JP6041137B2 - ガラス積層体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、二つのガラス板体を重ね合わせることにより、ガラス積層体を製造するガラス積層体の製造方法に関する。

薄肉の板ガラスに製造関連処理を施すに際しては、その取り扱いを容易なものとすることを目的として、板ガラスと、この板ガラスを支持する支持ガラスとを重ね合わせたガラス積層体が使用されている（特許文献１参照）。このガラス積層体を用いて製造関連処理を実行する場合には、以下に示すような利点がある。

例えば、薄肉の板ガラスを使用する代表的な製品であるフラットパネルディスプレイの製造工程において、板ガラスに対し、透明導電膜等の膜付け処理を実施する際に、薄肉の板ガラス特有の可撓性に富んだ性質を一時的に排除できること、及び重ね合わされた板ガラスと支持ガラスとの間に適度な密着力が作用することから、パターンニングの位置ずれが生じにくい。

さらに、板ガラスと支持ガラスとの間に密着力を生み出すために、接着剤等の貼付を必要としないことから、製造関連処理を施した後の板ガラスを各種デバイスに組み込むにあたって、容易に支持ガラスから剥離させることが可能となると共に、接着剤の残存等に起因する汚染が全くない板ガラスが得られる。

特開２０１１−１８３７９２号公報

しかしながら、このように有用なガラス積層体においても、未だ解決すべき問題が存在している。すなわち、支持ガラス上への板ガラスの重ね合わせ作業が完了した後に、ガラス積層体が、図４に示すように、反りを有する状態となる場合がある。

そして、ガラス積層体Ｇにこのような反りが生じると、搬送ロボットの吸着エラーや、搬送コンベアでのスリップ、蛇行等が生じる。そのため、支持ガラスＧ１に支持された板ガラスＧ２に対し、適切な製造関連処理を行うことができず、製品として使用する剥離後の板ガラスＧ２の品質が低下するという問題があった。

そこで、このような問題を解決するため、支持ガラスＧ１上に板ガラスＧ２を重ね合わせる際に、当該板ガラスＧ２を、ローラー等を使用して平坦な状態へと矯正しながら重ね合わせる試みがなされてきたが、このような対策を実施した場合であっても、ガラス積層体Ｇの反りが解消されないばかりでなく、さらに助長されてしまう結果を招いていた。

なお、このような問題は、板ガラスと支持ガラスとを重ね合わせた場合にのみ生じているものではなく、板ガラスとガラス積層体とを重ね合わせた場合、ガラス積層体同士を重ね合わせた場合のように、板ガラスをその構成要素とするものを重ね合わせてガラス積層体を製造するような際にも、同様に生じることがある。

上記事情に鑑みなされた本発明は、ガラス積層体を製造する際に、ガラス積層体における反りの発生を回避することで、これから剥離させて得られる板ガラスの品質の低下を防止することを技術的課題とする。

上記課題を解決するために創案された本発明は、平板状をなす二つのガラス板体の各々において、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さＲａを２．０ｎｍ以下とし、その両合わせ面を面接触させることにより、前記二つのガラス板体を重ね合わせたガラス積層体を製造するガラス積層体の製造方法であって、前記両合わせ面を面接触させる際に、前記二つのガラス板体のうち、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を湾曲状に弾性変形させることで、該ガラス板体における合わせ面を凸曲面に湾曲させることに特徴付けられる。ここで、「ガラス板体」とは、板ガラスのみならず、板ガラスをその構成要素とするもの、例えば、二枚以上の板ガラスを重ね合わせたガラス積層体をも含む。

