TW201206697A - Glass laminate, glass laminate manufacturing method, display panel manufacturing method, and display panel obtained by means of display panel manufacturing method - Google Patents

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201206697 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種玻璃積層體及其製造方法、以及顯示 面板之製造方法及以該製造方法製得之顯示面板。 【先前技術】 近年來’液晶面板（LCD，Liquid Crystal Display)、有機 EL 面板（〇LED(Organic Electro Luminescence Display，有 機電致發光面板））、電漿顯示面板（PDP，piasnia Display Panel)、場發射顯示器面板（FED，Field Emission Display) 等顯示面板之薄型化、輕量化正在不斷推進，用於顯示面 板之玻璃基板之薄板化正在不斷推進。若由於薄板化導致 玻璃基板之強度不充分，則顯示面板之製造步驟中，玻璃 基板之操作性發生劣化。 因此，先前以來，廣泛採用如下方法：於比最終厚度更 厚之玻璃基板上形成顯示面板用構件，其後藉由化學蝕刻 處理將玻璃基板薄板化。然而，該方法中，例如，於將i 片玻璃基板之厚度自〇·7 mm薄板化至〇.2 „1111或〇丨mm之情 形時，由蝕刻液將原本之玻璃基板之材料之大半削落，因 此就生產率或原材料之使用率觀點而言欠佳。 又，上述之藉由化學蝕刻之玻璃基板之薄板化方法中， 會有如下情形：於玻璃基板表面存在細微之傷痕之情形 時，藉由姓刻處理以傷痕為起點形成有細微之凹處（腐姓 坑），從而成為光學缺陷。 為了應對上述課題，專利文獻丨及]中提出有如下方法： 151652.doc 201206697 於使板厚較薄之玻璃基板與支撐玻璃板積層並固定之狀態 下’於玻璃基板上形成顯示面板用構件，其後將支樓玻璃 板自玻璃基板剝離。 該顯示面板之製造方法中’作為使玻璃基板與支標玻璃 板積層並固定之方法，專利文獻1中提出有如下方法：使〇 形環插入玻璃基板與支撐玻璃板之間，藉由真空吸附兩玻 璃板之間而將兩者固定；專利文獻2中提出有如下方法： 使具有再剝離性之樹脂層插入玻璃基板與支撐玻璃板之 間’藉由樹脂層之密接力將兩者固定。 先前技術文獻 專利文獻 專利文獻1 :曰本專利特開2000-241804號公報 專利文獻2 :國際專利公開第08/007622號小冊子 【發明内容】 發明所欲解決之問題 然而，由專利文獻1所提出之使〇形環插入玻璃基板與支 撐玻璃板之間之方法中，由於〇形環玻璃基板發生撓曲， 難以於玻璃基板上精度較佳地形成顯示面板用構件。 又，由專利文獻2所提出之使具有再剝離性之樹脂層插 入玻璃基板與支撐玻璃板之間之方法中，若樹脂層之厚度 不均一，則玻璃基板之平坦性受損。 本發明係鑒於上述課題而完成者，其目的在於提供一種 平坦性優異之玻璃積層體及其製造方法。又，本發明之目 的在於提供一種使用該玻璃積層體之顯示面板之製造方法 151652.doc 201206697 及以該製造方法製得之顯示面板。 解決問題之技術手段 為了解決上述目的，本發明之玻璃積層體係 包含玻璃基板及支撐玻璃板，且玻璃基板之表面與支撐 玻璃板之表面係直接接觸；且 相互接觸之上述玻璃基板之表面與上述支撐玻璃板之表 面均為平滑之平面’且上述兩表面密接。 又’本發明之玻璃積層體之製造方法係 將玻璃基板與支撐玻璃板於減壓環境下進行積層。 又本發明之使用玻璃積層體之顯示面板之製造方法係 使用上述玻璃積層體以製造顯示面板者；且 於上述玻璃基板之與上述支撐玻璃板接觸之側的相反側 之面形成顯示面板用構件，其後將上述玻璃基板與上述支 撐玻璃板分離。 又’本發明之顯示面板係 藉由本發明之顯示面板之製造方法而獲得者。 發明之效果 制根據本發明，可提供一種平坦性優異之玻璃積層體及其 製造方法。又’根據本發明’可提供一種使用該玻璃積層 體之顯不面板之製造方法及以該製造方法製得之顯示面 板。 【實施方式】 本發明中’所謂玻璃基板’係指於其表面形成有顯示面 板用構件以構成顯示面板之包含玻璃之片材或膜。所謂支 151652.doc 201206697 撐玻璃板’係指不構成顯示面板之包含玻璃之片材或膜。 所謂玻璃積層體，係指該等玻璃基板與支撐玻璃板之積層 體’用於顯示面板之製造。玻璃積層體係被使用直至顯示 面板製造步驟之中途為止（直至玻璃基板與支撐玻璃板分 離為止）’玻璃基板與支撐玻璃板分離後，自顯示面板製 造步驟拆除支撐玻璃板，不再成為構成顯示面板之構件。 自玻璃基板分離之支撐玻璃板可作為支撐玻璃板再利用。 即，可與新的玻璃基板積層，獲得玻璃積層體。 支撐玻璃板支撐並強化玻璃基板，為防止顯示面板製造 過程中玻璃基板之變形、受損、破損等而使用。又，以下 亦為使用支樓玻璃板之目的之一：於使用比先前之玻璃基 板更薄之破璃基板之情形時，為了應用於先前之厚度之玻 璃基板所適合之顯示面板製造步驟，藉由設為與先前之玻 璃基板相同厚度之玻璃積層體而可使用較薄之玻璃基板。 本發明中’所謂顯示面板用構件，係指形成於玻璃基板 2表面且構成顯示面板之構件或其—部分。形成於玻璃積 側表面(即，露出之玻璃基板表面)之顯示 亦可不為預先形成於玻璃基板上且構成顯示面 以下僅稱為「全構件」）。這是因為可於盆 後之4將自麵㈣體分離之附有顯 納

分構件）之玻璃基板作為附有 反用構件U 璃美妬rff, # ^ " 板用構件（全構件）之玻 一製造:示::附:顯示面^ 有顯___件或部分二 === I51652.doc 201206697 於艾公雜 ^ 雕面形成有其他顯示面板用構件。又’亦可使用附

-^p· -T- I ‘·"’、回板用構件（全構件）之玻璃積層體組裝顯示面板， 其後分離支撐玻璃板以製造顯示面板。進而，亦可使用2 片附有顯示面板用構件（全構件）之玻璃積層體以組裝顯示 面板’其後分離2片支撐玻璃板以製造顯示面板。 本發明中’所謂顯示面板，係指液晶面板（LCD)、有機 EL面板（0LED)、電漿顯示面板（PDP)、場發射顯示器面板 (FED)等顯示面板。顯示面板具有1片或2片玻璃基板作為 其構成構件。根據情形不同，亦會有具有3片以上之玻璃 基板之情形。本發明中，顯示面板係使用附有顯示面板用 構件之破璃基板（使用本發明之玻璃積層體而獲得者）以製 造。於存在複數片構成顯示面板之玻璃基板之情形時，顯 示面板之製造中所使用之複數片玻璃基板之一部分亦可不 為使用本發明之玻璃積層體而獲得之附有顯示面板用構件 之玻璃基板’而為其他玻璃基板。例如，可將不經過本發 明之玻璃積層體而製造之附有顯示面板用構件之玻璃基板 或未形成有顯示面板用構件之玻璃基板作為玻璃基板之一 部分而使用，以製造顯示面板。 