KR20150001006A - 유리 필름 적층체, 이의 제조 방법 및 유리 필름의 제조 방법 - Google Patents

유리 필름 적층체, 이의 제조 방법 및 유리 필름의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

유리 필름 적층체는 표면 거칠기가 상대적으로 큰 조면, 상기 조면을 둘러싸고 표면 거칠기가 상대적으로 작은 활면, 및 상기 조면과 연결되는 통로 조면을 포함하는 캐리어 유리, 및 상기 캐리어 유리의 상기 조면 및 상기 활면 상에 적층되는 유리 필름을 포함한다. 상기 유리 필름 적층체는 조면, 통로 조면 및 활면을 포함하는 캐리어 유리를 포함하므로, 상기 유리 필름 적층체가 고온의 열처리 공정에서, 유리 필름과 상기 캐리어 유리 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면과 상기 유리 필름 사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름이 변형되지 않을 수 있다.

Description

유리 필름 적층체, 이의 제조 방법 및 유리 필름의 제조 방법{GLASS FILM LAMINATE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING GLASS FILM}
본 발명은 유리 필름 적층체, 상기 유리 필름 적층체의 제조 방법 및 유리 필름의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막 표시 장치 등의 전자 장치에 사용되는 유리 필름 및 이를 지지하는 캐리어 유리를 포함하는 유리 필름 적층체, 상기 유리 필름 적층체의 제조 방법 및 상기 유리 필름의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 장치는 두께가 얇고 무게가 가벼우며 전력소모가 낮은 장점이 있어, 모니터, 노트북, 휴대폰 등에 주로 사용된다. 이러한 액정 표시 장치는 액정의 광투과율을 이용하여 영상을 표시하는 액정 표시 패널 및 상기 액정 표시 패널의 하부에 배치되어 상기 액정 표시 패널로 광을 제공하는 백라이트 어셈블리를 포함한다.
최근, 초박형화 되고, 평면뿐만 아니라 곡면에도 사용 가능하도록 가요성을 갖는 표시 장치의 수요가 증가하면서, 유리 필름을 이용한 표시 장치가 개발되고 있다. 상기 유리 필름은 상기 유리 필름과 캐리어 유리가 적층된 유리 필름 적층체를 이용하여 제조하는데, 고온 및 저진공 공정에서 상기 캐리어 유리와 상기 유리필름 사이의 공기의 팽창에 의한 제조 공정상에서의 결점이 있는 문제점이 있었다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 고온 및 저진공 공정을 거쳐도 향상된 품질을 갖는 유리 필름 및 상기 유리 필름을 지지하는 캐리어 유리를 포함하는 유리 필름 적층체를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 유리 필름 적층체의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 유리 필름의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 유리 필름 적층체는 표면 거칠기가 상대적으로 큰 조면, 상기 조면을 둘러싸고 표면 거칠기가 상대적으로 작은 활면, 및 상기 조면과 연결되는 통로 조면을 포함하는 캐리어 유리, 및 상기 캐리어 유리의 상기 조면 및 상기 활면 상에 적층되는 유리 필름을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 통로 조면은 상기 조면으로부터 상기 캐리어 유리의 가장자리까지 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 통로 조면의 표면 거칠기는 상기 조면의 표면 거칠기와 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 유리 필름은 평면에서 볼 때, 상기 유리 기판 보다 작고, 상기 조면 보다 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면의 외곽형상은 상기 유리 필름의 외곽형상과 동일한 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면 및 통로 조면은 복수의 돌출된 피크 부분 및 복수의 함몰된 부분을 포함하고, 상기 돌출된 피크 부분의 높이는 상기 활면의 높이보다 낮거나 같을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 활면의 표면 거칠기 Ra 는 0.2nm 이하일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면 및 통로 조면의 표면 거칠기 Ra는 상기 활면의 표면 거칠기 Ra 보다 0.3 nm 이상 더 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면과 연결되는 상기 통로 조면은 복수개 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 통로 조면의 폭은 상기 조면으로부터 상기 캐리어 유리의 가장자리로 갈수록 좁아질 수 있다.
상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 유리 필름 적층체는 캐리어 유리, 상기 캐리어 유리 상에 배치된 조면층, 및 상기 캐리어 유리 상에 배치되고, 상기 조면층과 연결되는 통로 조면층을 포함한다. 상기 조면층 및 상기 통로 조면층은 표면 거칠기가 상대적으로 크고, 상기 조면층 및 상기 통로 조면층이 형성되지 않는 상기 캐리어 유리의 상면은 상대적으로 표면 거칠기가 작은 활면이다. 상기 통로 조면층은 상기 조면층에서부터 상기 캐리어 유리의 가장자리까지 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면층은 평면에서 볼 때, 상기 유리 필름의 가장자리 안쪽에 위치할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면층은 0.3nm 이상의 두께를 가질 수 있다.