二つのガラス板体を重ね合わせた場合には、表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下とされた各々の合わせ面の面接触によって両合わせ面間に密着力が生じる。このように、接着剤等を使用することなく両合わせ面間に生じる密着力は、水素結合に起因しているものと考えられている。加えて、この両合わせ面間においては、一方のガラス板体が他方のガラス板体を引きつける力と、他方のガラス板体が一方のガラス板体を引きつける力とが等しいものと考えられている。以上の観点から、二つのガラス板体の双方を平坦な状態で重ね合わせた場合、ガラス積層体に反りが発生するか否かは、二つのガラス板体間の曲げ変形のしやすさ、すなわち、曲げ剛性に差異があるか否かに支配されていると考えられる。そして、二つのガラス板体の曲げ剛性間に差異がある場合には、双方が平坦な状態の下で重ね合わせた二つのガラス板体のうち、曲げ剛性が小さい方のガラス板体における合わせ面が凸曲面へと湾曲すると共に、曲げ剛性が大きい方のガラス板体における合わせ面が凹曲面へと湾曲することが判明している。これらのことから、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を、予め該ガラス板体における合わせ面が凸曲面となるように弾性変形により湾曲させた後に、二つのガラス板体を重ね合わせると、両ガラス板体間の曲げ剛性の差異が見かけ上解消され、双方が略平坦で反りのないガラス積層体を製造することができた。ここで、二つのガラス板体を重ね合わせて両者の合わせ面を面接触させる際には、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を弾性変形により湾曲させた状態から弾性変形を解除していくことにより平板状に近づけていくに連れて、両者の面接触領域を徐々に広げていくようにしてもよく、或いは曲げ剛性が大きい方のガラス板体を弾性変形により湾曲させた状態を維持して、両者の面接触領域を徐々に広げていくようにしてもよい。そして、反りのないガラス積層体が製造された後においては、このガラス積層体から剥離させて得られる板ガラスにも、反りが発生してないことが確認され、製品として問題なく使用することが可能であった。以上のことから、このような方法によれば、ガラス板体を重ね合わせてガラス積層体を製造する際に、ガラス積層体における反りの発生を回避できるため、これから剥離させて得られる板ガラスの品質の低下を防止することが可能となる。なお、凸曲面の形状としては、球面（略球面を含む）、楕円面（略楕円面を含む）、円筒面（略円筒面を含む）等とすることができる。

上記の方法において、前記二つのガラス板体のうち、曲げ剛性が小さい方のガラス板体における板厚が２００μｍ以下であり、曲げ剛性が大きい方のガラス板体における板厚が３００μｍ以上で、且つ１．１ｍｍ以下であることが好ましい。

このように、曲げ剛性が小さい方のガラス板体の板厚が２００μｍ以下であり、曲げ剛性が大きい方のガラス板体の板厚が３００μｍ以上で、且つ１．１ｍｍ以下であった場合、上述の効果をより好適に得ることができる。

上記の方法において、前記二つのガラス板体が、同じ材質で形成されていることが好ましい。

このようにすれば、二つのガラス板体のサイズ（縦横の寸法）が同一である場合には、曲げ剛性の大きい方のガラス板体が、曲げ剛性の小さい方のガラス板体よりも、板厚が厚くなるため、板厚が厚い方のガラス板体を湾曲状に弾性変形させればよいことになる。

上記の方法において、前記二つのガラス板体のうち、曲げ剛性が小さい方のガラス板体を、平面上に載置すると共に、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を、前記曲げ剛性が小さい方のガラス板体から上方に離間した位置で弾性変形可能に支持した後、曲げ剛性が大きい方のガラス板体における合わせ面を下方に向かって凸曲面に湾曲させることで、両合わせ面を面接触させてもよい。ここで、「支持」とは、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を下方から支えて支持する場合のみならず、上方から吊り下げて支持する場合等をも含む。

このようにすれば、曲げ剛性が大きい方のガラス板体における合わせ面は、下方に向かって凸に湾曲した状態で、曲げ剛性が小さい方のガラス板体における合わせ面に面接触するため、両ガラス板体の双方が、略平坦で反りのないガラス積層体を製造することができる。

上記の方法において、前記二つのガラス板体のうち、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を、該ガラス板体を吸着する吸引孔を有する凸曲面上に載置し、且つ、該ガラス板体を吸着することにより、その合わせ面を上方に向かって凸曲面となるように湾曲させた後、曲げ剛性が小さい方のガラス板体における合わせ面と、曲げ剛性が大きい方のガラス板体における合わせ面とを面接触させてもよい。