本發明中’於積層玻璃基板與支撑玻璃板作為玻璃積層 體時，將相互接觸之玻璃基板表面與支撐玻璃板表面分別 稱為玻璃基板之積層面、支撐玻璃板之積層面。將與玻璃 基板之積層面相反側之面稱為玻璃基板之非積層面，將與 支撐玻璃板之積層面相反側之面稱為支撐玻璃板之非積層 面。又’亦將成為玻璃基板之積層面之側之主面稱為（玻 15l652.doc 201206697 璃基板之）第1主面，成為支撐玻璃板之積層面之側之主面 稱為（支撐玻璃板之）第1主面》同樣地，亦將成為玻璃基板 之非積層面之側之主面稱為（玻璃基板之）第2主面，成為支 撐玻璃板之非積層面之側之主面稱為（支撐玻璃板之）第2主 面。 玻璃基板與支撐玻璃板均係熔融玻璃原料，將熔融玻璃 成形為板狀而獲得。如此之成形方法亦可為一般方法，例 如可使用浮式法、融合法、流孔下引法、富可法、魯博斯 (Lubbers)法等。又，尤其薄者係以如下方法（再拉法）成形 而獲得：將暫時成形為板狀之玻璃加熱至可成形溫度，利 用延伸等方式拉伸使其變薄。 作為玻璃基板與支撐玻璃板之材質之玻璃較佳為均為硼 矽酸玻璃、鹼石灰玻璃、高矽玻璃、其他以氧化矽為主要 成分之氧化物系玻璃。作為氧化物系玻璃，較佳為藉由氧 化物換算之氧化矽之含量為4〇〜90質量％之玻璃。作為玻 璃基板用玻璃’根據顯示面板之種類所要求之玻璃特性不 同，由此採用滿足其要求之玻璃。作為支撐玻璃板用玻 璃，所要求之玻璃特性之制約較少，但於顯示面板用構件 形成等時對玻璃積層體進行加熱處理之情形時，較佳為使 用與玻璃基板之玻璃之熱膨脹係數差較小之玻璃。尤其係 支撐玻璃板之玻璃與玻璃基板為相同玻璃這一點比熱膨脹 係數差較小’其他物性亦相同這一點更佳。 作為玻璃基板之玻璃，使用與根據顯示面板之種類所要 求之玻璃特性相符合之玻璃。由於鹼金屬成分之溶析易對 151652.doc 201206697 液晶帶來影響，液晶面板（LCD)用之玻璃基板包含不含有 鹼金屬成分之玻璃（無鹼玻璃）或鹼金屬成分含量較少之玻 璃（低鹼玻璃）。如此，玻璃基板之玻璃係根據所應用之顯 示面板及其製造步驟以進行適當選擇。 又’作為玻璃基板之玻璃尤佳為熱膨脹係數較低之玻 璃。為了於玻璃基板表面上形成顯示面板用構件，多數情 形伴隨熱處理。若玻璃基板之玻璃之熱膨脹係數較大，則 5亥熱處理中易產生各種不良。例如，於在玻璃基板上形成 薄膜電晶體（TFT，Thin Film Transistor)之情形時，若將加 熱條件下形成有TFT之玻璃基板冷卻，則會有由於玻璃基 板之熱收縮TFT之位置偏移變得過大之虞。作為本發明中 之玻璃之熱膨脹係數之指標，使用JIS R 3 102-1995所規定 之平均線膨脹係數。玻璃基板之玻璃於25〜3〇〇它時之平均 線膨脹係數較佳為〇〜5〇xl〇-Vc，更佳為〇〜4〇χ1〇·7Γ(：。通 吊之顯示面板之製造中，該溫度之上限3〇〇。〇相當於玻璃 基板之溫度之上限。 作為支撐玻璃板之玻璃，較佳為使用與玻璃基板之玻璃 於25〜300。(：時之平均線膨脹係數之差為丨5 χ丨〇_7/£>(：以下的 玻璃。若玻璃基板之玻璃與支撐玻璃板之玻璃K25〜3〇〇t 時之平均線膨脹係數之差過大，則於顯示面板之製造步驟 中之加熱冷卻時’會有玻璃積層體激烈地翹曲，或者玻璃 基板與支撐玻璃㈣離之可能性。於玻璃基板之玻璃與支 撐玻璃板之玻璃為相同玻璃之情形時，不會有產生此種問 題之虞。 151652.doc •9· 201206697 對玻璃基板之厚度並無特別限定，但就薄型化及/或輕 里化之觀點而言，通常未達〇 8 mm，較佳為〇 3爪爪以下， 進而較佳為0.15 mm以下。於mm以上之情形時，不滿 足薄型化及/或輕量化之要求。於〇3 mm以下之情形時， 能夠賦予玻璃基板良好之可撓性。於〇15 mm以下之情形 時，能夠將玻璃基板捲取為輥狀。又，就易於製造玻璃基 板、易於操作玻璃基板等理由而言，玻璃基板之厚度較佳 為0.04 mm以上。 就於使用支撐玻璃板以製造顯示面板時易於操作、難以 龜裂等理由而言’支撐玻璃板之厚度較佳為〇〇8 mm以 上。支撐玻璃板既可比玻璃基板更厚，亦可更薄。較佳 為，根據目的由選自上述範圍之玻璃基板之厚度與後述玻 璃積層體之厚度而選擇支撐玻璃板之厚度。 玻璃基板之大小及形狀係根據顯示面板之大小及形狀而 選擇。由於顯示面板之形狀通常為矩形，故玻璃基板之形 狀亦通常為矩形。支撐玻璃板之大小及形狀係通常使用與 玻璃基板之大小及形狀大致相同者。作為支撐玻璃板之大 小，就支撐玻璃基板之觀點而言，較佳為與玻璃基板之大 小相同或比其稍大者。即，較佳為支撐玻璃板之第丨主面 之外t尺寸與玻璃基板之第1主面之外形尺寸相等，或較 大。 其次’參照圖式對本發明之第1實施形態進行說明。再 者，各圖式中，為易於觀察圖，將玻璃積層體之形狀之比 例關係誇張描繪。 151652.doc 201206697 本實施形態係對顯示面板用構件之形成步驟中，破璃積 層體之溫度不超過300。(：之情形進行說明。 圖1係表不本發明之第丄實施形態中之玻璃積層體之❹ 圖。如圖1所示，玻璃積層體10係積層有玻璃基板12與支 撐玻璃板14之積層體，玻璃基板12之積層面（第t主面） 與支撐玻璃板14之積層面（第}主面）丨牝係直接接觸，兩表 面密接。玻璃積層體10自身具有2個面，一面包含玻璃基 板12之非積層面（第2主面）12b(以下將該玻璃積層體之面稱 為玻璃基板面12b)，另一面包含支撐玻璃板14之非積層面 (第2主面）14b。 本發明之玻璃積層體中，所謂兩玻璃板12、14之積層面 12a、14a密接，係指以直至於玻璃積層體之玻璃基板面 12b上形成顯示面板用構件，將玻璃基板與支撐玻璃板分 離之階段時為止，玻璃基板與支撐玻璃板不分離之程度之 結合力使積層面12a與積層面14a接觸。又，該積層面之結 合力必需為於進行將玻璃基板與支揮玻璃板分離之操作 時’兩玻璃板12、14容易地分離之程度之結合力。 就顯示面板之製造步驟中易於操作等理由而言，上述結 合力較佳為於後述之剝離試驗中’剝離強度成為〇 2 N/cm 以上之結合力。又’就可容易地將玻璃基板丨2與支撐玻璃 板14分離之觀點而言’該結合力較佳為於後述之剝離試驗 中’剝離強度成為100 N/cm以下之結合力。更佳為剝離強 度成為5 0 N/cm以下之結合力，進而較佳為剝離強度成為 40 N/cm以下之結合力。若積層面12a、14a之結合力變得 151652.doc -11 - 201206697 過大，則會有於分離時玻璃基板12、支撐玻璃板14之一方 或雙方受到損傷之情形。 一般而言，眾所周知將玻璃板彼此積層時積層面上玻璃 表面彼此以結合著的程度之結合力密接，該結合力可考慮 係藉由存在於兩破璃表面之矽烷醇*(Si_〇H)彼此之氫鍵 或部分脫水縮合之化學鍵之生成、兩玻璃表面間之凡得瓦 力等。本發明之玻璃積層體中，積層面123、14a不熔接 (將玻璃熔融並結合若使其熔接則積層面之結合力變得 過南，玻璃基板與支撐玻璃板之分離變得困難。 通常，於玻璃基板面12b上形成顯示面板用構件時，使 玻璃積層體加熱至300。(：左右之情況並不少見。本發明之 玻璃積層體即便經過該程度之加熱，玻璃基板與支撐玻璃 板之分離亦不會變得困難。