상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 유리 필름 적층체의 제조 방법은 캐리어 유리의 상면에 상대적으로 표면 거칠기가 큰 조면과 상기 조면과 연결된 통로 조면, 및 상기 조면을 둘러싸고 상대적으로 표면 거칠기가 작은 활면을 형성하는 단계, 및 상기 조면, 상기 통로 조면 및 상기 활면이 형성된 상기 캐리어 유리 상에 유리 필름을 적층하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면, 상기 통로 조면 및 상기 활면을 형성하는 단계는, 표면 거칠기가 작은 상기 캐리어 유리의 상면 일부를 식각하여 표면 거칠기가 큰 상기 조면 및 상기 통로 조면을 형성하고, 식각되지 않은 상기 캐리어 유리의 상면이 활면이 될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 통로 조면은 상기 조면으로부터 상기 캐리어 유리의 가장자리까지 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 조면 및 상기 통로 조면은 불산을 이용한 습식 식각(wet-etching)을 통해 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 유리 필름은 평면에서 볼 때, 상기 유리 기판 보다 작고, 상기 조면 보다 클 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 통로 조면 및 상기 활면을 형성하는 단계는, 상기 캐리어 유리 상에 조면층 및 통로 조면층을 형성하여 상기 조면 및 상기 통로 조면을 형성할 수 있다.
상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 유리 필름의 제조 방법은 캐리어 유리의 상면에 상대적으로 표면 거칠기가 큰 조면과 상기 조면과 연결된 통로 조면, 및 상기 조면을 둘러싸고 상대적으로 표면 거칠기가 작은 활면을 형성하는 단계, 상기 조면, 상기 통로 조면 및 상기 활면이 형성된 상기 캐리어 유리 상에 유리 필름을 적층하여 유리 필름 적층체를 형성하는 단계, 상기 유리 필름 적층체가 고온 및 저진공 공정을 거치는 단계, 및 상기 유리 필름 적층체로부터 상기 유리 필름을 박리시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 유리 필름 적층체는 조면, 통로 조면 및 활면을 포함하는 캐리어 유리를 포함하므로, 상기 유리 필름 적층체가 고온의 열처리 공정에서, 유리 필름과 상기 캐리어 유리 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면과 상기 유리 필름 사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름이 변형되지 않을 수 있다.
또한, 상기 유리 필름 적층체의 상기 활면은 상기 조면에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면이 상기 유리 필름과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리와 상기 유리 필름이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름이 상기 캐리어 유리 상에 견고하게 고정될 수 있다.
또한, 상기 조면은 상기 활면에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면이 상기 유리 필름과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리와 상기 유리 필름이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름을 상기 캐리어 유리로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다.
또한, 상기 통로 조면은 다양한 형상으로 형성될 수 있으므로, 효율적인 공기 배출이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 필름 적층체의 평면도이다.
도 2는 도 1의 유리 필름 적층체의 측단면도이다.
도 3은 도 1의 유리 필름 적층체의 캐리어 유리의 조면과 활면을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 도 1의 유리 필름 적층체의 캐리어 유리의 통로 조면을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5a 내지 도 5d는 다향한 형태의 통로 조면에 대한 실시예를 나타낸 평면도들이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 필름 적층체의 평면도이다.
도 7은 도 6의 유리 필름 적층체의 측단면도이다.
도 8은 도 6의 유리 필름 적층체의 캐리어 유리의 활면과 조면층을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 도 6의 유리 필름 적층체의 통로 조면층을 설명하기 위한 단면도이다.
도 10a 내지 도 10d는 도 1의 유리 필름 적층체 및 유리 필름의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도들이다.
도 11a 내지 도 11d는 도 6의 유리 필름 적층체 및 유리 필름의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도들이다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 필름 적층체의 평면도이다. 도 2는 도 1의 유리 필름 적층체의 측단면도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 상기 유리 필름 적층체는 캐리어 유리(100), 및 상기 캐리어 유리(100)위에 배치되어 상기 캐리어 유리(100)에 의해 지지되는 유리 필름(200)을 포함한다.
상기 캐리어 유리(100)는 규산염 유리, 실라카 유리, 붕규산 유리, 및 무알칼리 유리 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 캐리어 유리(100)가 포함하는 알칼리 금속 산화물은 1000ppm 이하일 수 있다. 상기 캐리어 유리(100)는 상기 유리 필름(200)을 지지하기 위해, 충분한 두께를 가질 수 있다. 또한, 상기 캐리어 유리(100)는 저온과 고온 사이에서의 열팽창 계수 차이가 상대적으로 작은 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 상기 캐리어 유리(100)는 고온 열처리 등을 거치는 제조 공정을 거치더라도 열에 의한 변형이 적어 박막 형태의 상기 유리 필름(200)을 안정적으로 지지할 수 있다. 상기 캐리어 유리(100)는 오버플로우 다운드로우법에 의해 형성될 수 있다.
