做成的，其目的在于提供一种平坦性优异的玻璃层叠体及其制造方法。另外，本发明的目的在于提供一种使用了该玻璃层叠体的显示面板的制造方法及利用该制造方法获得的显示面板。
为了达到上述目的，本发明的玻璃层叠体包括玻璃基板及支承玻璃板，玻璃基板的表面与支承玻璃板的表面直接接触，其中，
相互接触的上述玻璃基板的表面与上述支承玻璃板的表面均为平滑的平面，上述两表面紧密接触。
另外，本发明的玻璃层叠体的制造方法，其中，
在减压气氛下层叠玻璃基板与支承玻璃板。
另外，使用了本发明的玻璃层叠体的显示面板的制造方法，其使用上述玻璃层叠体来制造显示面板，其中，
在上述玻璃基板的与同上述支承玻璃板相接触一侧相反一侧的面上形成显示面板用构件，之后使上述玻璃基板与上述支承玻璃板分离。
另外，本发明的显示面板是利用本发明的显示面板的制造方法而获得的。
采用本发明，能够提供一种平坦性优异的玻璃层叠体及其制造方法。另外，采用本发明，能够提供一种使用了该玻璃层叠体的显示面板的制造方法及利用该制造方法获得的显示面板。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的玻璃层叠体的剖视图。
图2A是表示图1的变形例的剖视图。
图2B是表示图1的变形例的俯视图。
图3是表示玻璃层叠体10的制造方法的工序图。
图4A是用于说明压力装置30的玻璃基板设置动作的剖视图。
图4B是用于说明压力装置30的减压操作的剖视图。
图4C是用于说明压力装置30的玻璃基板与支承玻璃板的层叠动作的剖视图。
图5是表示吸附头31的俯视图。
图6是表示液晶面板的制造方法的一个例子的工序图。
图7是表示有机EL面板的制造方法的一个例子的工序图。
图8是用于说明剥离试验的剖视图。
图9是用于说明剪切试验的剖视图。
具体实施方式
在本发明中，玻璃基板是指，在其表面上形成有显示面板用构件而用于构成显示面板的、由玻璃构成的片或薄膜。支承玻璃板是指，不用于构成显示面板的、由玻璃构成的片或薄膜。玻璃层叠体是指，该玻璃基板与支承玻璃板的层叠体，用于制造显示面板。玻璃层叠体使用至显示面板制造工序的中途(直至玻璃基板与支承玻璃板分离)，在玻璃基板与支承玻璃板分离之后，支承玻璃板被从显示面板制造工序中去除，不成为构成显示面板的构件。从玻璃基板分离的支承玻璃板能够作为支承玻璃板进行再利用。即，能够与新的玻璃基板层叠来获得玻璃层叠体。
支承玻璃板用于支承、加强玻璃基板，在显示面板制造过程中防止玻璃基板变形、划伤、破损等。另外，在使用比以往的玻璃基板薄的玻璃基板的情况下，为了应用于适合以往厚度的玻璃基板的显示面板制造工序，通过设为与以往的玻璃基板相同厚度的玻璃层叠体而能够使用较薄的玻璃基板，这也是使用支承玻璃板的目的之一。
在本发明中，显示面板用构件是指，形成于玻璃基板的表面而用于构成显示面板的构件或其一部分。形成于玻璃层叠体的玻璃基板侧表面(即，暴露出的玻璃基板表面)的显示面板用构件可以不是预先形成在玻璃基板上并且可以不是用于构成显示面板的所有的构件(以下，也简称作“全部构件”)。这是为了能够将从玻璃层叠体分离的带显示面板用构件(部分构件)的玻璃基板在之后的工序中作为带显示面板用构件(全部构件)的玻璃基板。而且，之后，使用带显示面板用构件(全部构件)的玻璃基板制造显示面板。另外，在从玻璃层叠体分离的带显示面板用构件(全部或部分构件)的玻璃基板上，也可以在其分离面上形成另外的显示面板用构件。另外，能够使用带显示面板用构件(全部构件)的玻璃层叠体组装显示面板，之后分离支承玻璃板来制造显示面板。而且，也能够使用两张带显示面板用构件(全部构件)的玻璃层叠体组装显示面板，之后分离两张支承玻璃板来制造显示面板。
在本发明中，显示面板是指，液晶面板(LCD)、有机EL面板(OLED)、等离子显示器面板(PDP)、场发射显示器面板(FED)等显示面板。显示面板中，作为其构成构件具有一张或两张玻璃基板。根据情况，有时也具有三张以上的玻璃基板。在本发明中，显示面板使用带显示面板用构件的玻璃基板(使用本发明的玻璃层叠体而获得的玻璃基板)制造而成。在存在有多张用于构成显示面板的玻璃基板的情况下，显示面板的制造中所使用的多张玻璃基板的一部分也可以不是使用本发明的玻璃层叠体获得的带显示面板用构件的玻璃基板，而是其他的玻璃基板。例如，能够将未经由本发明的玻璃层叠体制造而成的带显示面板用构件的玻璃基板或未形成有显示面板用构件的玻璃基板作为玻璃基板的一部分进行使用来制造显示面板。
在本发明中，在层叠玻璃基板与支承玻璃板来作为玻璃层叠体时，将相互接触的玻璃基板表面与支承玻璃板表面分别称作玻璃基板的层叠面与支承玻璃板的层叠面。将玻璃基板的与层叠面相反一侧的面称作玻璃基板的非层叠面。将支承玻璃板的与层叠面相反一侧的面称作支承玻璃板的非层叠面。另外，将玻璃基板的成为层叠面侧的主表面也称作(玻璃基板的)第1主表面，将支承玻璃板的成为层叠面侧的主表面也称作(支承玻璃板的)第1主表面。同样地，将玻璃基板的成为非层叠面侧的主表面也称作(玻璃基板的)第2主表面，将支承玻璃板的成为非层叠面侧的主表面也称作(支承玻璃板的)第2主表面。
玻璃基板与支承玻璃板均通过熔融玻璃原料，并将熔融玻璃成形为板状而获得。这种成形方法可以是一般的成形方法，例如使用浮法、熔融法、流孔下引法、富柯尔特法、机吹(日文：ラバ一ス)法等。另外，特别薄的基板能够利用将暂时成形为板状的玻璃加热到能够成形的温度，并通过延伸等方法进行拉伸使其变薄的方法(再曳引法(redraw))进行成形而获得。
作为玻璃基板与支承玻璃板的材质的玻璃均优选硼硅酸盐玻璃、钠钙玻璃、高二氧化硅玻璃及其他以氧化硅元素为主要成分的氧化物类玻璃。作为氧化物类玻璃，优选氧化物换算得到的氧化硅元素的含量为40质量％～90质量％的玻璃。作为玻璃基板用玻璃，根据显示面板的种类所要求的玻璃特性不同，采用满足该要求的玻璃。作为支承玻璃板用玻璃，所要求的玻璃特性的限制较少，但是当玻璃层叠体在形成显示面板用构件等时被加热处理的情况下，优选使用与玻璃基板的玻璃的热膨胀系数差较小的玻璃。由于当支承玻璃板的玻璃是与玻璃基板相同的玻璃的情况下热膨胀系数差较小，其他物理特性也相同，因此特别优选支承玻璃板的玻璃是与玻璃基板相同的玻璃。
作为玻璃基板的玻璃，使用与根据显示面板的种类所要求的玻璃特性一致的玻璃。液晶面板(LCD)用的玻璃基板由于碱金属成分的溶出容易给液晶带来影响而由不含有碱金属成分的玻璃(无碱玻璃)或碱金属成分较少的玻璃(低碱玻璃)构成。这样，玻璃基板的玻璃能够根据所应用的显示面板及其制造工序适当地进行选择。