このようにすれば、凸曲面上に載置され、吸引孔に吸着された曲げ剛性が大きい方のガラス板体における合わせ面は、凸曲面の形状に倣って変形することで、上方に向かって凸に湾曲する。その後に、当該ガラス板体における合わせ面と、曲げ剛性が小さい方のガラス板体における合わせ面とを面接触させれば、両ガラス板体の双方が、略平坦で反りのないガラス積層体を製造することができる。この場合、二つのガラス板体を重ね合わせて両者の合わせ面を面接触させる際には、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を吸着力により湾曲させた状態から吸着力を低減させていくことにより平板状に近づけていくに連れて、両者の面接触領域を徐々に広げていくようにしてもよく、或いは曲げ剛性が大きい方のガラス板体を吸着力により湾曲させた状態を維持して、両者の面接触領域を徐々に広げていくようにしてもよい。

上記の方法において、曲げ剛性が大きい方のガラス板体の合わせ面は、四辺の中央部が突出する凸曲面に湾曲しており、該合わせ面の前記中央部と、曲げ剛性が小さい方のガラス板体における合わせ面との接触部を起点に、前記両合わせ面を面接触させてもよい。

このような方法によれば、両ガラス板体が最初に接触した四辺の中央部を起点に、両ガラス板体が重ね合わせられた部位が同心円状に広がっていくため、重ね合わせの進行に伴い、両ガラス板体間に介在する空気を排除することができる。その結果、この空気に起因して、完成したガラス積層体に皺ができる等の不具合の発生を回避することが可能となる。

上記の方法において、曲げ剛性が大きい方のガラス板体の合わせ面は、一辺と平行な直線状の中央部が突出する凸曲面に湾曲しており、該合わせ面の前記直線状の中央部と、曲げ剛性が小さい方のガラス板体の合わせ面との接触部を起点に、前記両合わせ面を面接触させてもよい。

このような方法によれば、両ガラス板体が最初に接触した直線状の中央部を起点に、両ガラス板体が重ね合わせられた部位が、直線状の中央部と平行で、且つ当該直線状の中央部から離間する方向に広がっていくため、重ね合わせの進行に伴い、両ガラス板体間に介在する空気を排除することができる。その結果、この空気に起因して、完成したガラス積層体に皺ができる等の不具合の発生を回避することが可能となる。

以上のように、本発明によれば、ガラス積層体を製造する際に、ガラス積層体における反りの発生を回避できるため、これから剥離させて得られる板ガラスの品質の低下を防止することが可能となる。

本発明の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法、及びこれに用いる製造設備を示す図である。 本発明の第二実施形態に係るガラス積層体の製造方法、及びこれに用いる製造設備を示す図である。 本発明の第三実施形態に係るガラス積層体の製造方法、及びこれに用いる製造設備を示す図である。 従来の方法により製造されたガラス積層体を示す縦断側面図である。

以下、本発明の実施形態に係るガラス積層体の製造方法について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態においては、二つのガラス板体としてガラスフィルムと支持ガラスとを使用し、これらを重ね合わせてガラス積層体を製造する場合を例に挙げて説明するが、後述のように、本発明に係るガラス積層体の製造方法は、このような態様に限定されるものではない。

図１（ａ）は、本発明の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法に用いる製造設備を示す図である。同図に示すように、この設備は、ガラスフィルムＧＦが載置される作業台としての定盤１と、定盤１上に配置されて支持ガラスＧＳを下方から支持する４つの支持部材２とを備えている。定盤１は、ガラスフィルムＧＦが載置される載置面１ａを有しており、この載置面１ａは、水平面と平行な平面に形成されている。支持部材２は、その各々が定盤１上において、ガラスフィルムＧＦよりも外周側に配置されており、支持ガラスＧＳにおける四隅のコーナー部を下方から支持している。なお、両ガラスＧＦ，ＧＳの材質としては、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等の様々な材質のガラスを使用することが可能であるが、強度、耐久性の観点から無アルカリガラスを使用することが好ましい。