상기 캐리어 유리(100)의 상면은 조면(110) 및 상기 조면(110)을 둘러싸는 활면(120)을 포함한다. 상기 상면의 중심 부분에 상기 조면(120)이 형성되고, 사각형 형상을 가질 수 있다. 상기 상면의 가장자리 부분에 상기 활면(120)이 상기 조면(120)을 둘러싸며 형성된다. 상기 캐리어 유리(100)의 상면은 상기 유리 필름(200)과 접촉한다. 즉, 상기 조면(110)과 상기 활면(120)은 상기 유리 필름(200)과 접촉한다.
상기 활면(120)은 상기 조면(110)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면(120)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리(100)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(100) 상에 견고하게 고정될 수 있다. 예를 들면, 상기 활면(120)의 표면 거칠기 Ra 는 0.2nm 이하 일 수 있다.
상기 조면(110)은 상기 활면(120)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면(110)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리(100)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름(200)을 상기 캐리어 유리(100)로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다. 예를 들면 상기 조면(110)은 상기 활면 보다 표면 거칠기 Ra 가 0.3nm 이상 더 클 수 있다.
상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(100) 상에 배치된다. 상기 유리 필름(200)은 규산염 유리, 실라카 유리, 붕규산 유리, 및 무알칼리 유리 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 필름(200)이 포함하는 알칼리 금속 산화물은 1000ppm 이하일 수 있다. 즉, 상기 유리 필름(200)은 상기 캐리어 유리(100)와 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 캐리어 유리(100)의 상기 상면에는 상기 조면(110)과 연결되는 통로 조면(112)이 형성된다. 상기 통로 조면(112)은 상기 조면(110)으로부터 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(112)은 상기 조면(110)과 동일한 표면 거칠기를 가질 수 있다.
평면에서 볼 때, 상기 캐리어 유리(100), 상기 유리 필름(200) 및 상기 조면(110)의 외곽 형상은 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 캐리어 유리(100)의 외곽 형상은 사각형이고, 상기 유리 필름(200)의 외곽 형상은 상기 캐리어 유리(100)의 외곽 형상보다 작은 사각형이고, 상기 조면(110)의 외곽 형상은 상기 유리 필름(200)의 외곽 형상보다 작은 사각형일 수 있다. 따라서, 평면에서 볼 때, 상기 통로 조면(112)은 상기 조면(110)의 가장자리부터 연장되어 상기 유리 필름(200)의 가장자리를 지나 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다.
이에 따라, 상기 유리 필름 적층체가 고온의 열처리 공정에서, 상기 유리 필름(200)과 상기 캐리어 유리(100) 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면(112)과 상기 유리 필름(200)사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름(200)이 변형되지 않을 수 있다.
도 3은 도 1의 유리 필름 적층체의 캐리어 유리의 조면과 활면을 설명하기 위한 단면도이다. 도 4는 도 1의 유리 필름 적층체의 캐리어 유리의 통로 조면을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1, 3 및 4를 참조하면, 캐리어 유리(100)의 상면은 조면(110) 및 상기 조면을 둘러싸는 활면(120)을 포함한다. 상기 캐리어 유리(100)의 상면은 상기 유리 필름(200)과 접촉한다. 즉, 상기 조면(110)과 상기 활면(120)은 상기 유리 필름(200)과 접촉한다.
상기 활면(120)은 상기 조면(110)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면(120)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리(100)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(100) 상에 견고하게 고정될 수 있다.
상기 조면(110)은 상기 활면(120)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면(110)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리(100)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름(200)을 상기 캐리어 유리(100)로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다.
상기 캐리어 유리(100)의 상면의 일부를 제거하여 상대적으로 큰 표면 거칠기를 갖는 상기 조면(110)을 형성하고, 나머지 상기 캐리어 유리(100)의 상면이 상기 활면(120)이 될 수 있다. 따라서, 상기 조면(110)의 함몰된 부분은 상기 활면(120)의 높이 보다 낮고, 상기 조면(110)의 돌출된 피크 부분은 상기 활면(120)의 높이 보다 낮거나 같을 수 있다.
상기 통로 조면(112)은 상기 조면(110)으로부터 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(112)은 상기 조면(110)과 동일한 표면 거칠기를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 캐리어 유리(100)의 상면의 일부를 제거하여 상대적으로 큰 표면 거칠기를 갖는 상기 통로 조면(112)을 형성할 수 있다.
이에 따라, 상기 활면(120)은 상기 유리 필름(200)과 접촉하여 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(100) 상에 견고히 고정될 수 있다. 상기 조면(110) 및 상기 통로 조면(112)과 상기 유리 필름(200)은 서로 접착되지 않고, 상기 조면(110) 및 상기 통로 조면(112)과 상기 유리 필름(200) 사이에 상기 조면(110) 및 상기 통로 조면(112)의 표면 거칠기에 의한 공간이 형성된다. 따라서, 상기 유리 필름 적층체가 고온의 열처리 공정에서, 상기 유리 필름(200)과 상기 캐리어 유리(100) 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면(112)과 상기 유리 필름(200)사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름(200)이 변형되지 않을 수 있다.