矽烷醇基（Si_〇H)彼此之脫水 縮合反應藉由加熱而被促進，但3〇〇t：左右之加熱時，由 於兩玻璃表面之矽烷醇基彼此之脫水縮合難以生成化學 鍵’可認為上述結合力不會變得過高。 玻璃基板與支撐玻璃板之積層面12a、14a間之結合力由 於積層面12a、14a之各種因素易於發生變化，但至少必需 均為平滑之平面。若兩表面不為平面，則積層面間產生空 隙，兩表面不密接。同樣地，若兩表面不平滑，則積層面 間易於產生細微之空隙，兩表面難以密接。又，較佳為兩 表面足夠清潔。若積層面存在污染等異物，則兩表面難以 密接。另外，亦要考慮到玻璃表面之矽烷醇基密度、玻璃 表面之玻璃組成等產生影響。又，可認為玻璃基板與支撐 151652.doc 201206697 玻璃板各自之積層面未必要相同，例如藉由平滑性或清潔 度不同之積層面之組合結合力亦發生變化。因此，較佳為 以上述剝離試驗之剝離強度在上述範圍内之方式進行適當 調整而使用。 玻璃基板12之積層面（第！主面）12a之平均表面粗糙度及 支撐玻璃板14之積層面（第！主面）14a之平均表面粗糙度較 佳為均未達1.0 nm。若兩積層面之平均表面粗糙度為ι 〇 nm以上，則兩表面之實質上的接觸面積變得過小，因此無 使兩面以足夠.之結合力密接。該等積層面之平均表面粗 糙度係於積層玻璃基板12與支撐玻璃板14之前，分別測定 成為積層面之第1主面12a、14a而獲得之值。 會有如下之情形：由於玻璃基板12及支撐玻璃板14之材 質、兩材質之組合、玻璃基板12及支撐玻璃板14之形狀或 形狀之組合等因素，平均表面粗糙度均未達丨〇 nm之破璃 基板12及支撐玻璃板14之組合得不到充分之密接性。因 此，較佳為玻璃基板與支撐玻璃板之至少一者之平均表面 粗糙度為0.8 nm以下（另一者未達1〇 nm亦可），更佳為玻 璃基板12與支撐玻璃板14之平均表面粗糙度均設為0.8 nm 以下。再者，玻璃基板12與支撐玻璃板之任一者中，非 積層面12b、14b之平均表面粗糙度不受到上述之範圍限 定。 义 再者，本發明中所謂玻璃表面之平均表面粗糙度，係指 任忍所選擇之2點以上之算數平均高度之平均值。所謂算 數平均高度，係指JIS B 060卜2〇〇1所規定之算數平岣高户 151652.doc -13- 201206697 ^ ’藉由利用原子力顯微鏡測定各點上之5 μη^ μηι之測 定區域而求出。 面之平均表面粗糖度在上述範圍内之玻璃基板或 支撐玻璃板，可利用以研磨或蝕刻等方法使玻璃面平滑之 方法獲得。又，根據製造玻璃板之方法，可製造一開始平 均表面粗糙度即在上述範圍内之玻璃基板或支撐玻璃板。 進而，根據市售之玻璃基板或支撐玻璃板，亦有已進行過 研磨等平滑化處理者。因此’使用玻璃基板或支撐玻璃板 時，較佳為於測定其第i主面之平均表面粗糙度，該平均 表面粗糙度為上述範圍外之情形時，進行研磨等將平均表 面粗經度設為上述範圍内者而使用。 玻璃基板12與支撐玻璃板14之積層面12&、14&均足夠清 潔11 一點’係由積層前測定成為該積層面之第1主面l2a、 14a之水接觸角而判斷。一般而言，玻璃表面之活性度（清 潔度）越低’玻璃表面之水接觸角有越大之傾向。因此， 若第1 k面12a、14a之水接觸角過大，則第i主面12a、i4a 之活性度（清潔度）過低’因此無法使第1主面12a、以足 夠之結合力密接。 玻璃基板與支撐玻璃板之各自之第1主面12a、l4a之水 接觸角較佳為均為5 °以下。此處’所謂水接觸角，係指jis R 325 7-1999所規定之接觸角。由於玻璃基板12及支撐玻 璃板14之材質、兩材質之組合、玻璃基板12及支撐玻璃板 14之形狀或形狀之組合專因素’該第1主面之水接觸角均 為5°以下之玻璃基板12及支撑玻璃板14之組合得不到充分 151652.doc -14- 201206697 之密接性，於此情形時，較佳為至少一者 :觸角為4。以下’更佳為將玻璃基板12與支撐玻 第1主面12a、14a之水接觸角均設為4。以下 基板12與支撐玻璃板14之任一 璃 可r 非積層面12b、14b之 水接觸角不受到上述範圍限定。 具有第！主面之玻璃基板及支撐玻璃板較佳為於積層前 清洗該第1主面i2a、14a而作為水接觸角較低之第}主面 後’用於積層。清洗方法亦可為用於玻璃製品之清洗之— 般方法。例如，作為濕式清洗，有超音波清洗使用呈有 二氧化#研磨粒等研磨粒之研磨液之研磨、制含有氣氣 酸或確酸㈣之㈣清洗液之酸清洗、❹含有胺或氣氧 化卸等鹼之驗清洗液之鹼清洗、使用含有界面活性劑或其 ，洗潔劑之清洗液之清洗p又，作為乾式清洗，有使用 紫外線光、臭氧之光化學清洗、使用f t之物理清洗等。 該等清洗方法可單獨使用或組合使用。清洗結束後，根據 需要’進行乾燥以使得不殘留清洗劑。 玻璃積層體10之厚度（玻璃基板12與支撐玻璃板14之厚 度之總和）較佳為設定成玻璃積層體10可以現行之製造線 搬送。例如，於設計成現行之製造線使厚度0·7 mm之基板 搬送’玻璃基板12之厚度為0.3 mm之情形時，支撐玻璃板 14之厚度較佳為0.4 mm。因較多設計成現行之製造線搬送 厚度0.2 mm以上1.0 mm以下之基板，故玻璃積層體1〇之厚 度較佳為0.2 mm以上1.0 mm以下。 如圖1所示，本實施形態之玻璃積層體10中，因玻璃基 151652.doc 201206697 板12與支撐玻璃板14係直接接觸而密接，故與於兩玻璃板 12、14之間插入〇形環或樹脂層之情形相比較而言，玻璃 積層體10難以撓曲。因此，玻璃積層體平坦性優異，此點 意味著玻璃積層體玻璃基板面之平坦性優異。 又，本實施形態之玻璃積層體10中，因玻璃基板12與支 撐玻璃板14係直接接觸而密接，故與於玻璃基板與支撐玻 璃板之間插入具有剝離性之樹脂層之情形相比較而言，可 削減零件件數，可削減成本。又，自玻璃積層體分離之支 撐玻璃板可容易地再利用。即，由於暫時被使用之支樓玻 璃板不存在樹脂層’維持該狀態，或根據需要進行清洗 等’可立即與新的玻璃基板積層。進而’即便於不再次使 用自玻璃積層體分離之支撐玻璃板之情形，與於將樹脂層 接著於支撐玻璃板而使用之情形相比較而言，因不需要將 樹脂層自支撐玻璃板剝離之步驟，故可將支撐玻璃板14作 為玻璃原料而容易地再利用。 進而，本貫施形態之玻璃積層體1〇中，與於兩玻璃板 12、14之間插入具有剝離性之樹脂層之情形相比較而言， 耐熱性較優異。例如，即便於大氣中以·。c之溫度加熱i 小時後，玻璃基板積層面12a與支撑玻璃板積層面W之間 之剝離試驗中之剝離強度的變化較微小，可維持積層面間 之結合力。 圖2A係表示圖1之變 變形例之平面圖。以下 體20之構成進行說明， 形例之剖面圖，圖2B係表示圖i之 對圖2A及圖2B所示之玻璃積層 對與圖1所示之玻璃積層體10相同 151652.doc 201206697 構成賦予相同符號並省略說明β 圖2Α及圖2Β所示之變形财，支撑玻璃板ΐ4之第i主面 14a之周緣部具有凹部22。凹部。存在於積層面内，由玻 璃基板12之第i主面12a覆蓋、密閉。較佳為凹部22内係於 減麼環境中。由於凹部22内於減壓環境中，玻璃基板以 壓吸附於支樓玻璃板14，能夠使積層面12&、…間之結合 力提高。