另外，作为玻璃基板的玻璃，特别优选热膨胀系数低的玻璃。在玻璃基板表面上形成显示面板用构件时，大多情况下伴随有热处理。若玻璃基板的玻璃的热膨胀系数较大，则在该热处理中容易产生各种不良情况。例如，当在玻璃基板上形成薄膜晶体管(TFT)时，若在加热下对形成有TFT的玻璃基板进行冷却，则由于玻璃基板的热收缩，TFT的位置偏移有可能过大。作为本发明中的玻璃的热膨胀系数的指标，使用日本工业标准JIS R 3102-1995所规定的平均线膨胀系数。玻璃基板的玻璃在25℃～300℃中的平均线膨胀系数优选为0/℃～50×10-7/℃，更优选为0/℃～40×10-7/℃。该温度的上限300℃相当于在普通的显示表面的制造中施加在玻璃基板上的温度的上限。
作为支承玻璃板的玻璃，优选使用与玻璃基板的玻璃在25℃～300℃条件下的平均线膨胀系数之差为15×10-7/℃以下的玻璃。若玻璃基板的玻璃与支承玻璃板的玻璃在25℃～300℃条件下的平均线膨胀系数之差过大，则在显示面板的制造工序中的加热冷却时，玻璃层叠体有可能剧烈翘曲，或者玻璃基板与支承玻璃板剥离。在玻璃基板的玻璃与支承玻璃板的玻璃为相同的玻璃的情况下，不用担心产生这种问题。
玻璃基板的厚度并不特别限定，但是基于薄型化和/或轻量化的观点，通常小于0.8mm，优选为0.3mm以下，进一步优选为0.15mm以下。在为0.8mm以上的情况下，不能满足薄型化和/或轻量化的要求。在为0.3mm以下的情况下，能够给玻璃基板施加良好的挠性。在为0.15mm的情况下，能够将玻璃基板卷取为卷状。另外，基于容易制造玻璃基板、容易操作玻璃基板等理由，玻璃基板的厚度优选为0.04mm以上。
基于使用支承玻璃板制造显示面板时易于操作、难以破裂等理由，支承玻璃板的厚度优选为0.08mm以上。支承玻璃板既可以比玻璃基板厚，也可以比玻璃基板薄。优选根据按照目的从上述范围选择的玻璃基板的厚度与后述的玻璃层叠体的厚度来选择支承玻璃板的厚度。
玻璃基板的大小、形状根据显示面板的大小、形状来选择。通常显示面板的形状为矩形，因此玻璃基板的形状也为通常的矩形。支承玻璃板的大小、形状通常使用与玻璃基板的大小、形状大致相同的玻璃板。作为支承玻璃板的大小，基于支承玻璃基板的观点，优选与玻璃基板的大小相同或比玻璃基板的大小稍微大的支承玻璃板。即，优选支承玻璃板的第1主表面的外形尺寸与玻璃基板的第1主表面的外形尺寸相等或者比玻璃基板的第1主表面的外形尺寸大。
接着，参照附图说明本发明的第1实施方式。另外，在各个附图中，为了易于观察附图，夸大描绘了玻璃层叠体的形状的比例关系。
在本实施方式中，说明在显示面板用构件的形成工序中玻璃层叠体的温度未超过300℃的情况。
图1是表示本发明的第1实施方式中的玻璃层叠体的剖视图。如图1所示，玻璃层叠体10是玻璃基板12与支承玻璃板14层叠而成的层叠体，玻璃基板12的层叠面(第1主表面)12a与支承玻璃板14的层叠面(第1主表面)14a直接接触，两表面紧密接触。玻璃层叠体10自身具有两个面，一个面由玻璃基板12的非层叠面(第2主表面)12b构成(以下，将该玻璃层叠体的面也称作玻璃基板面12b)，另一个面由支承玻璃板14的非层叠面(第2主表面)14b构成。
在本发明的玻璃层叠体中，两玻璃板12、14的层叠面12a、14a紧密接触是指，在直至到达在玻璃层叠体的玻璃基板面12b上形成显示面板用构件且分离玻璃基板与支承玻璃板的阶段的时刻，层叠面12a与层叠面14a以不会使玻璃基板与支承玻璃板分离的程度的结合力相接触。另外，该层叠面的结合力需要是在进行分离玻璃基板与支承玻璃板的操作时两玻璃板12、14容易地分离的程度的结合力。
上述结合力基于在显示面板的制造工序中易于操作等理由，优选在后述的剥离试验中是剥离强度为0.2N/cm以上的结合力。另外，该结合力基于能够容易地分离玻璃基板12与支承玻璃板14的观点，优选在后述的剥离试验中是剥离强度为100N/cm以下的结合力。更优选是剥离强度为50N/cm以下的结合力，进一步优选是剥离强度为40N/cm以下的结合力。若层叠面12a、14a的结合力过大，则在分离时玻璃基板12、支承玻璃板14中的一者或两者有可能受到损坏。
一般地，公知若将玻璃板层叠起来则在层叠面上玻璃表面彼此结合并以一定程度的结合力紧密接触，认为该结合力是由存在于两玻璃表面的硅醇基(Si-OH)彼此的氢结合或局部的脱水缩合引起的化学键的生成、两玻璃表面之间的范德华力等产生的。在本发明的玻璃层叠体中，不对层叠面12a、14a进行熔接(熔融玻璃并使其结合)。若熔接，则层叠面的结合力过高，玻璃基板与支承玻璃板的分离变困难。
通常，在玻璃基板面12b上形成显示面板用构件时玻璃层叠体被加热至300℃左右的情况并不少见。本发明的玻璃层叠体即使经过了该程度的加热，也不会变得难以将玻璃基板与支承玻璃板分离。硅醇基(Si-OH)彼此的脱水缩合反应因加热而被促进，但是认为，在300℃左右的加热过程中，难以由两玻璃表面的硅醇基彼此的脱水缩合生成化学键，上述结合力不会过高。
玻璃基板与支承玻璃板的层叠面12a、14a之间的结合力容易因层叠面12a、14a的各种因素而发生变化，但是至少需要层叠面12a、14a均为平滑的平面。若两表面不是平面，则在层叠面之间产生间隙，两表面不会紧密接触。同样地若两表面不平滑，则容易在层叠面之间产生微小的间隙，两表面难以紧密接触。另外，优选两表面被充分地清洗干净。若在两表面上存在有污物等异物，则两表面难以紧密接触。此外，考虑有玻璃表面的硅醇基密度、玻璃表面的玻璃组成等也会带来影响。另外，玻璃基板与支承玻璃板的各个层叠面并不限于相同，例如考虑通过平滑性或清净度不同的层叠面的组合，结合力也发生变化。因而，优选的是，以上述剥离试验中的剥离强度处于上述范围内的方式适当地进行调整来使用。
优选玻璃基板12的层叠面(第1主表面)12a的轮廓算术平均偏差及支承玻璃板14的层叠面(第1主表面)14a的轮廓算术平均偏差均小于1.0nm。若两层叠面的轮廓算术平均偏差为1.0nm以上，则两表面的实质接触面积过小，因此不能以充分的结合力使两个面紧密接触。这些层叠面的轮廓算术平均偏差是在层叠玻璃基板12与支承玻璃板14之前分别测量将成为层叠面的第1主表面12a、14a而获得的值。