도 5a 내지 도 5d는 다향한 형태의 통로 조면에 대한 실시예를 나타낸 평면도들이다.
도 5a를 참조하면, 유리 필름 적층체는 캐리어 유리(100), 및 상기 캐리어 유리(100)위에 배치되어 상기 캐리어 유리(100)에 의해 지지되는 유리 필름(200)을 포함한다. 상기 캐리어 유리(100)의 상면은 조면(110) 및 상기 조면(110)을 둘러싸는 활면(120)을 포함한다. 상기 조면(110)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 통로 조면(112a)은 상기 조면(110)으로부터 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(112a)은 상기 사각형 형상을 갖는 상기 조면(110)의 각 모서리 부분에서 상기 사각형 형상의 각 변과 수직하게 연장될 수 있다. 상기 통로 조면(112a)은 상기 사각형 형상의 각 모서리에 네 군데 형성될 수 있다.
상기 유리 필름 적층체는 상기 도 1 내지 4에서 설명된 유리 필름 적층체와 상기 통로 조면(112a)의 형상을 제외하고 실질적으로 동일할 수 있다.
도 5b를 참조하면, 유리 필름 적층체는 캐리어 유리(100), 및 상기 캐리어 유리(100)위에 배치되어 상기 캐리어 유리(100)에 의해 지지되는 유리 필름(200)을 포함한다. 상기 캐리어 유리(100)의 상면은 조면(110) 및 상기 조면(110)을 둘러싸는 활면(120)을 포함한다. 상기 조면(110)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 통로 조면(112b)은 상기 조면(110)으로부터 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(112b)은 상기 사각형 형상을 갖는 상기 조면(110)의 각 변의 중심 부분에서 상기 변과 수직하게 연장될 수 있다. 상기 통로 조면(112b)은 상기 사각형 형상의 각 변에 네 군데 형성될 수 있다.
상기 유리 필름 적층체는 상기 도 1 내지 4에서 설명된 유리 필름 적층체와 상기 통로 조면(112b)의 형상을 제외하고 실질적으로 동일할 수 있다.
도 5c를 참조하면, 유리 필름 적층체는 캐리어 유리(100), 및 상기 캐리어 유리(100)위에 배치되어 상기 캐리어 유리(100)에 의해 지지되는 유리 필름(200)을 포함한다. 상기 캐리어 유리(100)의 상면은 조면(110) 및 상기 조면(110)을 둘러싸는 활면(120)을 포함한다. 상기 조면(110)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 통로 조면(112c)은 상기 조면(110)으로부터 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(112c)은 상기 사각형 형상을 갖는 상기 조면(110)의 모서리 부분에서 상기 캐리어 유리(100)의 모리 부분으로 연장될 수 있다. 상기 통로 조면(112c)은 상기 사각형 형상의 모서리 중 서로 대향하는 두 군데에 형성될 수 있다.
상기 유리 필름 적층체는 상기 도 1 내지 4에서 설명된 유리 필름 적층체와 상기 통로 조면(112c)의 형상을 제외하고 실질적으로 동일할 수 있다.
도 5d를 참조하면, 유리 필름 적층체는 캐리어 유리(100), 및 상기 캐리어 유리(100)위에 배치되어 상기 캐리어 유리(100)에 의해 지지되는 유리 필름(200)을 포함한다. 상기 캐리어 유리(100)의 상면은 조면(110) 및 상기 조면(110)을 둘러싸는 활면(120)을 포함한다. 상기 조면(110)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 통로 조면(112d)은 상기 조면(110)으로부터 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(112d)은 상기 사각형 형상을 갖는 상기 조면(110)의 각 모서리 부분에서 상기 사각형 형상의 각 변과 수직하게 연장되며, 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리에 가까워 질수록, 상기 통로 조면(112d)의 폭이 점차 줄어들 수 있다. 상기 통로 조면(112d)은 상기 사각형 형상의 모서리 중 서로 대향하는 두 군데에 형성될 수 있다.
본 실시예에서 상기 통로 조면(112d)은 상기 조면(110)에 가까울수록 넓은 폭을 가지므로, 상기 조면(110)과 상기 유리 필름(200) 사이의 공기를 효율적으로 배출 할 수 있다.
상기 유리 필름 적층체는 상기 도 1 내지 4에서 설명된 유리 필름 적층체와 상기 통로 조면(112d)의 형상을 제외하고 실질적으로 동일할 수 있다.
도 5a 내지 5d에서 설명된 통로 조면의 형상 외에도, 상기 통로 조면은 캐리어 유리와 유리 필름 사이의 공기를 쉽게 배출하기 위한 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 필름 적층체의 평면도이다. 도 7은 도 6의 유리 필름 적층체의 측단면도이다.