両ガラスＧＦ，ＧＳは、可撓性を有すると共に、矩形に形成されている。また、両ガラスＧＦ，ＧＳは、同じ材質で構成され、略等しいヤング率（縦弾性係数）を有している。ここで、支持ガラスＧＳは、ガラスフィルムＧＦに対して、断面二次モーメントが大きくなっているため、ヤング率と断面二次モーメントとの積で算出される曲げ剛性もまた、支持ガラスＧＳの方が大きくなっている。なお、両ガラスＧＦ，ＧＳの断面二次モーメントの値は、両ガラスＧＦ，ＧＳの断面形状、及びこの断面の寸法によって決定される。

さらに、両ガラスＧＦ，ＧＳの各々において、これらを重ね合わせた際に、相互に接触する側の面となる合わせ面は、その表面粗さＲａ（算術平均粗さ）が２．０ｎｍ以下とされている。この表面粗さＲａの制御は、例えば、両ガラスＧＦ，ＧＳに対する研磨加工の有無、或いは、ケミカルエッチングを施すにあたり、エッチング液の濃度、液温度、処理時間の調整等を実施することでなされる。なお、合わせ面の表面粗さＲａの値は、１．０ｎｍ以下であることがより好ましく、さらに好ましくは、０．５ｎｍ以下であり、最も好ましくは、０．２ｎｍ以下である。また、両ガラスＧＦ，ＧＳの厚みとしては、ガラスフィルムＧＦが２００μｍ以下、支持ガラスＧＳが３００μｍ以上で、且つ１．１ｍｍ以下であって、ガラスフィルムＧＦよりも支持ガラスＧＳの方が厚く設定されている。

以下、上記の設備を用いたガラス積層体の製造方法について説明する。

図１（ａ）に示すように、支持部材２により下方から支持された支持ガラスＧＳは、可撓性を有しているため、同図に白抜き矢印で示すように、支持ガラスＧＳの四辺の中央部に対する上方からの押圧力の作用、或いは、自重によって、その合わせ面が下方に向かって凸に湾曲し、球面（略球面）を呈する。そして、この状態で支持ガラスＧＳの合わせ面における四辺の中央部を、ガラスフィルムＧＦにおける合わせ面に接触させる。

その後、支持部材２を取り除き、支持ガラスＧＳの支持を解除すれば、最初に接触した支持ガラスＧＳの四辺の中央部を起点として、同心円上に両ガラスＧＦ，ＧＳが重ね合わせられた部位（面接触領域）が広がっていくと共に、両ガラスＧＦ，ＧＳにおける合わせ面の表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下とされていることで、これらが密着する。このようにして、図１（ｂ）に示すように、ガラス積層体Ｇが完成する。

このとき、重ね合わせの進行に伴って、両ガラスＧＦ，ＧＳ間に介在する空気を排除することができる。その結果、この空気に起因して、完成したガラス積層体Ｇに皺ができる等の不具合の発生を回避することが可能となる。

なお、支持ガラスＧＳの合わせ面における四辺の中央部を、ガラスフィルムＧＦに接触させた際に、ガラスフィルムＧＦが、定盤１の載置面１ａから浮き上がって支持ガラスＧＳと重ね合わせられ、ガラス積層体Ｇが完成する場合もある。この場合においては、支持部材２を取り除き、支持ガラスＧＳの支持を解除する必要はない。

このような製造方法によれば、両ガラスＧＦ，ＧＳ間の曲げ剛性の差異が見かけ上解消され、双方が略平坦で反りのないガラス積層体Ｇを製造することができる。

上述のような効果が得られるのは、以下の理由によるものと考えられる。すなわち、両ガラスＧＦ，ＧＳ間には密着力が作用しており、この密着力は、水素結合に起因しているものと想定されている。また、この密着力によって、ガラスフィルムＧＦが支持ガラスＧＳを引きつける力と、支持ガラスＧＳがガラスフィルムＧＦを引きつける力とが等しいものと想定されている。