由于玻璃基板12或支承玻璃板14的材质、二者材质的组合、玻璃基板12或支承玻璃板14的形状或者形状的组合等因素，有时在轮廓算术平均偏差分别小于1.0nm的玻璃基板12、支承玻璃板14的组合中，不能够获得充分的密合性。因而，优选将玻璃基板与支承玻璃板中的至少一者的轮廓算术平均偏差设为0.8nm以下(另一者也可以小于1.0nm)，更优选将玻璃基板12与支承玻璃板14的轮廓算术平均偏差均设为0.8nm以下。在玻璃基板12与支承玻璃板14中，非层叠面12b、14b的轮廓算术平均偏差都不限定于上述范围。
另外，在本发明中，玻璃表面的轮廓算术平均偏差(日文：平均表面粗さ)是指，任意选择的两点以上处的算术平均高度(日文：算術平均高さ)的平均值。算术平均高度是指，日本工业标准JIS B 0601-2001所规定的算术平均高度Ra，通过利用原子力显微镜测量各点处的5μm×5μm的测量区域来求出。
第1主表面的轮廓算术平均偏差处于上述范围内的玻璃基板、支承玻璃板能够利用借助于研磨、蚀刻等方法使玻璃面变平滑的方法来获得。另外，根据制造玻璃板的方法，能够制造轮廓算术平均偏差从一开始就处于上述范围内的玻璃基板、支承玻璃板。而且，根据市场上销售的玻璃基板、支承玻璃板，也存在有已经进行了研磨等平滑化处理的玻璃板。因而，在使用玻璃基板、支承玻璃板时，优选在测量其第1主表面的轮廓算术平均偏差且该轮廓算术平均偏差处于上述范围外的情况下，进行研磨等而做成轮廓算术平均偏差处于上述范围内的玻璃板来进行使用。
对于玻璃基板12与支承玻璃板14的层叠面12a、14a是否均被充分地清洗干净，可以通过在层叠前对成为其层叠面的第1主表面12a、14a的水接触角进行测量来判断。一般存在有玻璃表面的活性度(清净度)越低，玻璃表面的水接触角越大的倾向。因而，若第1主表面12a、14a的水接触角过大，则第1主表面12a、14a的活性度(清净度)过低，因此不能够以充分的结合力使第1主表面12a、14a紧密接触。
优选玻璃基板与支承玻璃板的各个第1主表面12a、14a的水接触角均为5°以下。在此，水接触角是指，日本工业标准JIS R 3257-1999所规定的接触角。在由于玻璃基板12或支承玻璃板14的材质、二者材质的组合、玻璃基板12或支承玻璃板14的形状或者形状的组合等因素，其第1主表面的水接触角分别为5°以下的玻璃基板12、支承玻璃板14的组合中不能够获得充分的密合性的情况下，优选将至少一者的第1主表面的水接触角设为4°以下，更优选将玻璃基板12与支承玻璃板14的第1主表面12a、14a的水接触角分别设为4°以下。另外，在玻璃基板12与支承玻璃板14中，非层叠面12b、14b的水接触角都不限定于上述范围。
优选具有第1主表面的玻璃基板、支承玻璃板在层叠前对其第1主表面12a、14a进行清洗而做成水接触角较低的第1主表面之后用于层叠。清洗方法可以是玻璃制品的清洗所使用的一般方法。例如，作为湿式清洗，存在有超声波清洗、使用了具有氧化铈研磨颗粒等研磨颗粒的研磨液的研磨、使用了含有氟酸或硝酸等酸的酸性清洗液的酸性清洗、使用了含有氨或氢氧化钾等碱基的碱性清洗液的碱性清洗、使用了含有表面活性剂或其他清洗剂的清洗液的清洗等。另外，作为干式清洗，存在有使用了紫外光、臭氧的光化学清洗、使用了等离子的物理清洗等。这些清洗方法可以单独或组合使用。清洗结束后，根据需要进行干燥以使得不会残留清洗剂。
优选将玻璃层叠体10的厚度(玻璃基板12与支承玻璃板14的厚度的总和)设定为能够利用现行的制造线输送玻璃层叠体10。例如，现行的制造线设计为输送厚度0.7mm的基板，在玻璃基板12的厚度为0.3mm的情况下，优选支承玻璃板14的厚度为0.4mm。由于现行的制造线多设计为输送厚度0.2mm～1.0mm的基板，因此玻璃层叠体10的厚度优选为0.2mm～1.0mm。
在本实施方式的玻璃层叠体10中，如图1所示，由于玻璃基板12与支承玻璃板14直接接触并紧密接触，因此与在两玻璃板12、14之间夹设O形密封环或树脂层的情况相比，玻璃层叠体10不易挠曲。因此，玻璃层叠体的平坦性优异，这表示玻璃层叠体的玻璃基板面的平坦性优异。
另外，在本实施方式的玻璃层叠体10中，由于玻璃基板12与支承玻璃板14直接接触并紧密接触，因此与在玻璃基板与支承玻璃板之间夹设具有剥离性的树脂层的情况相比，能够减少零件数量，能够削减成本。另外，从玻璃层叠体分离的支承玻璃板能够容易地进行再利用。即，暂时使用的支承玻璃板由于不存在有树脂层，因此能够原样或者根据需要进行清洗等后，直接与新的玻璃基板相层叠。而且，即使在未再次使用从玻璃层叠体分离的支承玻璃板的情况下，与将树脂层粘接在支承玻璃板上进行使用的情况相比，不需要从支承玻璃板上剥离树脂层的工序，因此能够将支承玻璃板14作为玻璃原料容易地进行再利用。
而且，在本实施方式的玻璃层叠体10中，与在两玻璃板12、14之间夹设具有剥离性的树脂层的情况相比，耐热性优异。例如，即使在大气中以300℃的温度加热一小时之后，剥离试验中的玻璃基板层叠面12a与支承玻璃基板层叠面14a之间的剥离强度的变化也是极小的，维持了层叠面之间的结合力。
图2A是表示图1的变形例的剖视图，图2B是表示图1的变形例的俯视图。以下，说明图2A及图2B所示的玻璃层叠体20的结构，对与图1所示的玻璃层叠体10相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。
在图2A及图2B所示的变形例中，支承玻璃板14在其第1主表面14a的周缘部具有凹部22。凹部22存在于层叠面内，被玻璃基板12的第1主表面12a覆盖、密闭。优选凹部22内处于减压气氛。通过凹部22内处于减压气氛，从而玻璃基板12被减压吸附在支承玻璃板14上，能够提高层叠面12a、14a之间的结合力。在凹部22形成在支承玻璃板14的中央部的情况下，在显示面板的制造工序中，若使用光刻技术从支承玻璃板14侧向玻璃基板12的中央部入射光，则入射的光受到凹部22的影响。因此，难以高精度地形成显示面板用构件。
接着，说明玻璃层叠体的制造方法。
本发明的玻璃层叠体通过层叠玻璃基板与支承玻璃板制造而成。层叠是通过以规定的配置重叠玻璃基板与支承玻璃板并进行压接使两者紧密接触来进行的。另外，在玻璃基板为0.3mm以下、特别是0.15mm以下的情况下，通过玻璃基板具有挠性，从而也能够使用在将挠性的塑料薄膜层叠于板体表面的情况下使用的层叠法。例如也能够使用一边沿着卷将玻璃基板层叠在支承玻璃板板面上一边进行压接的卷层叠法。为了使玻璃基板的第1主表面与支承玻璃板的第1主表面紧密接触，并不优选在这些面之间残留有空气等气体。若两第1主表面之间残留有气体，则玻璃层叠体在显示面板的制造工序等中被加热时，该气体膨胀而容易将层叠面剥离。而且，玻璃基板也有可能局部变形或破裂。因此，优选利用气体难以残留在两第1主表面之间的层叠法来进行层叠。