도 6 및 7을 참조하면, 상기 유리 필름 적층체는 캐리어 유리(300), 상기 캐리어 유리(300) 상에 배치되는 조면층(310), 및 상기 조면층(310)이 배치된 상기 캐리어 유리(300) 상에 배치되는 유리 필름(200)을 포함한다.
상기 캐리어 유리(300)는 규산염 유리, 실라카 유리, 붕규산 유리, 및 무알칼리 유리 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 캐리어 유리(300)가 포함하는 알칼리 금속 산화물은 1000ppm 이하일 수 있다. 상기 캐리어 유리(300)는 상기 유리 필름(200)을 지지하기 위해, 충분한 두께를 가질 수 있다. 또한, 상기 캐리어 유리(300)는 저온과 고온 사이에서의 열팽창 계수 차이가 상대적으로 작은 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 상기 캐리어 유리(300)는 고온 열처리 등을 거치는 제조 공정을 거치더라도 열에 의한 변형이 적어 박막 형태의 상기 유리 필름(200)을 안정적으로 지지할 수 있다. 상기 캐리어 유리(300)는 오버플로우 다운드로우법에 의해 형성될 수 있다.
상기 캐리어 유리(300)의 상면은 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 조면층(310)이 형성되는 부분 이외에는 상기 캐리어 유리(300)의 상면에 상기 활면(320)이 형성된다.
상기 활면(320)은 상기 조면층(310)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면(320)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리(300)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(300) 상에 견고하게 고정될 수 있다. 예를 들면, 상기 활면(320)의 표면 거칠기 Ra 는 0.2nm 이하 일 수 있다.
상기 조면층(310)이 상기 캐리어 유리(300) 상에 형성된다. 상기 조면층(310)은 적절한 두께를 갖는다. 예를 들면, 상기 조면층(310)은 박막 형태로 형성되며, 0.3nm 이상의 두께를 가질 수 있다.
상기 조면층(310)은 상기 활면(320)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면(310)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리(300)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름(200)을 상기 캐리어 유리(300)로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다. 예를 들면 상기 조면층(310)은 상기 활면 보다 표면 거칠기 Ra 가 0.3nm 이상 더 클 수 있다.
상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(300) 상에 배치된다. 상기 유리 필름(200)은 규산염 유리, 실라카 유리, 붕규산 유리, 및 무알칼리 유리 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 필름(200)이 포함하는 알칼리 금속 산화물은 1000ppm 이하일 수 있다. 즉, 상기 유리 필름(200)은 상기 캐리어 유리(300)와 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 캐리어 유리(300)의 상기 상면에는 상기 조면층(310)과 연결되는 통로 조면층(312)이 형성된다. 상기 통로 조면층(312)은 상기 조면층(310)으로부터 상기 캐리어 유리(300)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면층(312)은 상기 조면층(310)과 동일한 층으로 형성될 수 있으며, 동일한 표면 거칠기를 가질 수 있다.
평면에서 볼 때, 상기 캐리어 유리(300), 상기 유리 필름(200) 및 상기 조면층(310)의 외곽 형상은 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 캐리어 유리(300)의 외곽 형상은 사각형이고, 상기 유리 필름(200)의 외곽 형상은 상기 캐리어 유리(300)의 외곽 형상보다 작은 사각형이고, 상기 조면층(310)의 외곽 형상은 상기 유리 필름(200)의 외곽 형상보다 작은 사각형일 수 있다. 따라서, 평면에서 볼 때, 상기 통로 조면층(312)은 상기 조면층(300)의 가장자리부터 연장되어 상기 유리 필름(200)의 가장자리를 지나 상기 캐리어 유리(300)의 가장자리까지 연장된다.
이에 따라, 상기 유리 필름 적층체가 고온의 열처리 공정에서, 상기 유리 필름(200)과 상기 캐리어 유리(300) 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면층(312)과 상기 유리 필름(200)사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름(200)이 변형되지 않을 수 있다.
도 8은 도 6의 유리 필름 적층체의 캐리어 유리의 활면과 조면층을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9는 도 6의 유리 필름 적층체의 통로 조면층을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6, 8 및 9를 참조하면, 상기 캐리어 유리(300)의 상면은 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 상기 조면층(310)은 상기 캐리어 유리(300) 상에 형성된다. 따라서, 상기 조면층(310)이 형성되는 부분 이외에는 상기 캐리어 유리(300)의 상면에 상기 활면(120)이 형성된다. 상기 조면층(310)은 적절한 두께를 갖는다. 예를 들면, 상기 조면층(310)은 박막 형태로 형성되며, 0.3nm 이상의 두께를 가질 수 있다. 상기 캐리어 유리(300)의 상면은 상기 유리 필름(200)과 접촉한다. 즉, 상기 조면층(310)과 상기 활면(320)은 상기 유리 필름(200)과 접촉한다. 상기 유리 필름(200)은 유연성을 가지므로, 상기 조면층(310)이 소정의 두께를 갖더라도, 상기 활면(320)상에 접촉하여 접착될 수 있다.