このため、両ガラスＧＦ，ＧＳの双方を平坦な状態で重ね合わせた場合、ガラス積層体Ｇに反りが発生するか否かは、両ガラスＧＦ，ＧＳ間の曲げ変形のしやすさ、すなわち、曲げ剛性に差異があるか否かに支配されていると考えられる。

そして、支持ガラスＧＳの曲げ剛性がガラスフィルムＧＦよりも曲げ剛性が高い場合には、双方が平坦な状態の下で重ね合わせた両ガラスＧＦ，ＧＳのうち、曲げ剛性が小さいガラスフィルムＧＦにおける合わせ面が凸曲面へと湾曲すると共に、曲げ剛性が大きい支持ガラスＧＳにおける合わせ面が凹曲面へと湾曲することが判明している。

これらのことから、曲げ剛性が大きい支持ガラスＧＳを予め湾曲状に弾性変形させ、支持ガラスＧＳにおける合わせ面が凸曲面となるように湾曲させた上で、両ガラスＧＦ，ＧＳを重ね合わせれば、両ガラスＧＦ，ＧＳ間の曲げ剛性の差異が見かけ上解消されるためと考えられる。

以下、本発明の他の実施形態に係るガラス積層体の製造方法ついて説明する。なお、以下の第二、第三実施形態について説明するための各図において、上記の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法に用いた製造設備の構成要素と同一な形状、又は機能を有する構成要素については、同一の符号を付すことにより重複する説明を省略する。

図２（ａ）は、本発明の第二実施形態に係るガラス積層体の製造方法に用いる製造設備を示す図である。この設備が、上記の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法に用いた製造設備と相違している点は、支持部材２に代わって、支持ガラスＧＳを吸着する吸着パッド３と、吸着パッド３を吊り下げる可撓性吊り部材としての紐４とを備えている点である。

吸着パッド３は、図外の吸引装置（例えば、真空ポンプ）と、図示省略の吸引パイプを経由して接続されると共に、支持ガラスＧＳとの当接部には、吸引孔（例えば、多数の吸引孔）が形成されている。そして、吸引装置によって発生した負圧で、支持ガラスＧＳにおける四隅のコーナー部のそれぞれを吸着することで、支持ガラスＧＳを吊り下げて支持するように構成されている。紐４は、支持ガラスＧＳにおける中央部の鉛直上方から四つ股に分かれて張られており、その各々が吸着パッド３と繋がれている。

以下、上記の設備を用いたガラス積層体の製造方法の作用について説明する。

図２（ａ）に示すように、吸着パッド３に吸着されることにより、吊り下げ支持された支持ガラスＧＳは、可撓性を有しているため、同図に白抜き矢印で示すように、支持ガラスＧＳの四辺の中央部に対する上方からの押圧力の作用、或いは、自重によって、その合わせ面が下方に向かって凸に湾曲し、球面（略球面）を呈する。そして、この状態で支持ガラスＧＳの合わせ面における四辺の中央部を、ガラスフィルムＧＦにおける合わせ面に接触させる。

その後、吸着パッド３による支持ガラスＧＳの吸着を解除すれば、最初に接触した支持ガラスＧＳの四辺の中央部を起点として、同心円上に両ガラスＧＦ，ＧＳが重ね合わせられた部位（面接触領域）が広がっていくと共に、両ガラスＧＦ，ＧＳにおける合わせ面の表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下とされていることで、これらが密着する。このようにして、図２（ｂ）に示すように、ガラス積層体Ｇが完成する。

このような製造方法によっても、両ガラスＧＦ，ＧＳ間の曲げ剛性の差異が見かけ上解消され、双方が略平坦で反りのないガラス積層体Ｇを製造することができる。さらに、重ね合わせの進行に伴って、両ガラスＧＦ，ＧＳ間に介在する空気を排除することができる。その結果、この空気に起因して、完成したガラス積層体Ｇに皺ができる等の不具合の発生を回避することが可能となる。