本发明的玻璃层叠体优选通过在减压气氛下层叠玻璃基板与支承玻璃板制造而成。以下，将该层叠法称作减压层叠法。减压气氛是指，若将大气压标准化为零，则压力优选为-60kPa以下，更优选为-100kPa以下。换言之，若未将大气压标准化为零，则减压气氛是指压力优选为41.3kPa以下，更优选为1.3kPa以下。
并不限于减压层叠法，在制造本发明的玻璃层叠体的情况下，优选使用预先进行了研磨、清洗等的玻璃基板与支承玻璃板。例如，准备对至少第1主表面平滑的玻璃基板进行清洗而至少第1主表面的水接触角为5°以下的玻璃基板，同样地准备对至少第1主表面平滑的支承玻璃板进行清洗而至少第1主表面的水接触角为5°以下的支承玻璃板，将该玻璃基板与支承玻璃板放入能够减压的压力装置中而使这些第1主表面彼此相对，将压力装置内设为减压气氛并将两者重叠而进行压接，做成玻璃层叠体。特别优选在制造玻璃层叠体时预先对将要成为玻璃基板与支承玻璃板的层叠面的玻璃基板与支承玻璃板的第1主表面进行清洗而用于层叠。
接着，参照图3说明进行玻璃基板与支承玻璃板的清洗而利用减压层叠法来制造玻璃层叠体10的方法。
图3是表示玻璃层叠体10的制造方法的工序图。
该玻璃层叠体10的制造方法包括：
清洗工序(步骤S11)，其分别对玻璃基板12及支承玻璃板14的第1主表面12a、14a进行清洗；
第1层叠工序(步骤S12)，其将玻璃基板12与支承玻璃板14层叠起来。
作为玻璃基板12及支承玻璃板14，使用其至少第1主表面12a、14a为平滑的平面(轮廓算术平均偏差(Ra)分别小于1.0nm的平面)的玻璃板。在清洗工序中，分别对玻璃基板12及支承玻璃板14的至少第1主表面12a、14a进行清洗而去除附着在第1主表面12a、14a上的微粒、有机物等。由此，能够使玻璃基板12及支承玻璃板14的第1主表面12a、14a活性化(将水接触角设为5°以下)，能够提高两玻璃板12、14的第1主表面12a、14a彼此的密合性。作为清洗方法能够使用前述方法。
在第1层叠工序中，将玻璃基板12与支承玻璃板14层叠起来。例如，重叠玻璃基板12的第1主表面12a与支承玻璃板14的第1主表面14a，使用辊、压力装置等压接玻璃基板12与支承玻璃板14。通过压接，能够提高两玻璃板12、14的第1主表面12a、14a彼此的密合性，并且能够向外部挤出进入玻璃基板12的第1主表面12a与支承玻璃板14的第1主表面14a之间的气泡。此外，通过在减压气氛下进行层叠，能够进一步抑制层叠时的气泡的进入。另外，在如图2A及图2B所示地在玻璃基板12的第1主表面12a的周缘部形成有凹部22的情况下，通过在减压气氛下层叠两玻璃板12、14，从而能够将凹部22内设为减压状态。
在第1层叠工序中，优选支承玻璃基板12的第2主表面12b的周缘部来层叠玻璃基板12与支承玻璃板14。在支承玻璃基板12的第2主表面12b的中央部的情况下，用于形成显示面板用构件的区域有可能划伤。
图4A是用于说明压力装置30的玻璃基板及支承玻璃板的设置动作的剖视图。图4B是用于说明压力装置30的减压操作的剖视图。图4C是用于说明压力装置30的玻璃基板与支承玻璃板的层叠动作的剖视图。图5是表示吸附头31的俯视图。该压力装置30由吸附头31及工作台32等构成。如图5所示，吸附头31呈矩形框状。
在该压力装置30中，首先，将图3的清洗工序后的玻璃基板12以第2主表面12b成为上侧的方式载置在工作台32上。接着，使吸附头31下降并使其在与玻璃基板12的第2主表面12b的周缘部相接触时停止下降。接着，通过对吸附头31施加电压(例如2kV)，从而能够使玻璃基板12静电吸附在吸附头31上。在该状态下，使吸附头31上升，将图3的经过清洗工序后的支承玻璃板14以第1主表面14a成为上侧的方式载置在工作台32上。图4A是将支承玻璃板14载置在工作台32上时的压力装置30的剖视图。
之后，再次使吸附头31下降，如图4B所示，使玻璃基板12与支承玻璃板14隔开规定的间隔(例如3mm)相对。接着，例如使用真空泵(未图示)将玻璃基板12与支承玻璃板14之间的空间减压为规定压力(例如-100kPa(以大气压为基准))。
在该状态下，使吸附头31下降，如图4C所示，利用吸附头31对玻璃基板12施加规定压力(例如300kN/m2)，在室温下压接玻璃基板12与支承玻璃板14规定时间(例如180秒钟)。接着，解除对吸附头31的电压施加并且使真空泵停止动作，使吸附头31上升。这样，能够获得图1所示的玻璃层叠体10。
接着，参照图6及图7说明显示面板的制造方法。
图6是表示液晶面板(LCD)的制造方法的一个例子的工序图。另外，在本实施方式中，说明TFT-LCD的制造方法，但是也可以将本发明应用于STN-LCD的制造方法，液晶面板的种类或方式并不受到限制。
液晶面板的制造方法包括：
TFT基板制造工序(步骤S21)，其在用于构成一个玻璃层叠体10的玻璃基板12的第2主表面12b上形成薄膜晶体管(TFT)；
CF基板制造工序(步骤S22)，其在用于构成另一个玻璃层叠体10的玻璃基板12的第2主表面12b上形成滤色器(CF)；
第2层叠工序(步骤S23)，其将形成有薄膜晶体管的玻璃基板12与形成有滤色器的玻璃基板12层叠起来。
在TFT基板制造工序及CF基板制造工序中，使用众所周知的光刻技术、蚀刻技术等，在玻璃基板12的第2主表面12b上形成TFT、CF。
另外，在形成TFT、CF之前，根据需要，也可以对玻璃基板12的第2主表面12b进行清洗。作为清洗方法，能够使用上述干式清洗或湿式清洗。
另外，TFT基板制造工序与CF基板制造工序的顺序并不受到限制，也可以在制造了CF基板之后制造TFT基板。
在第2层叠工序中，向形成有TFT的玻璃层叠体10(以下，称作“玻璃层叠体10A”)与形成有CF的玻璃层叠体10(以下，称作“玻璃层叠体10B”)之间注入液晶材料而进行层叠。作为注入液晶材料的方法，例如有减压注入法、滴下注入法。