상기 활면(320)은 상기 조면층(310)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면(320)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리(300)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(300) 상에 견고하게 고정될 수 있다.
상기 조면층(310)은 상기 활면(320)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면(310)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리(300)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름(200)을 상기 캐리어 유리(300)로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다.
상기 캐리어 유리(300)의 상기 상면에는 상기 조면층(310)과 연결되는 통로 조면층(312)이 형성된다. 상기 통로 조면층(312)은 상기 조면층(310)으로부터 상기 캐리어 유리(300)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면층(312)은 상기 조면층(310)과 동일한 층으로 형성될 수 있으며, 동일한 표면 거칠기를 가질 수 있다.
이에 따라, 상기 활면(320)은 상기 유리 필름(200)과 접촉하여 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(300) 상에 견고히 고정될 수 있다. 상기 조면층(310) 및 상기 통로 조면층(312)과 상기 유리 필름(200)은 서로 접착되지 않고, 상기 조면층(310) 및 상기 통로 조면층(312)과 상기 유리 필름(200) 사이에 상기 조면층(310) 및 상기 통로 조면층(312)의 표면 거칠기에 의한 공간이 형성된다. 따라서, 상기 유리 필름 적층체가 고온의 열처리 공정에서, 상기 유리 필름(200)과 상기 캐리어 유리(300) 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면층(312)과 상기 유리 필름(200)사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름(200)이 변형되지 않을 수 있다.
도 10a 내지 도 10d는 도 1의 유리 필름 적층체 및 유리 필름의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 10a 및 도 10b를 참조하면, 캐리어 유리(100)의 상면에 조면(110), 통로 조면(112) 및 활면(120)을 형성한다.
상기 캐리어 유리(100)는 규산염 유리, 실라카 유리, 붕규산 유리, 및 무알칼리 유리 등을 포함할 수 있다. 상기 캐리어 유리(100)는 도 1 등에서 설명한 캐리어 유리와 실질적으로 동일하다. 예를 들면, 상기 캐리어 유리(100)는 오버플로우 다운드로우법에 의해 형성될 수 있다.
상기 캐리어 유리(100)의 상면 일부를 식각(etching) 하여 상기 조면(110) 및 상기 통로 조면(112)을 형성한다. 상기 캐리어 유리(100)의 상면의 일부를 플루오린화수소(HF)를 이용하여 식각하여, 처리되지 않은 상기 활면(120)에 비해 표면 거칠기 큰 상기 조면(110) 및 상기 통로 조면(112)을 형성할 수 있다. 예를 들면, 불산을 이용한 습식 식각(wet-etching)을 통해 상기 조면(110) 및 상기 통로 조면(112)을 형성할 수 있다. 또한, 상기 조면(110) 및 상기 통로 조면(112)은 대기압 플라즈마에 의한 건식 식각(dry-etching)하여 형성할 수 있다.
상기 조면(110)은 상기 활면(120)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 예를 들면 상기 조면(110)은 상기 활면 보다 표면 거칠기 Ra 가 0.3nm 이상 더 클 수 있다.
상기 통로 조면(112)은 상기 조면(110)과 연결되며, 상기 캐리어 유리(100)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(112)은 다양한 형태로 변형될 수 있다. (도 5a 내지 5d 참조)
상기 활면(120)은 식각 처리되지 않는 상기 캐리어 유리(100)의 상면으로, 상기 조면(110)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다.
예를 들면, 상기 활면(120)의 표면 거칠기 Ra 는 0.2nm 이하 일 수 있다.
도 10c를 참조하면, 상기 조면(110) 및 상기 활면(120)이 형성된 상기 캐리어 유리(100) 상에 유리 필름(200)을 적층하여, 유리 필름 적층체를 형성한다.
상기 활면(120)은 상기 조면(110)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면(120)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리(100)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(100) 상에 견고하게 고정될 수 있다.
상기 유리 필름 적층체는 복수의 공정을 거칠 수 있다. 상기 공정을 통해 상기 유리 필름 적층체의 상기 유리 필름(200)상에 다양한 패턴 및 층들을 형성하여 박막형 표시 장치를 제조하는데 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 필름 적층체는 고온의 열처리 공정을 거칠 수 있다. 상기 고온의 열처리 공정에서, 상기 유리 필름(200)과 상기 캐리어 유리(100) 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면(112)과 상기 유리 필름(200)사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름(200)이 변형되지 않을 수 있다.
도 10d를 참조하면, 상기 캐리어 유리(100)로부터 상기 유리 기판(200)을 분리(delaminate)하여 각종 공정을 거친 박막 형태의 상기 유리 기판(200)을 완성할 수 있다.
상기 조면(110)은 상기 활면(120)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면(110)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리(100)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름(200)을 상기 캐리어 유리(100)로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다.
한편, 상기 캐리어 유리(100)는 다른 유리 기판을 제조하는데 다시 사용될 수 있다.