図３（ａ）は、本発明の第三実施形態に係るガラス積層体の製造方法に用いる製造設備を示す図である。この設備が、上記の第一実施形態に係るガラス積層体の製造方法に用いた製造設備と相違している点は、支持部材２が取り除かれている点と、定盤１上にガラスフィルムＧＦではなく、支持ガラスＧＳが載置される点と、定盤１の載置面１ａが上方に向かって凸に湾曲すると共に、支持ガラスＧＳを吸着する多数の吸引孔５を備えている点である。定盤１の載置面１ａは、上方に凸な球面を呈している。また、載置面１ａに備えられた吸引孔５は、図外の吸引装置と接続されると共に、載置面１ａの全面に亘って形成されている。

以下、上記の設備を用いたガラス積層体の製造方法の作用について説明する。

図３（ａ）に示すように、載置面１ａに載置された支持ガラスＧＳは、可撓性を有しているため、吸引孔５の吸着によって、載置面１ａの形状に倣って変形し、その合わせ面が上方に向かって凸に湾曲した状態で球面（略球面）を呈する。この状態の下で、同図に白抜き矢印で示すように、ガラスフィルムＧＦの合わせ面における四辺の中央部と、支持ガラスＧＳにおける合わせ面とを接触させる。

その後、多数の吸引孔５による支持ガラスＧＳの吸着を解除すれば、最初に接触した支持ガラスＧＳの四辺の中央部を起点として、同心円上に両ガラスＧＦ，ＧＳが重ね合わせられた部位が広がっていくと共に、両ガラスＧＦ，ＧＳにおける合わせ面の表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下とされていることにより、これらが密着する。このようにして、図３（ｂ）に示すように、ガラス積層体Ｇが完成する。

このような製造方法によっても、上述の第一、及び第二実施形態に係るガラス積層体の製造方法と同様の作用効果を得ることが可能となる。

ここで、本発明に係るガラス積層体の製造方法は、上記の各実施形態で説明した態様に限定されるものではない。上記の各実施形態においては、支持ガラスにおける合わせ面を球面（略球面）に湾曲させる態様となっているが、合わせ面を他の凸曲面形状に湾曲させてもよい。このような凸曲面の形状としては、楕円面（略楕円面）、円筒面（略円筒面）等が挙げられる。このような態様を実現する製造設備の構成の一例を挙げる。

例えば、支持ガラスにおける合わせ面を円筒面（略円筒面）に湾曲させる場合、上記の第一実施形態に係る製造設備において、支持部材を長手状のものに変更し、この長手状の支持部材を二つ用いて、支持ガラスにおける互いに平行な二辺の縁部を、それぞれ下方から支持させたものが考えられる。このような設備を用い、上方から支持ガラスの上記二辺と平行な直線状の中央部に対する押圧力を作用させるか或いは自重によって、支持ガラスにおける合わせ面を下方に向かって凸な円筒面（略円筒面）に湾曲させることができる。そして、この合わせ面と、定盤上に載置されたガラスフィルムにおける合わせ面とを接触させれば、ガラス積層体が完成する。

なお、このような態様によってガラス積層体を製造した場合には、支持ガラスの合わせ面における上記二辺と平行な直線状の中央部が、最初にガラスフィルムと接触すると共に、この直線状の中央部を起点として、該直線状の中央部と平行で、且つ該直線状の中央部から離間する方向に、ガラスフィルムと支持ガラスとが重ね合わされた部位（面接触領域）が広がっていく。

また、支持ガラスにおける合わせ面を楕円面（略楕円面）に湾曲させる場合には、上記の第一実施形態に係る製造設備において、支持ガラスの一辺と平行な方向の支持部材間の距離と、該一辺と直交する方向の支持部材間の距離とを異ならせたものが考えられる。このような設備を用い、上方から支持ガラスの四辺の中央部を押圧するか、或いは、自重によって、支持ガラスにおける合わせ面を下方に向かって凸な楕円面（略楕円面）に湾曲させることができる。そして、この合わせ面と、定盤上に載置されたガラスフィルムの合わせ面とを接触させれば、ガラス積層体が完成する。