在减压注入法中，例如，首先使用密封材料及隔离材料以使存在有TFT的面与存在有CF的面相对的方式粘贴两玻璃层叠体10A、10B。接着，手动或利用适当的吸盘、刀等从两玻璃层叠体10A、10B上剥离支承玻璃板14、14。之后，切断为多个单元。在将切断得到的各个单元的内部设为减压气氛的基础上，从注入孔向各个单元的内部注入液晶材料，密封注入孔。接着，在各个单元上粘贴偏振片，嵌入背光灯等，制造出液晶面板。
另外，在本实施方式中，为从两玻璃层叠体10A、10B上剥离支承玻璃板14、14，之后，切断为多个单元，但是本发明并不限定于此。例如也可以在使用密封材料及隔离材料粘贴两玻璃层叠体10A、10B之前剥离支承玻璃板14、14。
在滴下注入法中，例如，首先向两玻璃层叠体10A、10B中的任意一者预先滴下液晶材料，使用密封材料及隔离材料以使存在有TFT的面与存在有CF的面相对的方式粘贴两玻璃层叠体10A、10B。接着，手动或利用适当的吸盘、刀等从两玻璃层叠体10A、10B上剥离支承玻璃板14、14。之后，切断为多个单元。接着，在各个单元上粘贴偏振片，嵌入背光灯等，制造出液晶面板。
另外，在本实施方式中，为从两玻璃层叠体10A、10B上剥离支承玻璃板14、14，之后，切断为多个单元，但是本发明并不限定于此。例如也可以在向两玻璃层叠体10A、10B中的任意一者滴下液晶材料之前剥离支承玻璃板14、14。
支承玻璃板14在剥离后未损坏的情况下，也可以再利用于与另一个玻璃基板12之间的层叠。在直至再利用的期间，也可以利用保护片覆盖支承玻璃板14的表面。另一方面，在剥离后损坏的情况下，也可以作为玻璃原料进行再利用。
液晶面板的制造方法除了上述工序以外也可以还具有薄板化工序，其在从玻璃基板12上剥离支承玻璃板14之后，通过化学蚀刻处理使玻璃基板12薄板化。由于玻璃基板12的第1主表面12a被支承玻璃板14保护着，因此即使进行了蚀刻处理，也难以产生蚀坑。
另外，在图6所示的例子中，为在TFT基板、CF基板的制造中分别各使用一个玻璃层叠体10，但是本发明并不限定于此。即，也可以在仅TFT基板、CF基板中的任意一个基板的制造中使用玻璃层叠体10。
图7是表示有机EL面板(OLED)的制造方法的一个例子的工序图。
有机EL面板的制造方法包括：
有机EL元件形成工序(步骤S31)，其在用于构成玻璃层叠体10的玻璃基板12的第2主表面12b上形成有机EL元件；
第3层叠工序(步骤S32)，其将形成有有机EL元件的玻璃基板12与相对基板层叠起来。
在有机EL元件形成工序中，使用众所周知的蒸镀技术等在玻璃基板12的第2主表面12b上形成有机EL元件。有机EL元件例如由透明电极层、空穴输送层、发光层、电子输送层等构成。
另外，在形成有机EL元件之前，根据需要，也可以对玻璃基板12的第2主表面12b进行清洗。作为清洗方法，能够使用上述干式清洗或湿式清洗。
在第3层叠工序中，例如，首先手动或利用适当的吸盘、刀等从形成有有机EL元件的玻璃层叠体10上剥离支承玻璃板14。之后，切断为多个单元。接着，以使有机EL元件与相对基板相接触的方式粘贴各个单元与相对基板。这样，制造出有机EL显示器。
这样，使用玻璃层叠体10制造出的显示面板，其用途并不特别受到限制，例如优选用于便携式电话、PDA、数码相机、游戏机等便携式电子设备。
接着，说明本发明的第2实施方式。
在上述第1实施方式中，说明了在显示面板用构件的形成工序中玻璃层叠体的温度未超过300℃的情况。
与此相对，在本实施方式中，说明在显示面板用构件的形成工序中玻璃层叠体的温度超过300℃的情况。
近年来，在显示面板用构件的形成工序中，有时玻璃层叠体的温度超过了300℃。例如，在玻璃基板面上形成TFT的工序中，有时包括在玻璃基板的温度为400℃～450℃的状态下进行的工序、或者在600℃左右的状态下进行的工序。作为以400℃～450℃进行的工序，能够列举出在玻璃基板面上形成非晶硅膜的工序、去除成膜的非晶硅层所含有的氢的工序、在成膜的非晶硅层上形成栅极绝缘膜的工序等。作为以600℃进行的工序，能够列举出对通过离子注入形成在成膜的非晶硅层的一部分上的源极或漏极进行活化处理的工序等。
在显示面板用构件的形成工序中，在图1的玻璃层叠体的温度超过300℃的情况下，促进了存在于玻璃基板12与支承玻璃板14的层叠面12a、14a的硅醇基(Si-OH)彼此的脱水缩合反应。因此，若存在于层叠面12a、14a的硅醇基的密度过高，则在显示面板用构件的形成工序之后，难以分离玻璃基板12与支承玻璃板14。
通常，存在有若存在于层叠面12a、14a的硅醇基的密度越低，则两层叠面12a、14a的结合力越弱的倾向。认为这是因为，存在于两层叠面12a、14a的硅醇基彼此的氢键有两层叠面12a、14a的结合力。因而，若存在于层叠面12a、14a的硅醇基的密度过低，则两层叠面12a、14a的结合力过弱，难以处理玻璃层叠体。
对于存在于层叠面12a、14a的硅醇基的密度是否处于适当的范围，是通过在层叠前对成为其层叠面的第1主表面12a、14a的水接触角进行测量来判断的。通常，存在有存在于玻璃表面的硅醇基的密度越高，玻璃表面的水接触角越小的倾向。认为这是因为在硅醇基(Si-OH)中含有亲水性的OH基。
玻璃基板12及支承玻璃板14中的至少一者的第1主表面的水接触角优选为15°～70°，更优选为15°～50°。在小于15°的情况下，硅醇基的密度过高。另一方面，在超过70°的情况下，硅醇基的密度过低。另外，在玻璃基板12与支承玻璃板14中，非层叠面12b、14b的水接触角都不限定于上述范围。
具有第1主表面的玻璃基板或支承玻璃板优选在层叠前对第1主表面12a、14a中的至少一者进行表面处理而设为硅醇基的密度较低的第1主表面，之后用于层叠。由此，在玻璃层叠体的温度超过300℃的情况下，能够容易地分离玻璃基板12与支承玻璃板14。
在分离了玻璃基板12与支承玻璃板14之后，玻璃基板12侧成为产品。因此，优选仅对支承玻璃板14侧的第1主表面14a进行表面处理。若对玻璃基板12侧的第1主表面12a进行表面处理，则在产品侧产生例如有时难以在分离后的第1主表面12a上粘贴偏振片等不良情况。
进行表面处理的第1主表面优选为充分干净的面，优选为刚清洗后的面。若清净度(活性度)过低，则不能够进行均匀的表面处理。
作为表面处理所使用的材料，存在有硅烷偶联剂、硅油等。这些材料可以单独使用或组合使用。在组合使用的情况下，既可以在利用硅烷偶联剂进行了表面处理之后利用硅油进行表面处理，也可以在利用硅油进行了表面处理之后利用硅烷偶联剂进行表面处理。