도 11a 내지 도 11d는 도 6의 유리 필름 적층체 및 유리 필름의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도 및 단면도들이다.
도 11a 및 도 11b를 참조하면, 캐리어 유리(300)의 상면에 조면층(310), 통로 조면층(312) 및 활면(320)을 형성한다.
상기 캐리어 유리(300)는 규산염 유리, 실라카 유리, 붕규산 유리, 및 무알칼리 유리 등을 포함할 수 있다. 상기 캐리어 유리(300)는 도 1 등에서 설명한 캐리어 유리와 실질적으로 동일하다. 예를 들면, 상기 캐리어 유리(300)는 오버플로우 다운드로우법에 의해 형성될 수 있다.
상기 캐리어 유리(300)의 상면의 일부 상에 상기 조면층(310) 및 상기 통로 조면층(312)이 형성된다. 상기 조면층(310) 및 상기 통로 조면층(312)은 적절한 두께를 갖는다. 예를 들면, 상기 조면층(310) 및 상기 통로 조면층(312)은 박막 형태로 형성되며, 0.3nm 이상의 두께를 가질 수 있다.
상기 조면층(310) 및 통로 조면층(312)은 상기 활면(320)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 예를 들면 상기 조면층(310) 및 통로 조면층(312)은 상기 활면 보다 표면 거칠기 Ra 가 0.3nm 이상 더 클 수 있다.
상기 통로 조면층(312)은 상기 조면층(310)과 연결되며, 상기 캐리어 유리(300)의 가장자리까지 연장된다. 상기 통로 조면(312)은 다양한 형태로 변형될 수 있다. (도 5a 내지 5d 참조)
상기 활면(320)은 상기 조면층(310) 및 상기 통로 조면층(312)이 형성되지 않은 상기 캐리어 유리(300)의 상면으로, 상기 조면층(310)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 예를 들면, 상기 활면(320)의 표면 거칠기 Ra 는 0.2nm 이하 일 수 있다.
도 11c를 참조하면, 상기 조면층(310) 및 상기 활면(120)이 형성된 상기 캐리어 유리(300) 상에 유리 필름(200)을 적층하여, 유리 필름 적층체를 형성한다.
상기 활면(320)은 상기 조면층(310)에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면(320)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리(300)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름(200)이 상기 캐리어 유리(300) 상에 견고하게 고정될 수 있다.
상기 유리 필름 적층체는 복수의 공정을 거칠 수 있다. 상기 공정을 통해 상기 유리 필름 적층체의 상기 유리 필름(200)상에 다양한 패턴 및 층들을 형성하여 박막형 표시 장치를 제조하는데 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 필름 적층체는 고온의 열처리 공정을 거칠 수 있다. 상기 고온의 열처리 공정에서, 상기 유리 필름(200)과 상기 캐리어 유리(300) 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면(312)과 상기 유리 필름(200)사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름(200)이 변형되지 않을 수 있다.
도 11d를 참조하면, 상기 캐리어 유리(300)로부터 상기 유리 기판(200)을 분리(delaminate)하여 각종 공정을 거친 박막 형태의 상기 유리 기판(200)을 완성할 수 있다.
상기 조면층(310)은 상기 활면(320)에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면(310)이 상기 유리 필름(200)과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리(300)와 상기 유리 필름(200)이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름(200)을 상기 캐리어 유리(300)로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 유리 필름 적층체는 조면, 통로 조면 및 활면을 포함하는 캐리어 유리를 포함하므로, 상기 유리 필름 적층체가 고온의 열처리 공정에서, 유리 필름과 상기 캐리어 유리 사이에 위치하는 공기가 팽창하더라도, 상기 통로 조면과 상기 유리 필름 사이의 미세 공간을 통해 배출될 수 있으므로, 상기 유리 필름이 변형되지 않을 수 있다.
또한, 상기 유리 필름 적층체의 상기 활면은 상기 조면에 비해 상대적으로 작은 표면 거칠기(surface roughness)를 갖는다. 따라서, 상기 활면이 상기 유리 필름과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 크므로, 상기 캐리어 유리와 상기 유리 필름이 접촉에 의해 접착되어, 상기 유리 필름이 상기 캐리어 유리 상에 견고하게 고정될 수 있다.
또한, 상기 조면은 상기 활면에 비해 큰 표면 거칠기를 갖는다. 따라서, 상기 조면이 상기 유리 필름과 접촉하는 부분은 단위 면적당 접착 면적이 상대적으로 작으므로, 상기 캐리어 유리와 상기 유리 필름이 접촉에 의해 쉽게 접착되지 않는다. 따라서, 공정 완료 후, 상기 유리 필름을 상기 캐리어 유리로부터 박리(de-laminate) 시킬 수 있다.