於凹部22形成於支撐玻璃板14之中央部之情形 時’顯示面板之製造步驟中利光微影技術自支撐玻璃板 Μ側向玻璃基板12之中央部將光入射時，入射之光受到凹 部22之影響n精度較佳地形成顯示面板㈣件變得 困難。 其次，對玻璃積層體之製造方法進行說明。 本發明之玻璃積層體係藉由積層玻璃基板與支樓玻璃板 以製造。積層係藉由將玻璃基板與支樓玻璃板以特定之配 直置愛’進行加 --.V U 入，％、圾項 板為0.3 mm以下’尤其為〇·15 mm以下之情形時，由於 璃基板具有可撓性，亦可使用將可繞之塑膠膜於板體表 積層之情料所使狀積層法。例如亦可使用—邊使玻 基板沿較重疊於支稽玻璃板面—邊進行加壓熔接之報積 法。為了使玻璃基板之第丄主面與支樓玻璃板之幻主面 接，不宜於該等面之間殘留空氣等氣體。若於兩第 間殘留氣體’則玻璃積層體由顯示面板之製造步驟等加 時該氣體發生膨脹，積層面變得易於剝離◎進而，產生 璃基板局部變形或龜裂之虞。因此，較佳為以於兩第】 151652.doc 17 201206697 面間難以殘留氣體之積層法積層。 本發明之玻璃積層體較佳為藉由於減壓環境下積層玻璃 基板與支撐玻璃板以製造。以下，將該積層法稱為減壓積 層法。減壓環境中’將大氣壓規格化為零時，壓力較佳 為-60 kPa以下，更佳為_1〇〇 kPa以下。換言之，不將大氣 壓規格化為零時’減壓環境中’壓力較佳為4丨3 kpa以 下，更佳為1.3 kPa以下。 不限於減壓積層法，於製造本發明之玻璃積層體之情形 時’較佳為使用預先進行過研磨或清洗等之玻璃基板與支 樓玻璃板。例如’清洗至少第1主面平滑之玻璃基板，準 備至少第1主面之水接觸角為5。以下之玻璃基板，同樣地 清洗至少第1主面平滑之支撐玻璃板，準備至少第丨主面之 水接觸角為5。以下之支撐玻璃板，將該等玻璃基板與支撐 玻璃板放入能夠減壓之加壓裝置中，使該等第丨主面彼此 對向，於加壓裝置内作為減壓環境將兩者重疊而進行加壓 熔接，作為玻璃積層體。尤佳為製造玻璃積層體時預先清 洗成為玻璃基板與支撐玻璃板之積層面之兩者之第1主 面，從而用於積層。 其次，參照圖3對利用進行玻璃基板與支撐玻璃板之清 洗之減壓積層法以製造玻璃積層體1〇之方法進行說明。 圖3係表示玻璃積層體1〇之製造方法之步驟圖。 該玻璃積層體1〇之製造方法具有： 清洗步驟（步驟Sll) ’其係分別清洗玻璃基板12及支撐 玻璃板14之第1主面12a、14a;及 I51652.doc 18- 201206697 第1積層步驟（步驟S12)，其係積層玻璃基板12與支撐玻 璃板14。 作為玻璃基板12及支撐玻璃板14,使用其至少第丨主面 12a、I4a為平滑之平面（平均表面粗糙度（Ra)分別未達1〇 nm之平面）者。於清洗步驟中，分別清洗玻璃基板12及支 撐玻璃板14之至少第1主面丨2a、14a，將附著於第1主面 12a、14a之微粒或有機物等去除。藉此，可使玻璃基板12 及支撐玻璃板14之第1主面12a、14活化（水接觸角設為5。以 下），可提高兩玻璃板12、14之第1主面12a、14a彼此之密 接性。作為清洗方法可使用上述方法。 於第1積層步驟中，積層玻璃基板12與支撐玻璃板14。 例如，將玻璃基板12之第1主面12a與支撐玻璃板14之第1 主面14a重合’使用輥或加壓裝置等將玻璃基板12與支撐 玻璃板14加壓熔接。藉由加壓熔接，可提高兩玻璃板12、 14之第1主面12a、14a彼此之密接性，並且可將混入玻璃 基板12之第1主面12a與支撐玻璃板14之第1主面14a之間之 氣泡趕出至外部。此外，藉由於減壓環境下積層，可進而 抑制積層時之氣泡之混入。再者，如圖2A及圖2B所示， 於在玻璃基板12之第1主面i2a之周緣部形成有凹部22之情 形時’藉由於減壓環境下積層兩玻璃板12、14，可將凹部 22内設為減壓之狀態。 第1積層步驟較佳為對玻璃基板12之第2主面12b之周緣 部進行支撐，積層玻璃基板12與支撐玻璃板14。於對玻璃 基板12之第2主面12b之中央部進行支撐之情形時，會有用 151652.doc -19- 201206697 以形成顯示面板用構件之區域受損之虞。 圊4A係用以對加壓裝置30之玻璃基板及支撐玻璃板之設 置動作進行說明之剖面圖。圖4B係用以對加壓裝置3 〇之減 壓操作進行說明之剖面圖。圖4C係用以對加壓裝置3〇之玻 璃基板與支撐玻璃板之積層動作進行說明之剖面圖。圖5 係表示吸附頭3 1之平面圖。該加愿裝置3 〇包括吸附頭3 1及 平台32等。吸附頭31係如圖5所示，為矩形框狀。 該加壓裝置30中’首先，以第2主面12b成為上側之方式 將圖3之清洗步驟後之玻璃基板.12載置於平台32上。繼 而’使吸附頭31下降，至接觸於玻璃基板12之第2主面12b 之周緣部使其停止。其次，藉由對吸附頭3 i施加電壓（例 如2 kV)，使玻璃基板〗2靜電吸附於吸附頭3丨。該狀態 下’使吸附頭3 1上升，以第1主面14a成為上側之方式將圖 3之清洗步驟後之支撐玻璃板載置於平台32上。圖4A係 將支撐玻璃板14載置於平台32上時之加壓裝置30之剖面 圖。 其後’再次使吸附頭31下降，如圖4B所示，使玻璃基板 1 2與支稽玻璃板14以特定間隔（例如3 mm)對向。繼而，例 如使用真空泵（未圖示），對玻璃基板12與支撐玻璃板14之 間之空間減壓至特定壓力（例如_ 1 〇〇 kPa(以大氣壓為基 準））。 於該狀態下’使吸附頭3 1下降，如圖4C所示，藉由吸附 頭3 1對玻璃基板12施加特定壓力（例如3〇〇 kN/m2)，於室溫 下將玻璃基板12與支撐玻璃板14加壓熔接特定時間（例如 151652.doc •20- 201206697 180秒）。繼而，解除對吸附頭31之電壓施加並且停止真空 泵，使吸附頭3 1上升。如此般，可獲得圖1所示之玻璃積 層體10。 其次’參照圖6及圖7對顯示面板之製造方法進行說明。 圖6係表示液晶面板（LCD)之製造方法之一例之步驟圖。 再者’本實施形態對TFT-LCD(Thin Film Transistor_Liquid Crystal Display，薄膜電晶體液晶面板）之製造方法進行說 明，但本發明亦適用於STN_LCD(Super Twisted Nematic-Liquid Crystal Display ， 超扭轉 向列液 晶面板 ）之製 造方 法，對液晶面板之種類或方式不做限制。 液晶面板之製造方法具有： TFT基板製造步驟（步驟S21)，其係於一構成玻璃積層體 10之玻璃基板12之第2主面12b上形成薄膜電晶體（TFT); CF基板製造步驟（步驟S22)，其係於另一構成玻璃積層 體10之玻璃基板12之第2主面12b上形成彩色遽光片（CF， Color Filter);及 第2積層步驟（步驟S23) ’其係將形成有薄膜電晶體之玻 璃基板12與形成有彩色濾光片之玻璃基板丨2積層。 ' TFT基板製造步驟及CF基板製造步驟係使用周知之光微 • 影技術或蝕刻技術等’於玻璃基板12之第2主面12b上形成 TFT或CF。 再者’於形成TFT或CF前’亦可根據需要清洗玻璃基板 12之第2主面12b。作為清洗方法，可使用上述乾式清洗或 濕式清洗。 