作为硅烷偶联剂，没有特别限定，例如可以优选使用选自以下化合物中的一种以上的硅烷偶联剂，所述化合物为：六甲基二硅氮烷(HMDS)、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-β-(氨基乙基)-N′-β-(氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-苯胺基丙基三甲氧基硅烷这样的氨基硅烷类、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、β-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷这样的环氧硅烷类、γ-氯丙基三甲氧基硅烷这样的氯硅烷类、γ-巯基三甲氧基硅烷这样的巯基硅烷、乙烯基甲氧基硅烷、N-β-(N-乙烯基苄基氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷这样的乙烯基硅烷类、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷这样的丙烯酸硅烷类等。
利用硅烷偶联剂进行的表面处理方法可以是普通的方法。例如，存在有将玻璃板曝露在含有使硅烷偶联剂气化而得到的气体的气氛中，将玻璃表面的硅醇基(Si-OH)所含有的亲水性的OH基置换为疏水性的基团的方法等。通过调节气氛中的硅烷偶联剂的浓度、温度、处理时间等，能够调节存在于玻璃表面的硅醇基的密度。
作为硅油，没有特别限定，例如有：二甲基硅油、甲基苯基硅油、甲基含氢硅油这样的未经改性的硅油(straightsilicone oil)、侧链或末端导入有烷基、氢基、环氧基、氨基、羧基、聚醚基等的改性硅油等。
利用硅油进行的表面处理方法可以是普通的方法。例如，存在有利用旋涂器等将硅油涂敷在玻璃表面上，通过热处理烧结在玻璃表面上的方法等。通过调节硅油的涂敷量等，能够调节暴露于玻璃表面的硅醇基的密度。
但是，在进行了表面处理的情况下，由于存在于玻璃表面的硅醇基的密度降低，因此两层叠面12a、14a的结合力降低。
因此，为了补充由表面处理导致的上述结合力的降低，也可以在层叠玻璃基板12与支承玻璃板14时进行加热处理。由此，能够进行存在于两第1主表面12a、14a的硅醇基彼此的脱水缩合反应，提高上述结合力。为了促进脱水缩合反应，优选进行加热以使得玻璃层叠体的温度超过300℃。该加热以层叠面12a、14a不会被熔接的方式进行。
另外，为了补充由表面处理导致的上述结合力的降低，也可以利用玻璃粉等粘合剂来粘合玻璃基板12与支承玻璃板14的一部分(例如边缘部或角部)。该粘合以层叠面12a、14a不会被熔接的方式进行。在剥离粘合在一起的玻璃基板12与支承玻璃板14时，也可以预先切除粘合部分。
在本实施方式的玻璃层叠体中，由于玻璃基板12与支承玻璃板14借助硅醇基的密度较低的层叠面直接接触并紧密接触，因此与在两玻璃板12、14之间夹设有O形密封环或树脂层的情况相比，玻璃层叠体不易挠曲。因此，玻璃层叠体的平坦性优异，这表示玻璃层叠体的玻璃基板面的平坦性优异。
本实施方式的玻璃层叠体与上述第1实施方式一样通过层叠玻璃基板与支承玻璃板制造而成，优选通过在减压气氛下层叠玻璃基板与支承玻璃板制造而成。例如，准备至少第1主表面平滑的玻璃基板，对所准备的玻璃基板进行清洗而至少将第1主表面的水接触角设为5°以下。另外，准备至少第1主表面平滑的支承玻璃板，在对所准备的支承玻璃板进行清洗之后进行表面处理而至少将第1主表面的水接触角设为15°～70°。之后，将该玻璃基板与支承玻璃板放入能够减压的压力装置中而使这些第1主表面彼此相对，将压力装置内设为减压气氛而将两者重叠进行压接，获得玻璃层叠体。
另外，本实施方式的玻璃层叠体与上述第1实施方式一样能够用于制造显示面板。
实施例
以下，通过实施例等具体说明本发明，但是本发明并不被这些例子所限定。另外，在本实施例中，作为玻璃基板及支承玻璃板使用了相同的玻璃板。因而，在以下的例子中，用于构成玻璃层叠体的两张玻璃板的任意一者为本发明中的玻璃基板，另一者为本发明中的支承玻璃板。
试验例1
准备长400mm×宽300mm×厚0.4mm、轮廓算术平均偏差0.8nm、25℃～300℃中的平均线膨胀系数为38×10-7/℃的三张玻璃板(旭硝子公司制造、AN100)。在此，利用原子力显微镜(Pacific Nanotechnology公司制造、Nano ScopeIIIa；Scan Rate 1.0Hz，Sample Lines256，Off-line ModifyFlattene order-2，Planefit order-2)测量轮廓算术平均偏差。
在将三张玻璃板分别浸渍在25℃的氢氧化钾水溶液(氢氧化钾1质量％)中10分钟之后，浸渍在25℃的纯水中10分钟，接着，浸渍在25℃的另一纯水中而进行超声波清洗(36KHz)5分钟。之后，对三张玻璃板的表面吹80℃的IPA(异丙醇)蒸气10分钟并进行干燥。
使用接触角测量计(K.R.S公司制造、DROP SHAPEANALYSIS SYSTEM DSA 10Mk2)，在刚进行了清洗、干燥之后，在一张玻璃板的表面上静置1μL水滴并测量水接触角，水接触角为4°。
使用图4A～图4C及图5所示的压力装置30，在刚进行了清洗、干燥之后，层叠剩余的两张玻璃板12、14，获得图1所示的玻璃层叠体10。另外，在将两玻璃板12、14之间的空间的压力减压为(-100kPa(将大气压标准化为零))的状态下进行层叠。
关于所获得的玻璃层叠体10，进行下述评价。
密合试验
将玻璃层叠体10载置在水平盘上，利用直径20mm的吸盘吸附上侧的玻璃板的中央，沿铅垂方向以25mm/秒的速度上提，获知层叠的两张玻璃板12、14未分离，具有良好的密合力。
剥离试验1
在密合试验后，对于切断玻璃层叠体而获得的长25mm×宽25mm的多个层叠体块中的一个层叠体块，不进行加热处理而在室温下进行图8所示的剥离试验。作为剥离试验的夹具，使用板状构件41、42及把手构件43、44。
板状构件41大小为长25mm×宽25mm×厚5mm，是聚碳酸酯制，利用环氧粘合剂(未图示)粘合在用于构成层叠体块101的玻璃基板12的第2主表面12b上。板状构件42大小为长25mm×宽25mm×厚5mm，是聚碳酸酯制，利用环氧粘合剂(未图示)粘合在用于构成层叠体块101的支承玻璃板14的第2主表面14b上。板状构件41、42分别配置为其侧面与层叠体块101的侧面成为大致同一个面。层叠体块101与板状构件41之间的粘合面积以及层叠体块101与板状构件42之间的粘合面积分别为长25mm×宽25mm。