또한, 상기 통로 조면은 다양한 형상으로 형성될 수 있으므로, 효율적인 공기 배출이 가능하다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 캐리어 유리 110: 조면
112: 통로 조면 120: 활면
200: 유리 필름

Claims (20)

  1. 표면 거칠기가 상대적으로 큰 조면, 상기 조면을 둘러싸고 표면 거칠기가 상대적으로 작은 활면, 및 상기 조면과 연결되는 통로 조면을 포함하는 캐리어 유리; 및
    상기 캐리어 유리의 상기 조면 및 상기 활면 상에 적층되는 유리 필름을 포함하는 유리 필름 적층체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 통로 조면은 상기 조면으로부터 상기 캐리어 유리의 가장자리까지 연결되는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  3. 제2항에 있어서, 상기 통로 조면의 표면 거칠기는 상기 조면의 표면 거칠기와 동일한 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  4. 제1항에 있어서, 상기 유리 필름은 평면에서 볼 때, 상기 유리 기판 보다 작고, 상기 조면 보다 큰 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  5. 제4항에 있어서, 상기 조면의 외곽형상은 상기 유리 필름의 외곽형상과 동일한 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  6. 제1항에 있어서, 상기 조면 및 통로 조면은 복수의 돌출된 피크 부분 및 복수의 함몰된 부분을 포함하고, 상기 돌출된 피크 부분의 높이는 상기 활면의 높이보다 낮거나 같은 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  7. 제6항에 있어서, 상기 활면의 표면 거칠기 Ra 는 0.2nm 이하 인 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  8. 제1항에 있어서, 상기 조면 및 통로 조면의 표면 거칠기 Ra는 상기 활면의 표면 거칠기 Ra 보다 0.3 nm 이상 더 큰 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  9. 제1항에 있어서, 상기 조면과 연결되는 상기 통로 조면은 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  10. 제9항에 있어서, 상기 통로 조면의 폭은 상기 조면으로부터 상기 캐리어 유리의 가장자리로 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  11. 캐리어 유리;
    상기 캐리어 유리 상에 배치된 조면층; 및
    상기 캐리어 유리 상에 배치되고, 상기 조면층과 연결되는 통로 조면층을 포함하고,
    상기 조면층 및 상기 통로 조면층은 표면 거칠기가 상대적으로 크고, 상기 조면층 및 상기 통로 조면층이 형성되지 않는 상기 캐리어 유리의 상면은 상대적으로 표면 거칠기가 작은 활면이고,
    상기 통로 조면층은 상기 조면층에서부터 상기 캐리어 유리의 가장자리까지 형성된 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  12. 제11항에 있어서, 상기 조면층은 평면에서 볼 때, 상기 유리 필름의 가장자리 안쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  13. 제11항에 있어서, 상기 조면층은 0.3nm 이상의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  14. 캐리어 유리의 상면에 상대적으로 표면 거칠기가 큰 조면과 상기 조면과 연결된 통로 조면, 및 상기 조면을 둘러싸고 상대적으로 표면 거칠기가 작은 활면을 형성하는 단계; 및
    상기 조면, 상기 통로 조면 및 상기 활면이 형성된 상기 캐리어 유리 상에 유리 필름을 적층하는 단계를 포함하는 유리 필름 적층체의 제조 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 조면, 상기 통로 조면 및 상기 활면을 형성하는 단계는,
    표면 거칠기가 작은 상기 캐리어 유리의 상면 일부를 식각하여 표면 거칠기가 큰 상기 조면 및 상기 통로 조면을 형성하고,
    식각되지 않은 상기 캐리어 유리의 상면이 활면이 되는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체의 제조 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 통로 조면은 상기 조면으로부터 상기 캐리어 유리의 가장자리까지 연결되는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체의 제조 방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 조면 및 상기 통로 조면은 불산을 이용한 습식 식각(wet-etching)을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체의 제조 방법.
  18. 제14항에 있어서, 상기 유리 필름은 평면에서 볼 때, 상기 유리 기판 보다 작고, 상기 조면 보다 큰 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체.
  19. 제14항에 있어서, 상기 조면, 상기 통로 조면 및 상기 활면을 형성하는 단계는,
    상기 캐리어 유리 상에 조면층 및 통로 조면층을 형성하여 상기 조면 및 상기 통로 조면을 형성하는 것을 특징으로 하는 유리 필름 적층체의 제조 방법.
  20. 캐리어 유리의 상면에 상대적으로 표면 거칠기가 큰 조면과 상기 조면과 연결된 통로 조면, 및 상기 조면을 둘러싸고 상대적으로 표면 거칠기가 작은 활면을 형성하는 단계;
    상기 조면, 상기 통로 조면 및 상기 활면이 형성된 상기 캐리어 유리 상에 유리 필름을 적층하여 유리 필름 적층체를 형성하는 단계;
    상기 유리 필름 적층체가 고온 및 저진공 공정을 거치는 단계; 및
    상기 유리 필름 적층체로부터 상기 유리 필름을 박리시키는 단계를 포함하는 유리 필름의 제조 방법.
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