151652.doc • 21 - 201206697 再者’對TFT基板製造步驟與CF基板製造步驟之順序並 無限定，亦可於製造CF基板後製造TFT基板。 第2積層步驟係於形成有TFT之玻璃積層體1 〇(以下稱作 「玻璃積層體10A」）與形成有CF之玻璃積層體1〇(以下稱 作「玻璃積層體10B」）之間注入液晶材而積層。作為注入 液晶材之方法’例如有減壓注入法、滴下注入法。 減壓注入法係例如，首先，使用密封材及間隔材，以 TFT所存在之面與存在cf之面對向之方式將兩玻璃積層體 1 〇A、1 〇B貼合。其次’藉由手動或適當之吸附墊或刀 等’將支撐玻璃板14、14自兩玻璃積層體i〇A、10B剝 離。其後’切割為複數個單元。將切割之各單元之内部設 為減壓環境之後’自注入孔向各單元之内部注入液晶材， 密封注入孔。繼而’將偏光板貼附於各單元’裝入背光裝 置等’製造液晶面板。 再者’本實施形態中’將支撐玻璃板14、14自兩玻璃積 層體10A、10B剝離，其後切割為複數個單元，但本發明 並不限定於此《例如，亦可於使用密封材及間隔材將兩玻 璃積層體10A、1 〇B貼合前將支撐玻璃板14、14剝離。 滴下注入法係例如，首先，於兩玻璃積層體10A、1 0B 之任一者滴下液晶材，使用密封材及間隔材，以TFT所存 在之面與存在CF之面對向之方式積層兩玻璃積層體1〇a、 10B °其次，藉由手動或適當之吸附墊或刀等，將支撐玻 璃板14、1 4自兩玻璃積層體10 A、10B剝離。其後，切割 為複數個單元。繼而，將偏光板貼付於各單元，裝入背光 151652.doc •22- 201206697 裝置等，製造液晶面板。 再者’本實施形態中，將支撐玻璃板14、14自兩玻璃積 層體10A、10B剝離，其後切割為複數個單元，但本發明 並不限定於此。例如，亦可於在兩玻璃積層體1〇Α、ι〇Β 之任一者滴下液晶材前將支撐玻璃板14、14剝離。 支揮玻璃板14於剝離後未損傷之情形時，可再利用於與 另外之玻璃基板12之積層。直至被再利用之間，亦可將支 樓玻璃板14之表面由保護片材包覆。另一方面，於剝離後 損傷之情形時’亦可作為玻璃原料再利用。 液晶面板之製造方法係除上述步驟以外，亦可進而具有 自玻璃基板12將支撐玻璃板14剝離後，藉由化學蝕刻處理 將玻璃基板12薄板化之薄板化步驟。玻璃基板〗2之第j主 面12 a藉由支撐玻璃板14被保護，因此即便進行钮刻處 理，亦難以產生腐蝕坑。 再者’圖6所示之例中，TFT基板、以基板之製造中分 別各使用1個玻璃積層體1 〇，但本發明並不限定於此。 即，亦可僅TFT基板、CF基板之任一者之基板之製造中使 用玻璃積層體10。 圖7係表示有機EL面板（0LED)之製造方法之一例之步驟 圖。 有機EL面板之製造方法具有： 有機ELtl件形成步驟（步驟S3 1)，其係於構成玻璃積層 體10之玻璃基板I2之第2主面12b上形成有機el元件；及 第3積層步驟（步驟S32)，其係將形成有有機£[元件之玻 15l652.doc •23· 201206697 璃基板12與對向基板積層β 有機EL元件形成步驟係使用周知之蒸鍍技術等於玻璃基 板12之第2主面12b上形成有機EL元件。有機£[元件例如 包含透明電極層、電洞傳輸層、發光層、電子傳輸層等。 再者，於形成有機EL元件前，可根據需要清洗玻璃基板 12之第2主面12b ^作為清洗方法，可使用上述乾式清洗或 濕式清洗。 第3積層步驟係例如，首先，藉由手動或適當之吸附墊 或刀等，自形成有有機EL·元件之玻璃積層體10將支撐玻璃 板14剝離。其後，切割為複數個單元。繼而，以有機£[元 件與對向基板接觸之方式貼合各單元與對向基板。如此製 造有機EL顯示器。 如此般，使用玻璃積層體1〇而製造之顯示面板對其用途 並無特別限定，例如可應用於行動電話、pDA(Pers〇nal Digital Assistant，個人數位助理）、數位相機、遊戲機等 行動電子設備。 其次，對本發明之第2實施形態進行說明。 上述第1實施形態係對顯示面板用構件之形成步驟中， 玻璃積層體之溫度不超過3〇〇。(：之情形進行說明。 對此’本實施形態係對顯示面板用構件之形成步驟中， 玻璃積層體之溫度超過30(TC之情形進行說明。 近年來’顯示面板用構件之形成步驟中，有玻璃基板之 咖度超過3〇〇。〇之情形。例如，於玻璃基板面上形成tft之 步驟中有時會包含玻璃基板之溫度為4〇〇〜45 〇。〇之狀態時 151652.doc -24· 201206697 所進行之步驟’或600。(：左右之狀態時所進行之步驟。作 為以400〜45〇°C進行之步驟，可列舉於玻璃基板面上成膜 非晶矽之步驟、將成膜之非晶矽層中所含有之氫除去之步 驟、於成膜之非晶矽層上形成閘極絕緣膜之步驟等。作為 以600 C進行之步驟’可列舉於成膜之非晶矽層之一部分 藉由離子注入對所形成之源極或汲極進行活化處理之步驟 等。 顯示面板用構件之形成步驟中，於圖1之玻璃積層體之 /m度超過300 C之情形時，存在於玻璃基板12與支撐玻璃 板14之積層面12a、14a之矽烷醇基（Si_〇H)彼此之脫水縮合 反應被促進《因此，若存在於積層面12a、14a之矽烷醇基 之Φ度過尚’則於顯示面板用構件之形成步驟後，分離玻 璃基板12與支撐玻璃板μ變得困難。 通常，若存在於積層面12a、14a之矽烷醇基之密度邊變 低，則會有兩積層面i2a、14a之結合力變弱之傾向。可認 為是因為存在於兩積層面12a、14a之矽烷醇基彼此之氫鍵 有助於兩積層面12a、14a之結合力。因此，若存在於積層 面12a、14a之矽烷醇基之密度過低，則兩積層面12&、 之結合力過弱’難以操作玻璃積層體。 存在於積層面12a、14a之矽烷醇基之密度在適當範圍這 一點，係於積層前測定成為積層面之第！主面12a、Ma之 水接觸角而判斷。一般而言，有存在於玻璃表面之矽烷醇 基之密度越高，玻璃表面之水接觸角越小之傾向。可認為 疋因為石夕院醇基（Si-〇H)中含有親水性之〇H基。 151652.doc -25· 201206697 玻璃基板12及支撐玻璃板14之至少一者之第1主面之水 接觸角較佳為15〜70。，更佳為15〜50°。於未達15。之情形 時’矽烷醇基之密度過高。另一方面，若超過70°之情形 時’矽烷醇基之密度過低。再者，玻璃基板12與支撐玻璃 板14之任一者中，非積層面12b、14b之水接觸角不受上述 範圍限定。 具有第1主面之玻璃基板或支撐玻璃板較佳為，於積層 前對第1主面12a、14a之至少一者進行表面處理作為矽烷 醇基之密度較低之第1主面後，用於積層。藉此，於玻璃 積層體之溫度超過3〇〇。(：之情形時，可容易地將玻璃基板 12與支撐玻璃板14分離。 玻璃基板12與支撐玻璃板14之分離後，玻璃基板12側成 為製品。因此，較佳為僅對支撐玻璃板14側之第1主面Ha 進行表面處理。若對玻璃基板12側之第1主面12a進行表面 處理，則製品侧會產生不良悄:形，例如於分離後之第i主 面12a貼附偏光板變得困難等。 進行表面處理之第丨主面較佳為十分清潔之面，較佳為 剛清洗後之面。若清潔度（活性度）過低，則無法進行均一 之表面處理。 