加えて、上記の各実施形態では、同じ材質で構成されたガラスフィルムと支持ガラスとを重ね合わせてガラス積層体を製造する態様となっているが、異なる材質で構成された両ガラス（例えば、無アルカリガラスとソーダライムガラス等）を重ね合わせてガラス積層体を製造する態様としてもよい。さらに、上記の各実施形態では、支持ガラス、或いは、ガラスフィルムの合わせ面における中央部または直線状の中央部を、他方のガラスの合わせ面に接触させてガラス積層体を製造する態様となっているが、接触させる部位は、必ずしも中央部、又は、直線状の中央部でなくともよい。

また、上記の各実施形態では、支持部材、吸着パッド、或いは、吸引孔を有する載置面を備えた定盤を用いて、支持ガラスにおける合わせ面を球面（略球面）に湾曲させる態様となっているが、アームの先端が二股に分かれたロボットアームを用いて、支持ガラスにおける合わせ面を湾曲させる態様としてもよい。この場合、二股に分かれた部位の各々で支持ガラスの互いに平行な二辺を下方から支持する態様として、その合わせ面が下方に向かって凸な円筒面（略円筒面）に湾曲する。そして、この合わせ面と、定盤上に載置されたガラスフィルムにおける合わせ面とを接触させれば、ガラス積層体が完成する。

さらには、上記の各実施形態においては、二つのガラス板体として、ガラスフィルムと支持ガラスとを重ね合わせてガラス積層体を製造する態様となっているが、二つのガラス板体として、板ガラスとガラス積層体、或いは、二つのガラス積層体を用い、これらを重ね合わせてガラス積層体を製造する態様としてもよい。

本発明の効果を検証するため、下記の７つ（実施例１〜４、比較例１〜３）の各製造条件下でガラスフィルムと支持ガラスとを重ね合わせてガラス積層体を製造し、完成したガラス積層体における反りの大きさを測定することで、その良否を判定した。以下にガラス積層体の製造条件を示す。

ガラスフィルム、及び支持ガラスとして、日本電気硝子社製の無アルカリガラス（製品名：ＯＡ−１０Ｇ）を使用した。これらをオーバーフローダウンドロー法によって成形した後、成形されたガラスに対する研磨加工の有無、或いは、ケミカルエッチングを施すにあたり、エッチング液の濃度、液温度、処理時間の調整により、ガラスフィルム、及び支持ガラスにおける合わせ面の表面粗さＲａを制御した。

表面粗さＲａの測定には、ＳＩＩ社製、走査型プローブ顕微鏡（ＮａｎｏＮａｖｉＩＩ／
Ｓ−ｉｍａｇｅ）を使用して、ＪＩＳＲ１６８３：２００７原子間力顕微鏡によるファインセラミックス薄膜の表面粗さ測定方法を準用して測定した。ただし、測定点は、ガラスフィルム、及び支持ガラスの各々におけるコーナー部１点と、中央部１点との２点で測定を行い、その平均値をガラスフィルム、支持ガラスの表面粗さＲａとした。

ガラスフィルム、及び支持ガラスとの双方を洗浄し、乾燥させた後、ガラスフィルムを支持ガラス上に重ね合わせてガラス積層体を製造した。ここで、実施例１，３，４においては、上記の第三実施形態と同様の態様により、支持ガラスの合わせ面が球面（略球面）となるように湾曲させた状態で、ガラスフィルムと接触させて重ね合わせた。また、実施例２の実施態様は、実施例１，３，４の実施態様において、支持ガラスを吸着する定盤における載置面の形状を球面から円筒面に変更したものである。さらに、比較例１〜３においては、ガラスフィルム、及び支持ガラスとの双方を平坦な状態で接触させて重ね合わせた。