把手构件43大小为长25mm×宽10mm×厚5mm，是聚碳酸酯制，利用环氧粘合剂(未图示)粘合在板状构件41的与玻璃基板12侧相反一侧的面上。把手构件44大小为长25mm×宽10mm×厚5mm，是聚碳酸酯制，利用环氧粘合剂(未图示)粘合在板状构件42的与支承玻璃板14侧相反一侧的面上。把手构件43、44分别配置为其左侧面与板状构件41、42的左侧面成为大致同一个面。板状构件41与把手构件43之间的粘合面积以及板状构件42与把手构件44之间的粘合面积分别为长25mm×宽10mm。
以支承玻璃板14成为下侧的方式大致水平地配置安装有夹具41～44的层叠体块101。将粘合在玻璃基板12侧的把手构件43固定，朝向图中箭头D方向所示的下方、换言之板状构件41、42的厚度方向以300mm/分钟的速度拉离粘合在支承玻璃板14侧的把手构件44，在施加了0.78N(0.32N/cm)的载荷时，层叠的两张玻璃板12、14分离。在分离后的两玻璃板12、14上未发现裂纹等破损。
剥离试验2
对于多个层叠体块中的另一个层叠体块，在大气中以300℃的温度进行加热处理一个小时之后，冷却至室温并进行图8所示的剥离试验，在施加了0.78N(0.32N/cm)的载荷时，层叠的两张玻璃板12、14分离。在分离后的两玻璃板12、14上未发现裂纹等破损。
剥离试验3
进一步，对于另一个层叠体块，在大气中以450℃的温度进行加热处理一个小时之后，冷却至室温并进行图8所示的剥离试验，层叠的两张玻璃板12、14未分离直至一者破裂。
耐热试验
对于另一个层叠体块，观察使用加热板在大气中以450℃的温度加热处理了一个小时后的状态，在层叠的两张玻璃板之间未发现气泡，而且，在两玻璃板上未发现裂纹等破损。
剪切试验1
对于另一个层叠体块，在室温下进行图9所示的剪切试验。作为剪切试验的夹具，使用板状构件51、52。
板状构件51大小为长25mm×宽50mm×厚3mm，是聚碳酸酯制，利用环氧粘合剂(未图示)粘合在用于构成层叠体块102的玻璃基板12的第2主表面12b上。板状构件51配置为其左侧面与块102的左侧面成为大致同一个面。块102与板状构件51之间的粘合面积为长25mm×宽25mm。板状构件52大小为长25mm×宽50mm×厚3mm，是聚碳酸酯制，利用环氧粘合剂(未图示)粘合在用于构成层叠体块102的支承玻璃板14的第2主表面14b上。板状构件52配置为其右侧面与块102的右侧面成为大致同一个面。块102与板状构件52之间的粘合面积为长25mm×宽25mm。
以支承玻璃板14成为下侧的方式大致水平地配置安装有夹具51、52的层叠体块102。将粘合在玻璃基板12侧的板状构件51固定，朝向图9中箭头L方向所示的左方、换言之朝向板状构件51、52的长度方向以0.5mm/分钟的速度拉伸粘合在支承玻璃板14侧的板状构件52，在施加了118N(19N/cm2)的载荷时，层叠的两张玻璃板12、14中的一者破裂。在两玻璃板12、14之间未发现偏移直至一者破裂。
根据剥离试验1与剪切试验1的结果可知，层叠的两张玻璃板12、14沿层叠面的铅垂方向以比较弱的力剥离，并且即使施加比较强的力，在层叠面的面内方向上也难以偏移。因此，能够容易地进行剥离，并且能够抑制在输送玻璃层叠体10等时层叠面偏移的情况。
剪切试验2
对于另一个层叠体块，在大气中以300℃的温度进行加热处理一个小时之后，冷却至室温并进行图9所示的剪切试验，在施加了118N(19N/cm2)的载荷时，层叠的两张玻璃板12、14中的一者破裂。在两玻璃板12、14之间未发现偏移直至一者破裂。
试验例2
在试验例2中，取代使用图4A～图4C及图5所示的压力装置30而通过手动按压在大气中室温下层叠两张玻璃板，除此以外与试验例1相同地制造出玻璃层叠体。
关于所制造的玻璃层叠体，与试验例1相同地进行密合试验，可知层叠的两张玻璃板未分离，具有良好的密合力。
在密合试验后，与试验例1相同地进行剥离试验1，在施加了0.80N(0.32N/cm)的载荷时，层叠的两张玻璃板分离。在分离后的两玻璃板上未发现裂纹等破损。
另外，进行剥离试验2，在施加了0.75N(0.30N/cm)的载荷时，层叠的两张玻璃板分离。在分离后的两玻璃板上未发现裂纹等破损。
另外，进行剥离试验3，层叠的两张玻璃板未分离直至一者破裂。
进行耐热试验，在层叠的两张玻璃板之间发现了较大的气泡。推断这是因为，由于在大气压中进行层叠，因此在层叠时进入了微小的气泡。
试验例3
在试验例3中，除了将在对玻璃板进行清洗、干燥之后隔开一星期之后进行层叠以外与试验例1相同地制造出玻璃层叠体。另外，在距对玻璃板进行清洗、干燥一个星期之后，使用上述接触角测量计测量玻璃板的水接触角，水接触角为10°。
关于所制造的玻璃层叠体，与试验例1相同地进行密合试验，可知层叠的两张玻璃板未分离，具有良好的密合力。
在密合试验后，与试验例1相同地进行剥离试验1，在施加了0.75N(0.30N/cm)的载荷时，层叠的两张玻璃板分离。在分离后的两玻璃板上未发现裂纹等破损。
另外，进行剥离试验2，在施加了0.75N(0.30N/cm)的载荷时，层叠的两张玻璃板分离。在分离后的两玻璃板上未发现裂纹等破损。
另外，进行剥离试验3，层叠的两张玻璃板未分离直至一者破裂。
试验例4
在试验例4中，取代使用图4A～图4C及图5所示的压力装置30而通过手动按压在大气中室温下层叠两张玻璃板，除此以外与试验例3相同地制造出玻璃层叠体。
关于所制造的玻璃层叠体，与试验例1相同地进行密合试验，可知层叠的两张玻璃板分离，未充分地紧密接触。
试验例5～8
在试验例5～8中，在刚进行了清洗、干燥之后且在进行层叠之前，仅对两张玻璃板的第1主表面中的一者实施了利用硅烷偶联剂进行的表面处理，除此以外与试验例1相同地制造出玻璃层叠体。
硅烷偶联剂使用了六甲基二硅氮烷(关东化学株式会社制造、1，1，1，3，3，3-六甲基二硅氮烷)。将玻璃板曝露在含有使该硅烷偶联剂气化而得到的气体的气氛中并进行了表面处理。
表1中示出了进行表面处理的时间、刚进行表面处理后的玻璃表面的水接触角、层叠后的密合试验、剥离试验1～3的结果。另外，作为密合试验的判断标准，将层叠的两张玻璃板未分离的情况标记为○，将分离的情况标记为×。作为剥离试验1～3的判断标准，将具有0.2N/cm以上的剥离强度，并且在剥离后未破损的情况标记为“○”，将在剥离前破损的情况标记为“×”，将剥离强度弱、无法进行剥离试验1～3的情况标记为“-”。