々作為用於纟面處王里之材钭，有石夕烷偶合劑&聚矽氧油 等。該等材料可單獨使用，或組合使用。於組合使用之情 …寺β无可於由石夕烧偶j劑進行表面處理後再由聚石夕氧油 ' τ表面處理’亦可於由聚％氧油進行表面處理後再由石夕 烧偶合劑進行表面處理。 151652.doc •26· 201206697 作為矽烷偶合劑，並無特別限定，例如，可較佳地使用 自以下物質中所選出之一種以上者：如六甲基二矽氮烷 (HMDS ’ hexamethyldisilazane)、γ-胺基丙基三乙氧基石夕 烷、Ν-β-(胺基乙基）·γ-胺基丙基三曱氧基矽烧、Ν_β_(胺基 乙基）-Ν'-β-(胺基乙基）-γ-胺基丙基三甲氧基矽烷、丫_苯胺 基丙基三曱氧基矽烷之胺基矽烷類，或如γ_縮水甘油氧基 丙基二曱氧基石夕烧、β-(3,4-環氧環己基）乙基三曱氧基石夕 烷之環氧矽烷類，如γ·氯丙基三曱氧基矽烷之氯矽烷類， 如γ-巯基三甲氧基矽烷之巯基矽烷，如乙烯基曱氧基矽 烷、Ν-β-(Ν-乙稀基节基胺基乙基）_γ_胺基丙基三甲氧基矽 烷之乙烯基矽烷類，如甲基丙烯醯氧基丙基三曱氧基矽 烷之丙烯矽烷類。 藉由石夕燒偶合劑之表面處理方法為一般之方法即可。 如有如下等方法：將玻璃板暴露於包含使我偶合劑氣 氣趙之環境中，將玻璃表面之錢醇基中所含 之親水性之ΟΗ基取代為疏水性之基。藉由調節環境中 石夕烧偶合劑之漠度、溫度、處理時間等，可調節存在於 璃表面之矽烷醇基之密度。 作為聚矽氧油並無特別限定 ,,m 丨J戈口有如一甲基聚矽 油、甲基苯基聚石夕氧、 ^由甲基虱化聚矽氧油之純聚矽' 油，於側鏈或末端導入有烷基 * u sx 轧丞、％氧基、胺基、！ 土、來醚基等之改質聚矽氧油等。 藉由聚石夕氧油之表面處理方法 如下笨太、i # 巧叙方法即可。例如a 方法·措由旋轉塗佈機等對 寸訂坡璃表面塗佈，藉由資 151652.doc -27- 201206697 處理對玻璃表面燒繪。藉由調節聚碎氧油之塗佈量等，可 調谛路出於玻璃表面之矽烷醇基之密度。 然而，於進行表面處理之情形時，存在於玻璃表面之石夕 烷醇基之密度低下，因此兩積層面12a、14a之結合力。 因此，為彌補表面處理所致之上述結合力之低下，亦可 於將玻璃基板12與支撐玻璃板14積層時進行加熱處理。藉 此可進行存在於兩第1主面12a、14a之矽烷醇基彼此之 脫水縮合反應，提高上述結合力。為促進脫水縮合反應， 較佳為以玻璃積層體之溫度超過3〇〇t：之方式加熱。該加 熱係以積層面12a、14a不熔接之方式進行。 又’為彌補表面處理所致之上述結合力之低下，亦可利 用玻璃料等接著劑將玻璃基板12與支撐玻璃板14之一部分 (例如緣部或角部）接著。該接著係以積層面12a、14a不熔 接之方式進行。於將經接著之玻璃基板12與支撐玻璃板14 剝離時，亦可預先切除接著部分。 本實施形態之玻璃積層體中，經由矽烷醇基之密度較低 之積層面’玻璃基板12與支撐玻璃板14係直接接觸而密 接，因此與於兩玻璃板12、14之間插入〇形環或樹脂層之 情形相比’玻璃積層體難以撓曲。因此，玻璃積層體平坦 性優異，此點意味著玻璃積層體之玻璃基板面之平坦性優 異。 本實施形態之玻璃積層體係與上述第1實施形態相同， 藉由積層玻璃基板與支撐玻璃板以製造，較佳為藉由於減 壓環境下積層玻璃基板與支撲玻璃板以製造。例如，至少 151652.doc 28 - 201206697 準備第1主面平滑之玻璃基板，清洗所準備之玻璃基板， 至少將第1主面之水接觸角設為5。以下。又，準備至少第i 主面平滑之支撐玻璃板，於清洗所準備之支樓玻璃板後進 行表面處理，至少將第i主面之水接觸角設為15〜7〇。。其 後，將該等玻璃基板與支撐玻璃板放入能夠減壓之加壓裝 置中’使該等之第1主面彼此對向，將加壓裝置内作為減 1環境將兩者重疊進行加壓炼接，從而作為玻璃積層體。 再者，本實施形態之玻璃積層體係與上述第丨實施形態 相同，能夠用於顯示面板之製造。 實施例 以下藉由實施例等具體地對本發明進行說明，但本發明 並不由該等例所限定。再者，本實施例中，使用相同玻璃 板作為玻璃基板及支撐·玻璃板。因此，以下之例中，構成 玻璃積層體之2片玻璃板之任意一者為本發明中之玻璃基 板’另一者為本發明中之支撐玻璃板。 (試驗例1) 準備縱400 mmx橫300 mmx厚度0.4 mm、平均表面粗糙 度0.8 11111、於25〜300°(：時之平均線膨脹係數38><1〇-7广(：之3 片玻璃板（旭硝子公司製造之AN 100)。此處，平均表面粗 链度藉由原子力顯微鏡（Pacific Nanotechnology公司製造 之Nano Scope Ilia，Scan Rate 1.0 Hz，Sample Lines256， Off-line Modify Flatten order-2，Planefit order-2)測定。 分別將3片玻璃板浸潰於25°C之氫氧化鉀水溶液（氫氧化 鉀1質量％)1〇分鐘後，浸潰於25°C之純水中10分鐘，繼 151652.doc -29- 201206697 而’汉潰於25 C之另外之純水中進行超音波清洗（36 KHz)5为鐘。其後，對3片玻璃板之表面吹掃8〇〇C之 IPAiisopr^pyl alc〇h〇卜異丙醇）蒸氣1〇分鐘進行乾燥。 於剛進行清洗、乾燥之後，使用接觸角計（克魯斯公司 製造之DROP SHAPE ANALYSIS SYSTEM DSA 10Mk2) ’ 於1片玻璃板之表面靜置j 之水滴以測定水接觸角時， 水接觸角為4。。 於剛進行清洗、乾燥之後，使用圖4Α〜圖4C及圖5所示 之加壓裝置30，積層剩餘2片玻璃板12、14,獲得圖1所示 之玻璃積層體ίο。再者，積層係於將兩玻璃板12、14之間 之空間之壓力減壓至_100 kPa(將大氣壓規格化為零）之狀 態下進行。 對所獲得之玻璃積層體10進行下述評估。 (密接試驗） 將玻璃積層體10載置於水平台上，以直徑20 mm之吸附 墊吸附於上側之玻璃板之中央’於鉛直方向上以速度25 mm/秒提昇時，積層之2片玻璃板12、14未分離，可明白 有良好之密接力。 (剝離試驗1) 密接試驗後，切割玻璃積層體而獲得之縱25 mmx橫25 mm之複數個方塊之中’對一方塊不進行加熱處理而於室 溫下進行圖8所示之剝離試驗。作為剝離試驗之夾具，使 用板狀構件41、42及把手構件43、44 ^ 板狀構件41大小為縱25 mmx橫25 mmx厚度5 mm,為聚 151652.doc • 30· 201206697 碳酸si製’藉由環氧接著劑（未圖示）接著於構成方塊ι〇ι之 玻璃基板12之第2主面12b。板狀構件42大小為縱25 mmx 橫25 mmx厚度5 mm，為聚碳酸酯製，藉由環氧接著劑（未 圖示）接著於構成方塊101之支撐玻璃板14之第2主面Mb。 板狀構件41、42分別以其側面與方塊1〇1之側面成為大致 同一平面之方式配置。方塊101與板狀構件41、及方塊l〇i 與板狀構件42之接著面積分別為縱25爪^^橫乃mm。 把手構件43大小為縱25 mmx橫1〇 mmx厚度5 mm，為聚 碳酸酯製，藉由環氧接著劑（未圖示）接著板狀構件41之與 玻璃基板12側之相反側之面。