その後、各製造条件の下で完成したガラス積層体を定盤上に載置し、シックネスゲージを使用して、ガラス積層体における四隅のコーナー部と、ガラス積層体の輪郭を形成する四辺における中点との計八点における反りの大きさを変形量（ガラス積層体が載置された定盤の載置面から支持ガラスの下面までの距離）として測定した。そして、八点のうち、最大の変形量が、液晶用パネルとして使用される板ガラスにおいて、許容される６００μｍ以下の変形に抑制されているか否かを基準として、良否を判定した。

以下の表に実施例、及び比較例に使用したガラスフィルム、及び支持ガラスの寸法、表面粗さ、測定された最大変形量を示す。なお、ガラスフィルムと支持ガラスとの寸法は、板の厚みを除いて同一である。

上記の表から、ガラスフィルム、及び支持ガラスのサイズ、厚みの違いによらず、実施例においては、液晶用パネルとして使用される板ガラスにおいて、許容される６００μｍよりも小さい変形に反りを抑制することができた。一方、比較例では、そのいずれにおいても、反りの大きさを６００μｍ以下に抑制することが不可能であった。

以上のことから、本発明によれば、曲げ剛性が大きい方のガラス板体を、予め湾曲状に弾性変形させ、当該ガラス板体における合わせ面が凸曲面となるように湾曲させた状態下で、二つのガラス板体を重ね合わせれば、両ガラス板体間の曲げ剛性の差異が見かけ上解消され、双方が略平坦で反りのないガラス積層体を製造することができるものと推認される。

１ 定盤
１ａ 載置面
２ 支持部材
３ 吸着パッド
４ 紐
５ 吸引孔
Ｇ ガラス積層体
ＧＦ ガラスフィルム
ＧＳ 支持ガラス

Claims (7)

1. 平板状をなすガラスフィルムおよび支持ガラスの各々において、相互に接触する側の面となる合わせ面の表面粗さＲａを２．０ｎｍ以下とし、その両合わせ面を面接触させることにより、両ガラスを重ね合わせたガラス積層体を製造するガラス積層体の製造方法であって、
   前記両合わせ面を面接触させる際に、前記両ガラスのうち、曲げ剛性が大きい方である前記支持ガラスを湾曲状に弾性変形させることで、該支持ガラスにおける合わせ面を凸曲面に湾曲させることを特徴とするガラス積層体の製造方法。
2. 前記ガラスフィルムにおける板厚が２００μｍ以下であり、前記支持ガラスにおける板厚が３００μｍ以上で、且つ１．１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のガラス積層体の製造方法。
3. 前記両ガラスが、同じ材質で形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス積層体の製造方法。
4. 前記ガラスフィルムを平面上に載置すると共に、前記支持ガラスを、前記ガラスフィルムから上方に離間した位置で弾性変形可能に支持した後、
   前記支持ガラスにおける合わせ面を下方に向かって凸曲面に湾曲させることで、両合わせ面を面接触させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス積層体の製造方法。
5. 前記支持ガラスを、該支持ガラスを吸着する吸引孔を有する凸曲面上に載置し、且つ、該支持ガラスを吸着することにより、その合わせ面を上方に向かって凸曲面となるように湾曲させた後、
   前記ガラスフィルムにおける合わせ面と、前記支持ガラスにおける合わせ面とを面接触させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス積層体の製造方法。
6. 前記支持ガラスの合わせ面は、四辺の中央部が突出する凸曲面に湾曲しており、該合わせ面の前記中央部と、前記ガラスフィルムにおける合わせ面との接触部を起点に、前記両合わせ面を面接触させることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラス積層体の製造方法。
7. 前記支持ガラスの合わせ面は、一辺と平行な直線状の中央部が突出する凸曲面に湾曲しており、該合わせ面の前記直線状の中央部と、前記ガラスフィルムの合わせ面との接触部を起点に、前記両合わせ面を面接触させることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラス積層体の製造方法。

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