表1
Figure BDA0000155733550000301
试验例9～11
在试验例9～11中，在刚进行了清洗、干燥之后且在进行层叠之前，仅对两张玻璃板的第1主表面中的一者实施了利用硅烷偶联剂进行的表面处理，除此以外与试验例1相同地制造出玻璃层叠体。
作为表面处理方法，采用了将玻璃板曝露在含有使硅烷偶联剂(Dow Corning Toray株式会社制造、Z6040)气化而得到的气体的气氛中的方法。
表2中示出了进行表面处理的时间、刚进行表面处理后的玻璃表面的水接触角、层叠后的密合试验、剥离试验1～3的结果。另外，密合试验的判断标准、剥离试验1～3的判断标准与表1相同，因此省略说明。
表2
Figure BDA0000155733550000311
试验例12～13
在试验例12～13中，在刚进行了清洗、干燥之后且在进行层叠之前，仅对两张玻璃板的第1主表面中的一者实施了利用硅油进行的表面处理，除此以外与试验例1相同地制造出玻璃层叠体。
硅油使用了二甲基硅油(Dow Corning Toray株式会社制造、SH200、聚二甲基硅氧烷)。首先，使用旋涂器(MIKASA公司制造、MS-A100)将在庚烷中稀释该硅油而得到的溶液涂敷在玻璃表面上。接着，使用加热板在大气中以500℃的温度加热处理5分钟。这样，进行将硅油烧结在玻璃表面上的表面处理。
表3中示出了溶液中的硅油的浓度、刚进行表面处理后的玻璃表面的水接触角、层叠后的密合试验、剥离试验1～3的结果。另外，密合试验的判断标准、剥离试验1～3的判断标准与表1相同，因此省略说明。
表3
Figure BDA0000155733550000321
根据表1～表3明确可知，通过适当地设定玻璃表面的水接触角，适当地设定存在于玻璃表面的硅醇基的密度，从而即使在以450℃的温度对玻璃层叠体加热处理了一个小时的情况下，也能够通过规定的操作剥离用于构成玻璃层叠体的两张玻璃板。
参照特定的实施方式详细说明了本发明，但是不脱离本发明的思想与范围地能够施加各种变更、修改，对于本领域技术人员而言是不言而喻的。
本申请基于2009年10月20日申请的日本特许出愿2009-241797，在此作为参照引入其内容。
产业上的可利用性
采用本发明，能够提供一种平坦性优异的玻璃层叠体及其制造方法。另外，采用本发明，能够提供一种使用了该玻璃层叠体的显示面板的制造方法及利用该制造方法获得的显示面板。
附图标记说明
10  层叠体
12  玻璃基板
12a  第1主表面
12b  第2主表面
14   支承玻璃板
14a  第1主表面
14b  第2主表面
22   凹部

Claims (18)

1.一种玻璃层叠体，其包括玻璃基板及支承玻璃板，玻璃基板的表面与支承玻璃板的表面直接接触，其中，
相互接触的上述玻璃基板的表面与上述支承玻璃板的表面均为平滑的平面，上述两表面紧密接触。
2.根据权利要求1所述的玻璃层叠体，其中，
通过进行使玻璃基板与支承玻璃板分离的操作，能够使两者分离。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其中，
相互接触的两表面的接触前的轮廓算术平均偏差(Ra)分别小于1.0nm。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃层叠体，其中，
相互接触的两表面的接触前的水接触角分别为5°以下。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃层叠体，其中，
相互接触的两表面中的至少一个表面的接触前的水接触角为15°～70°。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃层叠体，其中，
上述玻璃基板的厚度为0.04mm以上且小于0.8mm，
上述支承玻璃板的厚度为0.08mm以上，
上述玻璃基板与上述支承玻璃板的合计厚度为0.2mm～1.0mm。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的玻璃层叠体，其中，
上述玻璃基板与上述支承玻璃板在25℃～300℃中的平均线膨胀系数之差为15×10-7/℃以下。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的玻璃层叠体，其中，
上述支承玻璃板在与上述玻璃基板相接触一侧的面的周缘部具有凹部，
上述凹部被上述玻璃基板密封。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的玻璃层叠体，其中，
在上述玻璃基板的与同上述支承玻璃板相接触一侧相反一侧的面上形成有显示面板用构件。
10.一种玻璃层叠体的制造方法，其用于制造权利要求1～8中任一项所述的玻璃层叠体，其中，
在减压气氛下层叠玻璃基板与支承玻璃板。
11.根据权利要求10所述的玻璃层叠体的制造方法，其中，
在层叠前对玻璃基板的将要成为层叠面的表面与支承玻璃板的将要成为层叠面的表面中的至少一个表面进行清洗。
12.根据权利要求11所述的玻璃层叠体的制造方法，其中，
在层叠前对清洗后的至少一个表面进行表面处理。
13.根据权利要求12所述的玻璃层叠体的制造方法，其中，
上述表面处理的材料包括硅烷偶联剂或硅油。
14.根据权利要求10～13中任一项所述的玻璃层叠体的制造方法，其中，
对上述玻璃基板的非层叠面的周缘部进行支承而将上述玻璃基板与上述支承玻璃板层叠起来。
15.一种显示面板的制造方法，其使用权利要求1～8中任一项所述的玻璃层叠体来制造显示面板，其中，
在上述玻璃基板的与同上述支承玻璃板相接触一侧相反一侧的面上形成显示面板用构件，之后使上述玻璃基板与上述支承玻璃板分离。
16.根据权利要求15所述的显示面板的制造方法，其中，
上述显示面板用构件是薄膜晶体管。
17.根据权利要求15所述的显示面板的制造方法，其中，
上述显示面板用构件是滤色器。
18.一种显示面板，其中，
该显示面板是利用权利要求15～17中任一项所述的显示面板的制造方法而获得的。
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