把手構件44大小為縱25 mmx橫10 mmx厚度5 mm，為聚碳酸酯製，藉由環氧接著 劑（未圖示）接著於板狀構件42之與支撐玻璃板14側之相反 側之面。把手構件43、44分別以其左側面與板狀構件41、 42之左側面成為大致同一平面之方式配置。板狀構件4丨與 把手構件43之接觸面積及板狀構件42與把手構件44之接著 面積分別為縱25 mmx橫10 mm。 以支撐玻璃板14成為下側之方式大致水平地配置安裝有 夾具41〜44之方塊1 〇 1。將接著於玻璃基板丨2側之把手構件 43固定’將接著於支撐玻璃板丨4側之把手構件44朝向圖中 箭頭D方向之下方，換言之’朝向板狀構件41、42之厚度 方向’以300 mm/分之速度拉開時，施加0.78 N(0.32 N/cm)之負載時，積層之2月玻璃板12、14分離。於分離後 之兩玻璃板12、14未發現裂痕等破損。 (剝離試驗2) 151652.doc 31 201206697 复數個方塊之中’對另一方塊於大氣中綱。。之溫度進 :H、時加熱處理後’冷卻至室溫進行圖_示之剝離試驗 時，施加〇.78N(〇.32N/cm)之負载時，積層之2片玻璃板 12、u分離。於分離後之兩㈣板12、14未發現裂痕等破 損0 (剝離試驗3) 進而，對另-方塊於大氣中45〇t之溫度進行h、時加熱 處理後’冷部至室溫進行圖8所示之剝離試驗時，積層之2 片玻璃板12、14直至一者龜裂為止尚未分離。 (耐熱試驗） 對另一方塊，觀察使用加熱板於大氣中45〇<t之溫度進 行過H、時加熱處理之狀態時，於積層之2片玻璃板之間未 發現氣泡，又，於兩玻璃板未發現裂痕等破損。 (剪切試驗1) 對另一方塊進行圖9所示之剪切試驗。作為剪切試驗之 夾具，使用板狀構件51、52。 板狀構件51大小為縱25 ^^乂橫“ mmx厚度3爪爪，為聚 碳酸醋製，#由環氧接著劑（未圖示）接著於構成方塊ι〇2之 玻璃基板12之第2主面12b。板狀構件51以其左側面與方塊 102之左側面成為大致同一平面之方式配置。方塊與板 狀構件51之接著面積為縱25 ^^^橫以板狀構件52大 小為縱25 mmX檢50 mmx厚度3 mm，為聚碳酸酯製，藉由 環氧接著劑（未圖示）接著於構成方塊1〇2之支撐玻璃板14之 第2主面14b。板狀構件52以其右側面與方塊1〇2之右側面 151652.doc •32· 201206697 成為大致同一平面之方式配置。方塊102與板狀構件52之 接著面積為縱25 mmx橫25 mm。 以支撐玻璃板14成為下側之方式大致水平地配置安裝有 夾具51、52之方塊102。將接著於玻璃基板12側之板狀構 件51固定，將接著於支撐玻璃板14側之板狀構件52朝向圖 9中箭頭L方向之左方向，換言之，朝向板狀構件51、52之 長度方向，以0.5 mm/分之速度拉伸時，施加118 N(19 N/cm2)之負載時’積層之2片玻璃板12、14之一者龜裂。 直至一者龜裂為止，兩玻璃板丨2、丨4之間未發現偏移。 由剝離試驗1與剪切試驗1之結果可明白，積層之2片玻 璃板12、14係於積層面之鉛直方向上以比較弱之力剝下， 並且即便施加比較強之力，於積層面之面内方向上亦難以 偏移。因此，可容易地分離之同時，可抑制玻璃積層體ι〇 之搬運％時積層面發生偏移。 (剪切試驗2) 對另-方塊於大氣中30代之溫度進行【小時加熱處理 後’冷卻至室溫進行圖9所示之剪切試驗時，施加"8 N(19 N/em2)之負載時，積層之2片玻璃板12、14之-者龜 裂。直至-者龜裂為止，於兩玻璃板ΐ2、Μ之間未發現偏 (試驗例2) »式驗例2中’代替使用圖从〜圖及圖5所示之加壓裝 3〇,以手壓將2片玻璃板於大氣中室溫積層省… 試驗例1同樣地製造玻璃積層體。 、 151652.doc •33· 201206697 對所製造之玻璃積層體，與試驗例丨同樣地進行密接試 驗時，積層之2片玻璃板未分離，可明白有良好之密接 力。 密接試驗後’與試驗例1同樣地進行剝離試驗1時，施加 0.80 NO)” N/em)之負载時，積層之2片玻璃板分離。於 分離後之兩玻璃板未發現裂痕等破損。 又，進行剝離試驗2時，施加〇 75 N(〇 3〇 N/cm)之負載 時’積層之2片玻璃板分離。於分離後之^玻璃板未發現 裂痕等破損。 又，進行剝離試驗3時，積層之2片玻璃板直至一者龜裂 為止尚未分離。 進行耐熱試驗時，於積層之2片玻璃板之間發現較大氣 泡。可推斷這是由於因於大氣壓中積層，故積層時混入有 細微之氣泡。 (s式驗例3 ) 式驗例3中’對自將玻璃板清洗、乾燥至積層為止之時 間留有1星期，除此之外與試驗例丨同樣地製造玻璃積層 再者，自清洗、乾燥起1星期後，使用上述接觸角計 測定玻璃板之水接觸角時，水接觸角為1〇。。 對所製造之玻璃積層體，與試驗例〗同樣地進行密接試 夺積層之2片玻璃板未分離，可明白有良好之密接 力。 密接試驗後，與試驗例1同樣地進行剝離試驗1時，施加 G·75 N(〇.30 N/Cm)i負載時，積層之2月玻璃板分離。於 I5I652.doc -34- 201206697 分離後之兩玻璃板未發現裂痕等破損。 又’進行剝離試驗2時，施加〇.75 n(〇.30 N/cm)之負載 時，積層之2片玻璃板分離。於分離後之兩玻璃板未發現 裂痕等破損。 又，進行剝離試驗3時，積層之2片玻璃板直至一者龜裂 為止尚未分離a (試驗例4 ) 試驗例4中，代替使用圖4 A〜圖4C及圖5所示之加壓裝置 30以手壓將2片玻璃板於大氣中室溫積層，除此之外與 試驗例3同樣地製造玻璃積層體。 對所製造之玻㈣層體，與試驗例1同樣地進行密接試 驗時’積層之2片玻璃板分離，可明白未充分密接。 (試驗例5〜8) 試驗例5〜8中，於剛推；^、主 _ 叫進仃清洗、乾燥之後正要進行積層 之前’ 2片玻璃板之第1主 主面之中’僅對一者實施藉由矽烷

偶合劑之表面處理，险+ M ” 之外與試驗例1同樣地製造玻璃 積層體。 石夕院偶合劑中使用六甲其_ & & 、η ^ & 一矽氮烷（關東化學股份有限 公司製造之1，1，1，3,3,3-六甲A _ 基—石夕氮烷）。於包含將該矽烷 偶合劑軋化之氣體之環境 ^ ψ 暴露玻璃板而進行表面處 理0 表1中表示進行表面處理 之時間、剛進行表面處理之後 之玻璃表面之水接觸备 ! £ . 、積層後之密接試驗及剝離試驗 1〜3的結果。再者，作 接4驗之判斷基準，積層之2片 151652.doc * 35 - 201206697 〃離者記作〇,分離者記作χ 之判斷基準，具有0_2 : 未破損者記作「 &之到離強度，且於剝離後 〇」，於剝離刖破損者記作「x剝 較弱，無法進行剝離試驗Μ者記作、。 [表1] 密接試驗 剝離試驗1 (室溫） 剝離試驗2 (300°〇 剝離試驗3 (450°〇 〇 〇 0 0 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 X _ - 處理時間 (分） ---- 水接觸角 〇 試驗例5 1 ____ 18 試驗例6 5 33 試驗例7 . 10 — 59 試驗例8 15 76 (試驗例9〜11) ί驗例9〜"中’於剛進行清洗、乾燥之後正要進行積層 片玻璃板之第1主面之中’僅對—者實施藉由石夕炫 齊J之表面處理，除此之外與試驗例丄同樣地製造玻璃 積層體。 作為表面處理方法，❹如下方法：於包含將料偶合 y Dow Coming股份有限公司製造之z6G4q)氣化之 氣體之環境中，暴露玻璃板。 表2中表示進行表面處理之時間、剛進行表面處理之後 玻璃表面之水接觸角、積層後之密接試驗及剝離試驗 1 3的，。再者’密接試驗之判斷基準、剝離試驗1〜3之 判斷基準與表1相同，因此省略說明。 151652.doc -36 - 201206697 [表2] 處理時間 (分） 水接觸角 (〇) 密接試驗 剝離試驗1 (室溫） 剝離試驗2 (300。。） 剝離試驗3 (450°〇 試驗例9 5 43 〇 〇 0 0 試驗例10 10 97 X - - - 試驗例11 15 107 X - - - (試驗例12〜1 3 ) 試驗例12〜13中，於剛清洗、乾燥之後正要進行積層之 前，2片玻璃板之第丨主面之中’僅對一者實施藉由聚矽氧 油之表面處理，除此之外與試驗例丨同樣地製造玻璃積層 體。 、 聚夕氧油中，使用二曱基聚石夕氧油（T〇r〒D〇w 公司製造之smoo,二曱基聚錢烧卜Μ，使用旋轉塗 佈機（Mlkasa公司製造之Μ8·Α刚），將由庚烧稀釋該聚石夕 氧油之溶液對玻璃表面塗佈。其次，使用加熱板於大氣中 C之/m度進行加熱處理5分鐘。如此般，進行對玻璃 面燒繪聚矽氧油之表面處理。 ^3中表不溶液中之聚矽氧油之濃度、剛進行表面處理 表面之轉觸角、制後之密接試驗及剥離試 之判斷at再者’密接試驗之判斷基準、剝離試驗Μ 之賴基準與表1相同，因此省略說明。 151652.doc -37· 201206697 [表3] 濃度 (質量％) 水接觸角 (。） 密接試驗 剝離試驗1 (室溫） 剝離試驗2 (300°〇 剝離試驗3 (450。〇 試驗例12 5 41 〇 〇 〇 〇 試驗例13 20 100 X - - - ---1 由表卜3可明白：藉由恰當地設定玻璃表面之水接觸 角，恰當地設定存在於玻璃表面之石夕烧醇基之密度，即便 於將玻璃積層it以45Gm度進行加熱處心小時之情形 時，藉由特定之操作亦可將構成玻璃積層體之2片玻璃板 剝離。 已詳細地且參照特定之實施態樣對本發明進行了說明， 仁業者應田明白只要不脫離本發明之精神及範圍則可添加 各種變更或修正。 本申請案係基於2009年10月2〇日申請之日本專利申請案 簡-2_者，其内容以參照之形式併入本文中。 產業上之可利用性 根據本發明，可提供—種平坦性優異之玻璃積層體及其 製造方法。又’根據本發明，可提供—種使用該玻璃積層 體之顯示面板之製造方法及藉由該製造方法獲得之顯示面 板。 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明之一實施形態之玻璃積層體之剖面 圖。 圖2A係表示圖1之變形例之剖面圖。 151652.doc -38. 201206697 圖2B係表示圖1之變形例之平面圖。 圖3係表示玻璃積層體10之製造方法之步驟圖。 圖4 A係用於對加壓裝置3 0之玻璃基板設置動作進行說明 之剖面圖。 圖4B係用以對加壓裝置3 〇之減壓操作進行說明之剖面 圖。 圖4C係用以對加壓裝置30之玻璃基板與支撐玻璃板之積 層動作進行說明之剖面圖。 圖5係表示吸附頭3 1之平面圖。 圖6係表示液晶面板之製造方法之一例之步驟圖。 圖7係表示有機EL面板之製造方法之一例之步驟圖。 圖8係用以對剝離試驗進行說明之剖面圖。 圖9係用以對剪切試驗進行說明之剖面圖。 【主要元件符號說明】 10 12 12a' 14a 12b、14b 14 20 22 30 31 32 玻璃積層體 玻璃基板 第1主面 第2主面 支樓玻璃板 玻璃積層體 凹部 加壓裝置 吸附頭 平台 151652.doc -39- 201206697 41 、 42 、 51 、 52 板狀構件 43 ' 44 把手構件 101 、 102 方塊 D、L 箭頭 SI卜 S12、S2卜 S22、S23、S3卜 S32 步驟 151652.doc 40-

Claims (1)

1. 201206697 七、申請專利範圍： 1. 一種玻璃積層體，其係包含玻璃基板及支撐玻璃板，且 玻璃基板之表面與支撐玻璃板之表面係直接接觸；且 相互接觸之上述玻璃基板之表面與上述支撐玻璃板之 表面均為平滑之平面，且上述兩表面密接。 2. 如請求項1之玻璃積層體，其中 藉由進行使玻璃基板與支撐玻璃板分離之操作，兩者 能夠分離。 3. 如請求項1或2之玻璃積層體，其中 相互接觸之兩表面之接觸前之平均表面粗链度（Ra)分 別未達1.0 nm。 4. 如請求項1至3中任一項之玻璃積層體，其中 相互接觸之兩表面之接觸前之水接觸角分別為5。以 下。 5·如請求項1至3中任一項之玻璃積層體，其中 相互接觸之兩表面之至少一者之接觸前的水接觸角為 15〜70〇 。 6. 如請求項1至5中任一項之玻璃積層體，其中 上述玻璃基板之厚度為〇·〇4 mm以上且未達0.8 mm; 上述支撐玻璃板之厚度為0·08 mm以上； 上述玻璃基板與上述支撐玻璃板之厚度之總和為〇.2 mm以上1.0 mm以下。 7. 如請求項1至6中任一項之玻璃積層體，其中 上述玻璃基板與上述支撐玻璃板於^艺^⑽它時之平 151652.doc 201206697 均線膨脹係數之差為1 5 x 1 0·7/°(：以下。 8. 如請求項1至7中任一項之玻璃積層體，其中 上述支撐玻璃板係於與上述玻璃基板接觸之側之面的 周緣部具有凹部； 上述凹部藉由上述玻璃基板而密閉。 9. 如請求項1至8中任一項之玻璃積層體，其中 於上述玻璃基板之與上述支撐玻璃板接觸之側的相反 側之面，形成有顯示面板用構件。 10. 一種玻璃積層體之製造方法，其係製造如請求項丨至8中 任一項之玻璃積層體者；且 將玻璃基板與支撐玻璃板於減壓環境下進行積層。 11·如請求項1〇之玻璃積層體之製造方法，其中 於積層前，對玻璃基板成為積層面之表面與支樓玻璃 板成為積層面之表面之至少一個表面進行清洗。 12. 如請求項11之玻璃積層體之製造方法，其中 於積層前，對清洗後之至少一個表面進行表面處理。 13. 如請求項12之玻璃積層體之製造方法，其中 上述表面處理之材料係包含矽院偶合劑或聚石夕氧油。 14. 如請求項1〇至13中任一項之玻璃積層體之製造方法，其中 對上述玻璃基板之非積層面之周緣部進行支撐，並積 層上述玻璃基板與上述支撐玻璃板。 1 5. —種顯示面板之製造方法，其係使用如請求項丨至8中任 一項之玻璃積層體以製造顯示面板者；且 於上述玻璃基板之與上述支撐玻璃板接觸之側的相反 151652.doc 201206697 側之面形成顯示面板用構件，其後將上述玻璃基板與上 述支撐玻璃板分離。 16. 如凊求項15之顯示面板之製造方法，其中 上述顯示面板用構件為薄膜電晶體。 17. 如請求項15之顯示面板之製造方法，其中 上述顯示面板用構件為彩色濾光片。 1 8.種顯示面板丨係藉由如請求項】5至i 7中任一項之顯 示面板之製造方法而獲得者。 151652.doc